专利名称：基板检查系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于对在液晶显示器(IXD)、等离子体显示器(rop)等平板显示器 (FPD)的制造中所使用的大型基板进行检查的基板检查系统。
背景技术：
以往，在对平板显示器所使用的基板进行的检查中存在如下所述的目视检查(人工宏观检查)在将基板立起成规定角度的状态下从基板表面侧照射宏观照明光而利用目视根据来自基板的反射光的散射状况来判断缺陷，或者，在将基板垂直地立起的状态下从基板背面侧照射背光(back light)照明光而利用目视根据透射光的散射状况来判断缺陷。 另外，存在利用显微镜等微观检查部将基板上的任意部位放大而观察缺陷的微观检查。不过，随着近年来的平板显示器的大型化，切割为多个平板显示器的母玻璃基板也大型化，例如，出现了 1500_X 1800mm以上的大型母玻璃基板。随着该母玻璃的大型化， 包括人工宏观检查装置及微观检查装置在内的基板的生产线也大型化。因此，提出有通过用简单的装置进行人工宏观检查及微观检查而谋求节省空间的技术(例如，参照专利文献I及专利文献2)。这样的用于进行人工宏观检查及微观检查的装置如下这样设置例如，具有用于使微观检查装置的基板搭载部(基板保持件)立起到作业者侧的驱动部，在使基板搭载部立起的状态下从基板的上方照射宏观照明光而利用目视进行检查。专利文献I :日本特开2003-344294号公报专利文献2 日本特开2000-28537号公报不过，在以往的人工宏观检查过程中，在使保持有基板的基板保持件立起成适于检查者的目视观察的倾斜角度的状态下从基板的上方照射宏观照明光而检测反射光，或者，为了在使基板保持件铅垂地立起的状态下从基板的后方照射背光照明光而检测透射光，基板保持件优选使用仅保持基板的周缘的、中空结构的构件。但是，使用中空的基板保持件时，在基板中间部的基板保持力较弱，因此，基板易于发生晃动，在进行放大观察的微观检查过程中发生影像晃动等不良情况。因此，在微观检查过程中，优选使用用于水平地保持基板整体的由一张板形成的基板保持件。这样，用简单的装置进行人工宏观检查和微观检查时，如果优先进行微观检查，则应该选择由一张板形成的基板保持件。使用一张板的基板保持件时，不仅因玻璃基板透明而基板保持件上的划痕等可见而成为误检测的主要原因，而且存在不能进行利用背光照明进行的目视检查这样的问题。而且，在使用共用的基板保持件进行人工宏观检查和微观检查时，通过使微观检查装置的基板搭载部立起而进行人工宏观检查，因此，不能同时进行人工宏观检查和微观检查，从而也产生检查生产节拍时间变长、进而产生不能提高基板的生产效率这样的问题
发明内容
本发明的课题在于鉴于上述以往的情况、提供一种不降低生产效率及检查性能就能够谋求节省空间的大型基板用的基板检查系统。本发明提供一种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，在该基板检查系统中，包括自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查；架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部；人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板，上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。在本发明中，人工宏观检查装置与自动检查装置是相互独立的装置，因此，能够同时进行利用人工宏观检查装置进行的检查和利用自动检查装置进行的检查，不会降低两检查的运转效率，即使将人工宏观检查装置配置在自动检查装置的上方而谋求节省空间，生产效率也不降低。而且，人工宏观检查装置与自动检查装置能够不使用共用的基板保持部而是使用适于各检查装置的基板保持部，因此，检查性能不降低。因此，采用本发明，不降低生产效率及检查性能就能够谋求基板检查系统的节省空间。
