专利名称：X射线检查方法和x射线检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及χ射线检查方法和χ射线检查装置。特别地，本发明是利用X射线照射来检查对象物的拍摄方法，涉及应用于X射线检查方法和X射线检查装置的技术。
背景技术：
近年来，亚微米(SUbmicron)的微细加工技术推进LSI (Large-Scale Integration 大规模集成电路)的高集成化，将以往分为多个封装的功能集成到一个LSI 中。在以往的QFP (Quad Flat Package 四侧引脚扁平封装)、PGA (Pin Grid Array :栅格阵列接脚)中，无法对应因组装一系列封装(one package)所需的功能而导致的管脚数增加， 因此，最近特别使用BGA(Ball Grid Array 球状引脚栅格阵列)、CSP(Chip Size Package 芯片尺寸封装)封装的LSI。另外，为了满足移动电话等的超小型化的需要，即使管脚数不需要那么多，也使用BGA封装。LSI的BGA、CSP封装对超小型化做出巨大贡献的反面，在装配(assembly)后无法从外观上看到焊接部分等。因此，在对安装了 BGA、CSP封装的印刷基板等进行检查时，对检查对象品照射X射线而获取透视图像，对该透视图像进行分析，从而判断品质是否良好。每当判断是否良好时，广泛使用X射线CT (Computed Tomography 断层摄影)，根据从多个方向拍摄的透视图像来重建对象物的三维数据。在专利文献1 (JP特开2007-127668号公报)中公开了这样的方法使用单一焦点的X射线源，在XY方向依次移动作为检查对象的基板，从而从多个方向拍摄基板的图像。 图32表示使用专利文献1的方法时的基板的轨道。另外，在专利文献2 (JP特开2006-177760号公报)中公开了这样的方法利用离散配置的多个检测器来拍摄基板。由于用多个检测器拍摄，因此能够减少基板的移动次数。现有技术文献专利文献专利文献1 JP特开2007-127668号公报，专利文献2 JP特开2006-177760号公报。
发明内容
发明要解决的问题在现有方法中，难以高速进行CT重建。在专利文献1记载的方法中，能够拍摄的方向和拍摄张数由检测器区域的分区方法决定，无法改变。在专利文献1中示出了对于各关注区域获取9张(宽度)图像的例子。另外，在专利文献2记载的方法中，能够拍摄的方向和拍摄张数由检测器的配置决定。进而，在专利文献1和2记载的方法中，在对多个视场(一个检测器能够拍摄的检查对象上的范围)进行拍摄时，基板的移动次数巨大。因此，基板的移动时间导致获取图像
4耗时。本发明为了解决上述问题，目的在于提供一种能够高速进行CT重建的X射线检查方法和X射线检查装置。用于解决问题的方法根据本发明的一个方面，提供一种X射线检查方法，从X射线源输出X射线，利用X 射线检测部对透过对象物的检查对象区域的X射线进行检测，根据检测出的X射线所示的图像来重建检查对象区域的三维数据，X射线检查方法的特征在于，包括部分图像取得步骤，X射线源从X射线焦点位置输出X射线，使所输出的X射线分别透过多个部分区域，根据透过多个部分区域的X射线的检测结果，分别取得多个部分区域中的各部分区域的部分图像，多个部分区域是在第一方向上分割检查对象区域而成的多个部分区域，重复步骤，一边使X射线源的X射线焦点位置在第一方向上扫描，一边重复执行部分图像取得步骤，重建步骤(S1410)，根据通过X射线焦点位置的扫描而取得的多个X射线焦点位置中的各焦点位置所对应的部分图像，重建三维数据。优选地，检查对象区域在第一方向和第二方向上被分割为多个部分区域，第二方向与第一方向相交，在重复步骤中，使X射线源的X射线焦点位置在第一方向上扫描后，使对象物在第二方向上移动，一边根据使对象物在第二方向上移动的状态来使X射线源的X 射线焦点位置在第一方向上扫描，一边重复执行部分图像取得步骤。优选地，在重复步骤中，使X射线焦点位置在多条线上扫描。进一步优选地，X射线源包括分别配置在多条线上的多个靶，在重复步骤中，使X 射线焦点位置在各靶上扫描。进一步优选地，在与线相交的方向上，X射线检测部夹在两个靶之间。进一步优选地，各靶是反射型靶。根据本发明的其他方面，提供一种用于对对象物的检查对象区域的三维数据进行重建的X射线检查装置。X射线检查装置具有x射线源，其用于输出X射线；X射线检测部， 其用于检测X射线，并输出所检测出的X射线所示的图像；控制部，其用于控制X射线检查装置的动作。控制部具有图像取得部，其用于根据特定X射线的检测结果，来取得多个部分区域中的各部分区域的部分图像，特定X射线是从X射线源的X射线焦点位置输出并分别透过多个部分区域的X射线，多个部分区域是在第一方向上分割检查对象区域而成的多个部分区域；X射线源控制部，其用于控制X射线源使X射线焦点位置在第一方向上扫描； 重建部，其用于随着X射线源控制部使X射线焦点位置进行扫描，根据图像取得部针对多个 X射线焦点位置中的各焦点位置取得的部分图像，来重建三维数据。发明的效果根据本发明，使X射线的焦点位置进行扫描，X射线检查装置，在所拍摄的图像中， 利用从各焦点位置输出并透过检查对象区域的X射线所对应的部分的图像，重建检查对象区域的三维数据。由此，根据本发明，能够高速取得来自CT重建所需的多个方向的检查对象的X射线透视图像。因此，根据本发明，能够高速进行CT重建。
图1是第一实施方式的X射线检查装置的概略框图。
