专利名称：颗粒状物质测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及测量在发动机的排气中含有的颗粒状物质的质量的颗粒状物质测量
装置等。
背景技术：
作为测量从发动机排出的物质之一的颗粒状物质(有时也称为PM(PartiCulate Matters，颗粒物)。在本说明书中以下也称为PM)的质量的方法，公知的有过滤器质量法。 过滤器质量法是在发动机排气的流动通道上配置捕集过滤器来捕集PM，并用天平等测量捕 集到的PM的质量的方法，由于对于能够特定物性的标准物质事实上不存在的PM，也可以直 接测量其质量，所以可以期待测量的可靠性和正确性。因此，在当前的排气试验中，标准上 使用利用所述过滤器质量法的测量装置中的、把发动机排气的总量稀释后进行分析的定容 取样装置(CVS =Constant Volume Sampler，定容取样器)等。另一方面，鉴于近来发动机性能进一步提高及环境问题，产生了对在路上等动态 行驶中的PM排出量的时间序列变化进行测量的要求。但是，由于所述过滤器质量法仅能判 明在一定期间排出的PM的累积质量，换句话说所述过滤器质量法是分批式的测量方法，所 以不能判明PM质量时时刻刻与动态的运转状况对应进行怎样的变化。所以，作为代替过滤器质量法的代替装置，提出并开发出了可以实时连续测量 PM 的 FID (Flame Ionization Detector,氢火焰离子化检测器)、ELPI (Electric Low Pressure Impactor，电称低压冲击器)、SMPS (Scanning Mobility Particle Sizer，扫描电 子迁移粒径谱仪)、DCS (Diffusion Charger Sensor，扩散充电传感器)等(专利文献1)。 FID是测量样气中的碳原子数的装置，ELPI, SMPS是计数颗粒数的装置。此外，DCS是使颗 粒的表面带电，并测量颗粒的表面的电荷量的装置。如果是如上所述的装置，则也可以在路上行驶中进行测量，但如上所述，它们是测 量碳原子数、PM数或PM的表面积的装置，而不是直接测量PM质量的装置。因此，如果要根 据它们测量出的测量结果求出PM质量，则需要获得与在相同条件下进行的利用所述捕集 过滤器测量法得到的测量结果的相关值，并根据该相关值计算PM质量。所以，例如可以考虑预先获取发动机在各种运转状态下的利用过滤器质量法与利 用所述ELPI法等得到的测量结果的相关值，并把该相关值应用于在路上行驶时的利用上 述的ELPI等得到的测量结果，计算出PM质量的动态变化。但是，由于所述相关值说到底是把发动机的各种运转状态保持在一定的静态下的 相关值，所以在进行动态运转的路上行驶中，直接应用该相关值来推测实际PM质量的动态 变化有些不合理。专利文献1 日本专利公开公报特开2006-506640号
发明内容
鉴于所述问题，本发明所要解决的主要问题是利用简单的结构连续地测量在路上行驶等动态运转状况下的排气中含有的PM质量的变化。S卩，权利要求1所述发明的颗粒状物质测量装置的特征在于包括下面的部分。(1)稀释器，与汽车的排气管连接，并且与稀释气体导入口连接，通过使发动机的 排气与稀释气体混合来稀释所述排气。(2)质量关联值测量装置，导入由所述稀释器稀释后的稀释排气的一部分，连续地 测量间接表示所述稀释排气中含有的颗粒状物质的质量的质量关联值。(3)捕集过滤器，使剩余的所述稀释排气通过，捕集在该剩余的所述稀释排气中含 有的颗粒状物质。(4)稀释气体流量调节装置，调节导入所述稀释器的所述稀释气体的流量。(5)过滤器通过流量调节装置，调节通过所述捕集过滤器的稀释排气的流量。(6)流量测量装置，测量导入所述质量关联值测量装置的稀释排气的流量。(7)控制部，控制所述过滤器通过流量调节装置，使通过所述捕集过滤器的稀释排 气的流量保持为一定值，并且通过控制所述稀释气体流量调节装置，确保导入所述质量关 联值测量装置的稀释排气的必要的流量。