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专利名称：检查装置以及检查方法
技术领域：
本发明涉及检查装置以及检查方法，尤其涉及对电子部件向基板的安装状态进行 检查的检查装置以及检查方法。
背景技术：
一直以来，进行如下作业，S卩，在具有由IT0(Indium Tin Oxide)等构成的电极 的液晶显示器以及等离子显示器等平板显示器(以下称为面板)上，安装具有电极的 TAB (Tape Automated Bonding)基板、半导体元件以及挠性基板等电子部件(以下称为部 件)。在该安装中，在使各向异性导电粘结剂薄片隔在部件与面板之间的状态下，进行 部件向面板的临时压接以及正式压接，并接合面板的电极和部件的电极。在临时压接中，通 过热压接加压头来较弱地按压部件而进行部件的临时压接，在之后的正式压接中，通过热 压接加压头以比低压接高的温度和高的压力来按压被临时压接的部件，而进行部件的正式 压接。并且，通过检查装置检测部件从规定的安装位置的相对的偏移量(错位量)。所检测 的错位量被反馈到下一个面板的部件安装中，进行修正了错位的安装。作为检测部件的错位量的检查装置，例如具有专利文件1所记载的装置。在该检 查装置中，偏移量的检查如下进行将设置在面板(透明基板)上的对准标识与设置在部件 上的对准标识之间的偏移量检测为安装在面板上部件的错位量。专利文件1 日本特开2006-40978号公报然而，在专利文件1记载的检查装置中，部件的对准标识的位置如下检测从面板 的背面(在面板上未安装部件一侧的面板的面)侧对该对准标识照射近红外光，并在面板 的背面侧通过摄像装置对该对准标识进行摄像，根据其摄像结果来检测。但是，近红外光不 透过或者难以透过金属等导电性粒子，因此即使从面板的背面侧照射近红外光，近红外光 也不会到达设置在部件上的对准标识，而不能够对部件的对准标识进行摄像。随着部件的 安装间距的小间距化发展，导电性粒子的微小化、高密度化发展，通过导电性粒子容易遮挡 光，因此光更加难以到达部件的对准标识。结果，难以识别部件的对准标识，因此随着部件 的安装间距的小间距化发展，该问题变得更加显著。因此，在该专利文件1的检查装置中， 经由包含ACF等导电性粒子的结合部件而检测出安装在面板上的部件的错位量，是极其困 难的。

发明内容
因此，本发明是鉴于上述问题而进行的，其目的在于提供能够经由包含导电性粒 子的粘接部件而能够高精度地检测出安装在面板上的部件的错位量的检查装置以及检查 方法。为了实现上述目的，本发明的检查装置为，通过含有导电性粒子的粘接部件而检 测安装在面板的表面上的部件相对于规定安装位置的偏移量，其特征在于，具备照明构件，对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面相对的上述 部件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像机，配置在面板的与上述照明构件相反一 侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算构件，根据作 为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部件识别标识之间的位置 关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；上述照明构件用透过面板以及部件、且不透过 或者难以透过上述导电性粒子的波长的光进行照射，上述照明构件的光轴相对于上述面板 或者部件的表面法线倾斜。由此，使用光轴相对于面板或者部件的表面法线倾斜的照明构件对面板识别标识 以及部件识别标识进行摄像。因此，来自照明构件的光由于导电性粒子而容易散射，散射光 进入摄像机而形成面板识别标识以及部件识别标识的图像，因此能够抑制由于导电性粒子 的影响而不能够识别面板识别标识以及部件识别标识的情况。结果，能够降低导电性粒子 的影响而计算出部件的错位量，因此能够经由包含导电性粒子的粘接部件而能够高精度地 检测出安装在面板上的部件的错位量。在此，上述照明构件的光轴也可以与上述面板识别标识或部件识别标识交叉。并 且，上述照明构件的光轴优选为，相对于上述面板或者部件的表面成为大于等于45°、小于 60°的角度。并且，上述照明构件配置在面板安装有部件一侧的相反侧的面板的背面侧， 上述照明构件的光轴优选与上述部件识别标识交叉，并与上述部件的表面成为大于等于 45°、小于60°的角度。