图2是用于说明第一实施方式的X射线检查装置的结构的图。图3是X射线源的剖面图。图4是从Y方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图5是从Z方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图6是从X方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图7是检查对象的立体图。图8是用于对透过部分区域的X射线进行说明的图。图9是表示针对焦点位置Fl而取得的部分图像的图。图10是表示针对焦点位置F3而取得的部分图像的图。图11是表示针对焦点位置F6取得的部分图像的图。图12是用于说明检查对象的移动的图。图13是表示入射至部分区域的X射线的入射方向的图。图14是以流程图形式表示第一实施方式的X射线检查的全部流程的图。图15是以流程图形式表示在图14中说明的CT拍摄的处理流程的图。图16是用于说明第二实施方式的X射线检查装置的结构的图。图17是从Y方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图18是从Z方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图19是从X方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图20是以流程图形式表示第二实施方式的CT拍摄的处理流程的图。图21是第三实施方式的X射线源的剖面图。图22是第三实施方式的X射线源的俯视图。图23是从Y方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图M是从Z方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图25是从X方向所见的X射线检测器、检查对象、X射线焦点位置的主视图。图沈是以流程图形式表示第三实施方式的CT拍摄的处理流程的图。图27是用于说明X射线检测器的XY平面内的位置的图。图28是用于说明X射线检测器的TL平面内的位置的图。图四是用于说明第四实施方式的X射线检查方式的第一图。图30是用于说明第四实施方式的X射线检查方式的第二图。图31是用于说明第四实施方式的X射线检查方式的第三图。图32是表示使用专利文献1的方法时的基板的轨道的图。
具体实施例方式下面，参照附图来说明本发明的实施方式。在以下的说明中，对同一部分标注相同附图标记。它们的名称和功能也相同。因此不同对其重复详细说明。[第一实施方式](概略结构)参照图1，针对第一实施方式的X射线检查装置100的结构进行说明。图1是第一实施方式的X射线检查装置100的概略框图。
X射线检查装置100具有用于输出X射线18的X射线源10、X射线检测器23、图像取得控制机构30。进而，X射线检查装置100还具有输入部40、输出部50、X射线源控制机构60、运算部70、存储器90。在X射线源10和X射线检测器23之间配置检查对象1。在本实施方式中，检查对象1是安装有元件的电路基板。此外，在图1中，从下方开始按顺序设置X射线源10、检查对象l、x射线检测器23，但从X射线源的维护性的观点出发。也可以从下方开始按顺序排列配置X射线检测器23、检查对象1、X射线源10。X射线源10受X射线源控制机构60的控制，对检查对象1照射X射线18。在本实施方式中，检查对象1是安装了电路元件的基板。检查对象驱动机构20 (图1中未图示)使检查对象1移动。作为检查对象驱动机构20，例如能够使用X-Y-Z载物台、夹着检查对象1的一对导轨。X射线检测器23是二维X射线检测器，对从X射线源10输出并透过检查对象1的 X射线进行检测，并使其图像化。即，X射线检测器23输出由所检测出的X射线所示的图像。 作为X射线检测器23，能够使用I. I. (Image Intensifier 影像增强)管、FPD (Flat Panel Detector 平板探测器)。从设置空间的观点出发，优选对X射线检测器23使用FPD。另外，为了能够在生产线上(in-line)检查，优选X射线检测器23具有高灵敏度，特别优选使用了 CdTe (碲化镉)的直接变换方式的FPD。图像取得控制机构30包括图像数据取得部34。图像数据取得部34从运算部70 取得所指定的X射线检测器23的图像数据。输入部40是用于接收来自用户的指示输入等的操作输入设备。输出部50是向外部输出测定结果等的装置。在本实施方式中，输出部50是用于显示由运算部70构建的X 射线图像等的显示器。S卩，用户能够通过输入部40执行各种输入，并在输出部50上显示根据运算部70 的处理得到的各种运算结果。输出部50显示的图像，既可以为了由用户进行目视来判定好坏而输出，也可以作为后面说明的好坏判定部78的好坏判定结果而输出。X射线源控制机构60包括用于控制电子束的输出的电子束控制部62。电子束控制部62从运算部70接受X射线焦点位置、X射线能量(管电压、管电流)的指定。所指定的X射线能量根据检查对象的结构而不同。运算部70执行存储在存储器90中的程序96，从而控制各部，另外，实施规定的计算处理。运算部70包括扫描X射线源控制部72、图像取得控制部74、重建部76、好坏判定部78、检查对象位置控制部80、X射线焦点位置计算部82、拍摄条件设定部84。扫描X射线源控制部72决定X射线焦点位置、X射线能量，并且向X射线源控制机构60发送指令。图像取得控制部74向图像取得控制机构30发送指令，从而使X射线检测器23取得图像。另外，图像取得控制部74从图像取得控制机构30取得图像数据。重建部76根据由图像取得控制部74取得的多个图像数据来重建三维数据。好坏判定部78基于由重建部76所重建的三维数据或者透视数据，来判定检查对象的好坏。例如，好坏判定部78通过识别焊球的形状并判定该形状是否在预定的容许范围内等来进行好坏判定。此外，进行好坏判定的算法，或者对算法的输入信息因检查对象而不同，因此根据拍摄条件信息94而获得这些信息。检查对象位置控制部80控制检查对象驱动机构20。X射线焦点位置计算部82在对检查对象物1的某检查区域进行检查时，针对该检查区域计算X射线焦点位置、照射角等。拍摄条件设定部84根据检查对象1来设定从X射线源10输出X射线时的条件 (例如，对X射线源的施加电压、拍摄时间等)。存储器90存储有X射线焦点位置信息92、拍摄条件信息94、上述运算部70所执行的用于实现各功能的程序96、X射线检测器23拍摄到的图像数据98。X射线焦点位置信息92含有由X射线焦点位置计算部82所计算出的X射线焦点位置。拍摄条件信息94含有由拍摄条件设定部84设定的拍摄条件、与用于进行好坏判定的算法相关的信息。此外，存储器90只要能储备数据即可。存储器90例如可由RAM (Random Access Memory 随机存取存储器)、EEPR0M(ElectricalIy Erasableand Programmable Read-Only Memory 电可擦除只读存储器)、HDD (Hard Disc Drive :硬盘驱动器)等的存储装置构成。