(8)信息处理部，计算由所述捕集过滤器在发动机运转中的规定期间内捕集到的 颗粒状物质的质量测量值与作为由所述质量关联值测量装置测出的所述质量关联值的经 时性变化数据的质量关联值测量数据的在所述规定期间内的时间积分值的相关值，并根据 该相关值，把所述质量关联值测量数据转换成颗粒状物质的质量的经时性变化数据。如果是所述颗粒状物质测量装置，则根据与在运转中由捕集过滤器捕集到的排出 的PM的直接捕集量的相关值，对在发动机运转中测量的、间接表示PM质量的在时间序列上 连续的质量关联值测量数据进行校准，并将其转换成PM质量的连续的时间序列数据，所以 与使用如以往那样在与在路上行驶等动态运转完全不同的静态条件下求出的固定的相关 值的情况完全不同，可以得到可靠性非常高的PM质量的连续的时间序列数据。此外，作为硬件，仅仅是在以往的由捕集过滤器形成的PM采集机构的稀释排气的 配管中，增加质量关联值测量装置，除此以外，例如不需要另外的导入气体的机构等，可以 非常简单地实现。此外，通过利用增加或减少稀释用的气体流量，来控制稀释气体与排气混合后的 稀释排气的流量，可以使捕集过滤器的通过流量总是一定，并且可以确保由质量关联值测 量装置取样的必要流量，所以可以很好地避免因流量不足造成的测量误差等。此外，权利要求2所述发明的颗粒状物质测量装置的特征在于包括下面的结构。(1)稀释器，与汽车的排气管连接，并且与稀释气体导入口连接，通过使发动机的 排气与稀释气体混合来稀释所述排气。(2)质量关联值测量装置，导入由所述稀释器稀释后的稀释排气的一部分，连续地 测量间接表示所述稀释排气中含有的颗粒状物质的质量的质量关联值。(3)捕集过滤器，使剩余的所述稀释排气通过，捕集在该剩余的所述稀释排气中含 有的颗粒状物质。(4)稀释气体流量调节装置，调节导入所述稀释器的所述稀释气体的流量。(5)过滤器通过流量调节装置，调节通过所述捕集过滤器的稀释排气的流量。(6)流量测量装置，测量导入所述质量关联值测量装置的稀释排气的流量。
(7)控制部，根据导入所述质量关联值测量装置的稀释排气的流量，控制所述过滤 器通过流量调节装置，使导入所述质量关联值测量装置的稀释排气的流量与通过捕集过滤 器的稀释排气的流量的合计流量保持为一定值。(8)信息处理部，计算由所述捕集过滤器在发动机运转中的规定期间内捕集到的 颗粒状物质的质量测量值与作为由所述质量关联值测量装置测出的所述质量关联值的经 时性变化数据的质量关联值测量数据的在所述规定期间内的时间积分值的相关值，并根据 该相关值，把所述质量关联值测量数据转换成颗粒状物质的质量的经时性变化数据。本发明技术方案二的颗粒状物质测量装置也与权利要求1的发明相同，可以得到 可靠性高的PM质量的连续的时间序列数据，此外可以获得能够非常简单地实现的效果。权利要求3所述发明的颗粒状物质测量装置可以装于在路上实际行驶的车辆中， 可以测量在发动机动态运转的行驶期间的车辆的排气中的颗粒状物质。如果是所述的装 置，则上述的效果特别显著。此外为了装在车辆上，优选采用把捕集过滤器加热使捕集到的 PM燃烧，根据燃烧气体的成分，测量所述PM的质量的结构。此外，所谓间接表示颗粒状物质的质量的物性是指颗粒状物质的表面积、数量及 粒径分布等。以上说明的本发明随时求出边使发动机运转边测量的、间接表示PM质量的连续 的时间序列数据与在所述运转中排出的总PM质量的直接测量结果的相关值，并根据该相 关值，计算出PM质量的连续的时间序列数据。因此，与使用如以往那样在与在路上行驶等动态运转完全不同的静态条件下求出 的固定的相关值的情况完全不同，可以得到可靠性非常高的PM质量的连续的时间序列数 据。此外，作为硬件，仅仅是在以往的由捕集过滤器形成的PM采集机构的稀释排气的 配管中，增加质量关联值测量装置，除此以外，不需要例如另外的导入气体的机构等，可以 非常简单地实现。特别是按照权利要求1的发明，通过利用增加或减少稀释用的气体流量，控制稀 释气体与排气混合后的稀释排气的流量，使捕集过滤器的通过流量总是一定，并且确保由 质量关联值测量装置取样的必要流量，所以可以获得能够很好地避免因流量不足造成的测
