ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø-www.yaxin868.com

ɽ¶«ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø»ú´²ÓÐÏÞ¹«Ë¾Ï³´²¹Ù·½ÍøÕ¾½ñÌìÊÇ£º2025-06-04Çл»³ÇÊÐ[È«¹ú]-ÍøÕ¾µØÍ¼
ÍÆ¼ö²úÆ· :
ÍÆ¼öÐÂÎÅ
¼¼ÊõÎÄÕµ±Ç°Î»ÖÃ:¼¼ÊõÎÄÕÂ>

Æû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄÖÆ×÷·½·¨

ʱ¼ä:2025-06-01    ×÷Õß: ¹ÜÀíÔ±

רÀûÃû³Æ£ºÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄÖÆ×÷·½·¨
Æû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷·¢Ã÷ÁìÓò
±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÌرðÉæ¼°Ò»ÖÖ»ùÓÚ¹è»ùMEMS¼¼ÊõµÄ Æû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÉÓÃÓÚ¸÷ÖÖÆû³µ¼°¸÷¸ö³µÁ¾ÏµÍ³ÉÏÃæµÄÓÍѹ¡¢ÆøÑ¹¡¢È¼ ÁÏ¡¢Àäý¡¢ÒºÑ¹µÈ½éÖʵÄѹÁ¦²âÁ¿¡£
±³¾°¼¼Êõ£º
Æû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷×÷ΪÆû³µµç×Ó¿ØÖÆÏµÍ³µÄÐÅÏ¢Ô´Ö®Ò»£¬ÊÇÆû³µµç×Ó¿ØÖÆÏµ ͳµÄ¹Ø¼ü²¿¼þ£¬Ò²ÊÇÆû³µµç×Ó¼¼ÊõÁìÓòÑо¿µÄºËÐÄÄÚÈÝÖ®Ò»¡£Æû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷ÔÚÆû ³µÉÏÖ÷ÒªÓÃÓÚÖÆ¶¯ÏµÍ³¡¢×Ô¶¯±äËÙÏä¡¢¿Õµ÷ϵͳ¡¢Ðü¹Òϵͳ¡¢·¢¶¯»ú»úÓÍѹÁ¦¡¢¶¯Á¦ÇÐ »»´«Êäϵͳ¡¢LPGµÄ¶¯Á¦ÏµÍ³µÈ²¿·ÖµÄѹÁ¦²âÁ¿¿ØÖÆ¡£
80Äê´ú´«Í³µÄÆû³µ¸ßѹ´«¸ÐÆ÷ʹÓúñĤÌմɼ¼Êõ£¬¾­¹ý¶àÄêµÄ·¢Õ¹ËäÈ»ÆäÏÖÔÚ ÌÕ´ÉоÌåµÄÖÆ×÷³É±¾ÒÑÓдó·ùµÄϽµ£¬ÍêÈ«Âú×ãÆû³µÓ¦ÓÃÒªÇ󣬵«ÓÉÓÚÌմɲÄÁϼ«Æä´à ÐÔÌØµã£¬²»ÄÜ¿¹ÒºÌåѹÁ¦³å»÷¹ýÔØ(Ò»°ãΪ1.5±¶)£¬¿¹Õð¶¯ÄÜÁ¦²î£¬ÁéÃô¶ÈÊä³öºÜµÍ (2mV/V),¿É¿¿ÐÔµÍÎÞ·¨Âú×ãÆû³µÑ¹Á¦²âÁ¿µÄ·¢Õ¹ÐèÒª±»ÌÔÌ­¡£90Äê´úÓÖ³öÏÖÁËʹÓà Ӧ±ä¼¼ÊõµÄÆû³µ¸ßѹ´«¸ÐÆ÷£¬ÔÚоÌåµÄÖÆ×÷³É±¾ÉÏÆäÈÔÈ»±£³ÖÕâµÍ³É±¾µÄÌØÐÔ£¬Æä½â¾ö Á˺ñĤÌÕ´É¿¹Õð¶¯ÄÜÁ¦²î£¬Í¬Ê±Ìá¸ßÁËÒ»¶¨µÄ¿¹Ñ¹Á¦³å»÷¹ýÔØÄÜÁ¦£¬µ«ÓÉÓÚÆä½á¹¹Ô­Àí ʹÓÃÁ˽ºÕ³½ðÊôÓ¦±äƬ¼¼Êõ£¬Óлú½ºµÄÆ£À͵¼Ö´«¸ÐÆ÷ÕûÌåÊÙÃü½Ï¶Ì£¬ÓÉÓÚ½ºµÄÈä±äµ¼ Ö²âÁ¿¾«¶È»áËæÊ¹ÓÃʱ¼ä½µµÍͬʱÁéÃô¶ÈÊä³öÒÀÈ»ºÜµÍ¡£½üÄêÀ´ÃÀ¹ú¾«Á¿¹«Ë¾ºÍÃÀ¹ú É­ÈøËþ½«´Ë¼¼Êõ½øÐÐÁ˸Ľø£¬ÀûÓøßβ£Á§·ÛÉÕ½á¹èÓ¦±äƬ¼¼Êõ´úÌæÁ˽ºÕ³½ðÊôÓ¦±äƬ ¼¼Êõ£¬ÆäоÌåÖÆ×÷³É±¾ËäÈ»ÓÐС·ùÉÏÉýÈ´½â¾öÁË´«¸ÐÆ÷µÄÊÙÃüÎÊÌâºÍ²âÁ¿¾«¶ÈËæÊ±¼ä±ä »¯ÎÊÌ⣬ͬʱÀûÓùèÓ¦±äƬ´ó·ùÌá¸ßÁËÁéÃô¶ÈÊä³öµ«ÓÉÓÚÉսᲣÁ§·Û¹¤ÒÕÖв£Á§·Û²ãºÜ ±¡£¬Ãæ»ý¾ÍÏà¶Ô½Ï´ó£¬¶ÔÓÚ½ÏΪ´àÐԵIJ£Á§²ÄÁÏÀ´Ëµ£¬ÔÚÊܵ½Ñ¹Á¦¿ìËÙ¹ýÔØ³å»÷¼°ÎÂ¶È ³å»÷ʱ»á³öÏÖÉսᲣÁ§²ã¶ÏÁѵÄÏÖÏó£¬Æä¿¹Ñ¹Á¦¹ýÔØ³å»÷2±¶£¬¹¤×÷ζȷ¶Î§½öΪ-20 80¡ãC,ºÜ¶àµØ·½ÎÞ·¨Âú×ãÆû³µ¼¶µÄʹÓÃÒªÇó¡£Í¬Ê±ºóÆÚÓÉÓ¦±äʽÑÜÉú³öÀ´µÄ½¦É䱡Ĥʽ ͨÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷½â¾öÁËÇ°ÃæÓ¦±äʽµÄȱµã£¬Ê¹ÓÃÎÂÇøÒ²¿ÉÒÔÂú×ãÆû³µ¼¶µÄÒªÇó£¬ÁéÃô¶È Êä³ö¿É´ï5mV/V£¬¿¹³å»÷ѹÁ¦¹ýÔØ2±¶£¬µ«ÓÉÓÚÆäÖÆÔì³É±¾½Ï¸ß£¬ÎÞ·¨´ó·¶Î§ÔÚÆû³µÓ¦ ÓÃÖÐÍÆ¹ã¡£Å·ÖÞKELLER¹«Ë¾¼°ÃÀ¹úHoneywell¹«Ë¾µÈ¹«Ë¾Ê¹ÓÃMEMSµ¥¾§¹èÃô¸ÐÔª ¼þ£¬ÁéÃô¶ÈÊä³ö¿É´ï20mV/V£¬¿¹³å»÷ѹÁ¦¹ýÔØ3±¶£¬ÔÚÂú×ãÆû³µ¼¶ËùÓÐÓ¦ÓõĻù´¡ÉÏËä È»ÀûÓð뵼ÌåMEMS¹¤ÒÕÉú²ú½â¾öÁËÃô¸ÐÔª¼þµÄÏà¶ÔÅúÁ¿»¯µÍ³É±¾ÖÆÔ죬µ«ÓÉÓÚ¹ú¼ÊÉÏ Æäµ¥¾§¹èͨÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷оƬͨÓÃÉè¼ÆÎª±³ÃæÖ§³ÅÕýÃæ³Ðѹ½á¹¹£¬ÖмäÐèÒª¸´ÔӵĸôÀë ³äÓͺ¸½Ó¼¼Êõ½â¾ö²âÁ¿½éÖʼæÈÝÐԵļ¼ÊõȱÏÝ£¬È´ÓÉÓÚ¼ÓÈëÁ˸ôÀë³äÓͺ¸½Ó¼¼Êõ¶ø´ó·ù Ôö¼ÓÁ˲úÆ·µÄÖÆÔì³É±¾£¬Ê¹ÆäÎÞ·¨´ó·¶Î§ÔÚÆû³µÓ¦ÓÃÖÐÍÆ¹ã¡£·¢Ã÷ÄÚÈÝ