(具体的结构)参照图2来说明第一实施方式的X射线检查装置100的具体的结构。图2是用于说明第一实施方式的X射线检查装置100的结构的图。此外，在图2中，对与图1相同的部分标注相同附图标记。另外，在图2中，记载了从图1所示的部分中提取的与X射线焦点位置的控制、X射线检测器位置的控制、检查对象位置的控制等有直接关系的需要说明的部分。X射线源10在本实施方式中是扫描型X射线源，能够使产生X射线的位置(X射线焦点位置)沿着一个方向移动。X射线源10根据通过X射线源控制机构60的来自运算部 70的命令，产生X射线。在此，参照图3，说明X射线源10的结构。图3是X射线源10的剖面图。参照图3，在扫描型X射线源10中，从电子束控制部62所控制的电子枪19对钨 (tungsten)等的靶11照射电子束16。然后，从电子束16与靶碰撞的位置(X射线焦点位置17)产生并放射(输出)出X射线18。参照图3可知，X射线源10是在电子束的透过方向输出X射线的透过型的X射线源。此外，电子束系统放在真空容器9中。真空容器9的内部由真空泵15保持真空， 并从电子枪19发射已被高压电源14加速过的电子束16。在X射线源10中，电子束16被电子束会聚线圈13会聚之后，通过偏转线圈12使电子束16偏转，由此能够任意变更电子束16碰撞靶11的位置。例如，被偏转线圈12偏转了的电子束16a与靶11碰撞，并从X射线焦点位置17a输出X射线18a。另外，同样地，被偏转线圈12偏转了的电子束16b与靶11碰撞，并从X射线焦点位置17b输出X射线18b。靶11可以是直线状的靶，也可以是连续面的靶。在具有连续面的靶的情况下，X射线源10能够在靶内的范围自由设定X射线焦点位置17。在本拍摄方法中使用该X射线源 10时，只要将X射线焦点位置17限制在一个方向上即可。另外，图3所示的X射线源10是透过型，但X射线源10也可以是反射型。此外，对于使X射线焦点位置移动，例如，能够每次使X射线源自身的位置机械移动。但只要使用扫描型X射线源，每当移动X射线焦点位置时，只要在一定的范围内，则不
8必使X射线源10机械移动，从而能够实现维护性、可靠性优异的X射线检查装置。另外，扫描型X射线源的X射线扫描与机械扫描相比，前者所需时间是后者的百分之一(射线源的扫描时间是数ms，机械移动是数100ms)。因此，在本实施方式中，使用扫描型X射线源。此外，作为X射线源，可以使用能够在X射线放射面上瞬间改变X射线产生位置的其他种类的射线源，例如，可以使用多焦点X射线源。返回图2，检查对象驱动机构20具有促动器和用于固定检查对象的机构。检查对象驱动机构20通过由运算部70内的检查对象位置控制部80控制的检查对象位置驱动机构，使检查对象的视场能够独立于上述X射线检测器23. 1或23. 2而在XY方向上移动。在生产线上检查的情况下，检查对象驱动机构20基本上使检查对象1在Y方向上移动。S卩，检查对象驱动机构20使未检查的检查对象1从-Y(也可以从+Y开始)方向开始向+Y方向移动，一直将其运到X射线的照射范围内为止。另外，检查对象驱动机构20使已结束检查的检查对象1进一步向+Y方向移动。作为检查对象驱动机构20，优选使用对X射线无妨碍的装置。在本实施方式中， 作为检查对象驱动机构20，使用将从检查对象1的两端夹着检查对象1的导轨2 和导轨 25b。运算部70向检测器驱动控制部32、图像数据取得部34、扫描X射线源控制机构60 发送命令，从而执行用于以后说明的检查处理的流程图所示的程序。特别地，运算部70在通过检测器驱动控制部32传来的命令所指示的时刻，执行X 射线透视图像的取得和拍摄数据的传送。另外，运算部70根据来自输入部40的输入而控制检查装置的动作，各部的状态或检查结果能够由输出部50输出。(拍摄方式)下面说明利用X射线检查装置100的X射线透视图像的拍摄方式。首先，利用图4至图6，说明X射线检测器23、检查对象1和X射线焦点位置17的位置关系。图4是从Y方向所见的X射线检测器23、检查对象1和X射线焦点位置17的主视图。图5是从Z方向所见的X射线检测器23、检查对象1和X射线焦点位置17的俯视图。图6是从X方向所见的X射线检测器23、检查对象1和X射线焦点位置17的侧视图。在图4 6中，示出了 X射线检测器23的位置。然而，与X射线检测相关的是X 射线检测器23的有感区域(受光部)，因此可以考虑将各图所示的X射线检测器23换为受光部。参照图5，X射线检测器23具有正方形或近似正方形的纵宽比(aspect ratio)的受光部。参照图4，将X射线检测器23的尺寸设为，能够针对检查对象区域的X方向两端部而取得来自所需角度的透过图像。此外，在此，检查对象1的整个面是检查对象区域。为了进行斜位CT，X射线检测器23的X方向长度要比检查对象1的X方向长度长。另外，参照图4，X射线源10保持这样的X射线放射区域，即，在该X射线放射区域内，不必使检查对象区域在X方向上移动，就能够从所需角度对检查对象区域的X方向两端部进行照射。X射线源10，在位于X方向的一条线上的互不相同的多个焦点位置(图中为 Fl Fk)沿Z方向按顺序放射X射线。X射线检测器23每次照射时而取得透过图像。参照图5或图6，X射线检查装置100在分别从焦点位置Fl至仲各处照射X射线并进行拍摄后，使检查对象1沿Y方向从位置Pl向P2移动，在此状态下进行Fl 仲照射和拍摄。X射线检查装置100同样地重复X射线照射和检查对象1的移动。如果在图6中的位置Pe结束了对检查对象1的照射和拍摄，则CT拍摄结束。在检查对象1处于位置Pe 时，透过检查对象区域的Y方向下端的X射线入射至X射线检测器23。X射线检查装置100将检查对象区域分为多个区域(部分区域)来管理拍摄图像。 即，X射线检查装置100取得与拍摄图像中各部分区域对应的图像(称为部分图像)，根据部分图像来重建部分区域的三维数据。以下对此进行说明。图7是检查对象1的立体图。检查对象1在X方向和Y方向上被分割。在此，考虑如下情形在XY方向的各方向上，分别从6个方向拍摄检查对象1，即从36个方向拍摄检查对象1的情形。为此，针对X方向，为了从6个方向照射X射线，希望如图7所示那样，将检查对象1在X方向上六等分。