רÀûÃû³Æ£ºMemsÆ÷¼þ¡¢ÆäÌõ´ø²âÊÔ·½·¨¼°Æä²âÊÔÌõ´øµÄÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
±¾·¢Ã÷Éæ¼°ÓÃÓÚMEMS (΢»úµçϵͳ)Æ÷¼þµÄÌõ´ø²âÊԵķ½·¨¡¢MEMSÆ÷¼þµÄ²âÊÔÌõ´øºÍÉè¼ÆÓÃÓڸ÷½·¨µÄMEMSÆ÷¼þ¡£
±³¾°¼¼Êõ£º
MEMSÆ÷¼þÒòÆä¼õСµÄ³ß´çºÍ¹¦ºÄ¶øÔÚµç×ÓÐÐÒµ(ÓÈÆäÊÇÔÚ±ãЯʽµç×ÓÉ豸µÄÏû·Ñµç×ÓÁìÓò)ÖаçÑÝ×ÅÈÕÒæÖØÒªµÄ½ÇÉ«¡£ÖÚËùÖÜÖª£¬MEMSÆ÷¼þ°üÀ¨°ü·âÔÚ·â×°ÌåÖеİ뵼Ìå²ÄÁϵÄÒ»¸ö»ò¶à¸öÂãÆ¬(ÀýÈ磬ÔÚMEMS´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þµÄÇéÐÎÖУ¬µÚÒ»ÂãÆ¬¼¯³ÉÓлúе¸Ð²â½á¹¹£¬¶øµÚ¶þÂãÆ¬¼¯³ÉÓÐÐγÉΪASIC(רÓü¯³Éµç·)µÄÏà¹Øµç×Ó½Ó¿Ú)£¬¸Ã·â×°Ìå±£»¤ºÍ¸²¸ÇÂãÆ¬²¢ÇÒÌṩȥÍùÍⲿµÄºÏÊʵçÁ¬½Ó(ÀýÈçÓÃÓÚº¸½ÓÖÁÍⲿӡˢµç·°å)¡£³£Óõķâ×°ÌåÊÇËùνµÄBGA(ÇòÕ¤ÕóÁÐ)»òLGA(Õ¤¸ñÕóÁÐ)·â×°Ì壬ÆäÌṩ¼õÉÙµÄÃæ»ýÕ¼Óú͸ßÃܶȵĵçÁ¬½Ó¡£Í¼1ʾÒâÐÔµØÊ¾³öÁËÒÔ¸½Í¼±ê¼ÇIÕûÌå±íʾµÄMEMSÆ÷¼þ£¬Æä¾ßÓÐBGA»òLGA·â×°Ìå2¡£·â×°Ìå2°üÀ¨»ù°å3£¬»ù°å3¾ßÓÐMEMSÆ÷¼þµÄÂãÆ¬Ëù¸½½ÓÖÁµÄÄÚ²¿±íÃæ3a£¬ÒÔ¼°³ÐÔØÈ¥Íù·â×°Ìå2µÄÍⲿµÄºÏÊʵçÁ¬½ÓÔª¼þ4µÄÍⲿ±íÃæ3b£¬¸ÃµçÁ¬½ÓÔª¼þ4µÄÐÎʽΪ(ÔÚBGA·â×°ÌåµÄÇéÐÎϵÄ)¡°º¸Çò¡±»ò¡°Í¹¿é¡±µÄÕóÁлò(ÔÚÈçͼ1ËùʾµÄLGA·â×°ÌåÇéÐÎϵÄ)¡°º¸Çø¡±µÄÕóÁС£»ù°å3ͨ³£Óɶà²ã½á¹¹ÖƳɣ¬¸Ã¶à²ã½á¹¹°üÀ¨¾Óɵç½éÖʲã·Ö¸ôµÄÈô¸É²ãµ¼µç²ÄÁÏ(ͨ³£Îª½ðÊô)£»Ìṩ´©¹ý»ù°å3µÄµç¼£ÏßÒÔ½«ÂãÆ¬Á¬½ÓÖÁÍⲿµçÁ¬½ÓÔª¼þ4¡£ÔÚ»ù°å3ÉÏÌṩͨ³£ÎªÄ£ËÜ»¯ºÏÎï5µÄ¸²¸ÇºÍ±£»¤²ÄÁÏ£¬²¢ÇҸòÄÁϸ²¸ÇÂãÆ¬£¬´Ó¶ø±£»¤ÂãÆ¬ÃâÊÜÍⲿ»·¾³Ó°Ïì¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬ÔÚͼ1ËùʾµÄʾÀýÖУ¬MEMSÆ÷¼þI°üÀ¨´«¸ÐÆ÷ÂãÆ¬6ºÍASICÂãÆ¬7£¬´«¸ÐÆ÷ÂãÆ¬6°üÀ¨Î¢»úе¼ì²â½á¹¹£¬¶øASICÂãÆ¬7°üÀ¨ÓйصĽӿڵç×ÓÆ÷¼þ¡£ÂãÆ¬6ºÍÂãÆ¬7ÓÉÐÎʽΪ½ÓÏß(ʹÓÃËùνµÄ¡°½ÓÏß¼üºÏ¡±¼¼Êõ)µÄºÏÊʵçÁ¬½Ó¶ø¶Ñµþ£¬¸Ã½ÓÏß±»Éè¼ÆÓÃÓÚ½«´«¸ÐÆ÷ÂãÆ¬6µçÁ¬½ÓÖÁASICÂãÆ¬7²¢ÇÒ½«ASICÂãÆ¬7µçÁ¬½ÓÖÁ»ù°å3 ;´ËÍ⣬Ìṩ´©¹ý»ù°å3µÄ¸÷ÖÖ²ãµÄ¹ý¿×8ºÍºÏÊʵļ£ÏßÒÔÔÚASCIÂãÆ¬7ºÍµçÁ¬½ÓÔª¼þ4Ö®¼ä·ÓÉÐźÅ(ÕâЩÐźſÉÒÔÊǼì²âÐźŻòµçÔ´Ðźš¢»òÊÇMEMSÆ÷¼þIºÍÍⲿÆ÷¼þÖ®¼ä½»»»µÄÈÎºÎÆäËûÀàÐ͵ÄÐźÅ)¡£ÏÔÈ»£¬¶ÔÓÚÂãÆ¬6ºÍÂãÆ¬7¶øÑÔ£¬ÆäËü²¼ÖÃÊÇ¿ÉÄܵģ¬ÂãÆ¬6ºÍÂãÆ¬7¿ÉÒÔ²¢Áв¼ÖÃÔÚ»ù°å3ÉÏ£»»òÕß¿ÉÒÔʹÓõ¹×°Ð¾Æ¬¼¼Êõ½«´«¸ÐÆ÷оƬ6¸½½ÓÖÁASICÂãÆ¬7£¬´Ó¶øÔÚÕâÁ½¸öÂãÆ¬Ö®¼äÌṩֱ½ÓµÄµçÁ¬½Ó¡£ÔÚ°ëµ¼Ìå²úÒµÖУ¬ÎªÁËÆÀ¹À×îÖÕ²úÆ·µÄµçÐÔÄܺͻúеÐÔÄÜ£¬ÓÈÆäÊÇÓÉÓÚÐèҪΪÓÃÓÚÖ´ÐÐËùÐè²âÊÔ²Ù×÷ÌṩµÄʱ¼äÁ¿ºÍ°º¹óµÄϵͳ¼°É豸£¬MEMSÆ÷¼þµÄ²âÊÔÕ¼¾ÝÖÆÔì³É±¾µÄÏ൱´óÒ»²¿·Ö¡£²âÊÔÒ»°ã¹¹Ë¼Ìṩ(ÀýÈ磬ÒÔÎïÀíÓ¦Á¦ÐÎʽµÄ)¼¤Àø¸øMEMSÆ÷¼þ²¢ÇÒ¼ì²âÓÉMEMSÆ÷¼þÏìÓ¦Óڸü¤Àø¶øÉú³ÉµÄÊä³öµçÐźš£ÎªÁ˼õÉÙ²âÊԳɱ¾ÒÔ¼°Ôö¼Ó×ÜÌåЧÂÊ£¬Ìá³öÁËËùνµÄ¡°Ìõ´ø(strip)²âÊÔ¡±¹ý³Ì£¬Æä¹¹Ë¼Á˶Ըù¾Ý¾ØÕó²¼¾Ö²¼ÖÃÔÚÌõ´øÖеĶà¸öMEMSÆ÷¼þ½øÐÐͬʱ²¢ÐвâÊÔ£¬¶ø·Çµ¥¶ÀµØ²âÊÔµ¥¸öMEMSÆ÷¼þ¡£ÕâЩ²âÊÔ¹ý³ÌÔÊÐíʵÏÖ´óµÄ²úÂʸĽøºÍÓÃÓÚ²âÊÔËùÐèµÄʱ¼äµÄ¼õÉÙ£¬²¢ÇÒÒò¶ø¼õÉÙ×îÖÕÖÆÔì³É±¾¡£ÔÚÕâ·½Ãæ£¬Í¼2aºÍͼ2bʾÒâµØÊ¾³öÁË