图I是透视地表示本发明的一实施方式的基板检查系统的内部结构的主视图。图2是表示本发明的一实施方式的基板检查系统的基板输入状态的概略左视图。图3是透视地表示本发明的其他的实施方式的基板检查系统的内部结构的主视图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式的基板检查系统进行说明。图I是透视地表示本发明的一实施方式的基板检查系统I的内部结构的主视图。图2是表示基板检查系统I的基板输入状态的概略左视图。如图I所示，基板检查系统I包括人工宏观检查装置10，其作为目视观察装置， 用于作业者以目视进行观察；微观检查装置20，其作为自动检查装置，用于对用数字显微镜(摄像部)拍摄到的图像进行图像处理而检测缺陷；外壳2(以双点划线图示)，基板检查系统I对作为被检查对象基板的、例如作为一边为1500_以上的大型玻璃基板的平板显示器用的母玻璃基板(以下，简称为玻璃基板)G进行检查。人工宏观检查装置10具有基板保持件11，其作为基板保持部，用于保持玻璃基板G ;摆动机构，其用于使该基板保持件11倾斜成适于作业者的目视检查的角度；宏观照明光源16，其用于从上方对被保持于基板保持件11的玻璃基板G进行照射，该基板保持件11 被该摆动机构倾斜。而且，人工宏观检查装置10具有用于在立起基板保持件11的状态下从玻璃基板G的背面侧照射透射光的背光照明光源17 (以双点划线图示)。摆动机构具有两个滑动部12，其用于枢轴支承保持件转动轴11a，该保持件转动轴Ila设在基板保持件11的两侧边的大致中央；两个框架13，其用于以该滑动部12能够滑动的方式支承该滑动部12 ;驱动部，其用于使这些框架13转动到规定的角度。驱动部例如由两个倾斜轴15构成，该两个倾斜轴15将各框架13以各框架13能够旋转的方式支承于人工宏观检查装置的架台，该两个倾斜轴15使两个臂部14连接于各框架13的与下述的固定轴18相反侧的一端，该两个倾斜轴15作为用于使臂部14上下运动的滑动轴驱动部。 驱动部也可以是使驱动电动机连接于两个框架13的旋转轴而成的机构。另外，虽然分别配置有两个滑动部12、两个框架13、两个臂部14及两个倾斜轴15， 但在图I的主视图中位于重叠的位置，因此，在图中仅图示了跟前侧。人工宏观检查装置10配置在微观检查装置20的上方，能够与利用该微观检查装置20进行的微观检查相互独立地进行目视检查。人工宏观检查装置10所采用的基板保持件11呈用于对形成为矩形状的玻璃基板 G的周缘进行保持的中空的矩形框结构，能够以保持件转动轴Ila为中心进行转动。另外， 如图2所示，基板保持件11利用多个周缘保持部Ilb对玻璃基板G的周缘进行保持。为了将较薄的玻璃基板G不至于发生挠曲那样水平地保持，该基板保持件11优选是将截面形状被形成为长方形的支承构件以比基板保持件11的上表面低的方式呈格子状配置在矩形框的内部，并在支承构件上设置用于吸附保持玻璃基板G的吸盘而形成的。通过利用该吸盘吸附玻璃基板G的背面，能够在基板保持件11摆动时抑制玻璃基板G的晃动。用于在例如基板保持件11的彼此相对的两个边的中央对基板保持件11进行枢轴支承的左右一对的滑动部12成I组地配置，滑动部12与平行配置的一对框架13相卡合， 并能够在图示实线所示的位置与图示单点划线所示的位置之间(附图标记12-2、12-3)相对于一对框架13滑动。由于该滑动部12沿着框架13滑动，被滑动部12枢轴支承的基板保持件11也沿着框架13在图示实线所示的位置与图示双点划线所示的位置之间滑动(附图标记 11_2、11-3)。各框架13利用凸缘13a以各框架13能够旋转的方式被固定轴18支承，该固定轴 18被固定于未图示的目视检查用架台，该凸缘13a作为形成在各框架13的与连接有臂部 14侧相反一侧的一端侧的轴承部。与各框架13连接的臂部14沿着在铅垂方向上延伸的倾斜轴15进行上下运动(附图标记14-1、14-2)，从而各框架13在输出、输入玻璃基板G时的水平状态(附图标记13-1)与适于检查者3的目视观察的倾斜状态(附图标记13-2)之间转动。另外，由于这些框架13的转动，基板保持件11及滑动部12也一起转动(附图标记 11-1、11-2、12-1、12-2)。另外，人工宏观检查装置用的架台具有门型形状的腿部，以横跨作为自动检查装置的微观检查装置20的方式配置。人工宏观检查装置10的架台与微观检查装置20的架台相互独立地单独配置。该人工宏观检查装置10由于是供检查者3通过目视观看玻璃基板而进行观察的装置，因此，受来自外部及内部的振动的影响较�。芄徊辉谖蕹臼业牡孛嫔柚贸裉ň椭苯由柚酶萌斯ず旯奂觳樽爸�10。作为自动检查装置的微观检查装置因来自外部的振动的影响而拍摄到的图像晃动而不能进行准确的检查，因此，优选在架台上设置用于使来自外部的振动衰减的除振台。优选这样相互独立地构成人工宏观检查装置用架台和微观检查用架台24。
