专利名称：泄漏侦测装置及侦测方法
技术领域：
本发明涉及泄漏侦测技术领域，尤其涉及一种泄漏侦测装置及侦测方法。
背景技术：
半导体芯片制造是一个尖端科技行业，同时又是一个耗水量大、产生工业废水较多的行业。半导体芯片制造厂废水的来源，可略分为化学品废水、纯水系统废水以及制程废液等。这些废水一般都通过废水提升站进行收集和处理，废水提升站是厂务收集无尘室各种生产排水的区域，一般位于地下室或者半地下室。废水提升站内布置有几十个不同种类的化学品、废水及废液的收集桶槽，所述收集桶槽用于收集对应类别的废水。如果废水提升站区域桶槽发生大量泄漏，既会导致生产排水系统中断，从而影响无尘室的正常生产；也会造成重大安全生产事故的发生。因此，为了及早侦测到该区域的滴漏，避免事故扩大化，提高生产的稳定性，通常在废水提升站内设置有废水泄漏侦测装置， 以便及时侦测到泄漏情况，并及时进行紧急应变处理。现有的废水泄漏侦测装置一般包括泄漏侦测器以及中央控制室，所述泄漏侦测器设置于所述废水提升站的地面上，侦测泄漏情况，当侦测到地面有水时，所述泄漏侦测器发生报警，并将侦测到的信号输送到中央控制室，以便及时进行紧急应变处理。然而现有的废水泄漏侦测装置存在如下的缺点和不足之处1)由于废水区域设备的维修和保养会排放一些废液，这些废液容易将泄漏侦测器腐蚀，造成其失效，因而需要定期更换；2)由于废水区域环境湿度比较大，一旦地面有潮湿，泄漏侦测器就会发生误报警， 需要一定的人力去处理恢复；并且随着时间的增长，值班人员会对泄漏侦测器的报警产生信任危机，可能延时处理从而导致真实事件发生；3)泄漏侦测器价位偏高；4)需对泄漏侦测器定期做功能测试，从而花费人力。因此，有必要对现有的泄漏侦测装置进行改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种泄漏侦测装置及侦测方法，以解决现有的废水提升站采用泄漏侦测器进行泄漏侦测，该泄漏侦测器极易被排放的废液腐蚀而失效，并且无法分辨桶槽大漏和滴漏冷凝水造成的地面潮湿情况，同时使用成本高的问题。为解决上述问题，本发明提出一种泄漏侦测装置，用于侦测废水提升站区域的泄漏情况，其中，所述废水收集在桶槽中，该装置包括液位计，设置于所述桶槽中，用于测量所述桶槽的液位值；数据采集与监视控制装置，采集所述液位计在第一时间的第一液位值，及第二时间的第二液位值；以及
控制设备，根据所述第一时间、第一液位值、第二时间、第二液位值以及桶槽的总深度，计算实际相对液位变化率，并将所述实际相对液位变化率与一标准相对液位变化率进行比较，若所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值， 所述控制设备发出报警。可选的，所述标准相对液位变化率为0. 667% /小时 /小时。可选的，所述实际相对液位变化率的计算公式为A _ 1Vl- Vl 其中，Αω表示实际相对液位变化率，L1表示第一时间对应的
(O Jt ，
第一液位值，L2表示第二时间对应的第二液位值，L表示所述桶槽的总深度，At表示所述第二时间与第一时间的时间差。同时，为解决上述问题，本发明还提出一种利用上述的泄漏侦测装置侦测废水泄漏的方法，该方法包括如下步骤设定所述数据采集与监视控制装置的采集时间间隔；设定所述桶槽在所述第二时间与第一时间的时间差内的标准相对液位变化值；所述数据采集与监视控制装置或所述控制设备根据所述标准相对液位变化值及所述采集时间间隔计算标准相对液位变化率；所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计在第一时间的第一液位值；所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计在第二时间的第二液位值，其中， 所述第二时间与所述第一时间的时间差等于所述采集时间间隔；以及所述控制设备根据所述第一时间、第一液位值、第二时间、第二液位值以及桶槽的总深度，计算实际液位相对变化率，并将所述实际相对液位变化率与所述标准相对液位变化率进行比较，若所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值，所述控制设备发出报警。可选的，所述标准相对液位变化率为0. 667% /小时 1 % /小时。可选的，所述实际相对液位变化率的计算公式为, _ Ι / -1χ/ 其中，Αω表示实际相对液位变化率，L1表示第一时间对应的
