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专利名称：射频测试用直流偏置探针卡的制作方法
技术领域：
本发明涉及的是一种异型带有防震电路设计的射频测试用直流偏置探针卡，属于 集成电路设计技太领域。
背景技术：
探针卡是将探针卡上的探针与射频集成电路晶片上的芯片测试焊垫直接接触，配 合测试设备与软件控制将测试信号透过探针卡上电路板传输至探针以至芯片，达到自动化 的芯片级测试目的，其中探针的排列密度则需细微到可对应于芯片上相邻测试焊垫之间 隙，且单一探针卡为了可广泛应用于不同制备技术的集成电路晶片，探针卡的电路板设计 往往不会以特定走线布设的方式作为电路传输的结构，而为在测试设备用以探点的导线与 探针间设置传输线的跳线结构，通过此将电测信号送至探针。目前，探针卡制作厂家提供的 探针卡基板主要应用于直流的在片测试，基板尺寸太大，无法满足射频在片测试的要求，另 外，基板电路也没有做专门的防震电路。探针卡制作厂家提供的探针卡基板主要应用于直 流的在片测试，基板尺寸太大，无法满足射频在片测试的要求，另外，基板电路也没有做专 门的防震电路。

发明内容
本发明提出的是一种异型带有防震电路设计的射频测试用直流偏置探针卡，其目 的旨在克服现有技术所存在的缺陷，可以低空间密度且高品质的传输线结构传送偏置信号 至探针上，有效降低电路震荡并提升射频在片的测试品质。本发明的技术解决方案其特征是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有 多个信号线路及接地线路，信号线路和信号线路相互间隔距上设有至少一个接地线路，有 防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用；接头安装位置为信号线路的引出端，用于 连接测试设备偏置信号；信号线路一端连接接头安装位置，信号线路的另一端接探针；信 号线路的背面设有防震电路。本发明的优点各信号线路供以传输该测试设备的偏置信号，接地线路电性导通 至该测试机的电位零点，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用，并作为各该信 号线路的特性阻抗参考基准；根据被测器件的不同安装不同的电容电阻，以消除信号中的 噪声和震荡。选用和金接触电阻最小的铍铜材料，改变针卡出针的角度以增大相邻针的间 距，减小信号间的互扰。在信号针和接地针的针尖之间焊接电容更好的降低信号噪声和震 荡，结构设计简单，适用于标准化生产。在测试性能上大大降低了信号噪声及电路震荡，提 升射频在片的测试品质。


附图1是本发明基板的主视结构示意图。附图2是本发明基板的后视结构示意图。
图3是防震电路203的电路结构示意4是本专利控针卡与普通控针卡对比中的101是接地线路、102是信号线路、103是针尖安装电容位置、104是接头安 装位置、201是大面积金属接地、202是接头安装位置、203是预留的防震电路。
具体实施例方式对照附图1，其结构是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路 102及接地线路101，信号线路102和信号线路102相互间隔距上设有至少一个接地线路 101，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用。接头安装位置104为信号线路102 的引出端，用于连接测试设备偏置信号。信号线路102 —端连接接头安装位置104，信号线 路102的另一端接探针。信号线路102的背面设有防震电路。对照附图2，其结构是包括大面积金属接地201，接头安装位置202是在104的背 面与其相通，预留的防震电路203是在102的背面与其相通。对照附图3，预留的防震电路203的结构是第1号控针与第2号控针上方的电容焊 接在针尖安装电容位置103，第1号控针与第2号控针下方的电容和电阻到地是焊在预留的 防震电路203的位置，电容加电阻到地的电路是用于消除高频噪声和纹波。以2GHz-5GHz单片低噪声功放为例，使用本专利探针卡大大降低了信号噪声及电 路震荡，增益比普通探针卡大约IOdBm,大大提高了测试品质。直流探卡的设计，它直接关系到测试的稳定性和准确性。如功率单片电路末级栅 宽较大，很容易在低频产生震荡。常规夹具测试时将去耦电容贴近芯片就可以很容易将直 流和微波去耦干净。但是在片测试是通过直流探针卡加电，直流探针等效为电感(一般几 nH/mm)，去耦电容无法直接加到芯片根部。对于这一问题可以通过探针卡基板背面的预留 防震电路在每个传输线并联电容(5pf IOpf)到地，和在信号针和地针加装针尖之间焊接 电容，可以一定程度上解决震荡问题。特别是针对射频的功率单片，效果非常明显。
权利要求
射频测试用直流偏置探针卡，其特征是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路(102)及接地线路(101)，信号线路(102)和信号线路(102)相互间隔距上设有至少一个接地线路(101)，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用；接头安装位置(104)为信号线路(102)的引出端，用于连接测试设备偏置信号；信号线路(102)一端连接接头安装位置(104)，信号线路(102)的另一端接探针；信号线路(102)的背面设有防震电路。
2.根据权利要求1所述的射频测试用直流偏置探针卡，其特征是接头安装位置(202) 是在接头安装位置(104)的背面与接头安装位置(104)相通，预留的防震电路(203)是在 信号线路(102)的背面与信号线路(102)相通。
3.根据权利要求1所述的射频测试用直流偏置探针卡，其特征是预留的防震电路 (203)的结构是第1号控针与第2号控针上方的电容焊接在针尖安装电容位置(103)，第1 号控针与第2号控针下方的电容和电阻到地是焊在预留的防震电路(203)的位置，电容加 电阻到地的电路是用于消除高频噪声和纹波。
全文摘要
本发明是射频测试用直流偏置探针卡，其特征是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路及接地线路，信号线路和信号线路相互间隔距上设有至少一个接地线路，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用；接头安装位置为信号线路的引出端，用于连接测试设备偏置信号；信号线路一端连接接头安装位置，信号线路的另一端接探针；信号线路的背面设有防震电路。优点各信号线路供以传输该测试设备的偏置信号，接地线路电性导通至该测试机的电位零点，作为各该信号线路的特性阻抗参考基准；根据被测器件的不同安装不同的电容电阻，减小信号间的互扰。结构设计简单，适用于标准化生产。降低信号噪声及电路震荡，提升射频在片的测试品质。
文档编号G01R1/067GK101949961SQ20101025413
公开日2011年1月19日 申请日期2010年8月16日 优先权日2010年8月16日
发明者吴振海, 徐光 , 钱峰 申请人:中国电子科技集团公司第五十五研究所