微观检查装置20具有工作台21，其安装于微观检查装置用架台24，用于水平地载置玻璃基板G ;固定式的机架22，其呈门型形状，以横跨该工作台21的方式配置；显微镜 23，其设于该机架22，在线性电动机等驱动部件的驱动下在与玻璃基板G的输送方向正交的I轴线方向(与图I的纸面垂直的方向)上移动；未图示的基板输送部，其用于保持玻璃基板G并沿着输送方向输送玻璃基板G。作为工作台21，例如能够使用如下述的基板输送工作台等悬浮工作台，其在利用空气使玻璃基板G悬浮的状态下利用基板输送部对玻璃基板G的端部进行保持并进行输送或者利用基板输送部在通过玻璃基板G的重心的中心线上保持玻璃基板G并进行输送; 旋转工作台，其在利用自由辊等旋转体支承玻璃基板G的状态下利用基板输送部保持玻璃基板G并进行输送；辊输送带，其利用被旋转驱动的驱动辊在与玻璃基板G的背面接触来支承玻璃基板G的状态下进行输送。另外，在采用使机架22沿着工作台21移动的移动型机架时，能够采用使工作台21 固定于架台24上的固定型工作台。人工宏观检查装置10的基板保持件11及框架13等以不与微观检查装置20的机架22、工作台21或基板输送机器人4的手臂4a相干涉的方式配置在微观检查装置20的空间区域中。在用于将人工宏观检查装置10的整体和微观检查装置(自动检查装置)整体覆盖起来的外壳2上，形成有用于对于人工宏观检查装置10输出、输入玻璃基板G的基板输出输入用窗部2a、用于对于微观检查装置20输出、输入玻璃基板G的基板输出输入用窗部 2b。人工宏观检查装置10侧的基板输出输入用窗部2a与微观检查装置20侧的基板输出输入用窗部2b为相同形状、相同面积且窗部2a设在窗部2b的正上方。基板输出输入用窗部2a、2b以与用于将玻璃基板G输送到I层的微观检查装置(自动检查装置)和2层的人工宏观检查装置中的图2所示的基板输送机器人4的手臂4a的上下移动方向相一致的方式配置。通过如上所述地将两装置的与基板输出输入用窗部2a、2b相对应的基板输入空间配置为(与基板输送机器人4的移动方向)相同的上下关系，能够利用I个基板输送机器人4将玻璃基板G供给到配置于I层的微观检查装置20的基板输入空间、配置于2层的人工宏观检查装置10的基板输入空间中。另外，只要在将基板输送机器人4固定于地面的状态下使手臂4a上下移动，就能使手臂4a易于相对于基板输出输入用窗部2a、2b进行对位。在人工宏观检查装置10的架台上形成有作为供检查者3进行目视检查的检查作业空间2c的检查作业台。以下，说明使用上述的基板检查系统I进行的玻璃基板G的检查。在基板检查系统I中，人工宏观检查装置10与微观检查装置20是相互独立的装置，因此，能够同时进行人工宏观检查及微观检查。首先，说明人工宏观检查。利用图2所示的基板输送机器人4将用多条手臂4a支承着的玻璃基板G从外壳2 的基板输出输入用窗部2a输入到人工宏观检查装置10中。此时，倾斜轴15使臂部14移动到下方，框架13被保持成水平状态(13-1)。另外，基板保持件11也被保持成与框架13 平行的水平状态(11-1)。
将玻璃基板G定位并保持在基板保持件11上的基准位置时，倾斜轴15使臂部14 向上方移动。由此，与臂部14连接的框架13以固定轴18为中心转动，倾斜到供检查者3 进行目视检查的位置(13-2)。然后，一边使基板保持件11以保持件转动轴Ila为中心转动并利用滑动部12使基板保持件11相对于检查者的视野位置(眼的高度位置)在上下方向上移动，一边通过检查者3目视宏观照明光源16照射的光的反射光或者背光照明光源17照射的光的透射光而对玻璃基板G进行人工宏观检查。另外，对玻璃基板G的背面进行人工宏观检查时，在使框架13稍稍放倒到在基板保持件11进行翻转时不与宏观照明光源16相干涉的位置的状态下，使基板保持件11以保持件转动轴Ila为中心翻转。另外，使用背光照明光源17照射的光的透射光，通过目视进行宏观检查时，也可以将基板保持件11立起到基板保持件11不与宏观照明光源16相干涉那样的程度，并且也可以以使基板保持件11接近检查者3的方式将框架13立起。而且，也可以设为在将基板保持件11立起的状态下、背光照明光源17能够以接近基板保持件11的背面的方式移动。 宏观检查结束之后，通过利用倾斜轴15使臂部14降低而使框架13转动到水平状态，并且使基板保持件11返回到水平状态，利用基板输送机器人4从基板输出输入用窗部2a输出玻璃基板G。对于微观检查，首先，利用图2所不的基板输送机器人4从外壳2的输出输入用窗部2b将玻璃基板G输入到微观检查装置20中。将玻璃基板G载置在工作台21上时，将该玻璃基板G定位于基准位置。