由此，能够将来自照明构件的光直接照射到面板识别标识以及部件识别标识上， 因此不需要使用光量较大的照明构件，能够实现低消费电力化。并且，上述照明构件的光轴也可以不与上述面板识别标识以及部件识别标识交 叉。此时，上述照明构件的光轴优选为，相对于上述面板或者部件的表面成为大于等于 50°、小于85°的角度。并且，上述照明构件配置在面板安装有部件一侧的相反侧的面板 的背面侧，上述照明构件的光轴优选与上述部件识别标识的表面成为大于等于50°、小于 85°的角度。由此，能够得到能够进行面板识别标识以及部件识别标识的清楚的识别的图像的 角度范围扩大为大于等于50°、小于85°，因此能够提高设计自由度。并且，上述照明构件优选由从不同方向对上述面板识别标识以及部件识别标识照 射光的多个照明构成。此时，上述多个照明优选分别被配置为，该照明的光轴与构成上述面 板识别标识或者部件识别标识的轮廓的直线部正交。由此，能够得到面板识别标识以及部件识别标识的边缘被强调了的图像。并且，本发明为一种检查方法，是通过含有导电性粒子的粘接部件而检测安装在 面板的表面上的部件相对于规定安装位置的偏移量的方法，其特征在于，具备照明步骤， 对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面相对的上述部 件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像步骤，配置在面板的与上述照明构件相反一 侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算步骤，根据作 为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部件识别标识之间的位置 关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；在上述照明步骤中，以透过面板以及部件、且不 透过或者难以透过上述导电性粒子的波长的光进行照射，上述照明的光轴相对于上述面板
5或者部件的表面法线倾斜。由此，能够经由包含导电性粒子的粘接部件而能够高精度地检测出安装在面板上 的部件的错位量发明的效果根据本发明，能够发挥的效果为，能够实现能够经由包含导电性粒子的粘接部件 而能够高精度地检测出安装在面板上的部件的错位量的检查装置以及检查方法。


图1是表示本发明实施方式的部件安装系统的整体构成的概念图。图2是表示在该部件安装系统的面板安装机中部件被安装到面板上的情况的图。图3的(a)是表示该部件安装系统的检查机的概略构成的立体图。图3的(b)是 表示通过该部件安装系统的检查机来检查完成安装面板的情况的图。图4是表示在检查机中对面板识别标识以及部件识别标识照射红外光的情况的 图。图5是表示该部件安装系统的概略构成的功能框图。图6是表示该部件安装系统的反馈动作的顺序图。图7的(a)是表示部件识别标识的一个例子的图。图7的(b)是表示面板识别标 识的一个例子的图。图7的(c)是表示面板识别标识的一个例子的图。图7的(d)是表示 部件识别标识以及面板识别标识的一个例子的图。图7的(e)是表示部件识别标识以及面 板识别标识的一个例子的图。图8的(a)是表示部件识别标识的一个例子的图。图8的(b)是表示面板识别标 识的一个例子的图。图8的(c)是表示部件识别标识以及面板识别标识的一个例子的图。图9的(a)是表示作为IR摄像机的摄像结果的图像的一个例子的图。图9的(b) 是表示作为IR摄像机的摄像结果的图像的一个例子的图。图10是表示照射角度与图像的评价结果的关系的图。图IlA是表示照射角度、图像的评价结果以及标识图像的关系的图。图IlB的(a)、(b)是表示标识图像的一个例子的图。图IlC是表示标识图像的一个例子的图。图12是表示在检查机中对部件识别标识照射红外光的情况的图。图13是表示在检查机中对部件识别标识照射红外光的情况的图。图14是表示在检查机中对面板识别标识以及部件识别标识照射红外光的情况的 图。图15是表示照射角度与图像的评价结果的关系的图。图16是表示照射角度、图像的评价结果以及标识图像的关系的图。图17是表示通过该部件安装系统的检查机来检查完成安装面板的情况的图。图18是表示在检查机中对面板识别标识以及部件识别标识照射红外光的情况的 图。图19是表示作为IR摄像机的摄像结果的图像的一个例子的图。图20是表示作为IR摄像机的摄像结果的图像的一个例子的图。