针对Y方向，用与X方向的分割相等的长度进行分割。其结果，在图7所示的例子中，检查对象1在X方向上被分为6份，在Y方向上被分为10份。图8是用于说明透过部分区域的X射线的图。在图8中，从)(Z平面观察结果。X 射线检查装置100在焦点Fl Fll实施拍摄，针对各焦点取得X射线透过图像。来自焦点位置Fl的X射线入射至检查对象1的左端的部分区域，进而入射至X射线检测器23。来自焦点位置Fl的虚线表示在右方向以最大角度放射的X射线。此外，从焦点位置Fl也向左方向输出X射线，但图8中没有示出该X射线。对于焦点位置F2，X射线检测器23能够针对左端的部分区域以及与其相邻的部分区域取得透过像。对于焦点位置F3 F11，也能够针对一个或多个部分区域取得透过像。其结果，在检查对象1的左端的部分区域，从焦点位置Fl F6射出的X射线透过，透过的X射线入射至X射线检测器23。在检查对象1的右端的部分区域，从焦点位置 F6 Fll射出的X射线透过，透过的X射线入射至X射线检测器23。同样地，对于任意的部分区域，从6个焦点位置射出的X射线透过，透过的X射线入射至X射线检测器23。因此在Fl Fll的拍摄中，针对6个视场而从6个方向拍摄结束。此外，放射X射线的X方向的距离间隔优选采用与图7所示的X方向的分割间隔相同的距离。但是，距离间隔并不仅限于此。针对部分图像，参照图9 图11进行说明。图9 图11分别表示针对焦点位置 F1、F3、F6取得的部分图像。参照图9，从焦点位置Fl输出X射线时，X射线检查装置100针对左端的部分区域取得部分图像。图中，用相同阴影线表示检查对象1的部分区域和X射线检测器23上的拍摄了部分区域的位置。具体而言，图像取得控制部74基于焦点位置、检查对象1的位置、部分区域的尺寸、X射线检测器23的位置而输出焦点位置F1，求出透过左端部分区域的X射线所入射的 X射线检测器23内的区域。图像取得控制部74向图像取得控制机构30发送指令，以取得由X射线检测器23所求出的区域的图像。其结果，图像取得控制部74将所取得的图像作为部分图像而存储在存储器90中。或者，图像取得控制部74也可以从由X射线检测器23 取得的检测面的全部图像中，提取求出的区域内的图像来作为部分图像。同样地，参照图10，在从焦点位置F3输出X射线时，X射线检查装置100取得3个部分区域的部分图像。参照图11，在从焦点位置F6输出X射线时，X射线检查装置100取得6个部分区域的部分图像。参照图9 图11，如果关注一个部分区域，则该部分区域在X射线检测器23上映射的位置随着焦点位置的移动而在X方向上移动。另外，X射线检查装置100通过使检查对象1在Y方向上移动，从而拍摄来自不同的Y位置的X射线透视图像。参照图12，说明检查对象1的移动。在图12中，表示图7的部分区域2(图8的左端的部分区域)的移动。通过使检查对象1在Y方向上移动，从而改变部分区域2与焦点位置(图12中， 特别示出Fll)的Y方向的位置关系，改变从焦点位置Fll输出的X射线向部分区域2照射的入射角度。此时，使部分区域2的位置从位置Pl到P6为止移动5次，因此对于Y方向而言，拍摄到来自6个方向的X射线透视图像。在每一行移动时，从焦点Fl Fll连续拍摄。因此，对于部分区域2，分别在位置 Pl P6，从焦点F6 FlO也分别以不同角度照射了 X射线。其结果，在P6的拍摄结束时， 如图13所示，从36个方向拍摄结束。图13是表示入射至部分区域2的X射线的入射方向的图。在部分区域2处于位置P6被拍摄时，在部分区域2的后面的一行中，进行位置P5 的拍摄，在后面的第二行中进行位置P4的拍摄，这样，后续的行也同时进行拍摄。由此，重复Y方向的移动和Fl Fll的照射，检查对象区域的Y方向最终行在位置P6拍摄结束时， 整个区域的用于CT检查的拍摄结束。此时的部分区域2的前端位置是图6的位置Pe。如上述，在本实施方式的X射线检查装置100中，X射线源10从X射线焦点位置 17输出X射线，使X射线分别透过将检查对象1的检查对象区域在X方向(第一方向)分割而成的多个部分区域2，根据透过的X射线的检测结果，分别取得多个部分区域2的部分图像。通过使X射线源10的X射线焦点位置17—边在X方向扫描一边重复取得该部分图像，从而分别取得多个X射线焦点位置17的各自的部分图像。进而，在使X射线源10的X射线焦点位置17在X方向上扫描后，使对象物1在Y 方向(第二方向)上移动，根据使对象物1在Y方向上移动的状态，来使X射线源10的X 射线焦点位置17在X方向上扫描，同时按顺序取得各X射线焦点位置17的部分图像。然后，根据这样取得的各X射线焦点位置17的部分图像来重建三维数据。即，在本实施方式的X射线检查装置100中，通过焦点扫描来实现多个X方向的照射角度，通过使检查对象机械移动来实现多个Y方向的照射角度。通过本方式，在从多个方向拍摄检查对象时，只需使检查对象沿着一个方向(在到此为止的说明中，为Y方向)移动即可。因此，与现有方法相比，能够减少检查对象的移动次数。因此，通过X射线检查装置 100，能够高速地对整个检查对象进行高精度的三维数据。另外，以往为了 CT重建而需要取得必要的图像数据，通常需要3个以上的机械动作轴。但是，在X射线检查装置100中，机械动作轴一个即可，结构简单。进而，通过使检查对象1在Y方向上的每一步的移动距离与检查对象1中设定的各部分区域的宽度(X方向和Y方向都为相同值)一致，则重复移动和拍摄，在整个区域结束用于CT检查的拍摄的时刻，在存储了拍摄数据的计算机中能够实现“汇集了作为检查对象的基板整个面的nXn方向的拍摄数据”的状态。然后，将拍摄数据分为小范围来进行重建，或一次重建整个面，或只重建感兴趣的区域，这样能够任意选择重建方式。