进行定位之后，利用未图示的基板输送部使玻璃基板G移动到规定位置，显微镜23沿着与该基板输送部的输送方向(图I的左右方向)正交的方向(与图I的纸面垂直的方向)移动，从而利用显微镜23对玻璃基板G进行微观检查。微观检查结束之后，利用未图示的基板输送部使玻璃基板G返回到输出位置，利用基板输送机器人4从窗部2b输出玻璃基板G。在以上说明的本实施方式中，检查者3不因进行检查而介于微观检查装置(自动检查装置)20的装置内，因此，能够将微观检查装置(自动检查装置)20的高度较低地抑制成与机架22同等的高度。利用该微观检查装置(自动检查装置)20的上空的空间来配置人工宏观检查装置10而采用2层结构，由此，与并列设有两装置的基板检查系统相比，能够减小设置空间。另外，人工宏观检查装置10与微观检查装置(自动检查装置)20是相互独立的装置，因此，能够同时进行利用宏观检查装置10进行的检查与利用微观检查装置(自动检查装置)20进行的检查，不会降低两检查的运转效率，即使将人工宏观检查装置10配置在微观检查装置20的上方而谋求节省空间，生产效率也不降低。而且，能够不使用人工宏观检查装置10与微观检查装置(自动检查装置)20共用的基板保持部而是使用适于各检查装置10、20的基板保持部(基板保持件11、工作台21)， 因此，检查性能不降低。因此，采用本实施方式，能够不降低生产效率及检查性能就谋求基板检查系统I 的节省空间。另外，在本实施方式中，能够将比人工宏观检查装置10易于受到振动的影响的微观检查装置20配置在人工宏观检查装置10的下方，并且能够使人工宏观检查装置10与微观检查装置(自动检查装置)20分离而设置于地面，因此，来自人工宏观检查装置10的振动不会传递到微观检查装置20而能够进行精度较高的微观检查。另外，通过使人工宏观检查装置10与微观检查装置20为相互独立的结构，能够易于在现场进行组装，并且能够使人工宏观检查装置10与微观检查装置20分开而易于输送。另外，作为自动检查装置，不限于本实施方式的微观检查装置20，例如，也可以设为如线宽测量装置、分光测光装置、激光修补(laser repair)装置等那样包括放大检查装置的检查装置，该放大检查装置具有放大检查部(例如显微镜)和用于拍摄被放大检查部放大了的影像的摄像部。另外，作为自动检查装置，也包括利用线传感器照相机拍摄玻璃基板整体的自动宏观检查装置。即，自动检查装置只要是与人工检查装置那样的让检查者贴着装置并直视玻璃基板来进行检查的装置不同，让检查者在离开装置的位置能够作业的装置即可。该自动检查装置在进行检查、观察时不需要使检查者贴着装置。因此，在自动检查装置中，检查者不会进入到运转中的装置内来进行检查，因此，不需要供检查者移动的检查作业空间，能够相应地将自动检查装置的最大高度抑制得较低。例如，自动检查装置的最大高度以用于支承检查头的门型的机架的上表面为最大高度。在自动检查装置中，用于拍摄基板的检查头成为决定装置的高度的主要原因，因此， 安装有该检查头的机架的上表面成为自动检查装置的最大高度位置。通过使人工宏观检查装置以人工宏观检查装置不与该自动检查装置的机架相干涉的方式接近该自动检查装置的机架而配置人工宏观检查装置，能够降低人工宏观检查装置的设置高度。另外，对于本实施方式的微观检查装置20，说明了机架22为固定式且在工作台21 上输送玻璃基板G的例，但通过使机架22为移动式并在使玻璃基板G静止的状态下进行检查或者观察，能够减小用于水平地载置玻璃基板G的工作台，能够进一步谋求节省空间。另外，在采用了移动型机架的情况下，通过将人工宏观检查装置的检查作业台配置在机架的移动空间之上，能够与使检查作业台降低了的高度相对应地将人工宏观检查装置的设置高度抑制得较低。能够与这样使检查作业台降低了的高度相对应地将人工宏观检查装置的高度抑制得较低。在此情况下，将微观检查装置(自动检查装置)的基板输入空间设在靠人工宏观检查装置的检查作业台侧，使该微观检查装置(自动检查装置)向与人工宏观检查装置的检查作业台远离的方向与之错开配置，由此，能够将人工宏观检查装置的检查作业台配置在将微观检查装置错开后的I层部分的空间区域中。通过设置该空间区域，不会与微观检查装置相干涉就能够将人工宏观检查装置的检查作业台配置在较低的位置。<其他的实施方式>图3是透视地表示本发明的其他的实施方式的基板检查系统31的内部结构的主视图。在上述的一实施方式的基板检查系统I中，为了在微观检查装置20的上方的空间中对作为大型基板的玻璃基板G进行人工宏观检查，有时装置的总高度也超过例如6m，由于工厂的不同，有时考虑到顶棚高度这一点而不能配置基板检查系统I。因此，本实施方式的基板检查系统31采用了能够比上述基板检查系统I进一步抑制高度的结构。
