专利名称：基板检测装置及方法
技术领域：
本发明涉 及液晶面板技术领域，尤其涉及一种基板检测装置及方法。
背景技术：
液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)是利用液晶材料的特性来显示图像的一种平板显示装置(Flat Panel Display, FPD)，其相较于其他显示装置而言具轻薄、低驱动电压及低功耗等优点，已经成为整个消费市场上的主流产品。液晶面板是液晶显示器最主要的组成元件，液晶面板的制作工艺主要为将薄膜式晶体管阵列基板及彩色滤光片基板贴合，并将液晶层设置在两基板之间。该薄膜式晶体管阵列基板及彩色滤光片基板均为在基板上通过沉积薄膜层、曝光、蚀刻等制程而形成。基板在进行上述制程时，若基板上粘附有杂质，会对上述制程产生不良影响甚至是造成基板报废，严重影响液晶面板的良率，造成基板的浪费。而玻璃碎屑则是对液晶面板的良率影响最大的杂质，因此，急切需要一种能快速检测基板上是否存在玻璃碎屑的方法。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种基板检测装置，旨在快速地检测出基板上是否存在玻璃屑。本发明提供了一种基板检测装置，包括光源、光检测装置，所述光源、光检测装置均设置在基板的同一侧，且所述光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向呈夹角设置。优选地，所述光源发出的光线的行进方向与基板的夹角为0-90°。优选地，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为 70-110。。优选地，光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为90。。优选地，还包括控制装置，所述控制装置与光检测装置连接，用于控制光检测装置以预置的轨迹运动。本发明还提供了一种基板检测方法，包括以下步骤将基板置于检测台上；将光源放置及光检测装置放置在基板的同一侧，且光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，光源发出的光线的行进方向与光检测装置接收光线的方向呈夹角设置，并开启光源及光检测装置；若光检测装置检测到光信号，则返回存在玻璃屑的结果信息。优选地，所述光源发出的光线的行进方向与基板的夹角为0-90°。优选地，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为 70-110。。
优选地，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为90°。优选地，还包括在开启光源及光检测装置后，控制光检测装置以预置的轨迹运动。本发明通过 设置光源及光检测装置的恰当位置，使光检测装置可以仅接收到光源经过玻璃屑发生折射的光线，从而可以快速地检测出基板上是否存在玻璃屑。
图I是本发明基板检测装置一实施例的结构示意图；图2是本发明基板检测装置中光源照射有玻璃屑的基板后的光线的路径示意图；图3是本发明基板检测方法一实施例的流程示意图；图4是本发明基板检测方法另一实施例的流程示意图。本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施例方式以下结合说明书附图及具体实施例进一步说明本发明的技术方案。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。图I是本发明提出的一种基板检测装置一实施例的结构示意图。参照图I，该基板检测装置包括光源I、光检测装置2，其用于检测基板3，所述光源
I、光检测装置2均设置在基板3的同一侧，且所述光源I发出的光线的行进方向与基板3呈夹角设置，所述光检测装置2接收光线的方向与光源I发出的光线的行进方向呈夹角设置。上述基板检测装置，在光源I发出的光线，遇到其他杂质，可能会反射或被吸收；而遇到玻璃屑时则会发生折射，如图2所示。因此，将光检测装置2设置在适当的位置，即使其仅能接收到经过玻璃屑发生折射后的光线，而不能接收经基板3或其他杂质发生反射的光线，从而可以快速检测出基板3上是否有玻璃屑。上述光源I发出的光线的行进方向与基板3的夹角为0-90°，光检测装置2接受光线的方向与基板3的夹角为0-90°。上述光源I发出的光线的行进方向与光检测装置2接收光线的方向形成的夹角为70-110°。其中，该夹角优选为90°。为了使得光检测装置2能够更准确的检测玻璃屑，上述基板检测装置还可以包括控制装置(图中未示出)，所述控制装置与光检测装置2连接，用于控制光检测装置2以预置的轨迹运动。如图2所示，其是本发明基板检测装置中光源照射有玻璃屑的基板后的光线的路径示意图。控制光检测装置2相对于基板3进行上、下、左、右方向上的运动。当然，在运动时，光检测装置2接收光线的方向与光源I发出的光线的行进方向形成的夹角必须在70-110°。