量误差等效果。
图1是表示本发明一个实施方式的颗粒状物质测量装置的总体示意简图。图2是表示本发明一个实施方式的质量关联值测量部简化后的内部结构的简图。图3是表示本发明一个实施方式的计算机功能的功能框图。图4是表示本发明一个实施方式的控制部的一部分动作的流程图。图5是用于帮助理解本发明一个实施方式的颗粒状物质测量方法的说明图。图6是表示本发明第二实施方式的控制部的一部分动作的流程图。附图标记说明100…颗粒状物质测量装置1…稀释器
2…稀释气体流量调节装置22…第二测量部5…质量关联值测量装置61…捕集过滤器7…过滤器通过流量调节装置81…控制部82…信息处理部E…排气管Ia…稀释气体导入口
具体实施例方式下面参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。第一实施方式图1表示本实施方式的颗粒状物质测量装置100的总体简况。该颗粒状物质测量 装置100装在汽车上，测量在路上行驶时从作为内燃机的发动机排出的排气中含有的PM的
质量浓度。在该图1中，附图标记‘ ”表示汽车的排气管E，附图标记“1”表示混合器1，该混 合器1将排气与作为稀释气体的空气混合，生成稀释排气。在该混合器1上连接有排气导 入管Ll和气体导入管L2，排气导入管Ll与所述排气管E连接，导入一部分排气，气体导入 管L2的一端作为稀释气体导入口 Ia向大气开放。在该气体导入管L2的中途串联设置有 稀释气体流量调节装置2和稀释气体流量计3。稀释气体流量调节装置2并排配置有压电 阀门(piezo valve) 21、临界流量孔(Critical Flow Orifice) 22，该稀释气体流量调节装 置2可以根据来自后述的计算机8的指令信号，按照固定稀释法或者比例稀释法控制在所 述气体导入管L2中流动的空气的流量。稀释气体流量计3例如是文丘里流量计。如图1所示，在所述混合器1中与空气混合被稀释后的稀释排气，经过用于除去粉 尘的旋风除尘器4，一部分被导入质量关联值测量装置5，剩余的部分被导入捕集过滤器6， 以上述方式进行配管。质量关联值测量装置5连续地测量间接表示颗粒状物质的质量的物性，输出作为 该物性的经时性变化数据的质量关联值数据。具体地说，如图2所示的简化的内部结构，质 量关联值测量装置5包括可以分别连续测量被认为是PM主要成分的可溶性有机溶剂(S0F Soluble Organic Fraction，可溶性有机组分，主要是烃(hydrocarbon))和碳黑(soot，碳 烟)的、且并排连接的SOF测量系统51和碳烟测量系统52。如图2所示，在SOF测量系统51中并排设置有两个氢火焰离子化检测器511，将导 入该SOF测量系统51的稀释排气分流，导向各氢火焰离子化检测器511。此外，图中的附图 标记“Pa”表示吸引泵Pa，附图标记“512”表示去除过滤器512。而且，通过利用图中没有表示的温度调节器等把到一个氢火焰离子化检测器511 为止的配管保持在高温(约191°C )，使稀释排气中含有的烃(SOF)不固化或液化，直接导 入一个氢火焰离子化检测器511。此外，对于另一个氢火焰离子化检测器511，通过利用图 中没有表示的温度调节器等把到另一个氢火焰离子化检测器511为止的配管保持在低温(470C 士5°C )，利用去除过滤器512去除利用所述低温液化或固化的烃(SOF)，不把液化或 固化的烃(SOF)导入另一个氢火焰离子化检测器511。此外，氢火焰离子化检测器511把导入的稀释排气中含有的烃离子化后，检测离 子电流，连续并实时输出检测信号，由于该检测信号的值与SOF质量具有规定的相关关系， 所以根据该检测信号的值可以推算出SOF质量。其中，由于利用图中没有表示的流量计可以测量导入各氢火焰离子化检测器511 的流量，所以后述的计算机可以根据所述相关关系，并根据各个氢火焰离子化检测器511 的检测信号值分别推算出SOF质量，把该SOF质量除以流量和稀释比例后，根据得到的各结 果的差，可以推算出排气的单位流量中含有的SOF质量。