如图3所示，基板检查系统31包括作为人工检查装置的人工宏观检查装置40、作为自动检查装置的微观检查装置50、外壳32。人工宏观检查装置40具有基板保持件41，其用于保持作为大型基板的玻璃基板 G ;摆动机构，其用于将该基板保持件41倾斜成适于检查者33的目视观察的角度；宏观照明光源46，其用于从保持于被该摆动机构倾斜了的基板保持件41的被检查对象基板(玻璃基板)G的上方进行照射。而且，人工宏观检查装置40具有用于利用透射光进行的检查的背光照明光源47。摆动机构具有两个滑动部42，其用于枢轴支承基板保持件41的保持件转动轴 41a ;两个框架43，其用于以该滑动部42能够滑动的方式支承该滑动部42 ;驱动部，其用于使这些框架43转动规定角度。该驱动部具有两个臂部44，其一端与各框架43连接；两个倾斜轴45，其倾斜地配置在微观检查装置50的上方，用于推拉臂部44的剩下的另一端。采用本实施方式时，框架43只要处于倾斜成规定角度的状态即可，例如，也可以在使框架43 倾斜成图3的实线所示的规定的角度的状态下固定框架43。在此情况下，在使框架43倾斜成规定角度的状态下，如果框架43的一端侧(基端侧)延伸到比微观检查装置(自动检查装置)50的最大高度位置S低的位置，则能够将基板保持件41推出到微观检查装置(自动检查装置)50的外侧。优选通过使框架43延伸到微观检查装置(自动检查装置)50的工作台51的外侧而能够将基板保持件41推出到工作台51的外侧。在将框架43固定成规定角度的情况下，可以在利用输送机器人4进行基板输入的位置使基板保持件41转动成水平状态并在目视观察位置使基板保持件41转动成适于基板目视观察的角度。另外，在本实施方式中，也分别配置有两个滑动部42、两个框架43、两个臂部44及两个倾斜轴45，但在图3的主视图中位于重叠的位置，因此，在图中仅表示了跟前侧。在人工宏观检查装置40中，框架43的一部分、臂部44、倾斜轴45、背光照明光源 47等(临时说成基板保持件41及滑动部42)配置在微观检查装置50的上方。在此情况下， 在微观检查装置(自动检查装置)50中，在接近被配置在上方的人工宏观检查装置40的检查作业空间32c的一侧设有玻璃基板G的基板输入空间(32b)，在该基板输入空间(32b)的内侧配置有以横跨工作台51的方式呈门型形状的固定式的机架52。在该微观检查装置50 的基板输入空间(32b)中设定有供图2所示的输送机器人4将玻璃基板G相对于工作台51 上输入、输出用的手臂4a的上下移动动作空间。通过以微观检查装置50的基板输入空间(32b)与人工宏观检查装置40的输入空间(32a)对齐的方式将人工宏观检查装置40配置在微观检查装置50的上方，能够将人工宏观检查装置40降低到不与微观检查装置50相干涉的较低的位置而设置。基板保持件41呈用于对被形成为矩形状的玻璃基板G的周缘进行保持的中空的矩形框构造，能够以保持件转动轴41a为中心进行转动。用于在例如基板保持件41的彼此相对的两个边的中央对基板保持件41进行枢轴支承的左右一对的滑动部42成I组地配置，滑动部42以相对于平行配置的一对框架43能够移动的方式与一对框架43 (附图标记42-2、42_3)相卡合。由于该滑动部42的移动,被滑动部42枢轴支承的基板保持件41也移动(附图标记41-2、41-3)。另外，基板保持件41在位于微观检查装置50的上方的位置(附图标记41-2)与一部分(也可以是全部)处于比微观检查装置50的上端(面S)靠下方的位置(附图标记 41-3)之间沿着框架43移动。各框架43利用被形成在一端(下侧)的凸缘43a与被固定于未图示的架台的固定轴48相连接。该固定轴48被设在比微观检查装置50的工作台51靠前方的位置，并且被设在比微观检查装置50的最高高度位置(面S)靠下方的位置。框架43以固定轴48为旋转中心而以不与微观检查装置50的工作台51相干涉的方式在图示箭头的范围内转动。这样将固定轴48配置在与微观检查装置50的工作台51分开的前方，从而将框架 43的一端侧(基端侧)推出到比微观检查装置50的工作台51靠外侧的位置。通过使滑动部42移动到该框架43的被推出的部分，能够将可移动地设于滑动部42的基板保持件41 推出到比微观检查装置50的最高高度位置低的工作台51的前方。