专利名称：取样装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种用于吸取化学试剂的取样装置。
背景技术：
在集成电路制造领域，在某些工艺步骤后，通常会在晶圆表面留下污染物，所述污 染物包括有机化合物、金属杂质或颗粒等，这些污染物对于产品后续工艺的影响非常大。例 如，颗粒的附着会影响光刻工艺图案转移的真实性，甚至会造成电路结构的短路。因此，在 半导体器件制造过程中，除了要排除外界的污染源外，还需要频繁的进行晶圆清洗工作，所 述晶圆清洗工作是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体 清除残留在晶圆上的污染物，避免这些污染物影响后续制程的进行，并防止清洗机台与其 它晶圆受到这些污染物的污染。在晶圆清洗过程中，主要是利用化学试剂对晶圆进行浸泡和清洗。例如，采用美国 SCP公司生产的清洗设备，利用硫酸、氢氟酸、盐酸、硝酸、氨水、双氧水以及其混合溶液等具 有强腐蚀性的化学试剂，来对晶圆进行清洗。在利用清洗设备清洗晶圆的过程中，需要定 期对清洗设备内的化学试剂进行取样分析，以判断该化学试剂的金属离子含量、浓度以及 PH值等参数是否符合要求，这就需要操作人员经常利用取样装置从清洗设备内取出化学试 剂。具体请参考图1，其为现有的取样装置的示意图，如图1所示，所述取样装置100包 括吸管110、压缩瓶120以及与压缩瓶120匹配的瓶盖130，请继续参考图2，其为现有的取 样装置的使用示意图，如图2所示，当需要进行取样时，首先打开清洗设备10的防护门，并 将瓶盖130拧在压缩瓶120上，将吸管110插入到清洗设备10内；接着，用手反复挤压所述 压缩瓶120，将化学试剂吸入到压缩瓶120内；并将吸管110和瓶盖130从压缩瓶120上取 下，并将另一没有孔的盖子拧紧在压缩瓶120上，晃动压缩瓶120以对其进行润洗，之后将 压缩瓶120内废弃的化学试剂排放到去离子水槽内，如此反复润洗压缩瓶多次，确保压缩 瓶120的洁净度；最后，在利用压缩瓶120和吸管110吸取化学试剂，并将化学试剂倒入到 取样瓶内进行分析。然而，在实际生产中发现，现有的取样装置具有下述几个缺点首先，操作人员需 要在清洗设备10附近不停的挤压压缩瓶120，这是十分危险的，清洗设备10内各种具有强 腐蚀性的液体极有可能溅射到操作人员身上，威胁操作人员的人身安全；并且，操作人员在 清洗设备10附近操作也有可能将其身体上的金属离子带入到清洗设备10内，使得清洗设 备10被污染；此外，润洗压缩瓶120后产生的废弃的化学试剂需要排放到去离子水槽内，也 会污染去离子水槽。因此，提供一种取样装置，减少操作人员与清洗设备的接触，确保操作人员的人身 安全和设备的洁净度，是十分必要的。
实用新型内容本实用新型提供一种取样装置，以解决现有的取样装置需要操作人员紧密接触清洗设备，威胁操作人员的人身安全，无法确保设备的洁净度的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种取样装置，包括吸液管、排液管、吸液 球以及阀门，所述吸液球分别与所述吸液管和所述排液管连接，所述阀门设置于所述排液管上。可选的，所述吸液管的材质是可溶性聚四氟乙烯。可选的，所述排液管的材质是可溶性聚四氟乙烯。可选的，所述吸液球的材质是可溶性聚四氟乙烯。可选的，所述吸液管的长度为30 100cm。可选的，所述吸液球的容积大于所述吸液管的容积。与现有技术相比，本实用新型所提供的取样装置包括吸液管、吸液球以及阀门，当 进行取样工作时，先关闭阀门再挤压吸液球，由于吸液球内的压力小于外界气压，化学试剂 被吸入吸液球，之后再打开阀门，根据连通器原理，即可使化学试剂经排液管流入到取样瓶 内，本实用新型所提供的取样装置无需操作人员靠近清洗设备进行取样工作，可使化学试 剂自动流入到取样瓶内，确保操作人员的人身安全和设备的洁净度，同时，也无需润洗工 作，不会产生废弃的化学试剂。
图1为现有的取样装置的示意图；图2为现有的取样装置的使用示意图；图3为本实用新型实施例提供的取样装置的示意图；图4为本实用新型实施例提供的取样装置的使用示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优 选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用 新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作 为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权 利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且 均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，提供一种取样装置，所述取样装置包括吸液管，吸液 球和阀门，当进行取样时，先关闭阀门再挤压吸液球，由于吸液球内压力小于外界气压，样品被吸入吸液球，之后再打开阀门，利用连通器的原理，即可使化学试剂经排液管流入到取样瓶内，操作人员无需靠近清洗设备进行取样工作，可使化学试剂自动流入到取样瓶内，确 保操作人员的人身安全和设备的洁净度，且所述取样装置无需润洗工作，不会产生废弃的 化学试剂。