(处理的流程)图14是以流程图形式表示第一实施方式的X射线检查的全部流程的图。参照图 14，说明第一实施方式的X射线检查的全部流程。参照图14，首先，处理一开始(步骤S1400)，X射线检查装置100使检查对象区域移动到能够拍摄的位置，进行透视图像的拍摄(步骤SHO》。通常，在X射线检查中，为了确定检查对象1的位置而装载光学照相机(未图示)，能够基于光学照相机的图像来决定检查对象区域。作为其他方法，可以基于检查对象1的CAD数据来由X射线检查装置100自动决定检查对象区域，也可以由操作人员目视决定检查对象区域。X射线检查装置100检查透视图像，基于所取得的透视图像，判断检查对象1的视场(透视图像中拍摄的范围)是否良好(步骤S1404)。对于好坏判定方法，已提出了各种方法，由于是公知的，在此不详细说明。例如，作为最基本的检查，用规定的值使透视图像2 值化，将其与CAD数据等的设计信息进行比较，根据面积来判断透视图像上的规定的位置有无元件。接着，X射线检查装置100判断是否需要基于重建数据图像的检查(步骤S1406)。 作为判断的基准，既可以预先设定CAD数据等的设计信息，也可以根据透视图像是好坏判定结果进行判断。例如，在安装基板的检查中，只在单面安装了元件时，能够利用透视图像进行好坏判定，因此有时无需根据重建图像进行好坏判定。在无需基于重建数据的检查时(步骤S1406中为“否”)，X射线检查装置100结束检查(步骤S1414)。另一方面，在需要基于重建图像的检查时(步骤S1406中为“是”)，X射线检查装置100接着进行检查对象区域的CT拍摄(步骤S1408)。X射线检查装置100在CT拍摄中， 从多个方向拍摄检查对象区域。对于步骤S1408在后面详细说明。接着，X射线检查装置100根据多个方向的拍摄图像来生成重建数据(步骤 S1410)。对于重建处理，已提出了各种方法例如能够使用“法菲尔德坎普(Feldkamp)法”。接下来，X射线检查装置100基于重建数据进行好坏判定(步骤S1410)。对于好坏判定的方法，考虑使用直接应用三维数据的方法、使用二维数据(断层图像)、一维数据 (曲线pr0file)等的方法。这些好坏判定方法是公知的，因此只要使用适于检查項目的好坏判定方法即可，在此不重复详细说明。下面，说明好坏判定的一个例子。首先，用规定的值对三维重建数据进行2值化。根据CAD数据等的设计信息，在重建数据内确定元件(例如，BGA的焊球)的位置。根据2值化图像，计算与元件的位置相邻的像素(邻域像素)的体积，由此能够判断有无元件。以上，X射线检查装置100结束检查(步骤S1414)。参照图15来详细说明第一实施方式的CT拍摄。图15是在图14中说明的CT拍摄的处理的流程的图。参照图15，首先，CT拍摄处理一开始(步骤S1500)，运算部70在步骤S1502中， 对拍摄位置&的参数进行初始化(设定为χ = 1)。在步骤S1504中，运算部70为了使要检查的检查对象区域移动至恰当的位置，而使检查对象1移动至位置Px。只要在检查对象驱动机构20上装载编码器，使用编码器设定检查对象1的位置即可。或者，也可以使用通用的检测器(激光变位计等)来设定这些位置。
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接着，运算部70将X射线焦点位置17设为各焦点位置(Fl 仲)，在照射X射线的同时取得透过像(步骤S1506. 1 步骤S1506.k)。拍摄时间(检测器的曝光时间)可以预先设定，也可以由用户通过目视来设定所希望的时间。如已说明的那样，运算部70在这些处理中，取得与各部分区域对应的部分图像。另外，运算部70为了在重建部76进行重建处理，例如，将部分图像传送至存储器90。接着，运算部70判断是否I3X = Pe (步骤S1508)。例如，运算部70基于基板的移动次数是否达到规定次数来进行该判断。或者，运算部70可以基于位置传感器的基板位置的测定结果，来进行该判断。在不是& = Pe时(步骤S1508中为“否”)，运算部70在步骤S1510中设定χ = x+1，然后重复从步骤S1504开始的处理。另一方面，在1^ = 6时(步骤31508中为“是”)， 运算部70结束CT拍摄处理(步骤S1512)。(其他)在以上的说明中，虽然将检查对象区域分割为部分区域，但如果检查对象区域的大小是部分区域程度的大�。蛭扌璺指罴觳槎韵笄�。或者，如果X射线检测器相对于检查对象充分大，则无需分割检查对象区域。但是，大尺寸的X射线检测器价格高，因此本实施方式那样将检查对象分割为部分区域来重建各部分区域的三维数据的方法是实用的。通过上述的实施方式，使X射线源10的X射线焦点位置17在第一方向(上述的例中，X方向)上扫描，针对在第一方向上分为多个部分区域的检查对象区域的每个部分区域，从各X射线焦点位置17输出X射线，利用与透过各部分区域的X射线对应的部分图像， 来重建检查对象区域的三维数据。通过采用该结构，沿着第一方向，能够进一步减少必须存在X射线检测器23的范围，并且，能够更高速取得CT重建所需的从多个方向拍摄检查对象1而得的X射线透过图像。[第二实施方式](结构)参照图16来说明第二实施方式的X射线检查装置200的结构。图16是用于说明第二实施方式的X射线检查装置200的结构的图。X射线检查装置200具有Χ射线源10、Χ射线检测器23. 1和23.2、Χ射线检测器驱动部22、图像取得控制机构30、输入部40、输出部50、X射线源控制机构60、运算部70、 存储器90。X射线源控制机构60、运算部70和存储器90具有参照图1说明的结构。与第一实施方式的不同点在于，具有X射线检测器驱动部22，图像取得控制机构 30包括检测器驱动控制部32，有两个X射线检测器。大尺寸的X射线检测器价格高，图像的读取速度慢。为了提高实用性，在第二实施方式中，利用第一实施方式的X射线检测器23的1/4程度的尺寸的X射线检测器23. 1和 X射线检测器23.2。X射线检测器23. 1和X射线检测器23. 2排列配置在X方向上。X射线检测器23. 1 和X射线检测器23. 2安装在X射线检测器驱动部22上。X射线检测器驱动部22基于检测器驱动控制部32的指示进行动作，X射线检测器23. 1和X射线检测器23. 2 一体地在Y方向上移动。