Ϊ½â¾öÉÏÊöÎÊÌ⣬±¾·¢Ã÷ÌṩÁËÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬¾ßÓвâÁ¿¾«¶È¸ß¡¢ ³É±¾µÍ¡¢Âú×ãÆû³µÉÏÓÍѹ¡¢ÆøÑ¹¡¢È¼ÁÏ¡¢Àäý¡¢ÒºÑ¹µÈѹÁ¦µÄ²âÁ¿ÒªÇ󣬰²×°·½±ã¿É×ï¡£
±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸ÊÇÕâÑùʵÏÖµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÓÉ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå¡¢ ¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ù¡¢Ðźŵ÷Àíµç·¡¢Æû³µµçÆ÷½Ó¿Ú×é³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸Ðо Ìå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ùºÍÐźŵ÷Àíµç·λÓڸô«¸ÐÆ÷¿ÇÌåµÄÄÚÇ»ÊÒ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå°²×°ÓÚ¸ÃÆû ³µµçÆ÷½Ó¿Ú£¬ÆäÖÐ
1)¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÓɹèѹ×èÃô¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬×é³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þÓÉ Ô²Æ½¹èĤƬµÄÕýÃæÒÀ´Î¸²¸ÇÓÐ^IO2²ãºÍ 3N4²ãÐγɣ¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þÕýÃæÖв¿ÉèÓÐ»Ý Ë¹¶ÙµçÇÅ£¬¶øÖܲ¿Âã¶³ö¹èĤƬºó£¬º¸¹ÌÓÚÓë¹èÓÐÏàËÆÈÈÅòÕÍϵÊýµÄ¸Ã²£Á§»·Æ¬£¬¸Ã»Ý ˹¶ÙµçÇÅÉÏÓ¦±äµç×èͨ¹ýº¸½Ó½ðË¿ÄÚÒýÏßÒý³ö£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬ÕýÃæÐÎ³É ¾øÔµÑõ»¯²ã£»
2)¸Ã²£Á§»·Æ¬ÁíÒ»ÃæÃÜ·â¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷о×ùÉÏÉèÓеĻ·Ðΰ¼¿ÓÃæ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷ о×ùÃÜ·âÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÉϵĽøÑ¹¶Ë¿Ú£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÉϽðË¿ÄÚÒýÏßͨ¹ý¸Ã´« ¸ÐÆ÷о×ùÖ®»·Ðΰ¼¿ÓÃæÉÏÖÐÐĿף¬ÒýÈëµ½ÉèÓÚ¸ÃÖÐÐÄ¿×ÁíÒ»¶ËµÄת½Ó°åºó£¬²¢¾­¸ÃÐźŠµ÷Àíµç·ÓÉ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿ÚÉÏÒý³ö£»
3)¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÓÉ´«¸ÐÆ÷»ù×ùºÍÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ùºóÐγÉÄÚÇ»ÊҵĴ«¸ÐÆ÷Íâ ¿Ç×é³É£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ùÖв¿¾ßÓÐ×÷ΪÒýѹ¶Ë¿ÚµÄ ̨½×¿×£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùͨ¹ýÂÝÎÆÃܷ⽺Ðý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ùÉĮ̈½×¿×¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¸Ą̃½×¿×»·ÖÜÃæ¾ßÓл·ÐͰ¼²Û£¬¸Ã»·ÐͰ¼²ÛÉèÓÐO ÐÍÃÜ·âȦ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ùÉĮ̈½×¿×µÄͬʱ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùѹ½ô¸ÃO ÐÍÃÜ·âȦ£¬ÊµÏָô«¸ÐÆ÷о×ùÓë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ùÃÜ·â¹Ì¶¨¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬ÄÚ±Ú¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÉÏÖÐÐÄ¿×ÄÚ±ÚÉèÓÐ ×÷Ϊ¾øÔµ±íÃæµÄ½ºÕ³ÐÔ¹èÏ𽺣¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÓë´«¸ÐÆ÷»ù×ùÖ®¼ä»·ÐÎÁ¬½Ó·ì£¬ÒÔ¼°¸Ã´« ¸ÐÆ÷»ù×ùÓë´«¸ÐÆ÷Íâ¿ÇÖ®¼ä»·ÐÎÁ¬½Ó·ì϶ÀûÓü¤¹â»òµç×ÓÊøÃܷ⺸½Ó¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬ÉèÓиÃÐźŵ÷Àíµç·µÄÐźŵ÷Àíµç·°å¹Ì¶¨Óڸô« ¸ÐÆ÷ÄÚÇ»ÊÒ£¬¸ÃÐźŵ÷Àíµç·¾ßÓÐÐźŷŴó¡¢Áãλ¼°Âú¶ÈÊä³öµ÷Àí¡¢Áãλ¼°ÁéÃô¶ÈÎÂ¶È ÏµÊý²¹³¥ÒÔ¼°·ÇÏßÐÔÐÞµ÷¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¶ÔÓ¦¸Ã´«¸ÐÆ÷ѹÁ¦Á¿³ÌΪ0 0.5MRIÖÁ IOOMPa,¸ÃԲƽ¹èĤƬµÄÖ±¾¶Îª2mm 4mm£¬ºñ¶ÈΪ0.22 0.91mm¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬ÄÚ±Ú¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÉÏÖÐÐÄ¿×ÄÚ±ÚÉèÓÐ ×÷Ϊ¾øÔµ±íÃæµÄ½ºÕ³ÐÔ¹èÏ𽺡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Çͨ¹ýÃܷ⽺Ðý¹ÌÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú£¬ ¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÓë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ùÖ®¼ä»·ÐÍÁ¬½Ó·ì£¬ÒÔ¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿ÇÓë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ùÖ®¼ä »·ÐÍÁ¬½Ó·ì£¬Í¨¹ý¼¤¹â»òµç×ÓÊøÃܷ⺸½Ó¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù¡¢´«¸ÐÆ÷»ù×ùºÍ´«¸ÐÆ÷»ù×ùΪ²»Ðâ¸Ö ²ÄÖÊ¡£
×÷Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½øÒ»²½¸Ä½ø£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬²ÉÓÃPyreX7740»òGG_17²£Á§»·Æ¬¡£
±¾·¢Ã÷µÄÓÐÒæ¼¼ÊõЧ¹ûÊÇËùÊö¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þÕýÃæÉèÓлÝ˹¶ÙµçÇÅ£¬¶ø·´Ãæ ×÷ΪÊÜÑ¹Ãæ£¬ÕâÑùÍâ½ç½éÖÊѹÁ¦Í¨¹ýÒýѹ¶Ë¿ÚÒýÈ룬ͨ¹ý¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þ·´ÃæÊÜѹ£¬ ¼õСÁËÍâ½ç½éÖʵÄÓ°Ï죬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þͨ¹ý²£Á§»·Æ¬ÃÜ·â¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷о×ù£¬¶ø4¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÓÖÃÜ·â¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷¿ÇÌåµÄÒýѹ¶Ë¿ÚÄڲ࣬¶ø¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÓÉ´«¸ÐÆ÷»ù ×ùºÍÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ùºóÐγÉÄÚÇ»ÊҵĴ«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç×é³É£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µ µçÆ÷½Ó¿Ú£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ùÖв¿¾ßÓÐ×÷ΪÒýѹ¶Ë¿ÚµĄ̈½×¿×£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùͨ¹ýÂÝÎÆÃÜ·â ½ºÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ùÉĮ̈½×¿×£¬ÕâÑùͨ¹ý¶àÖØ´ëÊ©£¬±£Ö¤´«¸ÐÆ÷ÖÆ×÷ʱ²£Á§»·Æ¬¡¢´« ¸ÐÆ÷о×ù¡¢´«¸ÐÆ÷»ù×ùºÍ´«¸ÐÆ÷Íâ¿ÇÖ®¼äÃÜ·âÐÔ£¬´Ó¶ø±£Ö¤Á˲âÁ¿¿É¿¿ÐÔ£¬¸Ã¹èѹ×èÃô ¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬ÕýÃæÐγɾøÔµÑõ»¯²ã£¬Ìá¸ßÁ˲âÁ¿¾«¶È£¬¸ÃÐźŵ÷Àíµç·µÄÒýÈëʵÏÖ ÁË·Å´óÐźŷŴó¡¢Áãλ¼°Âú¶ÈÊä³öµ÷Àí¡¢Áãλ¼°ÁéÃô¶ÈζÈϵÊý²¹³¥ÒÔ¼°·ÇÏßÐÔÐÞµ÷£¬ ÍêÈ«Âú×ãÁËÆû³µ¸ßѹ²âÁ¿µÄÒªÇó¡£


