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专利名称：超纯氨纯度自动检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型及一种气体的纯度的检测系统，特别涉及在超纯氨生产设备上进行改 造能够自动在线检测超纯氨纯度的检测系统。
背景技术：
传统的氨杂质分析中对于水的分析主要是根据国标GB/T 14601-93碳化钙转化 法进行水份的检测，该方法的缺点是转化机理和转化率不能确定，所以定量不准确，且检测 灵敏度低，而对于H2、02、N2、CH4、C0、C02的分析还主要应用TCD检测器来检测且最小检测限 也在ppm级，该方法都不能满足电子级超纯氨ppb级杂质的分析，而且传统的超纯氨纯度检 测还没有实现整个工艺过程的在线监测及检测，只能对产品进行瓶瓶检测或抽检。这种分 析方法不能及时对设备的性能做出正确的判断，更不能及时解决出现的问题。
发明内容本实用新型为了克服上述缺点，提供一种能够满足电子级超纯氨纯度检测且可以 在线检测的系统本实用新型的技术方案是一种电子级超纯氨纯度自动检测系统，在氨气纯化生 产系统上设置了 12个采样点，各个采样点均通过带有阀控制的管路连接到采样盘上，采样 盘通过带有阀控制的管路连接到色谱分析仪和微水分析仪上，两个分析仪器与数据处理计 算机连接并相互传递信号。所述的12个采样点包括6个气相采样点、4个液相采样点和2个备用采样点。本实用新型在生产的同时可以判断各个设备运转的情况，能够对出现的问题及时 做出正确的判断。

图1是本实用新型各部件之间的结构示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本实用新型进行说明进行说明。本实用新型选用美国GOW-MAC 592型DID气相色谱仪和美国Tiger OpticsHALO-LP微水分析仪做为分析检测仪器。本实施例共选取12个采样点对整个工艺过程进行在线监测及检测，其中6个气相 采样点、4个液相采样点和2个备用采样点，通过1/4" EP管分别连接到十二点采样盘上。如图1所示采样盘通过1/8" EP管分别连接到美国GOW-MAC 592型DID气相色谱 仪和美国Tiger Optics HALO-LP微水分析仪上，分析仪在与PC机连接。各个采样点通过十二点采样盘16连接到分析仪器上，通过阀取样。取样后分别进 入HALO-LP微水分析仪13和GOW-MAC 592型DID气相色谱仪14，自动分析、数据处理、数据上传、数据保存。通过人机操作界面15对不合格产品做出相应处理、对合格产品打印报告、 出厂。本实施例共选用十二个采样点，其中六个气相采样点分别设在氨气纯化生产系统 上的精馏塔出口 1、终端纯化出口 2、终端纯化出口 3、终端纯化总出口 4、第四个47L钢瓶出 口 9以及Y型钢瓶气相出口 10上。四个液相采样点设在冷凝器出口 5、第一产品罐出口 6、第二产品罐出口 7以及充 装主管线8上。两个备用采样点设在返回钢瓶出口 11和Y型钢瓶液相出口 12上。
权利要求一种电子级超纯氨纯度自动检测系统，其特征是在氨气纯化生产系统上设置了12个采样点，各个采样点均通过带有阀控制的管路连接到采样盘上，采样盘通过带有阀控制的管路连接到色谱分析仪和微水分析仪上，两个分析仪器与数据处理计算机连接并相互传递信号。
2.如权利要求1所述的电子级超纯氨纯度自动检测系统，其特征是所述的12个采样点 包括6个气相采样点、4个液相采样点和2个备用采样点。
专利摘要本实用新型公开了超纯氨纯度自动检测系统，检测系统包括十二点采样装置、超纯氨杂质检测装置和数据处理装置，所述十二点采样装置包括6个气相采样点、4个液相采样点和2个备用采样点，通过EP管分别连接到十二点采样盘上，本系统的优点是不仅可以对产品质量进行检测也可以在生产的同时监控各个设备运转的情况，能够对出现的问题及时做出正确的判断。
文档编号G01N35/10GK201654045SQ20102016197
公开日2010年11月24日 申请日期2010年4月16日 优先权日2010年4月16日
发明者刘志军, 吴彦敏, 李英辉, 金向华 申请人:苏州金宏气体股份有限公司