图21是表示在检查机中对面板识别标识以及部件识别标识照射红外光的情况的 图。图22是表示作为IR摄像机的摄像结果的图像的一个例子的图。图23是表示在检查机中对部件识别标识照射红外光的情况的图。符号的说明100部件安装系统101、106 装载机102清洗机103a、103b面板安装机104部件供给单元105检查机108生产线控制器109通信电缆113ACF粘贴装置114临时压接装置115、116正式压接装置200 面板201 部件202、204、206热压接加压头203,205,207,301 背撑台300完成安装面板302面板移载台部303面板下搬送移载轴部305红外光照明307IR 摄像机410、430、440 控制部411、431、441 储存部411a 主表412、432、442 输入部413、433、443 显示部414、434、444 通信 I/F 部415运算部431a反馈数据435、445 机构部436数据更新部441a检查位置数据441b特征点数据446偏移量计算部448取得部
7
500ACF510导电性粒子520部件识别标识530面板识别标识
具体实施例方式以下，参照附图来说明本发明实施方式的部件安装系统。图1是表示本实施方式的部件安装系统100的整体构成的概念图。该部件安装系统100由生产线、生产线控制器108和通信电缆109构成，其中生产 线由装载机101、清洗机102、2个面板安装机103a以及103b、部件供给单元104、检查机105 以及装载机106构成。装载机101将面板供给到生产线上。清洗机102对由装载机101供给的面板的粘 贴有ACF的部分进行清洗。2个面板安装机103a以及103b分别对面板不同的边安装部件。 部件供给单元104向面板安装机103a供给部件。检查机105对经由ACF安装在面板表面 上的部件相对于规定安装位置的相对的偏移量(错位量)进行检测。装载机106将被安装 了部件的面板(以下称为完成安装模板)排出。生产线控制器108对生产线整体的工作状 况和各种数据的通信等进行管理、控制。通信电缆109将生产线控制器108和各个装置进 行连接。面板安装机103a由ACF粘贴装置113、临时压接装置114以及正式压接装置115 构成。ACF粘贴装置113将ACF粘贴在面板表面的长边以及短边上。临时压接装置114通 过热压接加压头来载放部件并较弱地按压而临时压接到面板表面上。正式压接装置115通 过热压接加压头以比临时压接高的温度和压力，对被临时压接在面板表面的长边上的部件 进行按压而正式压接到面板表面上。面板安装机103b由正式压接装置116构成。正式压接装置116通过热压接加压 头以比临时压接高的温度和压力，对被临时压接在面板表面的短边上的部件进行按压而正 式压接到面板表面上。图2是表示在面板安装机103a以及103b中部件201被安装到面板200上的情况 的图。首先，在通过ACF粘贴装置113在面板200的表面侧缘部上粘贴了 ACF之后，使面 板200移动到临时压接装置114。接着，使保持部件201的热压接加压头202下降(图2的(a))，将部件201临时压 接到载放在背撑台203上的面板200的表面的粘贴有ACF的部分上(图2的(b))。接着，在使面板200移动到正式压接装置115之后，使热压接加压头204下降(图 2的(C))，对在载放在背撑台205上的面板200的表面的长边所临时压接的部件201进行 正式压接(图2的(d))。最后，在使面板200移动到正式压接装置116之后，使热压接加压头206下降(图 2的(e))，对在载放在背撑台205上的面板200的表面的短边所临时压接的部件201进行 正式压接(图2的(f))。图3的(a)是表示检查机105的概略构成的立体图，图3的(b)是表示通过检查
8机105来检查完成安装面板300的情况的图。检查机105具备背撑台301、面板移载台部302、面板下搬送移载轴部303、红外光 照明305以及红外线(IR)摄像机307。在背撑台301上载放有完成安装面板300。面板移载台部302将完成安装面板300 移载到背撑台301上。面板下搬送移载轴部303将完成安装面板300移送到面板移载台部 302。红外光照明305设置在面板200的背面(与在面板200上安装有部件201的表面 相对的背面侧的面板200的面)侧，对与在面板200上安装有部件201的面板200表面相 对的背面、即完成安装面板300的背面照射红外光。由于面板200相对于红外光透明，因此 由红外光照明305照射的红外光透过面板200，并照射到在面板200的表面(在面板200上 安装有部件201的面板200的面)上形成的面板识别标识、以及在与面板200的表面相对 的部件201的表面(与面板200的表面平行且与面板200接合的部件201的面)上形成的 部件识别标识。