(O _ ^ ,
第一液位值，L2表示第二时间对应的第二液位值，L表示所述桶槽的总深度，At表示所述第二时间与第一时间的时间差。本发明由于采用了以上的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果1)本发明提供的泄漏侦测装置只有液位计与废液直接接触，而液位计不易被腐蚀，因而降低了硬件投资和运行费用，同时减轻了人力负荷；2)本发明提供的泄漏侦测装置只有在所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值的情况下，才会发出报警，从而能分辨出桶槽大漏和滴漏冷凝水造成的地面潮湿情况，消除了现有技术中的泄漏侦测器的误报警，增加了系统稳定性，可以比较准确地监控到大量泄漏；3)本发明提供的泄漏侦测装置还可以侦测桶槽液位上升的速率，从而监控工厂机台的异常排放，避免因桶槽液位上升过快而导致溢流。
图1为本发明实施例提供的泄漏侦测装置的结构示意图；图2为本发明实施例提供的侦测废水泄漏的方法步骤流程图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的泄漏侦测装置及侦测方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。本发明的核心思想在于，提供一种泄漏侦测装置，该装置包括液位计、数据采集与监视控制装置以及控制设备，该装置通过将实际相对液位变化率的绝对值与标准相对液位变化率的绝对值进行比较，判断是否发生大泄漏，进而发出报警，从而消除了现有技术中的泄漏侦测器的误报警，增加了系统稳定性，可以比较准确地监控到大量泄漏；并且由于液位计不易被腐蚀，因而降低了硬件投资和运行费用，同时减轻了人力负荷；同时还提供一种侦测废水泄漏的方法，该方法通过所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计的测量值; 同时，所述控制设备计算桶槽的实际相对液位变化率，并将所述实际相对液位变化率的绝对值与一标准相对液位变化率进行比较，判断是否发生大泄漏，进而发出报警。请参考图1，图1为本发明实施例提供的泄漏侦测装置的结构示意图，如图1所示， 本发明实施例提供的泄漏侦测装置包括液位计101，所述液位计101设置于所述桶槽104中，用于测量所述桶槽104的液位值；数据采集与监视控制装置102，采集所述液位计101在第一时间的第一液位值，及第二时间的第二液位值；以及控制设备103，所述控制设备103根据所述第一时间、第一液位值、第二时间、第二液位值以及桶槽的总深度，计算实际相对液位变化率，并将所述实际相对液位变化率与一标准相对液位变化率进行比较，若所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值，所述控制设备103发出报警。进一步地，所述标准相对液位变化率为0. 667% /小时 1 % /小时。进一步地，所述实际相对液位变化率的计算公式为, 一 ‘1/, - 1A其中，Aw表示实际相对液位变化率，L1表示第一时间对应的
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第一液位值，L2表示第二时间对应的第二液位值，L表示所述桶槽的总深度，At表示所述第二时间与第一时间的时间差。请继续参考图2，图2为本发明实施例提供的侦测废水泄漏的方法步骤流程图， 如图2所示，本发明实施例提供的利用上述泄漏侦测装置侦测废水泄漏的方法包括如下步骤设定所述数据采集与监视控制装置的采集时间间隔；