在本实施方式中，与第一实施方式相比较，检测器的Y方向的尺寸小。在本实施方式中，X射线检测器驱动部22使X射线检测器的组一体地在Y方向上移动，由此弥补因检测器的Y方向的尺寸小而带来的影响。(拍摄方式)下面，说明使用了 X射线检查装置200的X射线透视图像的拍摄方式。首先，利用图17至图19，说明X射线检测器23. 1、23. 2、检查对象1和X射线焦点位置17的位置关系。图17是从Y方向所见的X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象1和X射线焦点位置17的主视图。图18是从Z方向所见的X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象1和 X射线焦点位置17的俯视图。图19是从X方向所见的X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象 1和X射线焦点位置17的侧视图。可以将图17 19中的X射线检测器23. 1,23. 2分别替换为X射线检测器23. 1、 23. 2的受光部。参照图17，X射线检测器23. 1和23. 2在X方向上接近。另外，对于这些X方向的宽度的合计的尺寸，置为能够针对检查对象区域的X方向两端部而取得来自所需角度的透过图像的尺寸。此外，在此，检查对象1的整个面是检查对象区域。为了进行斜位CT，X射线检测器23. 1和23. 2的X方向宽度的和需要比检查对象1的X方向长度长。与第一实施方式同样地，X射线源10在位于X方向的一条线上的互不相同的多个焦点位置(图中Fl 1 )，沿Z方向依次放射X射线。X射线检测器23. 1和23. 2在图18 所示的检测位置Si，每次照射时取得透过图像。参照图19的下侧的图，X射线检查装置200使X射线从焦点位置Fl到仲分别照射和拍摄后，使检查对象1沿Y方向从位置Pl向P2移动，进行Fl 仲的照射和拍摄。X 射线检查装置200同样地重复X射线照射和检查对象1的移动。如果在图19中的位置Pe 检查对象1的照射和拍摄结束，则在检测位置Sl的CT拍摄结束。这些处理与第一实施方式相同。然后，X射线检查装置200如图19的上侧的图所示那样，使检测器位置移动至位置S2，使基板位置移动至位置ΡΓ。X射线检查装置200重复在Fl 1 的照射和Y方向的检查对象移动，直到检查对象的Y方向最终行在位置Pe’的拍摄结束。(处理的流程)第二实施方式的X射线检查方法的大流程与第一实施方式相同，不重复说明。但是，CT拍摄处理与第一实施方式不同。参照图20来详细说明第二实施方式的CT拍摄。图 20是以流程图形式表示第二实施方式的CT拍摄的处理的流程的图。参照图20，首先，CT拍摄处理一开始(步骤S2000)，运算部70在步骤S2001中使 X射线检测器23. 1和23. 2移动至检测器位置Si。在步骤S2002中，对在检测器位置Sl拍摄时的拍摄位置I^x的参数进行初始化(设定 χ = 1)。在步骤S2004中，运算部70为了使要检查的检查对象区域移动至恰当的位置，而使检查对象1移动至位置1^。接着，运算部70将X射线焦点位置17设定为各焦点位置(Fl Fk)，照射X射线， 并且在检测器位置Sl取得透过像(步骤S2006. 1 步骤S2006. k)。运算部70在这些处理中取得与各部分区域对应的部分图像。另外，运算部70为了在重建部76进行重建处理，例如，将部分图像传送至存储器90。接着，运算部70判断是否I3X = Pe (步骤S2008)。例如，运算部70基于基板的移动次数是否达到规定次数来进行该判断。或者，运算部70可以基于位置传感器的基板位置的测定结果，来进行该判断。在不是& = Pe时(步骤S2008中为“否”)，运算部70在步骤S2010中设定χ = x+1，然后重复从步骤S2004开始的处理。另一方面，在I3X = Pe时(步骤S2008中为“是”)，运算部70在步骤S2011中使 X射线检测器23. 1和23. 2移动至检测器位置S2。在步骤S2012中，对在检测器位置S2拍摄时的拍摄位置1^’的参数进行初始化 (设定为X’ = 1)。在步骤S2014中，运算部70为了使要检查的检查对象区域移动至恰当的位置，而使检查对象1移动至位置1^’。接着，运算部70将X射线焦点位置17设定为各焦点位置(Fl Fk)，照射X射线， 并且在检测器位置S2取得透过像(步骤S2016. 1 步骤S2016. k)。运算部70在这些处理中取得与各部分区域对应的部分图像。另外，运算部70为了在重建部76进行重建处理，例如，将部分图像传送至存储器90。接着，运算部70判断是否Px’ = Pe'(步骤S2018)。例如，运算部70基于基板的移动次数是否达到规定次数来进行该判断。或者，运算部70可以基于位置传感器的基板位置的测定结果，来进行该判断。在不是Px，= Pe，时(步骤S2018中为“否”)，运算部70在步骤S2020中设定χ， =X’ +1，然后重复从步骤S2014开始的处理。另一方面，在1^，=Pe'时(步骤S2018中为“是”)运算部70结束CT拍摄处理 (步骤 S2022)。(其他)在以上的说明中，说明了使检测器位置移动一次的例子，但根据Y方向的检测器尺寸和所需的拍摄张数，X射线检查装置200也可以使检测器位置移动两次以上进行拍摄。[第三实施方式]作为第三实施方式，针对具有利用X射线在两条线上进行扫描的扫描型X射线源的X射线检测装置进行说明。此外，第三实施方式的X射线检测装置的结构除了 X射线源 10之外，都与第二实施方式相同。因此，不重复其结构的说明。参照图21和图22来说明第三实施方式的X射线源10的结构。图21是第三实施方式的X射线源10的剖面图。图22是第三实施方式的X射线源10的俯视图。该X射线源10与第一实施方式不同的点在于，具有相对置的两个直线状的靶11. 1 和11.2。其他主要结构与第一实施方式相同，因此不重复其说明。参照图21，靶11. 1和11. 2是反射型的靶，将向电子束16的反射方向前进的X射线18输出至外部。即，X射线源10是反射型X射线源。使用反射型靶来作为靶，由此，X射线源10与透过型的X射线源相比，能够输出高强度的X射线。这有助于拍摄时间的缩短和提高画质。
