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专利名称：石英坩埚的检测工具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在常规环境下检测石英坩埚尺寸和圆度的工具。
背景技术：
硅单晶用的石英坩埚如图1所示内表面具有光洁的涂层，严禁在拆开包装后再 次污染，上半部分为柱体，各处的外圆与壁厚(“各处”代表了圆度)均有特定的尺寸要求； 底部为碗状，与石墨坩埚吻合即可。光伏用的石英坩埚一般由坩埚厂家在洁净度非常高的环境中检测完毕后交付单 晶厂家使用，包装拆开后即使用。对于单晶厂家来说对入厂的原辅材料也需要进行必要的 检测。18英寸的坩埚外径在450mm左右，20英寸的在500mm左右。使用一般的卡尺对石英 坩埚进行检测尺寸和圆度的话，由于卡尺从正上方测试，由于不易确定坩埚的圆心，会造成 几个毫米的偏差，且无法测试整个坩埚各处的圆度；由于尺寸限制，无法通过卡坩埚的外径 来对坩埚尺寸进行测试。使用卡尺寻找圆心的同时，特别是坩埚的内表面是一个光洁度很 高的涂层，会造成新的污染，且不能测试其圆度；卡尺是钢制的，在测试过程中容易因为磕 碰造成石英坩埚的裂纹。

发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种石英坩埚的检测工具，使 用简便。按照本发明提供的技术方案，所述石英坩埚的检测工具包括两个圆环状的外卡环 和内卡环，所述外卡环的内径为允许的石英坩埚最大外径加2 5毫米，以整数为宜；所述 内卡环的最大外径为允许的石英坩埚的最小内径r，也可以稍微小点，r (r-1)毫米之间 为宜。所述外卡环和内卡环的材质为塑料。本发明的优点是结构简单，能够简便的检测石英坩埚尺寸和圆度且不会损坏石 英坩埚和造成污染。


图1是石英坩埚中心剖视图。图2是检测外径和圆度的工具示意图。图3是检测内径和圆度的工具示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。本发明分别针对石英坩埚的外圆 和内圆的尺寸做两个塑料材质的圆环薄片。如图2所示为检测石英坩埚外径R和圆度的外 卡环4，图3所示为检测石英坩埚的内径r和圆度的内卡环5。以20英寸的石英坩埚为例，假如石英坩埚的要求为503+2mm，则石英坩埚的外径R不得超过505mm，我们制作一个内径为507mm(507 510mm之间，以整数为宜)的外卡环 4，在测试坩埚外圆的时候如果套不下去，则说明石英坩埚尺寸偏大；套的时候通过使坩埚 外径与外卡环4的内径相切，使空余部分全部在一侧，观察间隙察宽度即可得知石英坩埚 的外径R;使外卡环4的内径与石英坩埚同心，观察间隙相等，即可得知该石英坩埚的圆度。 所述石英坩埚具有筒形的壁2和球形的底部3及内腔1。石英坩埚的内径r从外径R的尺寸中刨去壁2的两边壁厚各10mm，则为483+2mm， 制作一个外径为481mm(尺寸上考虑负公差)的圆环状内卡环5 (也可以稍微小点，480 481mm之间为宜)，塑料材质。使用的时候握住内卡环5的圆心空缺处，使石英坩埚的内径 与内卡环5外径相切，即得石英坩埚的内径r ；同心后可测圆度。内卡环5的外圆与石英坩埚的内壁接触的地方要做洁净处理，放置的容器也应干 净无尘屑，许久不用需用酒精擦拭待酒精挥发后使用，在石英坩埚的筒体部分沿石英坩埚 内壁往下即可检查石英坩埚部分的内圆直径和圆度。碗状部分的底部3目前只能以石英坩 埚与石墨坩埚的吻合程度来判断。
权利要求
石英坩埚的检测工具，其特征是包括两个圆环状的外卡环和内卡环，所述外卡环的内径为石英坩埚最大外径加2～5毫米，所述内卡环的最大外径为石英坩埚最小内径r～(r-1)毫米。
2.如权利要求1所述的石英坩埚的检测工具，其特征是所述外卡环和内卡环的材质为塑料。
全文摘要
本发明提供一种石英坩埚的检测工具，包括两个圆环状的外卡环和内卡环，所述外卡环的内径为允许的石英坩埚最大外径加2～5mm，以整数为宜；所述内卡环的最大外径为允许的石英坩埚的最小内径r，也可以稍微小点，r～(r-1)毫米之间为宜。本发明的优点是结构简单，能够简便的检测石英坩埚尺寸和圆度且不会损坏石英坩埚和造成污染。
文档编号G01B5/08GK101886902SQ20101021693
公开日2010年11月17日 申请日期2010年6月25日 优先权日2010年6月25日
发明者何勤忠, 俞振明, 杨乐 申请人:高佳太阳能股份有限公司