如图2所示，在碳烟测量系统52中串联设置有DC传感器521和吸引泵Pb，并且 利用图中没有表示的温度调节器等将到所述DC传感器521为止的配管保持在规定的温度 (约191°C)。这是为了使在稀释排气中含有的SOF等(特别是附着在碳烟上的S0F)挥发， 仅把碳烟导入DC传感器521。此外，DC传感器521利用扩散电荷法连续且实时地测量碳烟的表面积，利用电晕 放电把与表面积成比例的电荷赋予在稀释排气中含有的碳烟，检测因该电荷产生的电流量 并输出检测信号。由于电荷量与碳烟的表面积成比例，所以所述检测信号的值表示碳烟的 表面积。由于在碳烟表面积和碳烟质量之间具有规定的相关关系，所以根据所述检测信号 的值可以推算出碳烟质量。其中，由于利用图中没有表示的流量计可以测量导入DC传感器521中的流量，所 以后述的计算机8可以根据所述相关关系并根据DC传感器521的检测信号值推算出碳烟 质量，用该碳烟质量除以流量和稀释比例，由此推算出排气的单位流量中含有的碳烟质量。下面对捕集过滤器61进行说明。该捕集过滤器61是由排气测量规定(测量基 准)所规定的已知的装置。此外，为了计量被捕集到捕集过滤器61中的PM的质量，可以如 以往那样使用天平法，但由于存在要装拆过滤器61的劳力和时间以及吸湿的问题，并且计 量需要时间，所以在本实施方式中，例如采用在与天平法之间确立了高相关关系的过滤器 燃烧法。所谓过滤器燃烧法是把过滤器61加热，仅使捕集到的PM燃烧，测量燃烧气体的成 分和量的方法。在图1中，与捕集过滤器61并排设置的旁路流动通道62用于在不使稀释排气在 捕集过滤器61中流动的情况下，保证稀释排气的流通。例如，在PM捕集期间外，在使稀释 排气不在捕集过滤器61中流动的情况下，关闭捕集过滤器61 —侧的开关阀61a，打开旁路 流动通道62 —侧的开关阀61b。相反，在捕集PM的情况下，打开捕集过滤器61 —侧的开关 阀61a，关闭旁路流动通道62 —侧的开关阀61b。可以利用设在所述捕集过滤器61下游的过滤器通过流量调节装置7调节通过捕 集过滤器61的稀释排气的流量。在此，如图1所示，过滤器通过流量调节装置7由串联配 置在捕集过滤器61下游的文丘里流量计71以及设在该文丘里流量计71下游的吸引泵72 和质量流量控制器73构成，通过调节质量流量控制器73的流量，可以调节文丘里流量计71 的背压，并可以调节流经该文丘里流量计71的稀释排气的流量。此外，如前所述，在该实施方式中设置有包括CPU、存储器、输入输出接口等的通用 或专用的计算机8。该计算机通过根据存储在所述存储器中的规定的程序使CPU和外围设备动作，承担图3所示的控制部81和信息处理部82等的功能。于是，如上所述结构的颗粒状物质测量装置100如前所述被装在汽车上，在使车 辆在路上等实际行驶的状态下使颗粒状物质测量装置100工作，下面对此时的动作进行详 细说明，也兼对所述控制部81和信息处理部82的功能进行说明。首先，控制部81向过滤器通过流量调节装置7的质量流量控制器73发出指令信 号，通过控制通过流量，控制文丘里流量计71的背压，并把通过捕集过滤器61的稀释排气 的流量(下面也称为过滤器通过流量)保持在由规定所决定的一定值(图4步骤Si)。另一方面，控制部81接收来自安装在发动机排气管E中的图中没有表示的流量计 的流量信号、来自测量气体导入流量的文丘里流量计3的流量信号以及来自设在质量关联 值测量装置5中的图中没有表示的流量计的流量信号，并把有关各流量信号表示的排气总 流量、稀释用气体的导入流量(以下也称为气体导入流量)、导入质量关联值测量装置5中 的稀释排气的流量(以下也称为传感器用流量)的数据，分别存储到在存储器中设定的数 据存储部83中(图4步骤S2)。然后根据这些测量值等，所述控制部81把控制信号向稀释气体流量调节装置2输 出，更具体地说把控制信号向压电阀门21输出，对气体导入流量进行固定稀释控制或比例 稀释控制，使得稀释排气的总流量成为所述捕集过滤器通过流量与传感器用流量的总和流 量(图4步骤S3)。