设定所述桶槽在所述第二时间与第一时间的时间差内的标准相对液位变化值；所述数据采集与监视控制装置或所述控制设备根据所述标准相对液位变化值及所述采集时间间隔计算标准相对液位变化率；所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计在第一时间的第一液位值；所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计在第二时间的第二液位值，其中， 所述第二时间与所述第一时间的时间差等于所述采集时间间隔；以及所述控制设备根据所述第一时间、第一液位值、第二时间、第二液位值以及桶槽的总深度，计算实际液位相对变化率，并将所述实际相对液位变化率与所述标准相对液位变化率进行比较，若所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值，所述控制设备发出报警。进一步地，所述标准相对液位变化率为0. 667% /小时 1 % /小时。进一步地，所述实际相对液位变化率的计算公式为
权利要求
1.一种泄漏侦测装置，用于侦测废水提升站区域的废水泄漏情况，其中，所述废水收集在桶槽中，其特征在于，该装置包括液位计，设置于所述桶槽中，用于测量所述桶槽的液位值；数据采集与监视控制装置，采集所述液位计在第一时间的第一液位值，及第二时间的第二液位值；以及控制设备，根据所述第一时间、第一液位值、第二时间、第二液位值以及桶槽的总深度， 计算实际相对液位变化率，并将所述实际相对液位变化率与一标准相对液位变化率进行比较，若所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值，所述控制设备发出报警。
2.如权利要求1所述的泄漏侦测装置，其特征在于，所述标准相对液位变化率的计算公式为
3.如权利要求1所述的泄漏侦测装置，其特征在于，所述标准相对液位变化率为 0. 667% /小时 /小时。
4.如权利要求1所述的泄漏侦测装置，其特征在于，所述实际相对液位变化率的计算公式为
5.一种利用权利要求1所述的泄漏侦测装置侦测废水泄漏的方法，其特征在于，包括如下步骤设定所述数据采集与监视控制装置的采集时间间隔； 设定所述桶槽在所述采集时间间隔内的标准相对液位变化值； 所述数据采集与监视控制装置或所述控制设备根据所述标准相对液位变化值及所述采集时间间隔计算标准相对液位变化率；所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计在第一时间的第一液位值； 所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计在第二时间的第二液位值，其中，所述第二时间与所述第一时间的时间差等于所述采集时间间隔；以及所述控制设备根据所述第一时间、第一液位值、第二时间、第二液位值以及桶槽的总深度，计算实际液位相对变化率，并将所述实际相对液位变化率与所述标准相对液位变化率进行比较，若所述实际相对液位变化率的绝对值大于所述标准相对液位变化率的绝对值， 所述控制设备发出报警。
6.如权利要求5所述的侦测废水泄漏的方法，其特征在于，所述标准相对液位变化率的计算公式为
7.如权利要求5所述的侦测废水泄漏的方法，其特征在于，所述标准相对液位变化率为0. 667% /小时 /小时。
8.如权利要求5所述的侦测废水泄漏的方法，其特征在于，所述实际相对液位变化率的计算公式为
全文摘要
本发明公开了一种泄漏侦测装置，该装置包括液位计、数据采集与监视控制装置及控制设备，该装置通过将实际相对液位变化率的绝对值与标准相对液位变化率的绝对值进行比较，判断是否发生大泄漏，进而发出报警，从而消除了现有技术中的泄漏侦测器的误报警，增加了系统稳定性，可以比较准确地监控到大量泄漏；同时还提供一种侦测废水泄漏的方法，该方法通过所述数据采集与监视控制装置采集所述液位计的测量值；同时，利用所述控制设备计算桶槽的实际相对液位变化率，并将所述实际相对液位变化率的绝对值与一标准相对液位变化率进行比较，判断是否发生大泄漏，进而发出报警；该方法简单可靠。
文档编号G01M3/26GK102374927SQ20101026153
公开日2012年3月14日 申请日期2010年8月24日 优先权日2010年8月24日
发明者厉晓华, 张云秀, 王兴宇 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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