此时，如图4所示，红外光照明305的光轴与部件识别标识520的表面交叉。并且， 红外光照明305的光轴相对于部件识别标识520的表面以及完成安装面板300的表面的法 线(部件201的表面的法线)倾斜，并与完成安装面板300的表面成为大于等于45°、小于 60°的角度。在通过这种光轴倾斜的红外光照明305对面板识别标识530以及部件识别标 识520进行光照射的情况下，ACF500中的红外光的光路长度变长而容易照射到导电性粒子 (ACF粒子)510。由此，由于导电性粒子510为球形，因此在ACF500中来自红外光照明305 的红外光由于导电性粒子510而容易散射。因此，在红外光照明305的光轴与完成安装面 板300的表面的法线平行的情况下，由于IR的直线传播性，来自红外光照明305的红外光 直接进入IR摄像机307而形成部件识别标识520的图像。此时，导电性粒子510与部件识 别标识520重叠的部分，红外线光成为不透过或者难以透过导电性粒子510的波长，因此形 成由于导电性粒子510而部件识别标识520的一部分欠缺的图像，但是在红外光照明305 的光轴倾斜的情况下，红外光的由于导电性粒子510的散射光进入IR摄像机307而形成部 件识别标识520的图像。结果，与红外光不透过或者难以透过导电性粒子510无关，ACF500 中存在导电性粒子510的粒子部分在图像中也较明亮地映出，粒子部分与不存在导电性粒 子510的粘合剂部分(热固化性树脂部分)的图像中的亮度差变小，因此不会形成由于导 电性粒子510而部件识别标识520的一部分欠缺的图像。在此，IR摄像机307相对于完成安装面板300配置在红外光照明305的相反侧、即 部件201的背面(部件201与面板200结合的面的相反侧的部件201的面)侧。IR摄像机 307对红外光所照射的面板识别标识530以及部件识别标识520进行摄像。IR摄像机307 的光轴与部件识别标识520的表面以及完成安装面板300的表面的法线(部件201的表面 的法线)平行。此时，各个材质主要为，部件由聚酰亚胺或Si形成，面板200由玻璃形成，面板识 别标识530以及部件识别标识520由Al形成，导电性粒子510的表面由Ni形成。图5是表示该部件安装系统100的概略构成的功能框图。生产线控制器108具备控制部410、储存部411、输入部412、显示部413、通信I/F 部414以及运算部415。
控制部410根据来自操作者的指示等，执行储存部411的生产线控制数据，并根据 其执行结果来控制各部分。储存部411是硬盘或存储器等，保持生产线控制数据以及主表41 Ia等。主表41 Ia 由表示被赋予对应的一组安装位置以及修正量(反馈量)的信息构成。输入部412是键盘或鼠标等，显示部413是CRT (Cathode-Ray Tube)或者 IXD(Liquid Crystal Display)等。它们用于该生产线控制器108与操作者进行对话等。通信I/F部414为LAN (Local Area Network)适配器等，用于该生产线控制器108 与面板安装机103a以及检查机105之间的通信等。运算部415基于由检查机105计算的完成安装面板300的安装在面板200上的部 件201的偏移量来计算修正量，并对储存部411的主表411a进行更新。面板安装机103a具备控制部430、储存部431、输入部432、显示部433、通信I/F 部434、机构部435以及数据更新部436。控制部430根据来自操作者的指示等，执行储存部431的NC数据，并根据其执行 结果来控制各部分。储存部431是硬盘或存储器等，保持NC数据以及反馈数据43Ia等。反馈数据431a 由表示被赋予对应的一组安装位置以及修正量的信息构成。输入部432是键盘或鼠标等，显示部433是CRT或者IXD等。它们用于面板安装 机103a与操作者进行对话等。通信I/F部434为LAN适配器等，用于面板安装机103a与生产线控制器108之间
