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专利名称：焊盘涂覆系统及其互锁方法
技术领域：
本发明涉及焊盘涂覆系统，更具体的，本发明涉及芯片焊盘涂覆系统和当发生错误时产生中断信号的互锁方法。
要求在2002年1月16日申请的韩国专利申请2003-3091在35U.S.C.§119下的优先权，其整个内容在这里引入作为参考。
背景技术：
一般通过在晶片上的芯片的地址和时钟芯片焊盘上施加来自测试装置的测试管脚的地址和时钟测试信号来测试具有制造的芯片的晶片。测试信号同时加到晶片上的多个芯片的芯片焊盘上。
通常，由于制造工艺的限制，位于靠近晶片边缘的芯片是不完整的和没有功能的。结果，在不完整的芯片的地址和时钟芯片焊盘之间可能存在短路，当地址和时钟测试信号同时加到不完整的芯片的芯片焊盘和与不完整的芯片相邻的芯片的芯片焊盘上时，就会产生问题。即，当地址和时钟测试信号加到不完整的芯片的短路的芯片焊盘上时，会产生不正确的测试信号也加到与不完整的芯片相邻的芯片的芯片焊盘上的问题。例如，当“高”电平的地址信号从测试装置加到不完整的芯片的短路的芯片焊盘上时，“高”电平的地址信号可能没有正确的加到相应的与不完整的芯片相邻的芯片的地址芯片焊盘上。
因此，在测试晶片之前，使用焊盘涂覆系统涂覆位于靠近晶片的边缘部分的不完整芯片的地址和时钟信号芯片焊盘。用绝缘材料涂覆芯片焊盘以防止与测试装置的测试管脚电连接。
图1示出了常规焊盘涂覆系统的框图。图1的焊盘涂覆系统包括具有控制器12的探针器(prober)10、输入/输出口20、UV(紫外线)源部分22和给料器(dispenser)24。
输入/输出口20接收来自控制器12的数据并向控制器12输出数据。嵌入在探针器10中的控制器12存储由输入/输出口20输入的数据，控制探针器10、UV源部分22和给料器24，并输出数据到输入/输出口20。探针器10在控制器12的控制下装载晶片，涂覆根据由控制器12设置的坐标值标识的焊盘，并且卸载晶片。给料器24根据涂覆条件指示信号ADD在焊盘上分配液体涂覆材料，UV源部分22根据光闸开/关信号SOC控制UV光闸的打开和关闭，以将UV辐射照射在涂覆的液体上。即，涂覆材料以液体的形式由给料器24涂覆，然后由来自UV源部分22的UV辐射固化为固体。在操作中，控制器12控制探针器10并分别输出光闸开/关信号SOC和涂覆条件指示信号ADD到UV源部分22和给料器24。
UV源部分22包括UV光闸开关1、定时/手动方式开关2和UV灯开关3。
当UV光闸开关1设为打开时，光闸打开以使UV源部分22能够发出UV辐射。当UV光闸开关1关闭时，光闸关闭，不允许UV照射。
当定时/手动方式开关2设置为定时方式时，由控制器12提供的光闸开/关信号SOC自动控制UV照射的持续时间。当定时/手动方式开关2设置为手动方式时，UV照射的持续时间由操作人员手动控制。
当UV灯开关3打开时，UV灯足够热以发出UV辐射。当UV灯开关3关闭时，UV灯不发出UV辐射。
给料器24是控制例如涂覆液体的数量、注射压力和注射时间等焊盘涂覆条件的装置。给料器24包括内/外方式开关4和定时/手动方式开关5。
当内/外方式开关4处于内部方式时，给料器24的焊盘涂覆条件由操作人员手动设置或给料器内部设置。当内/外方式开关4处于外部方式时，焊盘涂覆条件由控制器12提供的涂覆条件指示信号ADD设置。
当定时/手动方式开关5设置为定时方式时，注射时间由控制器12自动设置。当定时/手动方式开关5设置为手动方式时，注射时间由用户手动控制。
在常规的焊盘涂覆系统中，可能出现对涂覆操作造成不利影响的操作失误。例如，操作人员不小心将定时/手动方式2设为手动方式，在这种情况下UV照射时间不能正确的调节。而且，光闸开/关开关1不能正确的打开，或者UV灯开关3不能正确的打开。这些错误中的任何一个将导致不正确的UV照射，从而导致芯片焊盘的有缺陷的涂覆。
同样，操作人员也可能不小心将内/外方式开关4设置为内部方式，和/或将定时/手动开关5设置为手动方式。在这两种情况中的任一种情况下，可能导致涂覆材料不正确的分配。

发明内容
本发明的一个目的是提供监视UV源部分和给料器的状态，然后当UV源部分和给料器没有设置为所希望的状态时停止焊盘涂覆操作的焊盘涂覆系统。
本发明的另一个目的是提供监视UV源部分和给料器的状态，然后当UV源部分和给料器没有设置为所希望的状态时停止焊盘涂覆操作的焊盘涂覆系统的互锁方法。
根据本发明的一个方案，所提供的焊盘涂覆系统包括紫外线(UV)源部分、给料器和探针器。UV源部分包括第一控制开关、在根据UV源开/关信号进行焊盘涂覆操作期间发出UV的光源以及输出表示第一控制开关的各个操作状态的第一信号。给料器包括第二控制开关、在根据涂覆条件指示信号进行焊盘涂覆操作期间分配涂覆液体以及输出表示第二控制开关的各个操作状态的第二信号。探针器产生UV源开/关信号和涂覆条件指示信号、控制焊盘涂覆操作以及根据第一和第二信号停止焊盘涂覆操作。
根据本发明的另一个方案，提供用于焊盘涂覆系统的互锁方法，其中焊盘涂覆系统包括具有第一控制开关并在根据UV源开/关信号进行焊盘涂覆操作期间发出UV光的紫外线(UV)源部分、具有第二控制开关并在根据涂覆条件指示信号进行焊盘涂覆操作期间分配涂覆液体的给料器以及产生UV源开/关信号和涂覆条件指示信号并控制焊盘涂覆操作的探针器。该方法包括监视第一和第二开关的操作状态并在第一和第二开关中的至少一个的操作状态不处于所希望的状态时停止焊盘涂覆操作。


为了更全面地理解本发明及其优点，下面参考结合附图的介绍，其中相同的参考数字表示相同的元件，其中图1示出了常规焊盘涂覆系统的框图；图2示出了根据本发明的实施例的焊盘涂覆系统的框图；图3示出了根据本发明的另一个实施例的焊盘涂覆系统的框图；以及图4示出了根据本发明的焊盘涂覆系统的互锁方法的流程图。
具体实施例方式
现在参考本发明的优选实施例，在附图中示出了这些实施例的例子。
图2示出了根据本发明的实施例的焊盘涂覆系统的框图。图2的焊盘涂覆系统包括探针器30、输入/输出口40、UV源部分42和给料器44。探针器30包括控制器32和中断信号产生电路34。
输入/输出口40接收来自控制器32的数据并向控制器32输出数据。嵌入在探针器30中的控制器32存储由输入/输出口40输入的数据，控制探针器30、UV源部分42和给料器44，并输出数据到输入/输出口40。即，控制器32分别输出光闸开/关信号SOC和涂覆条件指示信号ADD到UV源部分42和给料器44，并根据中断信号INR停止系统的操作。
探针器30在控制器32的控制下装载晶片，当搜索到对应于由控制器12设置的坐标值的焊盘时，涂覆该焊盘，然后卸载晶片。
中断信号产生电路34根据光闸关闭信号SC、手动方式信号M1、UV灯关闭信号LO、内部方式信号INT和手动方式信号M2产生中断信号INR。光闸关闭信号SC、手动方式信号M1、UV灯关闭信号LO由UV源部分42产生，内部方式信号INT和手动方式信号M2由给料器44产生。在本实施例中，当光闸开/关开关1处于关闭状态时，光闸关闭信号SC为“高”；当UV源部分42的定时/手动方式开关2处于手动方式时，手动方式信号M1为“高”；当UV源部分42的UV灯3处于关闭状态时，UV灯关闭信号LO为“高”；当给料器44的内/外方式开关4处于内部方式时，内部方式信号INT为“高”；当给料器44的定时/手动方式开关5处于手动方式时，手动方式信号M2为“高”。当这些信号SC、M1、LO、INT和M2中的任何一个为“高”电平时，中断信号产生电路34产生中断信号INR。作为相应，控制器32产生告警或通过输入/输出口40输出错误消息。
UV源部分42根据控制器32提供的光闸开/关信号SOC控制UV光闸的打开或关闭，并输出表示光闸开/关开关1是否处于关闭状态的光闸关闭信号SC、表示定时/手动方式开关2是否处于手动方式的手动方式信号M1以及表示UV灯3是否处于关闭状态的UV灯关闭信号LO。
给料器44根据控制器32提供的涂覆条件指示信号ADD注射涂覆液体，并输出表示内/外方式开关4是否处于内部方式的内部方式信号INT和表示定时/手动方式开关5是否处于手动方式的手动方式信号M2。
