专利名称：表面粒子计数器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及应用在净室中的一种粒子计数器，具体涉及一种改进的表面粒子 计数器。
背景技术：
表面粒子计数器是一种用于检测物体表面上的尘�？帕５囊瞧�。当前所使用的表 面粒子计数器主要由采样�？椤⒓觳饽？楹托藕糯碛胂允灸？樽槌桑霾裳？橛糜� 采集物体表面上的尘�？帕＃ü锰�、吸气管路和吹气管路等组成，所述检测�？橹饕� 括粒子检测器，用于检测采样气体的尘�？帕＃⒆钪胀ü藕糯碛胂允灸？橄蚬ぷ魅� 员显示检测结果。然而，当前所使用的表面粒子计数器往往存在采样�？橹写等肫宓牧髁抗蠊� 快，使空气粒子产生静电，从而导致影响检测结果的问题。
实用新型内容为解决上述技术问题，我们提出了一种表面粒子计数器，可防止采样�？橹兴� 入的气体产生静电，使表面粒子计数器能够实现高速吹和快速吸的特点，从而可提高其检 测效率和准确度。为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下一种表面粒子计数器，包括采样�？�、检测�？楹托藕糯碛胂允灸？椋凰霾裳� �？橛胨黾觳饽？橄嗔樱霾裳？榘ㄆ纷爸煤陀胨銎纷爸孟嗔南驳� 装置；所述检测�？橛胨鲂藕糯碛胂允灸？橄嗔�。优选的，所述气路装置包括吹气管路、吸气管路和泵体。优选的，所述消静电装置为消静电管。通过上述技术方案，本实用新型提供了一种表面粒子计数器，通过在采样�？樯� 设置消静电管，使得吹入的空气粒子不产生静电，使表面粒子计数器能够实现高速吹和快 速吸的特点，从而可提高其检测效率和准确度。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例所公开的一种表面粒子计数器的结构示意图；图2为本实用新型实施例所公开的采样�？榈慕峁故疽馔迹煌�3为本实用新型实施例所公开的气路通道示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型提供了一种表面粒子计数器，可防止采样�？橹兴等氲钠宀� 电，使表面粒子计数器能够实现高速吹和快速吸的特点，可提高其检测效率和准确度。参见图1，本实用新型所提供的表面粒子技术器，包括采样�？�100、检测�？�200 和信号处理与显示�？�300。采样�？�100用于采集物体表面上的尘�？帕＃渭�2所示的示意图，该�？榘� 括吹气嘴101、吹气腔102、消静电管103、吸气嘴104和吸气腔105，由吹气嘴101所吹入的 气体经消静电管103之后，使得气体中的空气粒子之间不存在静电，可以进行高速吹气，然 后吸气管路快速将气体吸入到检测�？�200进行检测，从而可以提高表面粒子计数器的检 测效率和准确度。检测模块200与采样�？�100相连接，用于检测检测采样气体的尘�？帕＃� 子检测器201，粒子检测器201可以采用现有技术已知的用于确定粒子数量和大小的激光 二极管光散射计数器。信号处理与显示�？�300与检测�？�200相连接，用于向工作人员显示检测结果。参见图3，为本实用新型所提供的一种表面粒子计数器的气路通道。该气路通道 基本上是一个闭合系统，将洁净空气提供到吹气管路，使粒子在气流中返回，将该气流通过 消静电管103进行消静电后由吸气管路吸至吸气腔105，并送至粒子检测器201进行检测。 真空泵体106两侧分别连接用于滤出流动空气中的粒子的高效过滤器107，和用于测量气 流流速的空气流量计108。本实用新型所提供的表面粒子计数器，通过在采样�？樯仙柚孟驳绻埽沟么� 入的空气粒子不产生静电，使表面粒子计数器能够实现高速吹和快速吸的特点，从而可提 高其检测效率和准确度。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求一种表面粒子计数器，其特征在于，包括采样�？�、检测�？楹托藕糯碛胂允灸？椋凰霾裳？橛胨黾觳饽？橄嗔樱霾裳？榘ㄆ纷爸煤陀胨銎纷爸孟嗔南驳缱爸茫凰黾觳饽？橛胨鲂藕糯碛胂允灸？橄嗔印�
2.根据权利要求1所述的一种表面粒子计数器，其特征在于，所述气路装置包括吹气 管路、吸气管路和泵体。
3.根据权利要求1所述的一种表面粒子计数器，其特征在于，所述消静电装置为消静电管。
专利摘要本实用新型公开了一种表面粒子计数器，其特征在于，包括采样�？�、检测�？楹托藕糯碛胂允灸？椋凰霾裳？橛胨黾觳饽？橄嗔樱霾裳？榘ㄆ纷爸煤陀胨銎纷爸孟嗔南驳缱爸茫凰黾觳饽？橛胨鲂藕糯碛胂允灸？橄嗔樱ü臼涤眯滦退峁┑囊恢直砻媪Ｗ蛹剖鳎煞乐共裳？橹兴等氲钠宀驳纾贡砻媪Ｗ蛹剖髂芄皇迪指咚俅岛涂焖傥奶氐悖佣商岣咂浼觳庑屎妥既范取�
文档编号G01N1/10GK201757736SQ20102025597
公开日2011年3月9日 申请日期2010年7月13日 优先权日2010年7月13日
发明者曾世清 申请人:苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