MEMSÆ÷¼þµÄÌõ´ø10£¬¸ÃMEMSÆ÷¼þͬÑùÓɸ½Í¼±ê¼ÇI±íʾ(ÿ¸öMEMSÆ÷¼þÀýÈçΪÈçͼ1ËùʾµÄ´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þ»òÈÎºÎÆäËüÖÖÀàµÄÒÑÖªMEMSÆ÷¼þ)¡£MEMSÆ÷¼þIÎªÑØxyÆ½ÃæµÄµÚÒ»·½ÏòxºÍµÚ¶þ·½Ïòy¶Ô×¼µÄ¾ØÕó²¼ÖÃÔÚ¸ÃʾÀýÖеÄÌõ´ø10¾ßÓÐÑØµÚÒ»·½ÏòXµÄÖ÷ÑÓÉì¡£²âÊÔϵͳ¿ÉÒÔ±»Éè¼ÆÓÃÓÚÈô¸ÉÆ÷¼þ(ÀýÈçÈçͼ2aÖÐÐéÏß¿òËù°üΧʾ³öµÄÆ÷¼þȺ×é)µÄ²¢ÐвâÊÔ¡£Èçͼ2bÖÐËùÃè»æµÄ£¬¸÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIÔÚÖÆÔìÖ®ºó(µ«ÊÇÔÚ×îÖյĵ¥Æ¬»¯²½Öè֮ǰ)±»°ü·âÔÚÏàͬµÄÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5Öв¢ÇÒ¸½½ÓÖÁÏàͬµÄ»ù°å3 ;Òò´Ë£¬¿¼ÂÇ»ù°å3°üÀ¨¶à¸ö²¿·Ö£¬¸÷¸ö²¿·Ö¶ÔÓ¦ÓÚµ¥¸öMEMSÆ÷¼þ£¬¸÷¸ö²¿·Öͨ¹ý±ß½çÇøÓò¶ø±Ë´Ë·Ö¸ô£¬Ôڸñ߽çÇøÓò´¦½«Ö´ÐÐÔÚµ¥Æ¬»¯ÆÚ¼äµÄ×îÖÕÇиȻ¶ø£¬ÓÈÆäÊÇÔÚMEMS´«¸ÐÆ÷µÄÇéÐÎÖУ¬°´Ìõ´ø²¼ÖÃµÄÆ÷¼þµÄ²¢ÐвâÊÔÒþº¬×ÅһЩÀ§ÄÑ£¬ÕâÊÇÒòΪÐèÒªÔÚ²âÊÔÆÚ¼ä¶Ô¸÷ÖÖ´«¸ÐÆ÷Ö´ÐкÏÊʵÄÎïÀí¼¤Àø(ÀýÈ磬Ìṩ¶Ô¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ²âÊÔ¼ÓËÙ¶È£¬»òѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄ²âÊÔѹÁ¦)£¬ÒÔ¼°ÓÈÆäÊÇÒòΪÈçÏÂÊÂʵ×÷ÓÃÓÚÌõ´øÐÎʽµÄÆ÷¼þÉϵÄÓ¦Á¦²»Í¬ÓÚ×÷ÓÃÓÚÓëÆäËûÆ÷¼þ·Ö¸ôµÄµ¥¸öÆ÷¼þÉϵÄÓ¦Á¦¡£´ËÍ⣬ҪÇóÌõ´øÖеĸ÷¸öÆ÷¼þµç¾øÔµ£¬ÒÔ±ã¶Ôµ¥¸öÆ÷¼þÖ´Ðеç²âÊÔ¡£Í¨¹ýʹÓñ»ÅäÖóÉÔÚÆ÷¼þÉÏÊ©¼ÓÌØ¶¨Ó¦Á¦µÄºÏÊʵIJâÊÔÉ豸(ÀýÈ磬¹¹Ë¼Ê¹ÓÃÌá¹©ÑØ¶à¸öÖáµÄ¼ÓËٶȵÄÖ§³Ą̊)ʵÏÖÔÚ²âÊÔÆÚ¼ä¶Ô¸÷¸öÆ÷¼þµÄÎïÀí¼¤Àø¡£
·¢Ã÷ÄÚÈÝ
ÒÑÌá³öÁ˸÷ÖÖ½â¾ö·½°¸ÒÔ½â¾öÓë×÷ÓÃÓÚ´¦ÓÚÌõ´øÐÎʽµÄÆ÷¼þÉϵÄÓ¦Á¦ÒÔ¼°ËüÃÇµÄµç¾øÔµÓйصÄÎÊÌâ¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬Ìá³öµÄ½â¾ö·½°¸Ê×Ïȹ¹Ë¼Á˸÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIµÄµ¥Æ¬»¯£¬²¢ÇҼ̶øËüÃÇÔÚºÏÊʵijÐÔØ½á¹¹(»òÍÐÅÌ)ÖеIJ¼Ö㬸óÐÔØ½á¹¹¾ßÓжà¸ö¿ÇÌ壬ÿ¸ö¿ÇÌåÊÊÓÚÈÝÄÉÏàÓ¦µÄµ¥Æ¬»¯µÄÆ÷¼þ¡£ÔÚ³ÐÔØ½á¹¹ÖеĿÇÌå±»²¼ÖóÉÏÞ¶¨MEMSÆ÷¼þIµÄÌõ´ø£¬¸ÃÌõ´ø¿ÉÒÔ¾Àú²¢ÐвâÊÔ¹ý³Ì¡£¸Ã·½·¨ÊÇÓÐÀûµÄ£¬ÕâÊÇÒòΪÔÚ²¢ÐвâÊÔ²Ù×÷ÆÚ¼äûÓв»ÆÚÍûµÄÓ¦Á¦Ê©¼ÓÔÚµ¥Æ¬»¯µÄMEMSÆ÷¼þIÉÏ¡£È»¶ø£¬ÆäÒ²ÐèÒª¾Þ´óµÄͶÈëÒÔÓÃÓÚÖÆ±¸ÈÝÄɸ÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIËùÐèµÄÖ§³Å½á¹¹£¬¸ÃÖ§³Å½á¹¹±ØÐë±»Éè¼ÆºÍÖÆÔìÓÃÓÚ¸÷¸ö¿ÉÄܵķâ×°Ìå³ß´ç£»´ËÍ⣬ÐèÒª³ÐÔØ½á¹¹µÄÁ¬ÐøÎ¬»¤ÒÔÈ·±£ÔÚ²âÊÔÆÚ¼äMEMSÆ÷¼þIµÄÕýÈ·¶Ô×¼¡£±¾·¢Ã÷ÈËÒÑÔËÓÃÁËÓÖÒ»²âÊÔ¹ý³Ì£¬¸Ã¹ý³ÌÊÇËùνµÄ¡°Çиîǰ¡±·½·¨£¬Èçͼ3ʾÒâʾ³öµØ£¬Æä¹¹Ë¼ÁË´ÓÍⲿ±íÃæ3bÇгý¹²Í¬µÄ»ù°å3ºÍÇгýÆäÖ®ÉϵÄÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5µÄÒ»²¿·Ö£¬ÒԱ㴴½¨ÑÓÉì´©¹ýÕû¸ö»ù°å3²¢ÇÒ´©¹ýÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5µÄÒ»²¿·ÖµÄ¹µ²Û(»ò¿ª¿Ú£¬»òÇпڲ¿·Ö)11¡£ÕâЩ¹µ²Û11ÒÔͼ3ÖÐδʾ³öµÄ·½Ê½ÔÚÌõ´ø10ÖÐÑØµÚÒ»·½ÏòXºÍµÚ¶þ·½ÏòyÑÓÉ죬ÒÔ±ãÏÞ¶¨Á¬ÐøµÄÖпղ¿·Ö£¬´Ó¶ø·Ö¸ôºÍ°üΧMEMSÆ÷¼þI¡£¸ÃÇиî¹ý³Ì»¹½«¸÷¸öMEMSÆ÷¼þI±Ë´Ëµç¾øÔµ²¢ÇÒÔÊÐí°´ÏàͬÆ÷¼þµÄÌõ´øµÄÐÎʽ²âÊÔ£¬ÕâЩÏàͬÆ÷¼þ¾ÓÉÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5µÄÊ£Óಿ·ÖÈÔ±£³ÖÔÚÒ»Æð£