ͼ1Ϊ±¾·¢Ã÷ÖÐËùÊö¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þµÄ½á¹¹Ê¾Òâͼ2Ϊ±¾·¢Ã÷ÖÐËùÊö¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåµÄ½á¹¹Ê¾Òâͼ3Ϊ±¾·¢Ã÷ÖÐËùÊö¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÓë´«¸ÐÆ÷о×ùµÄ×°ÅäʾÒâͼ4Ϊ±¾·¢Ã÷ÖÐ×°ÅäºóµÄËùÊö´«¸ÐÆ÷о×ùÓë´«¸ÐÆ÷»ù×ùµÄ½á¹¹Ê¾Òâͼ5Ϊ±¾·¢Ã÷µÄ½á¹¹Ê¾Òâͼ¡£
¶ÔÕÕÒÔÉϸ½Í¼×÷²¹³ä˵Ã÷
1¡ª¡ªÍÞѹ×èÃô¸ÐÔª¼þ
11¡ª¡ªÔ²Æ½¹èĤƬ
12¡ª¡ªSiO2 ²ã
13¡ª¡ªSi3N4 ²ã
14¡ª¡ªÓ¦±äµç×è
15¡ª¡ª½ðË¿ÄÚÒýÏß
2¡ª¡ª²£Á§»·Æ¬
3¡ª¡ª´«¸ÐÆ÷о×ù
4¡ª¡ª×ª½Ó°å¾ßÌåʵʩ·½Ê½
½áºÏͼ1¡¢Í¼2¡¢Í¼3¡¢Í¼4¡¢Í¼5ÒÔÏ·ֱð×ö½øÒ»²½ÃèÊö
Ò»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÓÉ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå¡¢¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ù¡¢ÐÅ ºÅµ÷Àíµç·¡¢Æû³µµçÆ÷½Ó¿Ú×é³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ùºÍÐźŵ÷Àíµç·λÓÚ ¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåµÄÄÚÇ»ÊÒ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú£¬ÉèÓиÃÐźŵ÷Àíµç·µÄ Ðźŵ÷Àíµç·°å101¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷ÄÚÇ»ÊÒ£¬ÆäÖÐ
1)Èçͼ1ºÍͼ2Ëùʾ£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÓɹèѹ×èÃô¸ÐÔª¼þ1ºÍ²£Á§»·Æ¬2×é ³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þ1ÓÉԲƽ¹èĤƬ11µÄÕýÃæÒÀ´Î¸²¸ÇÓÐSiO2²ã12ºÍSi3N4²ã13ÐÎ ³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þÕýÃæÖв¿ÉèÓлÝ˹¶ÙµçÇÅ£¬¶øÖܲ¿Âã¶³ö¹èĤƬºó£¬º¸¹ÌÓÚÓë¹è ÓÐÏàËÆÈÈÅòÕÍϵÊýµÄ¸Ã²£Á§»·Æ¬2£¬¸Ã»Ý˹¶ÙµçÇÅÉÏÓ¦±äµç×è14ͨ¹ýº¸½Ó½ðË¿ÄÚÒýÏß15 Òý³ö£¬·´ÃæÊÜѹ£¬¼õСÁËÍâ½ç½éÖʵÄÓ°Ï죬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬ÕýÃæ½øÐа뵼 ÌåµÍÎÂÑô¼«Ñõ»¯¾øÔµ´¦Àí£¬ÐγɾøÔµÑõ»¯²ã£»
2)Èçͼ3Ëùʾ£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬2ÁíÒ»Ãæ(δÅ×¹âÃ«Ãæ)ͨ¹ý»·ÑõÊ÷Ö¬ÃÜ·â¹Ì¶¨Óڸà ´«¸ÐÆ÷о×ù3ÉÏÉèÓеĻ·Ðΰ¼¿ÓÃæ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù3ÃÜ·âÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÉϵĽøÑ¹¶Ë ¿Ú£¬¸Ãѹ×èÃô¸ÐоÌåÉϽðË¿ÄÚÒýÏß15ͨ¹ý¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÖ®»·Ðΰ¼¿ÓÃæÉÏÖÐÐĿף¬ÒýÈëµ½5¡ª¡ª´«¸ÐÆ÷»ù×ù 51¡ª¡ªOÐÍÃÜ·âȦ6¡ª¡ª´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç7¡ª¡ªÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú8¡ª¡ªÒý³öµçÀÂоÏß91¡¢92¡ª¡ª»·ÐÎÁ¬½Ó·ì 10¡ª¡ªÂÝÎÆÃܷ⽺ 101¡ª¡ªÐźŵ÷Àíµç·°å5ÉèÓڸô«¸ÐÆ÷о×ùÉÏÖÐÐÄ¿×ÁíÒ»¶ËµÄת½Ó°å4ºó£¬²¢¾­¸ÃÐźŵ÷Àíµç·ÓÉ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó ¿Ú7ÉÏÒý³ö£¬¸Ãת½Ó°å4Õ³½ÓÓڸô«¸ÐÆ÷о×ùÉÏÖÐÐÄ¿×ÁíÒ»¶ËµÄ»·ÐͰ¼Ã棬²¢¾­Òý³öµçÀ оÏß8Á¬½ÓÓÚ¸ÃÐźŵ÷Àíµç·°å101Êä³ö¡£