此外，所谓固定稀释控制是指控制气体导入流量，使得从排气管E分流的排气流 量与气体导入流量的比固定，也就是使稀释比固定。所谓比例稀释控制是指控制气体导入 流量，使得相对于流经排气管E的排气的总流量以固定的流量比例导入排气。这样，在利用控制部81调节了各部流量的状态下，信息处理部82例如在运转后， 自动地或通过操作者输入等接收利用过滤器燃烧法对在发动机运转中的规定期间在捕集 过滤器61中捕集到的PM质量进行计量得到的测量数据(以下也称为质量实测数据)。该 质量实测数据表示在发动机运转中的过滤器捕集期间中的总的PM质量。此外，另一方面，信息处理部82在微小的取样时间依次连续地获得从质量关联值 测量装置5输出的质量关联值测量数据，即获得来自SOF测量系统51和碳烟测量系统52 的检测信号的值。然后如前所述，根据各取样中的检测信号值计算出排气的每单位流量的 SOF质量和碳烟质量，并把它们相加后，再进行把得到的结果乘以在所述取样时刻导入捕集 过滤器61的排气的流量的处理。实施了该处理的质量关联值测量数据是质量关联值的经 时性变化数据。然后，信息处理部82计算出所述质量实测数据表示的PM质量值与所述质量关联 值测量数据在所述过滤器捕集期间中的时间积分值的相关值。所谓相关值例如是质量关联 值测量数据的值与质量关联值测量数据的时间积分值的比值。最后，如图5所示，信息处理部82根据所述相关值，把质量关联值测量数据转换成 排气中含有的PM质量或PM浓度的经时性变化数据，并输出到显示器等。而且，该PM质量的经时性变化数据实际上是根据与在行驶中利用过滤器质量法 等直接测量的PM的实测质量的相关值，对实时连续计量的质量关联值测量数据进行校准 后的数据，可以说是使用每次运转都分别计算出的相关值进行计算得出的数据，所以与以 往那样的使用在与在路上行驶等动态运转完全不同的静态条件下求出的固定的相关值的情况不同，本发明的可靠性非常高。此外，在该实施方式中，通过利用增加或减少稀释用气体流量，控制与排气混合后 的稀释排气的流量，来使捕集过滤器61的通过流量总是一定，并且把用质量关联值测量装 置5取样的必要流量确保为一定，所以可以很好地避免因流量不足造成的测量误差等。此 外，在该实施方式中，由于使捕集过滤器61的通过流量为由规定所决定的一定流量，所以 无需对捕集过滤器61的PM捕集量进行修正，就可以进行高精度的测量。第二实施方式在该第二实施方式中，硬件的结构与所述第一实施方式相同，但软件的结构不同， 也就是计算机的动作不同。因此下面以其不同点为中心进行说明。该实施方式的计算机8的控制部81与所述第一实施方式相同，测量传感器用流量 等(图6步骤Sll)。然后，控制所述过滤器通过流量调节装置7的质量流量控制器73，使导 入质量关联值测量装置5的稀释排气的流量与通过捕集过滤器61的稀释排气的流量(捕 集过滤器通过流量)的合计流量总是保持在一定值。也就是说，由于导入质量关联值测量 装置5的稀释排气的流量(传感器用流量)因压力变化等而变动，所以控制部81边获得传 感器用流量的测量值边向质量流量控制器73输出指令信号，调节捕集过滤器通过流量，使 得填补所述流量的变动部分，从而控制成使所述合计流量为一定(图6步骤S12)。另一方面，控制部81驱动稀释气体流量调节装置2的压电阀门21，对导入稀释器 1中的气体导入流量进行前述的固定稀释控制或比例稀释控制(图6步骤S13)。此后，由信息处理部82进行的动作与所述第一实施方式大体相同，所以在此省略 了说明。于是，按照所述结构，与所述第一实施方式相同，对从在路上行驶中的车辆排出的 排气的PM浓度(质量)大体可以实时检测。此外，在该实施方式中，由于稀释排气的流量 (捕集过滤器通过流量与传感器用流量的和)不是如所述第一实施方式那样变动，而是总 是保持一定，所以可以获得能够容易且高精度地对气体导入流量进行固定稀释控制或比例 稀释控制的效果。此外，本发明不限于所述实施方式。例如，所谓测量的规定期间可以是从开始行驶到停止行驶的整个运转期间，也可 以是其中的一部分。此外，在质量关联值测量装置中不仅可以使用前述的DC传感器和氢火焰离子化 检测器(FID)，也可以使用例如ELPI和SMPS等，也可以不用文丘里而用定容泵进行流量控 制。除此以外，本发明在不脱离其宗旨的范围内，当然可以进行各种变形。工业实用性通过使用本发明，可以利用简单的结构连续测量在路上行驶等动态运转状况下的 排气中含有的PM质量的变化。