»¾ßÌå¶øÑÔ£¬ÒªÇó¸ÃÊ£Óಿ·Ö(´ÓÆä³õʼµØÎ´½Ó´¥»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ3aµÄ±íÃæ¿ªÊ¼)µÄºñ¶È¾ßÓгä×ãµÄ¸ÕÐÔÒÔʵÏÖÔÚ´¦ÀíºÍ²âÊÔ²Ù×÷ÆÚ¼ä½«MEMSÆ÷¼þI±£³ÖÔÚÒ»ÆðµÄ½á¹û¡£´ËÍ⣬ÔÚÌõ´ø10ÖеÄMEMSÆ÷¼þIÖ®¼äʵÏÖµÄËùµÃÎïÀí·Ö¸ôÏÞÖÆÁ˲âÊÔÆÚ¼äµÄÏ໥ӦÁ¦µÄÁ¿¡£±¾ÉêÇëÈËÒÑÈÏʶµ½£¬¸Ã²âÊÔ¹ý³ÌËäÈ»ÊÇÓÐÀûµÄ£¬µ«ÊÇÆäÊÜһЩȱÏÝÖÆÔ¼¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬ÔÚ¡°Çиîǰ¡±¹ý³ÌÖУ¬ÔÚ°´Ìõ´øÐÎʽ²âÊÔ¸÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIÖ®ºóÖ´Ðи÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIµÄ×îÖÕÍêÈ«·Ö¸ô(ËùνµÄ¡°µ¥Æ¬»¯¡±²Ù×÷)¡£µ¥Æ¬»¯¹ý³ÌÊÍ·ÅÓÉÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5µÄÊ£Óಿ·ÖÊ©¼ÓÔÚÆ÷¼þÉϵÄÓ¦Á¦£¬´Ó¶øÊ¹Æ÷¼þÆ«ÒÆÖ®Ç°µÄУ׼ֵ£»Êµ¼ÊÉÏ£¬Çиîǰ¹ý³ÌÔÚУ׼²½ÖèÆÚ¼äÁôÏÂ×÷ÓÃÓÚÆ÷¼þÉϵÄijЩÁ¿µÄÊ£ÓàÓ¦Á¦£¬²¢ÇÒÔÚµ¥Æ¬»¯Ö®ºó£¬Æ«ÒÆ·Ö²¼¹ã·ºÀ©É¢£¬´Ó¶ø¿ÉÄܽ«¼¯ÈºµÄÒ»²¿·ÖÖð³öÆÚÍû¹æ·¶¡£¸ÃÆ«ÒÆÒò¶øÒâζ×ÅÐèÒªÌṩÔÚµ¥Æ¬»¯²Ù×÷Ö®ºóµÄµÚ¶þ²âÊÔ¹ý³Ì£¬¸ÃµÚ¶þ²âÊÔ¹ý³Ì±»Éè¼ÆÓÃÓÚÈ·±£ËùÓеÄ×îÖÕMEMSÆ÷¼þIλÓÚÖ¸¶¨ÈݲîÖµÄÚ¡£±¾ÉêÇëÈËÒÑÈÏʶµ½£¬¸ÃµÚ¶þ²âÊÔ²½Öè´ú±íÁË·ÇÔöÖµ¹ý³Ì£¬ÕâÊÇÒòΪ½öÒòÌõ´ø²âÊÔ/У׼¹ý³ÌÆÚ¼äÊ©¼ÓÔÚMEMSÆ÷¼þIÉϵÄÊ£ÓàÓ¦Á¦¶øÒªÇóÖ´Ðиùý³Ì¡£ÓÈÆäÊǵ±Ôö¼ÓMEMS²úÁ¿Ê±£¬¶ÔÌõ´ø²âÊÔÉ豸ºÍµÚ¶þ²âÊÔÉ豸µÄͶÈëͬÑùÏàÓ¦µØÔö¼Ó£¬²¢ÇÒ¿ÉÒÔ´ú±í×ÜÖÆÔì³É±¾µÄ¼«´ó²¿·Ö¡£Òò´Ë£¬ÏÔÈ»ÐèÒªÔÊÐí°´Ìõ´øÐÎʽ²âÊÔMEMSÆ÷¼þµÄ²âÊÔ¹ý³Ì£¬Í¬Ê±¼õÉÙ»ò¿ÉÄܱÜÃâÔÚµ¥Æ¬»¯Ö®ºóÖ´ÐÐÓÖÒ»²âÊÔ²½ÖèµÄÐèÒª£¬´Ó¶øÏÔÖø¸ÄÉÆ×ܵIJâÊԳɱ¾ºÍʱ¼ä¡£±¾·¢Ã÷µÄÄ¿µÄÒò´ËÔÚÓÚÌṩÓÃÓÚMEMSÆ÷¼þµÄÌõ´ø²âÊÔ·½·¨£¬Æä¾ßÓиÄÉÆµÄ×ÜÐÔÄܺͳɱ¾£¬´Ó¶øÔÊÐíÖÁÉÙ²¿·ÖµØ½â¾öÉÏÃæ½áºÏÒÑÖª²âÊÔ·½·¨ÂÛÊöµÄÎÊÌâ¡£¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷£¬Òò´ËÌṩÈçȨÀûÒªÇó1ÏÞ¶¨µÄÌõ´ø²âÊÔ·½·¨¡£
ΪÁ˸üºÃµØÀí½â±¾·¢Ã÷£¬ÏÖÔÚ½öͨ¹ý·ÇÏÞÖÆÊ¾ÀýµÄ·½Ê½²¢ÇҲο¼Ëù¸½¸½Í¼ÃèÊö±¾·¢Ã÷µÄÓÅѡʵʩÀý£¬ÆäÖÐͼ1ÏÔʾÁËÒÑÖªMEMSÆ÷¼þµÄʾÒâ½ØÃæÍ¼£»Í¼2aʾÒâÐÔµØÏÔʾÁË MEMSÆ÷¼þµÄÌõ´øµÄ¶¥ÊÓͼ£»Í¼2bÏÔʾÁË´©¹ýͼ2aµÄÌõ´øµÄʾÒâ½ØÃæ£»Í¼3ÏÔʾÁËÉè¼ÆÓÃÓÚÒÑÖª¡°Çиîǰ¡±²âÊÔ·½·¨µÄ´©¹ýMEMSÆ÷¼þµÄÌõ´øµÄʾÒâ½ØÃæ£»Í¼4ÏÔʾÁ˸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄÒ»¸öʵʩÀýµÄ´©¹ýMEMSÆ÷¼þµÄÌõ´øµÄʾÒâ½ØÃæ£»Í¼5ÏÔʾÁË´©¹ýͼ4µÄÌõ´øµÄ»ù°åµÄÒ»²¿·ÖµÄ¸üΪ¾ßÌåµÄ½ØÃ棻ͼ6aÏÔʾÁ˱¾·¢Ã÷µÄÒ»¸öʵʩÀýµÄÁ½¸öÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þµÄ»ù°å²¿·ÖµÄʾÒâ¶¥ÊÓͼ£»Í¼6bºÍͼ6c·Ö±ðÏÔʾÁËͼ6aµÄ»ù°å²¿·ÖÔÚÇгý¹ý³Ì֮ǰºÍÖ®ºóµÄ½ØÃ沿·Ö£»ÒÔ¼°Í¼7ÏÔʾÁËÓëÌõ´øµÄMEMSÆ÷¼þµÄ²âÊÔÐÔÄÜÓйصÄÇúÏßͼ¡£