的通信等。机构部435是包括面板安装机103a的热压接加压头202、204以及206、搬送部、 臂、XY台、部件供给部以及对它们进行驱动的马达和马达控制器等的机构部件的集合。数据更新部436基于从生产线控制器108发送的主表411a来更新储存部431的 反馈数据431a。检查机105具备控制部440、储存部441、输入部442、显示部443、通信I/F部444、 机构部445、偏移量计算部446以及取得部448。控制部440根据来自操作者的指示等，执行储存部441的NC数据，并根据其执行 结果来控制各部分。储存部441是硬盘或存储器等，保持NC数据、检查位置数据441a以及特征点数据 441b等。检查位置数据441a是对成为在检查机105中进行检查的对象的全部位置进行表 示的信息的集合。特征点数据441b是与面板识别标识530以及部件识别标识520的特征 点有关的信息。输入部442是键盘或鼠标等，显示部443是CRT或者IXD等。它们用于检查机105 与操作者进行对话等。通信I/F部444为LAN适配器等，用于检查机105与生产线控制器108之间的通信等。机构部445是包括检查机105的面板移载台部302、面板下搬送移载轴部303、红 外光照明305、IR摄像机307以及对它们进行驱动的马达和马达控制器等的机构部件的集
I=I O
偏移量计算部446是本发明的计算构件的一例，根据作为IR摄像机307的摄像结 果的图像，计算面板识别标识530以及部件识别标识520从将部件201安装到了面板200上 时的规定安装位置关系的偏移量。具体地说，在作为IR摄像机307的摄像结果的图像中， 计算从以面板识别标识530的特征点位置为基准的规定位置、部件识别标识520的规定特 征点位置的偏移量。取得部448为，在作为IR摄像机307的摄像结果的图像中，取得面板识别标识530 的规定特征点以及部件识别标识520的规定特征点的位置。下面，详细说明部件安装系统100的反馈动作(将部件201的位置偏移量反馈到 部件安装中的流程)。图6是表示部件安装系统100的反馈动作的顺序图。首先，检查机105的控制部440，通过机构部445对完成安装面板300的一组面板 识别标识530以及部件识别标识520进行摄像(步骤Sll)。具体地说，对于在检查位置数 据441a所示的1个位置上形成的面板识别标识530以及部件识别标识520，通过红外光照 明305从完成安装面板300的背面(与在面板200上安装有部件201的表面相对的背面侧 的面)侧照射红外光，并在完成安装面板300的表面(在面板200上安装有部件201 —侧 的面)侧，通过IR摄像机307对该面板识别标识530以及部件识别标识520进行摄像。接着，检查机105的控制部440，使取得部448取得面板识别标识530以及部件识 别标识520的特征点的位置(步骤S12)。例如，如图7的(a)所示那样，部件识别标识520形成在部件201的表面(与安装 有部件201的面板200的面相对的部件201的面)上，并如图7的(b)或(c)所示那样，面 板识别标识530形成在面板200的表面(安装有部件201的面板200的面)上，当部件201 在规定的安装位置上被安装到面板200上时，部件识别标识520以及面板识别标识530成 为图7的(d)或(e)所示的位置关系。此时，当将构成部件识别标识520以及面板识别标 识530各自的轮廓的直线相交的边缘(角)Al以及A2作为特征点、并在特征点数据441b 中显示时，取得边缘Al以及A2的位置。并且，如图8的(a)所示那样，部件识别标识520形成在部件201的表面(与安装 有部件201的面板200的面相对的部件201的面)上，并如图8的(b)所示那样，面板识别 标识530形成在面板200的表面(安装有部件201的面板200的面)上，当部件201在规 定的安装位置上被安装到面板200上时，部件识别标识520以及面板识别标识530成为图8 的(c)所示的位置关系。此时，当将构成部件识别标识520以及面板识别标识530的圆的 重心Bl以及B2作为特征点、并在特征点数据441b中显示时，取得圆的重心B 1以及B2的 位置。接着，检查机105的控制部440，通过偏移量计算部446计算从以面板识别标识 530的特征点位置为基准的规定位置、部件识别标识520的规定特征点位置的偏移量(步骤 S13)。具体地说，计算部件识别标识520的规定特征点位置从以面板识别标识530的特征 点位置为基准的规定位置的偏移量，并计算所计算出的部件识别标识520的规定特征点位 置从以面板识别标识530的特征点位置为基准的规定位置的偏移量。接着，检查机105的控制部440，通过通信I/F部444，将所计算出的部件201的错 位量与检查位置数据441a所示的安装位置赋予对应，并将其发送到生产线控制器108 (步 骤 S14)。