权利要求
1.一种颗粒状物质测量装置，其特征在于包括稀释器，与汽车的排气管连接，并且与稀释气体导入口连接，通过使发动机的排气与稀 释气体混合来稀释所述排气；质量关联值测量装置，导入由所述稀释器稀释后的稀释排气的一部分，连续地测量间 接表示所述稀释排气中含有的颗粒状物质的质量的质量关联值；捕集过滤器，使剩余的所述稀释排气通过，捕集在该剩余的所述稀释排气中含有的颗 粒状物质；稀释气体流量调节装置，调节导入所述稀释器的所述稀释气体的流量； 过滤器通过流量调节装置，调节通过所述捕集过滤器的稀释排气的流量； 控制部，控制所述过滤器通过流量调节装置，使通过所述捕集过滤器的稀释排气的流 量保持为一定值，并且通过控制所述稀释气体流量调节装置，确保导入所述质量关联值测 量装置的稀释排气的必要的流量；以及信息处理部，计算由所述捕集过滤器在发动机运转中的规定期间内捕集到的颗粒状 物质的质量测量值与作为由所述质量关联值测量装置测出的所述质量关联值的经时性变 化数据的质量关联值测量数据的在所述规定期间内的时间积分值的相关值，并根据该相关 值，把所述质量关联值测量数据转换成颗粒状物质的质量的经时性变化数据。
2.一种颗粒状物质测量装置，其特征在于包括稀释器，与汽车的排气管连接，并且与稀释气体导入口连接，通过使发动机的排气与稀 释气体混合来稀释所述排气；质量关联值测量装置，导入由所述稀释器稀释后的稀释排气的一部分，连续地测量间 接表示所述稀释排气中含有的颗粒状物质的质量的质量关联值；捕集过滤器，使剩余的所述稀释排气通过，捕集在该剩余的所述稀释排气中含有的颗 粒状物质；稀释气体流量调节装置，调节导入所述稀释器的所述稀释气体的流量； 过滤器通过流量调节装置，调节通过所述捕集过滤器的稀释排气的流量； 控制部，根据导入所述质量关联值测量装置的稀释排气的流量，控制所述过滤器通过 流量调节装置，使导入所述质量关联值测量装置的稀释排气的流量与通过捕集过滤器的稀 释排气的流量的合计流量保持为一定值；以及信息处理部，计算由所述捕集过滤器在发动机运转中的规定期间内捕集到的颗粒状 物质的质量测量值与作为由所述质量关联值测量装置测出的所述质量关联值的经时性变 化数据的质量关联值测量数据的在所述规定期间内的时间积分值的相关值，并根据该相关 值，把所述质量关联值测量数据转换成颗粒状物质的质量的经时性变化数据。
3.根据权利要求1所述的颗粒状物质测量装置，其特征在于，所述颗粒状物质测量装 置装于在路上实际行驶的车辆中，测量在车辆行驶期间的排气中的颗粒状物质。
全文摘要
本发明是利用简单的结构连续地测量在路上行驶等动态运转状况下的排气中含有的PM质量的变化的颗粒状物质测量装置。该装置把发动机运转中的排气稀释并分流，一部分排气中含有的颗粒状物质由捕集过滤器(61)捕集，测量捕集到的颗粒状物质的质量，剩余部分排气由质量关联值测量装置(5)测量，连续地测量间接表示所述排气中含有的颗粒状物质的质量的物性，作为经时性变化数据。然后根据各测量数据的相关值求出颗粒状物质的质量的经时性变化数据。在所述结构中，通过调节用于稀释排气的稀释气体的流量，确保通过所述捕集过滤器(61)的稀释排气的流量及导入质量关联值测量装置(5)的稀释排气的流量。
文档编号G01N15/06GK102066900SQ200980122999
公开日2011年5月18日 申请日期2009年7月13日 优先权日2008年7月16日
发明者中村博司 申请人:株式会社堀场制作所
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