参照图22，X射线源10的真空窗130覆盖靶11. 1和11. 2。真空窗130能够由铍等的使X射线透过的材料构成。此外，真空窗130的形状并不限于图22所示的形状，只要在CT拍摄所需的方向的X射线前进的范围内设置即可。图23至图25表示X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象1和X射线焦点位置17的位置关系。图23是从Y方向所见的X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象1和X射线焦点位置17的主视图。图M是从Z方向所见的X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象1和X射线焦点位置17的俯视图。图25是从X方向所见的X射线检测器23. 1,23. 2、检查对象1和X 射线焦点位置17的侧视图。参照图23，与第二实施方式同样地，X射线检测器23. 1和23. 2在X方向上接近。 另外，对于这些X方向的宽度的合计的尺寸，置为能够针对检查对象区域的X方向两端部而取得来自所需角度的透过图像的尺寸。此外，在此，检查对象1的整个面是检查对象区域。 为了进行斜位CT，X射线检测器23. 1和23. 2的X方向宽度的和需要比检查对象1的X方向长度长。X射线源10在位于X方向的一条线上的互不相同的多个焦点位置，沿Z方向依次放射X射线。X射线检测器23. 1和23. 2在图M所示的检测位置Si，每次照射时取得透过图像。此时，X射线源10在X射线焦点位置IFl IFk放射X射线。如果在检测位置Sl的拍摄结束，则X射线检查装置使X射线检测器23. 1和23. 2 移动至检测位置S2。X射线检测器23. 1和23. 2取得来自焦点位置2F2 2 的X射线的透过图像。S卩，参照图25的下侧的图，X射线检查装置使X射线从焦点位置IFl到1 分别照射和拍摄后，使检查对象1沿Y方向从位置Pl向P2移动，进行IFl IFk的照射和拍摄。 X射线检查装置200同样地重复X射线照射和检查对象1的移动。如果在图25中的位置 Pe检查对象1的照射和拍摄结束，则在检测位置Sl的CT拍摄结束。然后，X射线检查装置如图25的上侧的图所示那样，使检测器位置移动至位置S2， 使基板位置移动至位置ΡΓ。X射线检查装置200重复在2F1 2Fk的照射和Y方向的检查对象移动，直到检查对象的Y方向最终行在位置Pe’的拍摄结束。如上述，在第三实施方式中，基本的照射和拍摄的方法与第二实施方式相同，只是在检测器位置Sl时使用X射线焦点IFl lFk，在检测器位置S2时使用X射线焦点2F1 2Fk。第三实施方式的X射线检查方法的大流程与第一实施方式或第二实施方式相同， 不重复说明。但是，CT拍摄处理与第一实施方式及或第二实施方式不同。参照图沈来详细说明第三实施方式的CT拍摄。图沈是以流程图形式表示第三实施方式的CT拍摄的处理的流程的图。参照图沈，首先，CT拍摄处理一开始(步骤S2600)，运算部70在步骤S2601中使 X射线检测器23. 1和23. 2移动至检测器位置Si。在步骤S2602中，对在检测器位置Sl拍摄时的拍摄位置I^x的参数进行初始化(设定 χ = 1)。在步骤S2604中，运算部70为了使要检查的检查对象区域移动至恰当的位置，而使检查对象1移动至位置1^。
接着，运算部70将X射线焦点位置17设定为各焦点位置IFl lFk，照射X射线， 并且在检测器位置Sl取得透过像(步骤S2606. 1 步骤S2606. k)。运算部70在这些处理中取得与各部分区域对应的部分图像。另外，运算部70为了在重建部76进行重建处理，例如，将部分图像传送至存储器90。接着，运算部70判断是否I3X = Pe (步骤S2608)。例如，运算部70基于基板的移动次数是否达到规定次数来进行该判断。或者，运算部70可以基于位置传感器的基板位置的测定结果，来进行该判断。在不是& = Pe时(步骤S2608中为“否”)，运算部70在步骤S2610中设定χ = x+1，然后重复从步骤S2604开始的处理。另一方面，在I3X = Pe时(步骤S2608中为“是”)，运算部70在步骤S2611中使 X射线检测器23. 1和23. 2移动至检测器位置S2。在步骤S2612中，对在检测器位置S2拍摄时的拍摄位置1^’的参数进行初始化 (设定为X’ = 1)。在步骤S2614中，运算部70为了使要检查的检查对象区域移动至恰当的位置，而使检查对象1移动至位置1^’。接着，运算部70将X射线焦点位置17设定为各焦点位置2F1 2Fk，照射X射线， 并且在检测器位置S2取得透过像(步骤S2616. 1 步骤S2616. k)。运算部70在这些处理中取得与各部分区域对应的部分图像。另外，运算部70为了在重建部76进行重建处理，例如，将部分图像传送至存储器90。接着，运算部70判断是否Px，= Pe'(步骤S2618)。例如，运算部70基于基板的移动次数是否达到规定次数来进行该判断。或者，运算部70可以基于位置传感器的基板位置的测定结果，来进行该判断。在不是Ρχ，= Pe，时(步骤S2618中为“否”)，运算部70在步骤S2626中设定χ， =X’ +1，然后重复从步骤S2614开始的处理。另一方面，在1^，=Pe’时(步骤S2618中为“是”)运算部70结束CT拍摄处理 (步骤 S2622)。[第四实施方式]在第三实施方式中，通过对X射线检测器23. 1和23. 2的配置进行优化，能够省略 X射线检测器的驱动。作为第四实施方式，说明这样配置了 X射线检测器的X射线检查装置。第四实施方式的X射线检测装置的结构与第三实施方式大致相同。因此，不重复其结构的说明。但是，在以下方面与第三实施方式不同x射线检测器23. 1和23. 2的配置不同，具有X射线检测器驱动部22和检测器驱动控制部32。参照图27和图观，说明第四实施方式中的X射线检测器23. 1和23. 2与X射线焦点位置的位置关系。图27是用于说明X射线检测器23. 1和23. 2的XY平面内中的位置的图。图观是用于说明X射线检测器23. 1和23. 2的TL平面内中的位置的图。参照图27，X射线检测器23. 1和23. 2，在Y方向上被夹在X射线扫描的两条线之间。此外，调整X射线检测器23. 1和23. 2而得到的X方向宽度和检查对象的X方向宽度之间的关系，与第二实施方式或第三实施方式相同。
