专利名称：脉冲激光能量测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及激光能量测量技术，特别涉及一种脉冲激光能量测量装置。
背景技术：
脉冲激光包括一系列离散的激光能量脉冲，对于KHz重复频率、纳秒级的脉冲激光很难直接测出单个脉冲的激光能量。现有的脉冲激光能量测量装置，采用测量装置分别测量激光输出平均功率和脉冲频率，然后通过公式E = P平均XT(其中，E为脉冲能量、P平均为平均功率、T为脉冲周期)计算得出单脉冲能量测量装置和测量方法。现有的测量装置需要多台测试仪器组成测量装置，测量装置繁杂，误差因素多，在测量高重复频率、窄脉冲的脉冲激光时，难以保证测量精度。另外也有采用运算放大器组成的积分电路进行积分来测量脉冲激光能量的方法， 这种方法对运算放大器要求高，电路峰值保持和清零状态之间切换时难以平衡静态工作点，导致测量误差大，也很难精确测量出高重复频率、窄脉冲激光的单脉冲激光能量。
实用新型内容本实用新型提供了一种脉冲激光能量测量装置，以提高测量单脉冲激光能量的精度。本实用新型提供的脉冲激光能量测量装置，包括光探测器，用于将脉冲激光信号转换成电流信号；积分电容，与所述光探测器串联，用于积累光探测器输出的电流信号中的电荷并输出脉冲电压信号；峰值保持电阻，与所述积分电容并联，用于将所述脉冲电压信号的峰值保持设定时间；运算放大器，所述运算放大器的第一输入端与所述积分电容的输出端相连，用于根据所述脉冲电压信号的峰值保持时间和设定的放大倍数输出相应宽度和幅值的脉冲电压信号；平衡电阻，与所述运算放大器的第二输入端相连，用于使所述运算放大器的第一端输入端的电压和第二输入端的电压保持静态平衡。如上所述的脉冲激光能量测量装置，其中，所述平衡电阻与峰值保持电阻的阻值相等。如上所述的脉冲激光能量测量装置，其中，所述运算放大器为仪用放大器。如上所述的脉冲激光能量测量装置，其中，还包括第一清零控制模块和第二清零控制模块，所述第一清零控制�？橛胨龌值缛莶⒘糜谠诮邮盏角辶憧刂菩藕诺淖刺露运龌值缛萁蟹诺缫郧宄值缛葜械娜康绾桑�
3[0016]所述第二清零控制�？橛胨龅谝黄胶獾缱璨⒘糜谠诮邮盏角辶憧刂菩藕诺淖刺陆拥�。如上所述的脉冲激光能量测量装置，其中，所述第一清零控制�？榘ǖ谝坏缱韬偷谝豢兀龅谝坏缱韬偷谝豢卮拥兀坏诙辶憧刂颇？榘ǖ诙缱韬偷诙兀龅诙缱韬偷诙卮拥�。如上所述的脉冲激光能量测量装置，其中，所述第一电阻和第二电阻的阻值相等， 且所述第一开关和第二开关均为电子开关。如上所述的脉冲激光能量测量装置，其中，还包括模数转换�？椋糜诮怂惴糯笃魇涑龅乃鱿嘤矶群头档穆龀宓缪剐藕抛怀墒中藕牛辉怂憧刂颇？椋糜诟菟鍪中藕挪杉龀宓缪狗逯挡⒏萆瓒ǚ桨傅玫铰龀寮す饽芰恐担也杉瓿珊蠓⑺颓辶憧刂菩藕牛幌允灸？椋糜谙允舅雎龀寮す饽芰恐�。本实用新型提供的脉冲激光能量测量装置，通过积分电容对脉冲激光电流信号中的电荷进行积累实现对电流的直接积分，实现脉冲激光信号向宽脉冲电压信号的转换，该积分过程不需要设置复杂的电路，设计巧妙，转换环节少，因此可靠性高，使采集到的脉冲电压峰值更加精确，通过换算后即可得到更加精确的单脉冲激光能量。
图1为本实用新型实施例所提供的脉冲激光能量测量装置部分电路原理图；图2为本实用新型另一实施例所提供的脉冲激光能量测量装置部分电路原理图；图3为本实用新型又一实施例所提供的脉冲激光能量测量装置的方框图；图4为本实用新型实施例所提供的脉冲激光能量测量方法的流程图。附图标记[0029]G-光探测器；Cl-光探测器中电容；C2--积分电容；[0030]Rl-峰值保持电阻；R2-平衡电阻；A-运算放大器；[0031]R3-第一电阻；R4-第二电阻；Ql--第一开关；[0032]Q2-第二开关；11-模数转换模块；12--运算控制模块[0033]13-显示�？�。