如上所述，当UV源部分42的光闸开/关开关1设为关闭状态、定时/手动方式开关2设为手动方式、UV灯设为关闭状态、给料器44的内/外方式开关4设为内部方式或者定时/手动方式开关5设为手动方式时，焊盘涂覆系统产生中断信号INR来停止涂覆操作。当产生中断信号INR时，产生告警或通过输入/输出口40输出错误消息。由此，提醒操作人员检查UV源部分42和给料器44的开关消除产生错误的原因，从而预先防止有缺陷的涂覆操作。
图3示出了根据本发明的另一个实施例的焊盘涂覆系统的框图。图3的焊盘涂覆系统包括探针器50、输入/输出口60、UV源部分62和给料器64。探针器50包括控制器52以及第一和第二中断信号产生电路54和56。
第一中断信号产生电路54根据由UV源部分62产生的光闸关闭信号SC、手动方式信号M1、UV灯关闭信号LO产生第一中断信号INR1。在本实施例中，当UV源部分62的光闸开/关开关1处于关闭状态时，光闸关闭信号SC为“高”；当UV源部分62的定时/手动方式开关2处于手动方式时，手动方式信号M1为“高”；当UV源部分62的UV灯3处于关闭状态时，UV灯关闭信号LO为“高”。当这些信号SC、M1和LO中的一个或多个为“高”电平时，第一中断信号产生电路54产生第一中断信号INR1。
第二中断信号产生电路56根据由给料器64产生的内部方式信号INT和手动方式信号M2产生第二中断信号INR2。在本实施例中，当给料器64的内/外方式开关4处于内部方式时，内部方式信号INT为“高”；当给料器64的定时/手动方式开关5处于手动方式时，手动方式信号M2为“高”。当这些信号INT和M2中的一个或多个为“高”电平时，第二中断信号产生电路56产生第二中断信号INR2。
当产生第一中断信号INR1或第二中断信号INR2时，控制器52产生告警或通过输入/输出口40输出错误消息。而且，在输出错误消息的时候，在产生第一中断信号INR1时，控制器输出表示与UV源部分62有关的错误消息，在产生第二中断信号INR2时，控制器输出表示与给料器64有关的错误消息。
图3的焊盘涂覆系统允许通过输入/输出口60可视化的显示错误是与UV源部分62有关还是与给料器64有关，由此操作人员更容易确定产生错误的原因。
虽然没有显示出来，但是第一和第二中断信号产生电路54和56可以分别放在UV源部分62和给料器64中，而不是放在探针器50中。
而且，不能省略图2的中断信号产生电路34和第一和第二中断信号产生电路54和56。在这种情况下，构成焊盘涂覆系统，从而由UV源部分62产生的信号SC、M1和LO以及由给料器64产生的信号INT和M2直接加到控制器上。然后对控制器编程，根据各个信号SC、M1、LO、INT和M2的状态确定错误的存在。如上所述，任何错误可以通过输入/输出口可视化的显示。
在图2和3中，没有要求额外的电路来产生信号SC、M1和LO，可以构成UV源部分，从而由开关1、2和3的操作，内部产生的信号输出到外部。同样，没有要求额外的电路来产生信号INT和M2，可以构成给料器，从而由开关4和5的操作，内部产生的信号输出到外部。
当UV源部分和给料器的开关没有设置为所希望的状态时，即，在UV源部分和给料器不能完全由控制器控制时，本发明的焊盘涂覆系统停止焊盘涂覆操作。
图4示出了根据本发明的焊盘涂覆系统的互锁方法的流程图。图4的流程图示出了用于单个晶片的互锁方法。
首先，控制器分别输出光闸开/关信号SOC和涂覆条件指示信号ADD到UV源部分和给料器(步骤100)。
然后，控制器确定是否发出了焊盘涂覆开始命令(步骤110)。如果没有，重新进行步骤110。
如果已经发出了焊盘涂覆开始命令，则确定是否产生了中断信号INR(步骤120)。
如果已经产生了中断信号INR，则通过输入/输出口产生告警或错误消息(步骤130)。即，在进行焊盘涂覆操作之前，控制器确定是否UV源部分和给料器的开关已经设置为所希望的状态。如果开关没有设置为所希望的状态，则控制器停止焊盘涂覆操作。如上所述，当光闸开/关开关处于关闭状态、定时/手动方式开关处于手动方式、UV灯处于关闭状态、给料器的内/外方式开关处于内部方式或者定时/手动方式开关5设为手动方式时，产生中断信号INR。
如果不产生中断信号INR，则探针器装载晶片，以进行焊盘涂覆操作(步骤140)。
当搜索到要涂覆的晶片的焊盘时，探针器根据在给料器中设置的涂覆条件涂敷焊盘(步骤150)。
然后，当搜索到要涂覆的晶片的焊盘时，探针器根据在UV源部分设置的条件照射UV光(步骤160)。