另外，该光检测装置2也可以设置多个，例如两个，以光源为中心呈对称结构。图3是本发明基板检测方法一实施例的流程示意图。参照图3，该基板检测方法，包括以下步骤步骤SOI、将基板3置于检测台上；步骤S02、将光源I及光检测装置2分别放置在基板3的同一侧，且光源I发出的光线的行进方向与基板3呈夹角设置，光源I发出的光线的行进方向与光检测装置2接收光线的方向呈夹角设置，并开启光源I及光检测装置2 ；上述光源I发出的光线的行进方向与基板3的夹角为0-90°，光检测装置2接受光线的方向与基板3的夹角为0-90°。上述光源I发出的光线的行进方向与光检测装置2接收光线的行进方向之间的夹角为70-110°。其中，该夹角优选为90°。步骤S03、若光检测装置2检测到光信号，则返回存在玻璃屑的结果信息。上述基板检测方法，主要利 用了光的物理特性，即光源I发出的光线，遇到其他杂质，可能会反射或被吸收；而遇到玻璃屑时则会发生折射，如图2所示。因此，将光检测装置2设置在适当的位置，即使其仅能接收到经过玻璃屑发生折射后的光线，而不能接收经基板3或其他杂质发生反射的光线，从而可以快速检测出基板3上是否有玻璃屑。参照图4，其为本发明基板检测方法另一实施例的流程示意图。在上述方法实施例的基础上，本实施例基板检测方法中，步骤S02之后还包括步骤S04、控制光检测装置2以预置的轨迹运动。为了使得光检测装置2能够更准确的检测玻璃屑，可以通过控制装置来控制光检测装置2以预置的轨迹运动。如图2所示，可以控制光检测装置2相对于基板进行上、下、左、右的运动。当然，在运动时，光检测装置2接收到的折射光线的行进方向与光源I发出的光线的行进方向形成的夹角必须在70-110°。另外，该光检测装置2也可以设置多个，例如两个，以光源为中心呈对称结构。以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制其专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
权利要求
1.一种基板检测装置，其特征在于，包括光源、光检测装置，所述光源、光检测装置均设置在基板的同一侧，且所述光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向呈夹角设置。
2.根据权利要求I所述的基板检测装置，其特征在于，所述光源发出的光线的行进方向与基板的夹角为0-90°。
3.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为70-110°。
4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为90°。
5.根据权利要求I至4中任一项所述的基板检测装置，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置与光检测装置连接，用于控制光检测装置以预置的轨迹运动。
6.一种基板检测方法，其特征在于，包括以下步骤 将基板置于检测台上； 将光源放置及光检测装置放置在基板的同一侧，且光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，光源发出的光线的行进方向与光检测装置接收光线的方向呈夹角设置，并开启光源及光检测装置； 若光检测装置检测到光信号，则返回存在玻璃屑的结果信息。
7.根据权利要求6所述的基板检测方法，其特征在于，所述光源发出的光线行进方向与基板的夹角为0-90°。
8.根据权利要求7所述的基板检测方法，其特征在于，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为70-110°。
9.根据权利要求8所述的基板检测方法，其特征在于，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为90°。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的基板检测方法，其特征在于，还包括 在开启光源及光检测装置后，控制光检测装置以预置的轨迹运动。
全文摘要
本发明公开一种基板检测装置及方法，该基板检测装置包括光源、光检测装置，所述光源、光检测装置均设置在基板的同一侧，且所述光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向呈夹角设置。本发明通过设置光源及光检测装置的合适位置，使光检测装置可以仅接收到光源经过玻璃屑发生折射的光线，从而可以快速地检测出基板上是否存在玻璃屑。
文档编号G01N21/88GK102621149SQ20121007557
公开日2012年8月1日 申请日期2012年3月21日 优先权日2012年3月21日
发明者郑文达 申请人:深圳市华星光电技术有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