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例提供了一种脉冲激光能量测量装置，用于将脉冲激光信号转换成脉冲电压信号，以利用该脉冲电压信号得到脉冲激光能量。图1为本实用新型实施例所提供的脉冲激光能量测量装置的部分电路原理图，如图1所示，该脉冲激光能量测量装置包括光探测器G、积分电容C2、峰值保持电阻R1、运算放大器A和平衡电阻R2。通过光探测器将脉冲激光信号转换成电流信号，光电探测器用于接收被测激光光源发出的脉冲激光信号，并转换成电流信号。积分电容与光探测器串联，以将光探测器输出的脉冲激光的电流信号进行积分并输出脉冲电压信号。对于积分电容的电容值的大小根据峰值保持时间和将积分电容放电所需的时间综合考量进行选择，由于峰值保持时间越长所需的电容值越大，而电容值越大放电时间越长，因此应综合上述的两个因素进行选择，即保证使峰值平顶下掉在允许范围之内，并使积分电容的放电时间在合理范围之内，不影响下一脉冲的采集。峰值保持电阻Rl与积分电容C2并联，用于将脉冲电压信号的峰值保持设定时间。由于脉冲电压的脉冲宽度通�：苷虼耍龀宓缪沟姆逯岛苣巡杉枰ü逯当３值缱杞龀宓缪沟姆逯当３稚瓒ㄊ奔洌孤龀宓缪沟穆龀蹇矶日箍淼揭欢ǹ矶龋允涑雎龀蹇矶冉峡淼牡缪剐藕牛撕罂赏ü杉爸貌杉龀宓缪沟姆逯担虼烁蒙瓒ㄊ奔湮允涑龈寐龀宓缪剐藕胖镣瓿陕龀宓缪狗逯挡杉募涓羰奔洌氩杉爸玫拇硭俣认喙兀ǔＮ父龊撩搿？赏ü锤词匝榧凹扑闵柚煤鲜实姆逯当３值缱枳柚档拇笮∫越龀宓缪沟姆逯当３稚瓒ㄊ奔洌孤龀宓缪沟穆龀蹇矶日箍淼揭欢ǹ矶�。运算放大器A的第一输入端1与积分电容C2的输出端相连，用于根据脉冲电压信号的峰值保持时间和设定的放大倍数输出相应宽度和幅值的脉冲电压信号。可通过运算放大器A的输出端3输出脉冲电压信号。经过峰值保持电阻将脉冲电压信号的峰值保持一定时间后，运算放大器根据峰值保持的时间输出相应宽度的脉冲电压信号，峰值保持时间越长，脉冲电压信号的脉冲宽度越宽。并且设置合适的放大倍数，以对脉冲电压信号的幅值进行放大，便于后续对电压峰值进行采集。可根据需要选择合适型号的运算放大器，并设定放大倍数，该设定的放大倍数可以是十倍、一百倍等，通常为整数倍，该放大倍数的设定是经过反复试验得到的，与脉冲激光的强度相关，通常脉冲激光的强度越大，脉冲电压信号的峰值越大，此时可设定较小的放大倍数，不限于本实施的限定，可根据实际需要进行设定。该运算放大器优选的是采用仪用放大器，仪用放大器具有高输入阻抗，由于仪用放大器与峰值保持电阻相连后构成与峰值保持电阻的并联电阻，因此为防止积分电容上电荷的泄放，采用高输入阻抗的仪用放大器，同时，由于仪用放大器具有高输入阻抗，可实现输入侧与输出侧电路的隔离，避免输入侧与输出侧电路互相干扰。平衡电阻R2与运算放大器A的第二输入端2相连，用于使运算放大器A的第一输入端1的电压和第二输入端2的电压保持静态平衡，也就是保证在运算放大电路没有输入的情况下，静态输出电压保持在零点。可采用如图1所示的方式，将峰值保持电阻Rl与积分电容C2并联后接地，平衡电阻R2的一端与运算放大器的第二输入端2相连，另一端接地，因此，运算放大器A的第一输入端1的电压即为峰值保持电阻Rl相对于地的电压，运算放大器A的第二输入端2的电压即为平衡电阻R2相对于地的电压，可将平衡电阻R2的阻值设置成与峰值保持电阻Rl的电 阻值接近的电阻值，即可使运算放大器两输入端的电压保持静态平衡。也可设置一电压参考点，将峰值保持电阻的一端和平衡电阻的一端分别与该电压 参考点相连，并使峰值保持电阻的阻值与平衡电阻的阻值接近，也可使运算放大器第一输 入端电压和第二输入端电压保持静态平衡，并不限于本实施例图示提供的连接方式。下面介绍该脉冲激光能量测量装置的工作过程。