具体请参考图3，其为本实用新型实施例提供的取样装置的示意图，如图3所示， 取样装置200包括吸液管210、排液管220、吸液球230以及阀门240，所述吸液球230分 别与吸液管210和排液管220连接，所述阀门240设置于排液管220上。在本实用新型的一个具体实施例中，吸液管210的材质是可溶性聚四氟乙烯 (PFA)，吸液管210的壁厚为0. 5mm至1. 5mm,以保证其耐腐蚀性。在本实用新型的一个具体实施例中，排液管220的材质是可溶性聚四氟乙烯，排 液管220的壁厚为0. 5mm至1. 5mm。所述吸液管210和排液管220可耐高温、耐酸碱，避免受到化学试剂的腐蚀，且不 会产生粉尘或颗粒而影响化学试剂的洁净度。当然，在本实用新型其它实施例中，吸液管 210和排液管220也可以是由其它耐高温且耐酸碱腐蚀的材质制成的，例如高密度聚乙烯 (HDPE)。在本实用新型的一个具体实施例中，吸液球230的材质是可耐腐蚀的可溶性聚四 氟乙烯。在本实用新型其它实施例中，吸液球230也可以是由其它耐腐蚀、耐高温且较柔软 的材质制成。在本实用新型的其它具体实施例中，取样瓶250上可以设置有刻度，以便于判断 取出的化学试剂的数量，所述取样瓶250的容积可以为50 200mL。在本实用新型的一个具体实施例中，吸液管210的长度应与清洗设备的高度相匹 配，例如其可以为30 100cm，确保在取样过程中，确保吸液球230的高度低于清洗设备内 液面的高度。在本实用新型的一个具体实施例中，吸液球230的容积大于吸液管210的容积，以 使化学试剂自动流入到取样瓶内，确保操作人员的人身安全和设备的洁净度，且所述取样 装置无需润洗工作，不会产生废弃的化学试剂。请继续参考图4，其为本实用新型实施例提供的取样装置的使用示意图，如图4所 示，需要进行取样操作时，首先打开清洗设备的防护门，并将吸液管210插入到清洗设备20 的化学试剂内，同时确保吸液球230的高度低于清洗设备内液面的高度；接着，关闭阀门 240，并挤压吸液球230，使吸液球230内呈负压状态，进而依靠吸液球230内的负压将化学 试剂吸入到吸液管210内；再打开阀门240，即可利用连通器的原理，使化学试剂自动流入 到取样瓶250内。本实用新型所提供的取样装置200无需操作人员持续靠近清洗设备20进行取样 工作，可利用连通器的原理，使化学试剂自动流入到取样瓶250内，确保操作人员的人身安 全，同时可确保清洗设备20的洁净度。此外，所述取样装置200也无需润洗工作，不会产生 废弃的化学试剂，确保不会污染去离子水槽。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种取样装置，其特征在于，包括吸液管、排液管、吸液球以及阀门，所述吸液球分别与所述吸液管和所述排液管连接，所述阀门设置于所述排液管上。
2.如权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述吸液管的材质是可溶性聚四氟乙烯。
3.如权利要求2所述的取样装置，其特征在于，所述排液管的材质是可溶性聚四氟乙烯。
4.如权利要求3所述的取样装置，其特征在于，所述吸液球的材质是可溶性聚四氟乙烯。
5.如权利要求1或4所述的取样装置，其特征在于，所述吸液管的长度为30 100cm。
6.如权利要求5所述的取样装置，其特征在于，所述吸液球的容积大于所述吸液管的 容积。
专利摘要本实用新型揭示了一种取样装置，所述取样装置包括吸液管、排液管、吸液球以及阀门，所述吸液球分别与所述吸液管和所述排液管连接，所述阀门设置于所述排液管上。本实用新型可确保操作人员的人身安全，并可确保化学试剂的洁净度。
文档编号G01N1/14GK201561879SQ20092021328
公开日2010年8月25日 申请日期2009年12月17日 优先权日2009年12月17日
发明者张跃, 朱建红, 王晶 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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