¾ßÌåʵʩÀý·½Ê½±¾·¢Ã÷ÈËÒÑÈÏʶµ½£¬Î§ÈƲâÊÔÌõ´øÖи÷ÖÖMEMSÆ÷¼þµÄ¹²Í¬Ä£ÖÆ»¯ºÏÎïÊÇ×÷ÓÃÓÚÏàͬµÄÆ÷¼þºÍʹ²âÊÔ¹ý³ÌÆ«ÒÆµÄÊ£ÓàÓ¦Á¦µÄÔÒò¡£Òò´Ë£¬Èçͼ4ÖÐËùʾ(ÆäÖÐÏàͬµÄ±ê¼Ç±íʾÓëÉÏÃæ¹«¿ªµÄÏàͬµÄÔª¼þ£¬ÕâÔÚÏÂÎÄÖв»ÔÙÃèÊö)£¬±¾·¢Ã÷µÄµÚÒ»·½Ã湹˼ÁËÔÚÖ´ÐвâÊÔ²Ù×÷֮ǰ£¬ÀýÈç¾ÓÉÇиî»òÇгý²Ù×÷ÒÆ³ýÎ§ÈÆÌõ´ø10µÄMEMSÆ÷¼þIµÄÕû¸öºñ¶ÈµÄÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5¡£Ö´ÐеÄÇиÑÓÉì´©¹ý»ù°å3µÄ(ʼÓÚMEMSÆ÷¼þIµÄÂãÆ¬²¼ÖÃÔÚÆäÉϵÄÄÚ²¿±íÃæ3a)µÄÄÚ²¿±íÃæ²¿·Ö£¬¸Ã²¿·Ö±»ÒƳý£¬´Ó¶ø½öÁôÏÂÔÚÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þIÖ®¼äÓÉ12±íʾµÄÊ£Óà»ù°å²¿·Ö¡£ÕâЩʣÓà»ù°å²¿·Ö12 (ÓÉ»ù°å3µÄÍⲿ±íÃæ²¿·Ö¹¹³É£¬Ê¼ÓÚÓëÄÚ²¿±íÃæ3aÏà¶ÔµÄÍⲿ±íÃæ3b)ÔÚ°´Ìõ´øÐÎʽ²âÊÔÆÚ¼ä½«¸÷ÖÖMESMÆ÷¼þI±£³ÖÔÚÒ»Æð¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬ÒƳý²Ù×÷Òò´ËÏÞ¶¨´Ë´¦ÒÔ14±íʾµÄ½«¸÷¸öMEMSÆ÷¼þI·Ö¸ô(²¢ÇÒ²¼ÖÃÔÚÁÚ½ÓµÄMESMÆ÷¼þIÖ®¼ä£¬²¢ÇÒÎ§ÈÆ¸÷¸öMEMSÆ÷¼þI)µÄ·Ö¸ô¹µ²Û£¬´Ó¶øÑÓÉì´©¹ýÄ£ÖÆ»¯ºÏÎï5µÄÕû¸öºñ¶È²¢ÇÒ´©¹ý»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ²¿·Ö¡£ÕâЩ·Ö¸ô¹µ²Û14ÒÔδʾ³öµÄ·½Ê½ÔÚÌõ´ø10ÖÐÑØµÚÒ»·½ÏòXºÍµÚ¶þ·½ÏòyÑÓÉ죬ÒÔ±ãÏÞ¶¨Á¬ÐøµÄÖпÕ(»òÇгý)²¿·Ö¡£¸ù¾ÝÒ»¸öʵʩÀý£¬·Ö¸ô¹µ²Û14¿ÉÒÔ´ÓÄÚ²¿±íÃæ3aÖ±ÖÁÏàͬµÄ»ù°å3µÄºñ¶ÈµÄÒ»°ëÑÓÉì´©¹ý»ù°å3¡£·Ö¸ô¹µ²Û14µÄ´æÔÚ²»½öÔÊÐí¼õÉÙ×÷ÓÃÓÚ¸÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIÉϵÄÓ¦Á¦(·¢Ã÷ÈËȷʵÒÑÈÏʶµ½Ê£Óà»ù°å²¿·Ö12ÔÚMEMSÆ÷¼þIÉÏÒýÆð½ÏÉÙµÄÓ¦Á¦£¬²¢ÇÒÒò´ËÔÚÆ÷¼þºóÐøµÄÍêÈ«µ¥Æ¬»¯ÆÚ¼äÊͷŽÏÉÙµÄÓ¦Á¦)£¬»¹ÔÊÐíͨ¹ýÒÆ³ý»ù°åÖÐµÄÆ÷¼þÖ®¼äµÄÈκοÉÄܵĵçÁ¬½Ó¶øÊ¹Ìõ´ø10Öеĸ÷ÖÖMEMSÆ÷¼þIµç¾øÔµ¡£Êµ¼ÊÉÏ£¬ÕâЩµçÁ¬½Ó¿ÉÒÔ·½±ãµØ²¼ÖÃÔÚ¸÷¸öMEMSÆ÷¼þ±ß½ç´¦µÄ»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ²¿·ÖÖУ¬±ß½çÔÚÏÞ¶¨·Ö¸ô¹µ²Û14µÄ²ÄÁÏÒÆ³ý¹ý³ÌÖÐÒÆ³ý¡£»ù°å3µÄÊ£Óಿ·Ö12¼Ì¶ø²»³ÐÔØÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þIÖ®¼äµÄÈκεçÁ¬½Ó£¬Ê¹µÃÏàͬµÄMEMSÆ÷¼þµç¾øÔµ²¢ÇÒ×¼±¸ºÃ¹©²âÊÔ¡£¿¼Âǵ½Ò»°ã¶øÑÔ»ù°å3Óɶà¸ö²ã(µ¼µçºÍµç½éÖʶѵþ²ã)ÖÆ³É£¬Òò´ËËùÂÛÊöµÄÒÆ³ý²Ù×÷±»Éè¼ÆÎª½öÓ°ÏìÕâЩ²ãÖеÄһЩ²ã£¬¾ßÌå¶øÑÔÊǵÚÒ»²ã£¬¼´¸üΪ¿¿½üMEMSÆ÷¼þIµÄÂãÆ¬Ëù¸½½ÓÖÁµÄÄÚ²¿±íÃæ3aµÄ²ã¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬ÒÑÖª»ù°åµÄ¶à²ã½á¹¹°üÀ¨Öмä²ã£¬²¢ÇÒÔÚÖмä²ãÖ®ÉϺÍ֮ϵĶԳƶѵþµÄµ¼µç²ãºÍµç½éÖʲ㣻ÀýÈç¾ÓÉÊ´¿Ì¹ý³ÌÏÞ¶¨¸÷¸öµ¼µç²ã(ÓÉÀýÈç͵ĽðÊô²ÄÁÏÖÆ³É)£¬ÒÔ´´½¨´©¹ý»ù°åµÄµçÁ¬½ÓµÄÆÚÍûͼ°¸£¬²¢ÇÒ¸÷¸öµ¼µç²ã½èÖúÓÚÁ¬ÐøµÄµç½éÖʲã(ÀýÈçÓÉBT»òFR-4ÖÆ³É)ÓëÆäËûµ¼µç²ã·Ö¸ô¡£ÔÚͼ5ÖÐÏÔʾÁËÔÙ´ÎÒÔ3±íʾµÄ»ù°åµÄʾÀýÐÔ¶à²ã½á¹¹£¬ÆäÖУ¬Óɵç½éÖʲÄÁÏ(ÀýÈçBT»òFR-4)ÖÆ³ÉµÄÖмä²ãÓÉ20±íʾ£»ºÏÊʵØÏÞ¶¨µÄµ¼µç²ãÓÉ21±íʾ£»¶øÆäËûµç½éÖʲãÓÉ22±íʾ(ÈçͼËùʾ£¬¸÷¸öµç½éÖʲã22²¼ÖÃÓÚÁ½¸öµ¼µç²ã21Ö®¼äÒԱ㽫ËüÃÇ·Ö¸ô)¡£µÚÒ»µ¼µç²ã21±»¿¼ÂÇΪ²¼ÖÃÓÚ»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ3a´¦,¶ø×îºóÒ»¸öµ¼µç²ã21±»¿¼ÂÇΪ²¼ÖÃÔÚÏàͬµÄ»ù°å3µÄÍⲿ±íÃæ3b´¦¡£´©¹ý»ù°å3·½±ãµØÌṩµ¼µçͨ¿×(´Ë´¦ÓÉ24±íʾ)£¬ÒÔ±ãÏÞ¶¨ÄÚ²¿±íÃæ3aÉϵÄÄÚ²¿µ¼µçº¸ÅÌ25ºÍÍⲿ±íÃæ3bÉϵÄÍⲿÁ¬½ÓÔª¼þ4Ö®¼äµÄµçÁ¬½Ó¡£ÔÚ¸÷ÖÖµ¼µç²ã21Öз½±ãµØÌṩµ¼µç¼£Ïß26ÒÔ½«ÐźÅ·ÓÉ´©¹ý»ù°å3 ;ÀàËÆµØ£¬ÌṩÄÚ²¿¹ý¿×27ÒÔ½«ÔÚ»ù°å3Äڵĸ÷ÖÖµ¼µç²ã21Á¬½Ó¡£´ËÍ⣬ÔÚ»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ3aÖ®ÉϵĵÚÒ»µ¼µç²ã21ÉÏÌṩµÚÒ»±£»¤²ã28a(ËùνµÄ¡°º¸ÁÏÑÚÄ£¡±)ÒÔÔÚ³ýÁËÆÚÍû·ÃÎÊÏàͬµÄµÚÒ»µ¼µç²ã21µÄµØ·½(ÀýÈç¼üºÏº¸ÅÌ30(ËùνµÄ¼üºÏָ״ÎÆä¾ÓɽÓÏß¼üºÏ¼¼Êõ²¼ÖÃÔÚÄÚ²¿±íÃæ3a´¦ÒÔÓÃÓÚ¼üºÏÖÁ´Ë´¦Î´Ê¾³öµÄMEMSÆ÷¼þIµÄASICÂãÆ¬7))Ö®Í⸲¸ÇºÍ±£»¤ÔÚÆäÖÐÌṩµÄ¼£Ïߺͺ¸ÅÌ¡£ÀàËÆµØ£¬ÔÚ»ù°å3µÄÍⲿ±íÃæ3bÖ®ÉϵÄ×îºóÒ»¸öµ¼µç²ã21ÉÏÔÚ³ýÁËÆÚÍû·ÃÎʵÄÏàͬµÄ×îºóÒ»¸öµ¼µç²ã21µÄµØ·½(ÀýÈçÔÚÍⲿµçÁ¬½Ó4´¦)Ö®ÍâÌṩµÚ¶þº¸ÁÏÑÚÄ£²ã28b¡£Èç֮ǰÂÛÊöµÄÄÇÑù£¬ÔÚÿ¸öMEMSÆ÷¼þ11µÄÍâΧ´¦(¼´£¬ÔÚÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þÖ®¼äµÄ¡¢ÔÚ»ù°å3µÄ±ß½ç²¿·ÖÖÐ)Ðγɵķָô¹µ²Û14¿ÉÒÔ¾ßÓÐÔÚÓë»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ3a´¹Ö±µÄ·½ÏòÉϵĸ߶Èh£¬ÒÔ±ãÖÁÉÙÑÓÉì´©¹ýÕû¸öµÚÒ»µ¼µç²ã21£¬²¢ÇÒÖ±ÖÁµ½´ïÖмä²ã20 (ÑÓÉì¾¹ýÏàͬµÄÖмä²ã20µÄÒ»²¿·Ö)£»³öÓڽṹÎȶ¨ÐÔµÄÔÒò£¬·Ö¸ô¹µ²Û14δ±»Éè¼Æ³ÉÔÚÖмä²ã20Ö®ÏÂÑÓÉì¡£Òò´Ë¿ÉÒÔ¸ù¾ÝÄĸö·Ö¸ô¹µ²Û14¿ÉÒÔ¾ßÓд©¹ý»ù°å3µÄ²»Í¬ÑÓÉìÀ´¹¹Ë¼¸÷ÖÖÉè¼Æ¿ÉÄÜÐÔ£¬Ê¹µÃͨ¹ýÇиî²Ù×÷ÒÆ³ý»ò±£Áô²»Í¬ÊýÄ¿µÄ»ù°å²ã(ͼ5ÖеÄË«¼ýÍ·±íʾ·Ö¸ô¹µ²Û14ÔÚ»ù°å3Äڵĸ߶ÈhµÄ±ä»¯ÐÔµÄʾÀýÐÔ·¶Î§)¡£Í¼6aÖÁͼ6cͨ¹ýʾÀýÏÔʾÁ˸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄÒ»¸öʵʩÀýµÄ¹ØÓÚÁ½¸öÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þIµÄ¡¢»ù°å3µÄÒ»²¿·Ö(È»¶ø£¬ÏÔÈ»ÔÚÏàͬ»ù°å3ÖÐÌṩ¸ü¶àÊýÄ¿µÄÆ÷¼þ£¬²¢ÇÒÕâЩÆ÷¼þÊôÓÚ²âÊÔÌõ´ø10)¡£´Ë´¦»ù°å3°üÀ¨Öмä²ã20 ;µÚÒ»µ¼µç²ã£¬´Ë´¦ÒÔMl (ÈçÆäÔÚ±¾ÁìÓòÖÐͨ³£µÄÄÇÑù)±íʾ£¬ÆäÓë»ù°å3µÄÄÚ²¿±íÃæ3aÁÚ½Ó£»ÒÔ¼°µÚ¶þµ¼µç²ã£¬´Ë´¦ÒÔM2±íʾ£¬ÆäÓëÏàͬµÄ»ù°å3µÄÍⲿ±íÃæ3bÁÚ½Ó¡£ÔÚµÚÒ»µ¼µç²ãMlÖÐÌṩµ¼µç¼£Ïß26£¬ÀýÈçÒÔÏÞ¶¨¼üºÏº¸ÅÌ30¡¢ÒÔ¼°ÄÚ²¿µ¼µçº¸ÅÌ25ºÍµ¼µçͨ¿×24Ö®¼äµÄµçÁ¬½Ó¡£»¹ÔÚµÚ¶þµ¼µç²ãM2ÖÐÌṩµ¼µç¼£Ïß26£¬ÒÔÏÞ¶¨Í¨¿×24ÓëÔڳĵ×3µÄÍⲿ±íÃæ3b´¦µÄÍⲿµçÁ¬½ÓÖ®¼äµÄµçÁ¬½Ó£¬¸ÃÍⲿµçÁ¬½ÓÔڴ˵ÄÐÎʽΪº¸Çø²¢ÇÒͬÑùÓÉ4±íʾ¡£´ËÍ⣬ÒÔÒÑÖªµÄ·½Ê½ÔÚµÚÒ»µ¼µç²ãMlÖÐÏÞ¶¨¶Æ¸²¼£Ïß32ÒÔÌṩµÚÒ»µ¼µç¼£Ïß26 (ºÍ/»ò¼üºÏº¸ÅÌ30ºÍ/»òÄÚ²¿µ¼µçº¸ÅÌ25ºÍ/»òµ¼µçͨ¿×24)Óë¶Æ¸²Ìõ34Ö®¼äµÄµçÁ¬½Ó¡£¶Æ¸²Ìõ34²¼ÖÃÔÚ¸÷¸öMEMSÆ÷¼þIµÄÍâΧ´¦£¬²¢ÇÒÏÞ¶¨ÁÚ½ÓµÄÆ÷¼þ(ÔÚͼ6aµÄʵʩÀýÖУ¬¶Æ¸²Ìõ34ÏÞ¶¨Î§ÈÆÃ¿¸öMEMSÆ÷¼þIµÄ·½Ðλ·)Ö®¼äµÄ±ß½ç¡£ÒÔÒÑÖªµÄ·½Ê½ÔÚµÚÒ»µ¼µç²ãMlÖÐÏÞ¶¨¶Æ¸²Ìõ34£¬²¢ÇҶƸ²Ìõ34»¹¿ÉÒÔÔÚµÚ¶þµ¼µç²ãM2ÖÐÏÞ¶¨£¬²¢ÇÒÆäÔÚµç¶Æ¹ý³ÌÆÚ¼äÓɺÏÊʵĵçѹƫÖã¬ÒÔ±ã¾ÓÉ»¯Ñ§Àë×Ó»¯¹ý³ÌʹÓñ£»¤²ÄÁϵı¡²ãÀ´¶Æ¸²µ¼µç¼£Ïß26¡¢¼üºÏº¸ÅÌ30¡¢ÄÚ²¿µ¼µçº¸ÅÌ25ºÍ/»òµ¼µçͨ¿×24¡£¸ù¾Ý±¾ÊµÊ©ÀýµÄÒ»¸öÌØ¶¨·½Ã棬ËùÓеĶƸ²¼£Ïß32ÐγÉÓÚµÚÒ»µ¼µç²ãMlÖУ¬²¢ÇÒûÓжƸ²¼£ÏßÐγÉÓÚµÚ¶þµ¼µç²ãM2ÖУ¬Ê¹µÃÔÚÏàͬµÄµÚ¶þµ¼µç²ãM2ÖÐδÌṩȥÍù¶Æ¸²Ìõ34µÄµçÁ¬½Ó¡£ÓÉÓڶƸ²Ìõ34ΪËùÓÐMEMSÆ÷¼þI¹²Í¬µÄ£¬Òò´ËÆä´æÔÚ½«²»Í¬Æ÷¼þµÄµç·¼£Ïߺͺ¸Å̵ç¶Ì·¡£È»¶ø£¬ÏÞ¶¨·Ö¸ô¹µ²Û14µÄÒÆ³ý¹ý³Ì±»Éè¼ÆÎªÒÆ³ý¸÷¸öMEMSÆ÷¼þIÖ®¼äµÄ±ß½çÇøÓòÖеĵÚÒ»µ¼µç²ãMl (¶ÔÓ¦ÓڶƸ²Ìõ34)£¬Òò´ËÒÆ³ýÏàͬµÄ¶Æ¸²Ìõ34ºÍÁ¬½ÓÖÁ¶Æ¸²Ìõ34µÄ¶Æ¸²¼£Ïß32ÖÁÉÙÒ»²¿·Ö£»ÒÔ´Ë·½Ê½£¬ÔÚ°´Ìõ´øÐÎʽ²âÊÔ֮ǰÔÚMEMSÆ÷¼þIÖ®¼äÌṩµç¾øÔµ¡£ÔÚͼ6cÖÐʾÒâÐÔµØÏÔʾѡÔñÐÔÒÆ³ýµÚÒ»µ¼µç²ãMlµÄ²¿·ÖµÄ½á¹û£¬ÆäÖзָô¹µ²Û14ºÍ»ù°å3µÄÊ£Óಿ·Ö12±»ÏÔʾΪÔÚÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þIÖ®¼ä¡£ÏÔÈ»£¬µ±»ù°å3°üÀ¨½Ï¸ßÊýÄ¿²ãʱÊÊÓÃÀàËÆµÄ¿¼ÂÇ£¬ÔÚ¸ÃÇéÐÎÖУ¬Á¬½ÓÖÁ¶Æ¸²Ìõ34µÄ¶Æ¸²¼£Ïß32±»Éè¼ÆÎª½öÔÚ½«ÔÚ°´Ìõ´øÐÎʽ²âÊÔMEMSÆ÷¼þI֮ǰµÄÒÆ³ý²Ù×÷ÖÐÒÆ³ýµÄµ¼µç²ã21ÖС£Òò´Ë£¬Èç¹û(ÀýÈçÔÚ¾ßÓÐÎå²ãµÄ»ù°åµÄÇéÐÎÖÐ)ÔÚÇиî²Ù×÷ÖÐÒÆ³ýµÚÒ»µ¼µç²ã21ºÍµÚ¶þµ¼µç²ã21µÄÍâΧ²¿·Ö£¬ÔòÒªÇóËùÓеĶƸ²¼£Ïß32ÔÚÏàͬµÄµÚÒ»µ¼µç²ã21ºÍµÚ¶þµ¼µç²ã21Öв¼Ïߣ¬ÒÔ±ãÔÚÖ´ÐвâÊÔ֮ǰʵÏÖÔÚ¸÷¸öMEMSÆ÷¼þIÖ®¼äµÄµç¾øÔµ¡£±¾·¢Ã÷ÈËÒÑͨ¹ý²âÊԺͷÂÕæÖ¤Êµ£¬±¾½â¾ö·½°¸ÔÊÐíʵÏÖÔÚÌõ´ø²âÊÔÆÚ¼äµÄ¸Ä½øµÄÐÔÄÜ(ÆäÖйÊÕÏ´ÎÊý¼õÉÙ£¬²¢ÇÒλÓÚÆÚÍû¹æ·¶Ö®ÍâµÄÆ÷¼þµÄÊýÄ¿¼õÉÙ)£»¾ßÌå¶øÑÔ£¬¿ÉÒÔ±ÜÃâÔÚMEMSÆ÷¼þIµÄµ¥Æ¬»¯Ö®ºóµÄµÚ¶þ²âÊÔ¹ý³Ì¡£Í¼7ÏÔʾÁËÔÚÓëÆÚÍû¹æ·¶ÖµÆ«ÒƵķ½ÃæÓë²âÊÔÐÔÄÜÓйصÄÇúÏßͼ£»½«¸ù¾Ý±¾½â¾ö·½°¸µÄMEMSÆ÷¼þIµÄ·Ö²¼ÓëʹÓá°Çиîǰ·½·¨¡±²âÊÔµÄÆ÷¼þµÄ·Ö²¼(ÒÔÐéÏßʾ³ö)ºÍÔÚµÚ¶þ²âÊÔ¹ý³ÌÖ®ºóµÄ¾µ¥Æ¬»¯µÄÆ÷¼þµÄ·Ö²¼(ÒԵ㻮Ïßʾ³ö)Ïà±È½Ï¡£Í¼7»¹ÒÔ¿òÏÔʾÁËÆÚÍûµÄ¹æ·¶Íⲿ½çÏÞ£¬Ê¹µÃÏÔÈ»µÄÊÇ£¬±¾½â¾ö·½°¸¼´Ê¹ÔÚµÚ¶þ²âÊÔ¹ý³ÌδִÐÐʱҲÔÊÐíÂú×ã¹æ·¶£¬ÕâÓë֮ǰÒÑÖªµÄ·½·¨ÐγɶÔÕÕ¡£¸ù¾ÝÒÑÃèÊöºÍʾ³öµÄÄÚÈÝ£¬±¾½â¾ö·½°¸ÔÊÐíʵÏÖµÄÓÅÊÆÊÇÏÔÈ»µÄ¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬ÔÚ´ËÇ¿µ÷£¬ÔÚÌõ´ø²âÊÔÆÚ¼ä£¬»ù°å3µÄÊ£Óಿ·Ö12ÔÚMEMSÆ÷¼þIÉÏÊ©¼Ó½ÏÉÙµÄÓ¦Á¦£¬Òò´ËÌṩÔÚÆ÷¼þµÄУ׼ºÍ×îÖÕÐÔÄÜÖ®¼ä×îÐ¡Æ«ÒÆ£»ÉõÖÁ¿ÉÒÔ±ÜÃâµÚ¶þ²âÊÔ¹ý³Ì£¬´Ó¶øÏÔÖø¸Ä½øMEMSÆ÷¼þµÄ²âÊԵijɱ¾¡£ÔÚ²âÊÔÆÚ¼ä²»ÐèÒª³ÐÔØ£¬²¢ÇÒÌõ´ø10Öеĸ÷ÖÖÆ÷¼þµÄ²¼ÖÃÈݲî½öÓë»ù°åÖÆÔìÈݲî(¸ÃÈݲîͨ³£·Ç³£µÍ)Óйء£¼´Ê¹¿ÉÄÜÒªÇóͨ³£µÄ»ù°åÉè¼ÆÔڶƸ²¼£Ïß32µÄ²¼Ö÷½Ãæ(Æä±ØÐ뼯ÖÐÓÚ»ù°å3µÄÔÚ²âÊÔ֮ǰ±»²¿·ÖµØÒƳýµÄ²ãÖÐ)µÄÐ޸ģ¬Õâ²¢²»Ê¹µÃÔö¼ÓÉè¼ÆºÍÖÆÔ츴ÔÓÐÔ¡£×îÖÕ£¬ÏÔÈ»£¬¿ÉÒÔ¶ÔÒÑÔÚ´ËÃèÊöºÍʾ³öµÄÄÚÈÝ×ö³öÐ޸ĺͱ仯£¬¶ø²»ÍÑÀëÔÚËù¸½È¨ÀûÒªÇóÊéÖÐÏÞ¶¨µÄ±¾·¢Ã÷µÄ·¶Î§¡£¾ßÌå¶øÑÔ£¬»ù°å3µÄ½á¹¹(ÀýÈçÔÚ²ãµÄÊýÄ¿ºÍ¹¹³É²ÄÁÏ·½Ãæ)¿ÉÒÔÓë֮ǰÏÔʾºÍÂÛÊöµÄ¾ßÌåʵʩÀý²»Í¬£»´ËÍ⣬¿ÉÒÔÏàÓ¦µØ¸Ä±ä·Ö¸ô¹µ²Û14ÔÚ»ù°åÖеÄÉî¶ÈºÍÑÓÉì(ÒÔ¼°ÏàͬµÄ»ù°åµÄ±íÃæ²¿·ÖµÄÒÆ³ý³Ì¶È)¡£´ËÍ⣬µ±°´Ìõ´øÐÎʽ²âÊÔÈκÎÖÖÀàµÄMEMSÆ÷¼þʱ£¬¿ÉÒÔÓ¦ÓÃËùÂÛÊöµÄ²âÊÔ½â¾ö·½°¸£¬ÉõÖÁÔÚMEMS´«¸ÐÆ÷µÄÇéÐÎÖÐÕâÓÈÆäÓÐÀû(²âÊÔ²Ù×÷ÆÚ¼äÊ£ÓàÓ¦Á¦¿ÉÒÔ¼«´óµØÓ°ÏìMEMS´«¸ÐÆ÷)¡£
ȨÀûÒªÇó
1.Ò»ÖÖÓÃÓÚ²âÊÔMEMSÆ÷¼þ¢ÅµÄÌõ´ø(10)µÄ·½·¨£¬ËùÊöMEMSÆ÷¼þ¢ÅÖÁÉÙ°üÀ¨ñîºÏÖÁ¹²Í¬µÄ»ù°å(3)µÄÄÚ²¿±íÃæ(3a)²¢ÇÒÓɱ£»¤²ÄÁÏ(5)¸²¸ÇµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵÄÏàÓ¦ÂãÆ¬(6 £»7);ËùÊö·½·¨°üÀ¨ ¼ì²âÓÉËùÊöMEMSÆ÷¼þ(I)ÏìÓ¦ÓÚÖÁÉÙÒ»¸ö²âÊÔ¼¤Àø¶øÉú³ÉµÄÊä³öÖµ£»ÒÔ¼° ÔÚ¼ì²â²½Öè֮ǰ£¬ÖÁÉÙ²¿·ÖµØ·Ö¸ôËùÊöÌõ´ø(10)ÖеÄÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(1)£¬ ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬·Ö¸ô²½Öè°üÀ¨ÔÚËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ¢ÅÖ®¼äÏÞ¶¨·Ö¸ô¹µ²Û(14)£¬ËùÊö·Ö¸ô¹µ²Û(14)ÑÓÉì´©¹ýËùÊö±£»¤²ÄÁÏ(5)µÄÕû¸öºñ¶È²¢ÇÒ´©¹ýËùÊö»ù°å(3)µÄ¡¢´ÓÆäËùÊöÄÚ²¿±íÃæ(3a)¿ªÊ¼µÄ±íÃæ²¿·Ö¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊö·Ö¸ô¹µ²Û(14)ÔÚËùÊö»ù°å(3)ÖеÄÑÓÉì(h)²¢²»¸ßÓÚËùÊö»ù°å(3)µÄºñ¶ÈµÄÒ»°ë¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1»òÕß2ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊö·Ö¸ô²½Öè°üÀ¨ÔÚËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äÁôÏÂËùÊö»ù°å(3)µÄ¡¢ÏÞ¶¨ÆäÍⲿ±íÃæ(3b)µÄÊ£Óಿ·Ö(12);ËùÊöMEMSÆ÷¼þ(I)ÔÚËùÊö¼ì²â²½ÖèÆÚ¼äÓÉËùÊö»ù°å¢ÇµÄËùÊöÊ£Óಿ·Ö(12)±£³ÖÔÚÒ»Æð¡£
4.¸ù¾ÝǰÊöȨÀûÒªÇóÖÐÈÎÒ»ÏîËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊö·Ö¸ô²½Öè°üÀ¨ÎïÀíµØºÍµçѧµØ·Ö¸ôËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)¡£
5.¸ù¾ÝǰÊöȨÀûÒªÇóÖÐÈÎÒ»ÏîËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊö»ù°å(3)µÄËùÊö±íÃæ²¿·Ö³ÐÔØËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄµçÁ¬½Ó(32 £»34);²¢ÇÒËùÊö·Ö¸ô²½Öè°üÀ¨¾ÓÉÒÆ³ýËùÊö»ù°å(3)µÄËùÊö±íÃæ²¿·Öµç¾øÔµËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)¡£
6.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó5ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄµçÁ¬½Ó(32£»34)½öÌṩÔÚËùÊö»ù°å(3)µÄËùÊö±íÃæ²¿·ÖÄÚ¡£
7.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó5»ò6ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄËùÊöµçÁ¬½Ó°üÀ¨Á¬½ÓÖÁÉè¼ÆÓÃÓڶƸ²²Ù×÷µÄ¹²Í¬¶Æ¸²Ìõ(34)µÄ¶Æ¸²¼£Ïß(32)£¬ËùÊö¶Æ¸²Ìõ(34)ÏÞ¶¨ËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄ±ß½ç£»²¢ÇÒÆäÖÐËùÊö·Ö¸ô²½Öè°üÀ¨ÒƳýËùÊö¶Æ¸²Ìõ(34)ºÍÁ¬½ÓÖÁËùÊö¶Æ¸²Ìõ(34)µÄËùÊö¶Æ¸²¼£Ïß(32)µÄÖÁÉÙ²¿·Ö¡£
8.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó7ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊö»ù°å(3)¾ßÓжà²ã½á¹¹£¬ËùÊö¶à²ã½á¹¹°üÀ¨Óɵç½éÖʲã(22)·Ö¸ôµÄ¶à¸ö¶ÑµþµÄµ¼µç²ã(21);²¢ÇÒÆäÖÐËùÊö»ù°å(3)µÄËùÊö±íÃæ²¿·Ö°üÀ¨ÔÚËùÊö¶ÑµþµÄµ¼µç²ã(21)ÖеĶà¸ö±íÃæµ¼µç²ã(21)£¬²¢ÇÒËùÊö¶Æ¸²¼£Ïß(32)ºÍ¶Æ¸²Ìõ(34)ÐγÉÓÚËùÊö±íÃæµ¼µç²ã(26)ÖС£
9.¸ù¾ÝǰÊöȨÀûÒªÇóÖÐÈÎÒ»ÏîËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÖÐËùÊöMEMSÆ÷¼þ(I)ÊÇ´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þ£¬Ã¿¸ö´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þ°üÀ¨¼¯³ÉÓмì²â½á¹¹µÄMEMSÂãÆ¬(6)ºÍ¼¯³ÉÓÐñîºÏÖÁËùÊö¼ì²â½á¹¹µÄ½Ó¿Úµç×ÓÆ÷¼þµÄASICÂãÆ¬(7)¡£