在本实施方式中，通过将基板保持件41推出到作为自动检查装置的微观检查装置50的前方，能够将作为检查作业空间32c的检查作业台设在与微观检查装置(自动检查装置)50分开的前方。检查作业空间32c沿着人工宏观检查装置40的目视观察用窗配置。人工宏观检查装置40的目视观察用窗以与基板保持件41沿着框架43移动到最靠下方位置时的停止位置相对齐的方式设置。检查作业空间32c的检查作业台(作业用床部分)配置得比目视观察用窗靠下侧，成为检查者33为了进行目视观察而进行移动的通路。该检查作业台设在比目视观察用窗的下侧开口边低的位置、例如以检查者的腰的位置为下侧开口边的位置的方式从目视观察用窗的下侧开口边降低了 750mm IOOOmm的位置。通过降低该检查作业台， 能够降低用于从基板上方照射宏观照明光的宏观照明光源46的安装位置，因此，能够降低人工宏观检查装置40的高度。作为检查者33的观察高度位置的目视观察用窗与宏观照明光源46的配置位置关系为具有恒定距离，因此，能够与使目视观察用窗降低了的高度相对应地使宏观照明光源 46的安装位置降低，从而能够将装置整体的高度抑制得较低。另外，在检查作业空间32c的至少一端设有供检查者33攀登的台阶。在各框架43的另一端侧连接有臂部44。该臂部44被倾斜地配置的倾斜轴45推拉，从而各框架43在相对于水平面倾斜的范围内，在本实施方式中在输出、输入玻璃基板 G时的倾斜状态(附图标记43-1)与适于检查者33进行目视观察的倾斜状态(附图标记 43-2)之间转动。由于该框架43的转动，基板保持件41及滑动部42也一起转动(附图标记 41_1、41_2、42_1、42_2)。另外，固定轴48位于比作为微观检查装置50的最大高度位置的机架52的上端 (面S)靠下方的位置，因此，框架43的一部分位于比微观检查装置50的最大高度靠下方的位置。微观检查装置50与上述的一实施方式的微观检查装置20同样具有工作台51、 固定式的机架52、作为检查部的显微镜53、架台54、未图示的基板输送部。另外，在本实施方式中，作为微观检查装置50的最大高度的上端(面S)是机架52的上端。在外壳32中，与上述的一实施方式的外壳2同样形成有两个基板输出输入用窗部 32a,32b和检查作业空间32c。以下，说明了使用上述的基板检查系统31进行的基板检查。首先，说明人工宏观检查。
与上述第I实施方式同样利用基板输送机器人4将玻璃基板G从外壳32的基板输出输入用窗部32a输入到人工宏观检查装置40中。此时，如上所述，框架43因为在从水平状态倾斜的范围内转动而不转动成水平状态(43-1)，但基板保持件41以保持件转动轴 41a为中心而与框架43相对独立地转动成水平状态(41-1)。将玻璃基板G保持在水平状态的基板保持件41上时，首先，以保持件转动轴41a 为中心，使基板保持件41转动成与框架43平行的状态。然后，倾斜轴45推压臂部44，从而与臂部44连接的框架43以固定轴48为中心转动，倾斜到供检查者33进行目视检查的位置(43-2)。通过这样按照基板保持件41、框架43的顺序使基板保持件41、框架43转动，或者，通过使基板保持件41及框架43同时转动，能够减小基板保持件41的移动空间。然后，一边使基板保持件43摆动并利用滑动部42使基板保持件41移动，一边由检查者33目视宏观照明光源46照射的光的反射光或者背光照明光源47照射的光的透射光而对玻璃基板G进行人工宏观检查。另外，对玻璃基板G的背面进行人工宏观检查时，在使框架43略微倒伏到基板保持件41不与宏观照明光源46相干涉的状态下，使基板保持件 41以保持件转动轴41a为中心翻转。人工宏观检查结束之后，利用倾斜轴45拉回臂部44，使框架43放倒之后(43_1)， 使基板保持件41转动成水平状态(41-1)，利用未图示的基板输送机器人从基板输出输入用窗部32a输出玻璃基板G。此时，通过按照框架43、基板保持件41的顺序使框架43、基板保持件41转动，或者,通过使框架43及基板保持件41同时转动，能够减小基板保持件41 的移动空间。对于微观检查,与上述的一实施方式相同，因此省略说明。在以上说明的本实施方式中，也与上述的一实施方式同样检查者33不因进行检查而介于微观检查装置(自动检查装置)50的装置内，因此，能够将微观检查装置(自动检查装置)50的高度较低地抑制成与机架52同等的高度。通过利用该微观检查装置(自动检查装置)50的上空的空间来配置人工宏观检查装置40，与并列设有两装置的基板检查系统相比，能够减小设置空间。