接着，生产线控制器108的控制部410，通过运算部415根据经由通信I/F部414 接收的错位量，更新储存部411的主表411a (步骤S15)。接着，生产线控制器108的控制部410，通过通信I/F部414将更新了的主表411a 发送到面板安装机103a (步骤S16)。接着，面板安装机103a的控制部430，根据经由通信I/F部434接收的主表411a， 更新储存部431的反馈数据431a (步骤S17)。最后，面板安装机103a的控制部430，执行NC数据，通过机构部435将部件201安 装到面板200上(步骤S18)。在安装时参考更新了的反馈数据431a而修正部件201的安 装位置，并在修正了的安装位置上竟有ACF500安装部件201。根据以上那样的本实施方式的检查机105，根据所得到的面板识别标识530以及 部件识别标识520的图像，检查机105计算部件201的错位量。因此，能够高精度地检测经 由ACF500安装在面板200上的部件201的错位量。并且，根据本实施方式的检查机105，红外线照明305的光轴相对于完成安装面板 300的表面的法线倾斜，红外线照明305的光轴与完成安装面板300的表面或者部件201的 表面成为45°以上、小于60°的角度。因此，能够抑制导电性粒子510的影响地对部件识 别标识520进行摄像，因此能够计算出部件201的错位量，能够可靠地检测经由ACF500安 装在面板200上的部件201的错位量。S卩，在红外线照明305的光轴与完成安装面板300的表面的法线平行时，如图9的 (a)所示，红外线光为不透过或者难以透过导电性粒子510的波长，因此由于导电性粒子 510遮挡红外线光而产生的影响，仅能够得到面板识别标识530以及部件识别标识520的轮 廓不清楚、不能够识别特征点的图像。但是，通过使红外线照明305的光轴相对于完成安装 面板300的表面的法线倾斜，由此如图9的(b)所示，能够得到排除了导电性粒子510的影 响的、面板识别标识530以及部件识别标识520的轮廓清楚、能够识别特征点的图像。该情况根据图10以及图IlA能够明确。图10表示红外线照明305的光轴与完成 安装面板300的表面或者部件201的表面所成的角度(照射角度)、与面板识别标识530以 及部件识别标识520的图像是否为轮廓清楚的能够识别的图像的评价结果(图像的评价结 果)的关系。图IlA表示照射角度、图像的评价结果以及面板识别标识530以及部件识别标 识520的图像(标识图像)的关系。另外，图像的评价结果的“〇”表示面板识别标识530 以及部件识别标识520的图像为轮廓清楚的能够识别的图像的情况，“ X ”表示不是上述情 况的情况。在图10以及图IlA中表示的情况为，在照射角度为大于等于45°、小于60°时， 标识图像成为轮廓清楚的能够识别的图像。例如，在照射角度为40°的情况下，仅能够得到 图IlB所示的轮廓不清楚的标识图像，在通过图像处理(多值化处理)而表示的曲线图中， 与X坐标相对的识别标识的亮度水平的变化点的边界不清楚、难以检测识别标识的边界。 另一方面，在照射角度为50°的情况下，能够得到图IlC所示的轮廓清楚的能够识别的标 识图像，在通过图像处理(多值化处理)而表示的曲线图中，与X坐标相对的识别标识的亮 度水平的变化点的边界清楚、能够检测识别标识的边界，能够进行识别标识的位置识别。并且，根据本实施方式的检查机105，如图12所示，红外光照明305被配置为其光 轴(图12中的轴A)与部件识别标识520的表面交叉。因此，能够将来自红外光照明305 的红外光直接照射到部件识别标识520上，因此不需要增大红外光照明305的光量，能够实现消费电力的降低。以上，根据上述实施方式对本发明的检查装置以及检查方法进行了说明，但是本 发明并不限定于该实施方式。在不脱离本发明精神的范围内本领域技术人员实施了想到的 各种变形的方式，也都包含于本发明的范围内。例如，在上述实施方式中，在生产线上设置检查机105。但是，也可以使面板安装 机103a以及103b具有对完成安装面板300进行检查的功能。此时，面板安装机103a以及 103b具备相对于完成安装面板300在与上述实施方式的检查机105相同的位置上配置的红 外光照明305以及IR摄像机307。并且，在上述实施方式中，为了对面板识别标识530以及部件识别标识520进行摄 像，而在检查机105上设置有红外光照明305以及IR摄像机307。但是，只要是能够发出对 面板识别标识530以及部件识别标识520进行摄像的光、即透过面板200以及部件201且 不透过或者难以透过导电性粒子510的波长的光的照明，以及能够对该光进行受光的摄像 机，则不限于此。并且，在上述实施方式中，通过取得部448在面板识别标识530以及部件识别标识 520的各自中取得1个特征点的位置。但是，也可以取得2个特征点的位置。由此，也能够 将连接2个特征点之间的直线的倾斜的偏移量或者2个特征点的中心的偏移量，作为部件 201的错位量进行计算，因此能够高精度地检测经由ACF500安装在面板200上的部件201 的错位量。