Èçͼ4ºÍͼ5Ëùʾ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÓÉ´«¸ÐÆ÷»ù×ù5ºÍÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ù5ºóÐÎ ³ÉÄÚÇ»ÊҵĴ«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç6×é³É£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù¡¢´«¸ÐÆ÷»ù×ùºÍ´«¸ÐÆ÷»ù×ùΪ²»Ðâ¸Ö²ÄÖÊ ÖÆ³É£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç6°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú 7£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù5Öв¿¾ßÓÐ×÷Ϊ½øÑ¹¶Ë¿Ú µĄ̈½×¿×£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù3ÍâÂÝÎÆ´¦Í¨¹ýÂÝÎÆÃܷ⽺10Ðý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ù5ÉĮ̈½×¿× ÄÚÂÝÎÆ²Û£¬¸Ą̃½×¿×»·ÖÜÃæ¾ßÓл·ÐͰ¼²Û£¬¸Ã»·ÐͰ¼²ÛÉèÓÐOÐÍÃÜ·âȦ51£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о ×ù3Ðý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ù5ÉĮ̈½×¿×µÄͬʱ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù3ѹ½ô¸ÃOÐÍÃÜ·âȦ51 (¿ÉÒÔ Óù̶¨Å¤¾Ø°âÊÖÐýÈëÖ±ÖÁµ½µ×Ť½ôÃÜ·â)£¬ÊµÏָô«¸ÐÆ÷о×ùÓë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ùÃÜ·â¹Ì¶¨£¬ ΪÁËÌá¸ß´«¸ÐÆ÷µÄ¿É¿¿ÐÔ£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬2ÄÚ±Ú¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù3ÉÏÖÐÐÄ¿×ÄÚ±ÚÉèÓÐ×÷Ϊ¾ø Ôµ±íÃæµÄ½ºÕ³ÐÔ¹èÏ𽺣¬Í¬Ê±½«´«¸ÐÆ÷о×ù3ºÍ´«¸ÐÆ÷»ù×ù5Ö®¼ä»·ÐÎÁ¬½Ó·ì91£¬ÒÔ¼°´« ¸ÐÆ÷»ù×ù5Óë´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç6Ö®¼ä»·ÐÎÁ¬½Ó·ì϶92ÀûÓü¤¹â»òµç×ÓÊøº¸½ÓÃܷ⣬ÐÎ³É¸ß¿É ¿¿ÈýÖØ¶àµÀÃÜ·â½á¹¹¡£
ÉèÓиÃÐźŵ÷Àíµç·µÄÐźŵ÷Àíµç·°å101¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷ÄÚÇ»ÊÒ£¬¸ÃÐźŵ÷ Àíµç·¾ßÓÐÐźŷŴó¡¢Áãλ¼°Âú¶ÈÊä³öµ÷Àí¡¢Áãλ¼°ÁéÃô¶ÈζÈϵÊý²¹³¥ÒÔ¼°·ÇÏßÐÔÐÞ µ÷¡£¶ÔÓ¦¸Ã´«¸ÐÆ÷ѹÁ¦Á¿³ÌΪ0 0.5MPaÖÁ0 lOOMRi£¬¸ÃԲƽ¹èĤƬµÄÖ±¾¶Îª2mm 4mm,ºñ¶ÈΪ 0.22 0.91mm¡£
ΪÁËÌá¸ß´«¸ÐÆ÷µÄ²âÁ¿¾«¶È£¬½á¹¹µÄÃÜ·âÐÔÓÈÎªÖØÒª£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç6ͨ¹ýÃÜ ·â½ºÐý¹ÌÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú 7£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù3Óë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù5Ö®¼ä»·ÐÍÁ¬½Ó·ì91£¬ÒÔ ¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç6Óë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù5Ö®¼ä»·ÐÍÁ¬½Ó·ì92£¬Í¨¹ý¼¤¹â»òµç×ÓÊøÃܷ⺸½Ó£¬ÐÎ ³É¸ß¿É¿¿¶àµÀÃÜ·â½á¹¹¡£
¸Ã²£Á§»·Æ¬2²ÉÓÃPyreX7740»òGG-17²£Á§»·Æ¬£¬¸ÃPyrex²£Á§»·ÊÇ¿µÄþ¹«Ë¾(Corning)µÄ²úÆ·£¬ËüÊÇרΪ°ëµ¼Ìå·â×°Éè¼Æ£¬¾ßÓÐÓë¹è½Ó½üµÄÎïÀíÐÔÄÜ£¬¹ú²úÌæ´ú²úÆ· ΪGG-17Åð¹è²£Á§¡£¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þµÄ»Ý˹ͨµçÇŲ¿·Ö²ÉÓÃÖйúרÀû¡°Ò»ÖÖ΢ÐͶ¯Ì¬ ѹ×èͨÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¼°ÆäÖÆÔì·½·¨¡±(רÀûºÅZL2003101063^8)¹«¿ª¼¼Êõ·½°¸ÖƳÉ¡£