另外，人工宏观检查装置40与微观检查装置(自动检查装置)50是相互独立的装置，因此，能够同时进行利用人工宏观检查装置40进行的宏观检查和利用微观检查装置 (自动检查装置)50进行的微观检查，不会降低两检查的运转效率，即使将人工宏观检查装置40配置在微观检查装置(自动检查装置)50的上方而谋求节省空间，生产效率也不降低。而且，能够不使用人工宏观检查装置40与微观检查装置(自动检查装置)50共用的基板保持部(基板保持件41)而是使用适于各检查装置40、50的基板保持部，因此，检查性能不降低。因此，采用本实施方式，也能够不降低生产效率及检查性能就谋求基板检查系统 31的节省空间。另外，在本实施方式中，能够将比人工宏观检查装置40易于受到振动的影响的微观检查装置50配置在人工宏观检查装置40的下方，并且能够使人工宏观检查装置40与微观检查装置50分离而设置于地面，因此，来自人工宏观检查装置40的振动不会传递到微观检查装置50而能够进行精度较高的微观检查。另外，通过使人工宏观检查装置40与微观检查装置50分离，易于在现场进行组装，并且也易于输送。另外，将玻璃基板G的输入空间设在检查作业空间32c侧，将机架52固定设置在从作为该基板输入空间的图2所示的基板输送机器人4的手臂4a的上下移动动作空间远离的位置。通过使该机架52从检查作业空间(检查作业台)32c侧远离，能够在作为工作台51的靠检查作业空间32c侧的上方的基板输入空间32b、即手臂4a的上下移动动作空间之上形成大的空间。通过这样将人工宏观检查装置40的检查作业空间(检查作业台)配置在不与微观检查装置(自动检查装置)50相干涉的空间区域中，能够将检查作业台降低到较低的位置而设置，能够与降低了该检查作业台的高度相对应地将装置整体的高度抑制得较低。另外，通过将人工宏观检查装置40配置在处于微观检查装置50的基板输入空间的上方的空间中，能够使微观检查装置50的一部分与人工宏观检查装置40的一部分重叠而进行配置，因此，与将微观检查装置50与人工宏观检查装置40并列配置的情况相比，能够与重合部分相对应地谋求基板检查系统31的节省空间。另外，在本实施方式中，作为框架43的转动中心的固定轴48位于比作为微观检查装置50的最大高度位置的上端(面S)靠下方的位置，因此，能够将人工宏观检查装置40 的框架43推出到微观检查装置50的工作台51的前方、并推出到微观检查装置50的工作台51的下方。由此，能够与框架43被推出到下方的部分相应地使人工宏观检查装置40的目视观察用窗降低到下方，因此，能够进一步将装置整体的高度抑制得较低。另外，将滑动部42以能够移动的方式设于框架43，而且将基板保持件41以能够移动的方式设于该滑动部42，由此，能够使基板保持件41移动到比框架43的基端部更靠下方的位置。通过采用这样使基板保持件41分两个阶段滑动的结构，能够使基板保持件41移动到比微观检查装置(自动检查装置)50的最高高度位置更低的位置。由此，能够降低目视观察用窗，能够将与该目视观察用窗具有恒定的距离关系的宏观照明位置抑制得较低， 因此，能够易于抑制装置整体的高度。另外，倾斜轴45位于微观检查装置50的上方，从而能够谋求基板检查系统31的节省空间。另外，在本实施方式中，框架43在相对于水平面倾斜的范围内转动(43-1、43_2)， 基板保持件41在进行玻璃基板G的输出、输入时与框架43相对独立地转动成水平状态。由此，能够抑制框架43的移动空间，从而能够进一步谋求基板检查系统31的节省空间。另外，如本实施方式这样，在输入玻璃基板G时，按照基板保持件41、框架43的顺序(或者同时)使基板保持件41、框架43转动，在输出玻璃基板G时，按照框架43、基板保持件41的顺序(或者同时)使框架43、基板保持件41转动，由此,能够减小基板保持件41 的移动空间，因而，能够进一步谋求基板检查系统31的节省空间。另外，在本实施方式中，如上所述，将作为框架驱动部的倾斜轴45配置在微观检查装置的上方，因此，能够谋求基板检查系统31的进一步节省空间，但也可以采用将框架驱动部与固定轴48直接连接的结构。在此情况下，驱动系统的容量变大，但框架驱动部不是被配置在玻璃基板G的上方而是被配置在侧方，从而能够进行具有优异的清洁性的检查，能够进一步提高检查性能。另外，在上述的各实施方式中，以将自动检查装置的机架固定在与基板输入空间分开的位置的例进行了说明，但也能够采用可移动地设在基板输入空间中的移动式机架。 在采用该移动式机架的情况下，也能够使框架13、43的基端(下端)延伸到比基板输送机器人的上下运动移动动作空间靠上方的位置。