并且，在上述实施方式中，检查机105以面板识别标识530为基准而将部件识别标 识520的偏移量作为部件201的错位量。但是，也可以以面板200的布线图案为基准而将 部件201与布线图案或者电路图案之间的偏移量作为部件201的错位量。并且，在上述实施方式中，如图12所示，红外光照明305被配置为其光轴与部件识 别标识520的表面交叉。但是，也可以如图13以及图14所示，红外光照明305被配置为其 光轴(图13中的轴A)与部件识别标识520的表面不交叉。在该情况下，红外光照明305 被配置为其光轴与部件识别标识520的表面、即完成安装面板300的表面(与部件201的 表面实质上平行的面)成为50°以上、小于85°的角度。由此，能够得到抑制了由于导电 性粒子510遮挡红外线光而产生的影响的、面板识别标识530以及部件识别标识520的轮 廓清楚、能够识别特征点的图像。并且，与图12所示那样配置的情况相比较，能够得到用于 位置识别的能够图像识别的清楚的图像的角度范围扩大为50°以上、小于85°，因此能够 提高设计自由度。该情况根据图15以及图16能够明确。图15表示以图13以及图14所示的位置关 系配置了红外光照明305时的照射角度与图像的评价结果的关系。图16表示以图13以及 图14所示的位置关系配置了红外光照明305时的照射角度、图像的评价结果以及面板识别 标识530以及部件识别标识520的标识图像的关系。另外，图像的评价结果的“〇”表示面 板识别标识530以及部件识别标识520的图像为轮廓清楚的能够识别的图像的情况，“ X，， 表示不是上述情况的情况。在图15以及图16中表示的情况为，在照射角度为50°以上、 小于85°时，标识图像成为轮廓清楚的能够识别的图像。并且，在上述实施方式中，在检查 机105中仅配置有1个红外光照明305。但是，如图17以及图18所示，在检查机105中也 可也设置有从不同方向对面板识别标识530以及部件识别标识520照射光的多个红外光照明305。例如，以能够得到图19所示的强调了部件识别标识520的边缘的图像的方式配置 4个红外光照明305。S卩，在作为IR摄像机307的摄像结果的图像中，以光轴与构成部件识 别标识520的轮廓的直线部正交的方式配置4个红外光照明305。或者，以能够得到图20 所示的强调了圆形的部件识别标识520的边缘(识别标识的轮廓的边界)的图像的方式配 置4个红外光照明305。并且，在上述实施方式中，红外光照明305配置在面板200的背面侧，IR摄像机 307配置在部件201的背面侧。但是，只要红外光照明305以及IR摄像机307位于跨着完 成安装面板300而相对的位置，则不限于此，而也可以将IR摄像机307配置在面板200的 背面侧，将红外光照明305配置在部件201的背面侧。在该情况下，使红外光照明305的光 轴与面板识别标识530的表面交叉，并且使该光轴相对于面板识别标识530的表面即完成 安装面板300的表面的法线(面板200的表面的法线)倾斜，并与完成安装面板300的表 面成为大于等于45°、小于60°的角度。或者，使红外光照明305的光轴与面板识别标识 530的表面不交叉，并且使该光轴相对于完成安装面板300的表面的法线倾斜，并与完成安 装面板300的表面成为大于等于50°、小于85°的角度。例如，如图21所示，从不同方向对面板识别标识530以及部件识别标识520照射 光的多个红外光照明305配置在部件201的背面侧，IR摄像机307配置在面板200的背面 侧。并且，多个红外光照明305被配置为，能够得到如图22所示的面板识别标识530的边 缘被强调了的图像。即，4个红外光照明305被配置为，在周围IR摄像机307的摄像结果的 图像中，光轴与构成面板识别标识530的轮廓的直线部正交。并且，如图23所示，在以红外光不照射到部件201的背面的方式配置红外光照明 305是，能够抑制部件201背面的伤对面板识别标识530以及部件识别标识520的图像的不
良影响。工业利用性 本发明能够利用与检查装置以及检查方法，由此能够利用于将部件安装到面板上 的部件安装系统等中。
1权利要求