¸ÃÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷²ÉÓð뵼ÌåÆ½Ãæ¼¯³Éµç·¼¼Êõ¡¢MEMS¼¼Êõ¼°Êý×ÖÖÇÄÜ µç·¼¼ÊõÏà½áºÏ´´Ôì³öÁ˾ßÓеͳɱ¾¡¢¸ß¾«¶È¡¢¸ß¿É¿¿ÐÔ¡¢³¤ÊÙÃüµÄÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸Ð¦Ï
»ùÓÚ±¾·¢Ã÷¼¼ÊõµÄÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÖ÷ÒªÐÔÄÜÖ¸±êΪ
1)ѹÁ¦Á¿³Ì0 0.5ÖÁ0 IOOMPa £»
2)¹©µç¼°ÐźŹ©µç5VDCÊ¿0.5£¬ÐźÅ0 5VÖ®¼äÈÎÒâ±ÈÀýÊä³ö£»
3)¹¤×÷ÎÂÇø-40 125¡ãC (³¤ÆÚ)£¬-55 1!35¡ãC (ËÄСʱ)£»
4)¾«¶ÈµÈ¼¶A¼¶È«¹¤×÷ÎÂÇø×ÛºÏÎó²îÓÅÓÚFS£¬B¼¶È«¹¤×÷ÎÂÇø×ÛºÏÎó²î ÓÅÓÚ 0.5% FS £»
5)¿¹³å»÷¹ýÔØÄÜÁ¦´óÓÚ600% FS £»
6)ʹÓÃÊÙÃüIO7ѹÁ¦Ñ­»·´Î£»
7)ÄêÎȶ¨ÐÔ0.25% FSo
ȨÀûÒªÇó
1.Ò»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÓÉ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå¡¢¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ù¡¢ÐźŠµ÷Àíµç·¡¢Æû³µµçÆ÷½Ó¿Ú×é³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ùºÍÐźŵ÷Àíµç·λÓڸà ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåµÄÄÚÇ»ÊÒ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ÆäÖÐ1)¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÓɹèѹ×èÃô¸ÐÔª¼þ(1)ºÍ²£Á§»·Æ¬(2)×é³É£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þ(1)ÓÉԲƽ¹èĤƬ(11)µÄÕýÃæÒÀ´Î¸²¸ÇÓлÃ02²ã(12)ºÍSi3N4²ã(13)Ðγɣ¬¸Ã¹èѹ×èÃô ¸ÐÔª¼þÕýÃæÖв¿ÉèÓлÝ˹¶ÙµçÇÅ£¬¶øÖܲ¿Âã¶³ö¹èĤƬºó£¬º¸¹ÌÓÚÓë¹èÓÐÏàËÆÈÈÅòÕÍϵ ÊýµÄ¸Ã²£Á§»·Æ¬(2)£¬¸Ã»Ý˹¶ÙµçÇÅÉÏÓ¦±äµç×è(14)ͨ¹ýº¸½Ó½ðË¿ÄÚÒýÏß(15)Òý³ö£¬¸Ã ¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬ÕýÃæÐγɾøÔµÑõ»¯²ã£»2)¸Ã²£Á§»·Æ¬(2)ÁíÒ»ÃæÃÜ·â¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷о×ù(3)ÉÏÉèÓеĻ·Ðΰ¼¿ÓÃæ£¬¸Ã ´«¸ÐÆ÷о×ù(3)ÃÜ·âÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÉϵĽøÑ¹¶Ë¿Ú£¬¸Ã¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÉϽðË¿ÄÚÒý Ïß(15)ͨ¹ý¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÖ®»·Ðΰ¼¿ÓÃæÉÏÖÐÐĿף¬ÒýÈëµ½ÉèÓÚ¸ÃÖÐÐÄ¿×ÁíÒ»¶ËµÄת½Ó°å (4)ºó£¬²¢¾­¸ÃÐźŵ÷Àíµç·ÓÉ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú(7)ÉÏÒý³ö£»3)¸Ã´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÓÉ´«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)ºÍÐý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)ºóÐγÉÄÚÇ»ÊҵĴ«¸Ð Æ÷Íâ¿Ç(6)×é³É£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç(6)°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú(7)£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)Öв¿ ¾ßÓÐ×÷Ϊ½øÑ¹¶Ë¿ÚµĄ̈½×¿×£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3)ͨ¹ýÂÝÎÆÃܷ⽺Ðý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ù(5) ÉĮ̈½×¿×¡£