在步骤150和160中，探针器根据在控制器中设置的坐标值搜索要涂覆的晶片的焊盘。
最后，探针器卸载完成的晶片并结束其操作(步骤170)。
即使图4的互锁方法检查在一个晶片单元中是否产生中断信号INR，也可以在多个晶片单元中检查是否产生中断信号INR。
如上所述，根据本发明的焊盘涂覆系统和互锁方法通过在UV源部分和给料器的开关处于不希望的状态时停止焊盘涂覆操作可以预先防止故障。
虽然参考优选实施例展示并介绍了本发明，但是本领域的普通技术人员应当理解，可以在不脱离本发明的精神和范围的前提下进行形式上和细节上的上述和其他改变。
权利要求
1.一种焊盘涂覆系统，包括紫外线(UV)源部分，包括第一控制开关，在根据UV源开/关信号进行焊盘涂覆操作期间发出UV光，输出表示第一控制开关的各个操作状态的第一信号；给料器，包括第二控制开关，在根据涂覆条件指示信号进行焊盘涂覆操作期间分配涂覆液体，输出表示第二控制开关的各个操作状态的第二信号；以及探针器，产生UV源开/关信号和涂覆条件指示信号，控制焊盘涂覆操作，根据第一和第二信号停止焊盘涂覆操作。
2.根据权利要求1的系统，其中探针器包括根据第一和第二信号产生中断信号的中断信号产生电路以及根据中断信号停止焊盘涂覆操作的控制器。
3.根据权利要求2的系统，其中焊盘涂覆系统还包括向控制器发送数据并从控制器接收数据的输入/输出口。
4.根据权利要求1的系统，其中探针器还包括根据第一信号产生第一中断信号的第一中断信号产生电路、根据第二信号产生第二中断信号的第二中断信号产生电路以及根据第一和第二中断信号停止焊盘涂覆操作的控制器。
5.根据权利要求1的系统，其中第一控制开关包括打开和关闭光闸以允许UV辐射的光闸开/关开关、将UV辐射时间设置为自动或手动的定时/手动方式开关以及打开和关闭UV灯的UV灯开关。
6.根据权利要求1的系统，其中第二开关包括将焊盘涂覆条件设置为自动或手动的内/外方式开关，以及将涂覆时间设置为自动或手动的定时/手动方式开关。
7.一种用于焊盘涂覆系统的互锁方法，焊盘涂覆系统包括具有第一控制开关并在根据UV源开/关信号进行焊盘涂覆操作期间发出UV光的紫外线(UV)源部分、具有第二控制开关并在根据涂覆条件指示信号进行焊盘涂覆操作期间分配涂覆液体的给料器以及产生UV源开/关信号和涂覆条件指示信号并控制焊盘涂覆操作的探针器，所述方法包括监视第一和第二开关的操作状态；以及在第一和第二开关中的至少一个的操作状态不处于所希望的状态时停止焊盘涂覆操作。
8.根据权利要求7的方法，还包括输出表示第一控制开关的各个操作状态的第一信号；输出表示第二控制开关的各个操作状态的第二信号；根据第一和第二信号产生中断信号；以及根据中断信号停止焊盘涂覆操作并产生告警和错误消息中的至少一种。
9.根据权利要求7的方法，还包括输出表示第一控制开关的各个操作状态的第一信号；输出表示第二控制开关的各个操作状态的第二信号；根据第一信号产生第一中断信号和第二信号产生第二中断信号；以及根据第一和第二中断信号停止焊盘涂覆操作并产生告警和错误消息中的至少一种。
10.根据权利要求7的方法，其中第一控制开关包括打开和关闭光闸以允许UV辐射的光闸开/关开关、将UV辐射时间设置为自动或手动的定时/手动方式开关以及打开和关闭UV灯的UV灯开关。
11.根据权利要求7的系统，其中第二开关包括将焊盘涂覆条件设置为自动或手动的内/外方式开关以及将涂覆时间设置为自动或手动的定时/手动方式开关。
全文摘要
一种焊盘涂覆系统，包括具有第一控制开关并在根据UV源开/关信号进行焊盘涂覆操作期间发出UV光的紫外线(UV)源部分、具有第二控制开关并在根据涂覆条件指示信号进行焊盘涂覆操作期间分配涂覆液体的给料器以及产生UV源开/关信号和涂覆条件指示信号并控制焊盘涂覆操作的探针器。监视第一和第二开关的操作状态，并且如果第一和第二开关的至少一个的操作状态没有设置为所希望的状态，则停止焊盘涂覆操作。
文档编号G01R31/28GK1517153SQ20041000222
公开日2004年8月4日 申请日期2004年1月15日 优先权日2003年1月16日
发明者卞守珉, 金秉住, 黄寅奭 申请人:三星电子株式会社