附图标记说明I、基板检查系统；2、外壳；2a、2b、基板输出输入用窗部；2c、检查作业空间；3、检查者；4、基板输送机器人；4a、手臂；10、人工宏观检查装置；11、基板保持件；lla、保持件转动轴；llb、周缘保持部；12、滑动部；13、框架；13a、凸缘；14、臂部；15、倾斜轴；16、宏观照明光源；17、背光照明光源；18、固定轴；20、微观检查装置(自动检查装置)；21、工作台； 22、机架；23、显微镜；24、架台；31、基板检查系统；32、外壳；32a、32b、基板输出输入用窗部；32c、检查作业空间；33、检查者；40、人工宏观检查装置；41、基板保持件；41a、保持件转动轴；42、滑动部；43、框架；43a、凸缘；44、臂部；45、倾斜轴；46、宏观照明光源；47、背光照明光源；48、固定轴；50、微观检查装置(自动检查装置)；51、工作台；52、机架；53、显微镜； 54、架台。
权利要求
1.一种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，其特征在于，该基板检查系统包括自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查；架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部；人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板，上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。
2.根据权利要求I所述的基板检查系统，其特征在于，上述人工宏观检查装置具有基板保持部，其用于保持上述被检查对象基板；一对框架，其具有规定的角度地配置，用于以上述基板保持部能够滑动的方式支承上述基板保持部。
3.根据权利要求2所述的基板检查系统，其特征在于，上述框架的基端侧延伸到比上述自动检查装置的最大高度位置低的位置。
4.根据权利要求3所述的基板检查系统，其特征在于，上述自动检查装置具有机架，该机架的上端作为上述最大高度位置，该机架用于支承摄像部，该机架固定设置在比上述基板输送机器人的上下移动动作空间靠外侧的位置，上述框架的基端侧延伸到不与上述机架及上述上下移动动作空间相干涉的位置。
5.根据权利要求3所述的基板检查系统，其特征在于，上述自动检查装置具有机架，该机架的上端作为上述最大高度位置，该机架用于支承摄像部，该机架以能沿着上述被检查对象基板的输入空间移动的方式设置，上述框架的基端部延伸到不与上述机架的移动区域相干涉的位置。
6.根据权利要求2所述的基板检查系统，其特征在于，上述框架的基端侧推出到比上述自动检查装置的工作台靠外侧的位置。
7.根据权利要求I所述的基板检查系统，其特征在于，上述基板保持部的至少一部分移动到位于比上述自动检查装置的上端靠下方的位置。
8.根据权利要求I所述的基板检查系统，其特征在于，上述人工宏观检查装置具有用于供检查者进行目视观察的检查作业台，该检查作业台配置在不与上述自动检查装置相干涉的空间区域中。
9.根据权利要求8所述的基板检查系统，其特征在于，上述检查作业台配置在上述自动检查装置与上述人工宏观检查装置错开地配置的空间区域中。
10.根据权利要求8所述的基板检查系统，其特征在于，上述自动检查装置具有用于安装检查头的移动型机架，上述检查作业台配置在比上述移动型机架的移动空间靠上方的空间区域中。
11.根据权利要求I所述的基板检查系统，其特征在于，上述自动检查装置借助除振台设置在地面上，上述人工宏观检查装置借助上述架台设置在地面上。
12.根据权利要求I所述的基板检查系统，其特征在于，上述基板输送机器人具有能够向被配置在I层的上述自动检查装置和被配置在2层的上述人工宏观检查装置移动的手臂，沿着上述手臂的上下移动方向，使上述人工宏观检查装置的基板输入空间配置在上述自动检查装置的基板输入空间之上。
全文摘要
本发明提供一种基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
文档编号G01N21/88GK102608121SQ201210003880
公开日2012年7月25日 申请日期2012年1月4日 优先权日2011年1月6日
发明者冈平裕幸 申请人:奥林巴斯株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