2.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ą̃½×¿×»·ÖÜÃæ¾ßÓÐ »·ÐͰ¼²Û£¬¸Ã»·ÐͰ¼²ÛÉèÓÐ0ÐÍÃÜ·âȦ(51)£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3)Ðý¹ÌÓڸô«¸ÐÆ÷»ù×ù(5) ÉĮ̈½×¿×µÄͬʱ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3)ѹ½ô¸Ã0ÐÍÃÜ·âȦ(51)¡£
3.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬(2)ÄÚ±Ú ¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3)ÉÏÖÐÐÄ¿×ÄÚ±ÚÉèÓÐ×÷Ϊ¾øÔµ±íÃæµÄ½ºÕ³ÐÔ¹èÏ𽺣¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3) Óë´«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)Ö®¼ä»·ÐÎÁ¬½Ó·ì(91)£¬ÒÔ¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)Óë´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç(6)Ö®¼ä»· ÐÎÁ¬½Ó·ì϶(92)ÀûÓü¤¹â»òµç×ÓÊøÃܷ⺸½Ó¡£
4.ÈçȨÀûÒªÇó1¡¢2»ò3ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ÉèÓиÃÐźŠµ÷Àíµç·µÄÐźŵ÷Àíµç·°å(101)¹Ì¶¨Óڸô«¸ÐÆ÷ÄÚÇ»ÊÒ£¬¸ÃÐźŵ÷Àíµç·¾ßÓÐÐźŷŠ´ó¡¢Áãλ¼°Âú¶ÈÊä³öµ÷Àí¡¢Áãλ¼°ÁéÃô¶ÈζÈϵÊý²¹³¥ÒÔ¼°·ÇÏßÐÔÐÞµ÷µç·¡£
5.ÈçȨÀûÒªÇó1¡¢2»ò3ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¶ÔÓ¦¸Ã´«¸Ð Æ÷ѹÁ¦Á¿³ÌΪ0 0.5MPaÖÁ0 lOOMPa£¬¸ÃԲƽ¹èĤƬµÄÖ±¾¶Îª2mm 4mm£¬ºñ¶ÈΪ 0.22 0.91mm¡£
6.ÈçȨÀûÒªÇó1¡¢2»ò3ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬(2)ÄÚ±Ú¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3)ÉÏÖÐÐÄ¿×ÄÚ±ÚÉèÓÐ×÷Ϊ¾øÔµ±íÃæµÄ½ºÕ³ÐÔ¹èÏ𽺡£
7.ÈçȨÀûÒªÇó1¡¢2»ò3ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ ¿Ç(6)ͨ¹ýÃܷ⽺Ðý¹ÌÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú(7)£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ù(3)Óë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)Ö® ¼ä»·ÐÍÁ¬½Ó·ì(91)£¬ÒÔ¼°¸Ã´«¸ÐÆ÷Íâ¿Ç(6)Óë¸Ã´«¸ÐÆ÷»ù×ù(5)Ö®¼ä»·ÐÍÁ¬½Ó·ì(92)£¬ ͨ¹ý¼¤¹â»òµç×ÓÊøÃܷ⺸½Ó¡£
8.ÈçȨÀûÒªÇó1¡¢2»ò3ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷о ×ù¡¢´«¸ÐÆ÷»ù×ùºÍ´«¸ÐÆ÷»ù×ùΪ²»Ðâ¸Ö²ÄÖÊ¡£
9.ÈçȨÀûÒªÇó1¡¢2»ò3ËùÊöµÄÒ»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ã²£Á§»·Æ¬ (2)²ÉÓÃPyreX7740»òGG-17²£Á§»·Æ¬¡£
È«ÎÄÕªÒª
Ò»ÖÖÆû³µÍ¨ÓÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷ÓÉ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå¡¢¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ù¡¢Ðźŵ÷Àíµç·ºÍÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú×é³É£¬¹èѹ×èÃô¸ÐоÌå¡¢´«¸ÐÆ÷о×ùºÍÐźŵ÷Àíµç·λÓÚ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåµÄÄÚÇ»ÊÒ£¬´«¸ÐÆ÷¿ÇÌå°²×°ÓÚ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿Ú£¬¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÓɹèѹ×èÃô¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬×é³É£¬¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þÉèÓлÝ˹¶ÙµçÇÅ£¬»Ý˹¶ÙµçÇÅÉÏÓ¦±äµç×èͨ¹ýº¸½Ó½ðË¿ÄÚÒýÏßÒý³ö£¬¹èѹ×èÃô¸ÐÔª¼þºÍ²£Á§»·Æ¬ÕýÃæÐγɾøÔµÑõ»¯²ã£»²£Á§»·Æ¬ÁíÒ»ÃæÃÜ·â¹Ì¶¨ÓÚ´«¸ÐÆ÷о×ùÉÏÉèÓеĻ·Ðΰ¼¿ÓÃæ£¬´«¸ÐÆ÷о×ùÃÜ·âÐý¹ÌÓÚ´«¸ÐÆ÷¿ÇÌåÉϵĽøÑ¹¶Ë¿Ú£¬¹èѹ×èÃô¸ÐоÌåÉϽðË¿ÄÚÒýÏßͨ¹ý¸Ã´«¸ÐÆ÷о×ùÖ®»·Ðΰ¼¿ÓÃæÉÏÖÐÐĿף¬ÒýÈëµ½ÉèÓÚÖÐÐÄ¿×ÁíÒ»¶ËµÄת½Ó°åºó£¬²¢¾­Ðźŵ÷Àíµç·ÓÉ¸ÃÆû³µµçÆ÷½Ó¿ÚÉÏÒý³ö¡£