一种检查装置，通过含有导电性粒子的粘接部件而检测安装在面板的表面上的部件相对于规定安装位置的偏移量，其特征在于，具备照明构件，对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面相对的上述部件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像机，配置在面板的与上述照明的相反一侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算构件，根据作为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部件识别标识之间的位置关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；上述照明构件用透过面板以及部件、且不透过或者难以透过上述导电性粒子的波长的光进行照射，上述照明构件的光轴相对于上述面板或者部件表面的法线倾斜。
2.如权利要求1所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件的光轴与上述面板识别标识或部件识别标识交叉。
3.如权利要求2所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件的光轴与上述面板或者部件的表面成为大于等于45°、小于60°的角度。
4.如权利要求3所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件配置在面板安装有部件一侧的相反侧的面板的背面侧，上述照明构件 的光轴与上述部件识别标识交叉，并与上述部件的表面成为大于等于45°、小于60°的角度。
5.如权利要求1所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件的光轴不与上述面板识别标识以及部件识别标识交叉。
6.如权利要求5所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件的光轴与上述面板或者部件的表面成为大于等于50°、小于85°的角度。
7.如权利要求6所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件配置在面板安装有部件一侧的相反侧的面板的背面侧，上述照明构件的 光轴与上述部件识别标识的表面成为大于等于50°、小于85°的角度。
8.如权利要求1 7任意一项所记载的检查装置，其特征在于，上述照明构件由从不同方向对上述面板识别标识以及部件识别标识照射光的多个照 明构成。
9.如权利要求8所记载的检查装置，其特征在于，上述多个照明分别被配置为，该照明的光轴与构成上述面板识别标识或者部件识别标 识的轮廓的直线部正交。
10.一种检查方法，是通过包含导电性粒子的粘接部件而检测安装在面板的表面上的 部件相对于规定安装位置的偏移量的方法，其特征在于，具备照明步骤，对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面 相对的上述部件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像步骤，配置在面板的与上述照明构件的相反一侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算步骤，根据作为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部 件识别标识之间的位置关系与规定的位置关系的偏移量进行计算；在上述照明步骤中，以透过面板以及部件、且不透过或者难以透过上述导电性粒子的 波长的光进行照射，上述照明的光轴相对于上述面板或者部件表面的法线倾斜。
全文摘要
一种检测装置，经由ACF(500)对安装在面板(200)的表面上的部件(201)从规定的安装位置的偏移量进行检测，其具备红外光照明(305)，对在面板(200)表面上形成的面板识别标识(530)以及在部件(201)表面上形成的部件识别标识(520)照射红外线；IR摄像机(307)，相对于面板(200)配置在红外光照明(305)的相反侧，对被照射了红外光的面板识别标识(530)以及部件识别标识(520)进行摄像；以及偏移量计算部，根据作为IR摄像机(307)的摄像结果的图像，对面板识别标识(530)以及部件识别标识(520)之间的位置关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；红外光照明(305)的光轴相对于面板(200)或者部件(201)的表面法线倾斜。
文档编号G01B11/00GK101925794SQ200980102910
公开日2010年12月22日 申请日期2009年1月21日 优先权日2008年1月25日
发明者岩桥俊, 片山敦, 辻川俊彦 申请人:松下电器产业株式会社