光电探测器位于最前端用于接收被测激光光源发出的脉冲激光信号，并转换成电 流信号，输出的电流信号传送于积分电容，由于该电流信号中包含大量电荷，通过积分电容 将该电荷进行积累，也就是对电流进行积分，将电荷积累后输出脉冲电压信号，通过峰值保 持电阻对积分电容输出的脉冲电压信号中的峰值保持设定时间，使脉冲电压的峰值展宽到 一定宽度，进而通过运算放大器输出宽脉冲的脉冲电压信号。输出该脉冲电压信号后可通过采集装置采集该脉冲电压的峰值，进而通过换算得 到脉冲激光能量值。脉冲激光能量值与脉冲电压峰值成正比关系，其推导的过程如下激光照射到光探测器上产生脉冲激光信号，通过光电探测器将脉冲激光信号转换 为电流信号。电流与激光功率的关系为I = K1*P，其中P为激光功率，Kl为将脉冲激光信号转 换为电流信号的转换系数，也就是光探测中光电管的转换系数，I为电流。对电流的积分为/ Idt = Kl / Pdt,又由于电荷为Q :Q = / Idt,激光能量为E :E = / Pdt,由此，得出 Q = Kl. E。由于积分电容与光电探测器串联，积分电容与光探测器中的电容构成串联关系， 因此总电容为
权利要求1.一种脉冲激光能量测量装置，其特征在于，包括 光探测器，用于将脉冲激光信号转换成电流信号；积分电容，与所述光探测器串联，用于积累光探测器输出的电流信号中的电荷并输出脉冲电压信号；峰值保持电阻，与所述积分电容并联，用于将所述脉冲电压信号的峰值保持设定时间；运算放大器，所述运算放大器的第一输入端与所述积分电容的输出端相连，用于根据所述脉冲电压信号的峰值保持时间和设定的放大倍数输出相应宽度和幅值的脉冲电压信号；平衡电阻，与所述运算放大器的第二输入端相连，用于使所述运算放大器的第一端输入端的电压和第二输入端的电压保持静态平衡。
2.根据权利要求1所述的脉冲激光能量测量装置，其特征在于 所述平衡电阻与峰值保持电阻的阻值相等。
3.根据权利要求1或2所述的脉冲激光能量测量装置，其特征在于 所述运算放大器为仪用放大器。
4.根据权利要求1或2所述的脉冲激光能量测量装置，其特征在于，还包括第一清零控制�？楹偷诙辶憧刂颇？椋龅谝磺辶憧刂颇？橛胨龌值缛莶⒘糜谠诮邮盏角辶憧刂菩藕诺淖刺露运龌值缛萁蟹诺缫郧宄值缛葜械娜康绾桑凰龅诙辶憧刂颇？橛胨龅谝黄胶獾缱璨⒘糜谠诮邮盏角辶憧刂菩藕诺淖刺陆拥�。
5.根据权利要求4所述的脉冲激光能量测量装置，其特征在于，所述第一清零控制�？榘ǖ谝坏缱韬偷谝豢兀龅谝坏缱韬偷谝豢卮拥兀坏诙辶憧刂颇？榘ǖ诙缱韬偷诙兀龅诙缱韬偷诙卮拥�。
6.根据权利要求5所述的脉冲激光能量测量装置，其特征在于，所述第一电阻和第二电阻的阻值相等，且所述第一开关和第二开关均为电子开关。
7.根据权利要求1或2所述的脉冲激光能量测量装置，其特征在于，还包括模数转换�？椋糜诮怂惴糯笃魇涑龅乃鱿嘤矶群头档穆龀宓缪剐藕抛怀墒中藕牛辉怂憧刂颇？椋糜诟菟鍪中藕挪杉龀宓缪狗逯挡⒏萆瓒ǚ桨傅玫铰龀寮す饽芰恐担也杉瓿珊蠓⑺颓辶憧刂菩藕牛� 显示�？椋糜谙允舅雎龀寮す饽芰恐怠�
专利摘要本实用新型公开了一种脉冲激光能量测量装置，该测量装置包括光探测器、积分电容、峰值保持电阻、运算放大器和平衡电阻，积分电容与光探测器串联，用于积累光探测器输出的电流信号中的电荷并输出脉冲电压信号，峰值保持电阻与积分电容并联，运算放大器的第一输入端与积分电容的输出端相连，平衡电阻与运算放大器的第二输入端相连。该测量装置通过积分电容对脉冲激光电流信号中的电荷进行积累实现对电流的直接积分，实现脉冲激光信号向宽脉冲电压信号的转换，该积分过程不需要设置复杂的电路，设计巧妙，转换环节少，因此可靠性高，使采集到的脉冲电压峰值更加精确，通过换算后即可得到更加精确的单脉冲激光能量。
文档编号G01J1/46GK202092776SQ20112018296
公开日2011年12月28日 申请日期2011年6月1日 优先权日2011年6月1日
发明者江一平, 祝敏, 陆耀东 申请人:北京光电技术研究所
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