Îĵµ±àºÅG01L1/18GK102023066SQ20101018789
¹«¿ªÈÕ2011Äê4ÔÂ20ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2010Äê5ÔÂ31ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2010Äê5ÔÂ31ÈÕ
·¢Ã÷ÕßÀîÍþ, 볬Ãñ, Íô³¬, Íõ±ù, ÍõÎÄÏå, ʯÇÅ ÉêÇëÈË:ÉϺ£ÎÄÏåÆû³µ´«¸ÐÆ÷ÓÐÏÞ¹«Ë¾, À¥É½Ë«ÇÅ´«¸ÐÆ÷²â¿Ø¼¼ÊõÓÐÏÞ¹«Ë¾, ÍõÎÄÏå

  • רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖ»ùÓÚÒº¾§¹â·§µ÷ÖÆµÄ¸ßÁÁ¶È¿É¿ØØÍÈȹâÔ´µÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°¹âѧԪ²¿¼þ¼°¹âѧϵͳ£¬ÌرðÊÇÒ»ÖÖ»ùÓÚÒº¾§¹â·§µ÷ÖÆµÄ¸ßÁÁ¶È¿É¿Ø ØÍÈȹâÔ´¡£±³¾°¼¼Êõ£ºÕë¶ÔʵÑé²âÁ¿ÈȹâÕÇÂäµÄÁ½¸ö»ù±¾ÄѵãµÚÒ»£¬ÈȹâµÄÏà¸Éʱ¼äºÜ¶Ì£¬¼´Ê¹¶ÔÓÚ×î ºÃµÄÏß
  • רÀûÃû³Æ£ºÑõÆø´«¸ÐÆ÷ÓòÄÁÏ¡¢ÆäÖÆ±¸·½·¨ÒÔ¼°·¢¶¯»úÑõÆø´«¸ÐÆ÷µÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖÑõÆø´«¸ÐÆ÷ÓòÄÁÏ¡¢ÆäÖÆ±¸·½·¨ÒÔ¼°ÓÉÆäÖÆ³ÉµÄ·¢¶¯»úÑõÆø´«¸ÐÆ÷¡£±³¾°¼¼Êõ£º ĿǰÆû³µÉÏËùÓõĿØÖÆÎ²ÆøÅŷŵÄÑõ´«¸ÐÆ÷²ÄÁÏÖ÷ÒªÓÐZrO2ºÍTiO2Á½ÖÖ£¬ËüÃÇ
  • רÀûÃû³Æ£ºÒÀ´ïÀ­·îÔÓÖʱ½ëµļì²â·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷ÊôÓÚÒ©Îï·ÖÎöÁìÓò£¬¾ßÌåÉæ¼°ÒÀ´ïÀ­·îÔÓÖʱ½ëµļì²â·½·¨¡£±³¾°¼¼Êõ£ºÒÀ´ïÀ­´ºÊÇÒ»ÖÖÄÔ±£»¤¼Á(×ÔÓÉ»ùÇå³ý¼Á)¡£»¯Ñ§ÃüÃûΪ3_¼×»ù-1-±½»ù_2_Åú ßòßø-5-ͪ£»·Ö×ÓʽΪ=CiciHltlN2t
  • רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖ»ùÓÚ´¬²°µÄº£ÑóÆøÏóÐÅÏ¢×Ô¶¯²É¼¯´¦Àí´«ÊäϵͳµÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÊôÓÚÐÅÏ¢¼¼ÊõÁìÓò£¬Éæ¼°Ò»ÖÖ»ùÓÚ´¬²°µÄº£ÑóÆøÏóÐÅÏ¢×Ô¶¯²É¼¯´¦Àí ´«Êäϵͳ¡£±³¾°¼¼Êõ£º½üÄêÀ´Ëæ×ÅÈËÀàµÄ²»¶Ï·¢Õ¹£¬ÈËÀà»î¶¯ÊÜÆøÏóÓ°ÏìÔ½À´Ô½´ó¡£ÏÖ½ñÈËÃÇ¿ÉÒÔ½èÖú
  • רÀûÃû³Æ£º£ºÓÃÓÚÖ§³Öʶ±ð¼¼ÊõÉ豸ÖеĹÊÕϹ¦Äܵ¥ÔªµÄ·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖÓÃÓÚÖ§³Öʶ±ð¼¼ÊõÉ豸ÖеĹÊÕϹ¦Äܵ¥ÔªµÄ·½·¨¡£±³¾°¼¼Êõ£º£ºÊ¶±ð¼¼ÊõÉ豸ÖеĹÊÕϹ¦Äܵ¥ÔªÊÇѸËÙ¶ø³É¹¦Î¬ÐÞµÄǰÌá¡£ÆäÖУ¬´ó²¿·ÖÖ»Êǽ«¹ÊÕϹ¦Äܵ¥ÔªÓÃÒ»¸öÍêºÃµÄ±¸Óù¦Äܵ¥
  • רÀûÃû³Æ£º´øÓÐָʾµÆ¹¦Äܵļâ¶Ë²âÊÔÒǵÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º ±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖÓÃÓÚ²âÁ¿ÎïÌå¼â¶ËÈñÀû³Ì¶ÈµÄ×°Öᣠ±³¾°¼¼Êõ£ºÏÖÓм¼Êõͨ¹ý½«²âÊÔÉ豸·ÅÔÚ±»²â¼â¶ËÉÏ£¬¼ì²â±»²âÊԵļâ¶ËÊÇ·ñÄܲåÈë²âÊÔÉ豸´ïµ½¹æ¶¨µÄÉî¶ÈÓÉ´ËÅжÏÈñÀû¶È¡£µ«²âÊÔÉ豸ÎÞ·¨Ö±¹Û
ɽ¶«ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø»ú´²ÓÐÏÞ¹«Ë¾
È«¹ú·þÎñÈÈÏߣº13062023238
µç»°£º13062023238
µØÖ·£ºëøÖÝÊÐÁúȪ¹¤ÒµÔ°68ºÅ
¹Ø¼ü´Ê£ºÏ³´²£¬Êý¿ØÏ³´²£¬ÁúÃÅϳ´²
¹«Ë¾¶þάÂë
Copyright 2010-2024 °æÈ¨ËùÓÐ All rights reserved ³ICP±¸19044495ºÅ-12
¡¾ÍøÕ¾µØÍ¼¡¿¡¾sitemap¡¿