10.Ò»ÖÖÉè¼ÆÓÃÓÚ¾Àú²âÊÔ²Ù×÷µÄMEMSÆ÷¼þ(I)µÄÌõ´ø(10)£¬ÆäÖÐËùÊöMEMSÆ÷¼þ(I)ÖÁÉÙ°üÀ¨ñîºÏÖÁ¹²Í¬µÄ»ù°å(3)µÄÄÚ²¿±íÃæ(3a)²¢ÇÒÓɱ£»¤²ÄÁÏ(5)¸²¸ÇµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵÄÏàÓ¦ÂãÆ¬(6 ;7)£¬²¢ÇÒÆäÖÐÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)ÔÚËùÊöÌõ´ø(10)ÖÐÖÁÉÙ²¿·ÖµØ·Ö¸ô£» ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬Æä°üÀ¨ÔÚËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄ·Ö¸ô¹µ²Û(14)£¬ËùÊö·Ö¸ô¹µ²Û(14)ÑÓÉì´©¹ýËùÊö±£»¤²ÄÁÏ(5)µÄÕû¸öºñ¶È²¢ÇÒ´©¹ýËùÊö»ù°å(3)µÄ¡¢´ÓÆäËùÊöÄÚ²¿±íÃæ(3a)¿ªÊ¼µÄ±íÃæ²¿·Ö¡£
11.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó10ËùÊöµÄÌõ´ø£¬ÆäÖÐËùÊö·Ö¸ô¹µ²Û(14)ÔÚËùÊö»ù°å(3)Öеĸ߶È(h)²¢²»¸ßÓÚËùÊö»ù°å(3)µÄºñ¶ÈµÄÒ»°ë¡£
12.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó10»ò11ËùÊöµÄÌõ´ø£¬°üÀ¨ÔÚËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄ¡¢ËùÊö»ù°å¢ÇµÄ¡¢ÏÞ¶¨ÆäÍⲿ±íÃæ(3b)µÄÊ£Óಿ·Ö(12);ÆäÖÐËùÊöMEMSÆ÷¼þ¢Å±»Éè¼Æ³ÉÔÚËùÊö²âÊÔ²Ù×÷ÆÚ¼äÓÉËùÊö»ù°å(3)µÄËùÊöÊ£Óಿ·Ö(12)±£³ÖÔÚÒ»Æð¡£
13.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó12ËùÊöµÄÌõ´ø£¬ÆäÖÐËùÊö»ù°åµÄËùÊöÊ£Óಿ·Ö(12)²¢²»³ÐÔØËùÊöÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(I)Ö®¼äµÄÈκεçÁ¬½Ó¡£
14.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó10ÖÁ13ÖÐÈÎÒ»ÏîËùÊöµÄÌõ´ø£¬ÆäÖÐËùÊöMEMSÆ÷¼þ(I)ÊÇ´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þ£¬Ã¿¸ö´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þ°üÀ¨¼¯³ÉÓмì²â½á¹¹µÄMEMSÂãÆ¬(6)ºÍ¼¯³ÉÓÐñîºÏÖÁËùÊö¼ì²â½á¹¹µÄ½Ó¿Úµç×ÓÆ÷¼þµÄASICÂãÆ¬(7)¡£
15.Ò»ÖÖ¸ù¾ÝǰÊöȨÀûÒªÇóÖÐÈÎÒ»ÏîËùÊöµÄÌõ´ø(10)µÄMEMSÆ÷¼þ(I)¡£
È«ÎÄÕªÒª
±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖMEMSÆ÷¼þ¡¢ÆäÌõ´ø²âÊÔ·½·¨¡¢¼°Æä²âÊÔÌõ´ø¡£¸ü¾ßÌ嵨£¬¹«¿ªÁËÒ»ÖÖÓÃÓÚ²âÊÔMEMSÆ÷¼þ(1)µÄÌõ´ø(10)µÄ·½·¨£¬¸ÃMEMSÆ÷¼þ(1)ÖÁÉÙ°üÀ¨ñîºÏÖÁ¹²Í¬µÄ»ù°å(3)µÄÄÚ²¿±íÃæ(3a)²¢ÇÒÓɱ£»¤²ÄÁÏ(5)¸²¸ÇµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵÄÏàÓ¦ÂãÆ¬(6£»7)£»¸Ã·½·¨¹¹Ë¼Á˼ì²âÓÉMEMSÆ÷¼þ(1)ÏìÓ¦ÓÚÖÁÉÙÒ»¸ö²âÊÔ¼¤Àø¶øÉú³ÉµÄÊä³öÖµ£»ÒÔ¼°ÔÚ¼ì²â²½Öè֮ǰ£¬ÖÁÉÙ²¿·ÖµØ·Ö¸ôÌõ´ø(10)ÖеÄÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(1)¡£¸Ã·Ö¸ô²½Öè°üÀ¨ÔÚÁÚ½ÓµÄMEMSÆ÷¼þ(1)Ö®¼äÏÞ¶¨·Ö¸ô¹µ²Û(14)£¬¸Ã·Ö¸ô¹µ²Û(14)ÑÓÉì´©¹ý±£»¤²ÄÁÏ(5)µÄÕû¸öºñ¶È²¢ÇÒ´©¹ý´Ó»ù°å(3)µÄÄÚ²¿±íÃæ(3a)¿ªÊ¼µÄ¡¢»ù°å(3)µÄ±íÃæ²¿·Ö¡£
Îĵµ±àºÅG01R31/00GK103033699SQ20121038508
¹«¿ªÈÕ2013Äê4ÔÂ10ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2012Äê10ÔÂ8ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2011Äê9ÔÂ30ÈÕ
·¢Ã÷ÕßM¡¤°¢×ôÅÁµÏ, C¡¤¿¨ÆæÑÅ, S¡¤²¨×È ÉêÇëÈË:Òâ·¨°ëµ¼Ìå¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾, Òâ·¨°ëµ¼Ìå(Âí¶úËû)ÓÐÏÞ¹«Ë¾