参照图观，X射线检测器23. 1和23. 2 (以下，将它们统称为X射线检测器23)、检查对象1、X射线源10在^平面内中的位置关系与第三实施方式相同。本实施方式的X射线检查方式基本与第三实施方式相同。然而，在本检查方式中， 在焦点位置IFl 1 与焦点位置2F1 2 照射X射线的顺序与第三实施方式不同。参照图四 图31来说明本实施方式的X射线检查方式。图四 图31分别是用于说明第四实施方式的X射线检查方式的图。在图四中，检查对象1处于仅焦点位置2F1 2Fk(以下，称为F2系列)的拍摄有效的区间内。此时，X射线源在焦点位置IFl IFk (以下，称为Fl系列)不输出X射线。在图30中，与图四所示的状态相比，检查对象1向Y方向移动了，Fl系列与F2系列双方的拍摄均有效。此时，X射线检测器23在Fl系列和F2系列的焦点位置拍摄预定的张数，在此期间移动检查对象1。在图31中，与图30所示的状态相比，检查对象向Y方向移动了，仅Fl系列的拍摄有效。此时，在Fl系列的焦点位置不照射X射线。如上述说明可知，如果利用该几何方式(geometry)进行拍摄，则不需要驱动检测器，并且，只要在一个方向使检查对象1移动即可(无需返回动作)。[其他]当然，适当组合上述各实施方式也在本发明的范围内。例如，可以在第三实施方式和第四实施方式中，如第一实施方式那样，取代多个X射线检测器而使用一个大型的X射线检测器。本次公开的实施方式全部是例示，并非限制本发明。本发明的范围不在于上述说明，而是由权利要求书决定的，包括与权利要求书等价的范围内的全部变更。附图标记的说明
1检查对象，
2部分区域，
9真空容器，
IOX射线源，
11靶，
12偏转线圈，
13电子束会聚线圈，
14高压电源，
15真空泵，
16电子束，
17X射线焦点位置，
WX射线，
19电子枪，
20检查对象驱动机构，
22X射线检测器驱动部，
23X射线检测器，
25a导轨，
25b导轨，
30图像取得控制机构，
32检测器驱动控制部，
34图像数据取得部，
40输入部，
50输出部，
60X射线源控制机构，
62电子束控制部，
70运算部，
72X射线源控制部，
74图像取得控制部，
76重建部，
78好坏判定部，
80检查对象位置控制部，
82X射线焦点位置计算部，
84拍摄条件设定部，
90存储器，
92X射线焦点位置信息，
94拍摄条件信息，
96程序，
98图像数据，
100X射线检查装置，
130真空窗，
200X射线检查装置。
权利要求
1.一种X射线检查方法，从X射线源(10)输出X射线，利用X射线检测部对透过对象物(1)的检查对象区域的X射线进行检测，并根据检测出的X射线所示的图像来重建所述检查对象区域的三维数据，所述X射线检查方法的特征在于，包括部分图像取得步骤(S1506)，所述X射线源从X射线焦点位置(17)输出X射线，使所输出的X射线分别透过多个部分区域，根据透过所述多个部分区域的X射线的检测结果，分别取得所述多个部分区域中的各部分区域的部分图像，所述多个部分区域是在第一方向上分割所述检查对象区域而得到的多个部分区域，重复步骤(S1504、S1508、S1510)，一边使所述X射线源的X射线焦点位置在所述第一方向上进行扫描，一边重复执行所述部分图像取得步骤，重建步骤(S1410)，根据通过所述X射线焦点位置的扫描来取得的多个所述X射线焦点位置中的各焦点位置所对应的部分图像，重建所述三维数据。
2.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，所述检查对象区域在所述第一方向和第二方向上被分割为多个所述部分区域，所述第二方向与所述第一方向相交，在所述重复步骤中，使所述X射线源的X射线焦点位置在所述第一方向上进行扫描后， 使所述对象物在所述第二方向上移动，并在使所述对象物在所述第二方向上已移动的状态下，一边使所述X射线源的X射线焦点位置在所述第一方向上进行扫描，一边重复执行所述部分图像取得步骤。
3.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，在所述重复步骤中，使所述X射线焦点位置在多条线上进行扫描。
4.如权利要求3所述的X射线检查方法，其特征在于， 所述X射线源包括分别配置在所述多条线上的多个靶，在所述重复步骤中，使所述X射线焦点位置在各所述靶上进行扫描。
5.如权利要求4所述的X射线检查方法，其特征在于，在与所述线相交的方向上，所述 X射线检测部夹在两个所述靶之间。
6.如权利要求4所述的X射线检查方法，其特征在于，各所述靶是反射型靶。
7.一种X射线检查装置(100)，用于重建对象物(1)的检查对象区域的三维数据，该X 射线检查装置的特征在于，具有X射线源(10)，其用于输出X射线，X射线检测部03)，其用于检测所述X射线，并输出所检测出的X射线所示的图像， 控制部(70)，其用于控制所述X射线检查装置的动作； 所述控制部具有图像取得部(74)，其用于根据对特定X射线的检测结果，来取得多个部分区域中的各部分区域的部分图像，所述特定X射线是从所述X射线源的X射线焦点位置(17)输出并分别透过所述多个部分区域的X射线，所述多个部分区域是在第一方向上分割所述检查对象区域而得到的多个部分区域，X射线源控制部(72)，其用于控制所述X射线源使所述X射线焦点位置在所述第一方向上进行扫描，重建部(76)，其随着所述X射线源控制部使所述X射线焦点位置进行扫描，根据所述图像取得部针对多个所述X射线焦点位置中的各焦点位置取得的所述部分图像，来重建所述三维数据。
全文摘要
提供X射线检查方法和X射线检查装置(100)，具有X射线源(10)、X射线检测器(23)、控制取得来自X射线检测器(23)的图像数据的图像取得控制机构(30)、移动检查对象(1)的检查对象驱动机构(20)、X射线源控制机构(60)、运算部(70)。X射线源控制机构(60)基于来自运算部(70)的指示，控制X射线源(10)使X射线从排列在X方向上的焦点位置输出。检查对象(1)被分为多个部分区域。图像取得控制机构(30)取得从各焦点位置输出并透过部分区域的X射线的图像即部分图像。若取完全部焦点位置的部分图像，则检查对象驱动机构(20)基于运算部(70)的指示使检查对象(1)在Y方向上移动。
文档编号G01N23/04GK102265142SQ200980152060
公开日2011年11月30日 申请日期2009年12月21日 优先权日2008年12月22日
发明者杉田信治, 益田真之 申请人:欧姆龙株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
