专利名称：检查用夹具及检查用触头的制作方法
技术领域：
本发明涉及将预先设定在被检查物的检查对象部上的检查点与实施该检查的检 查装置进行电气连接的检查用夹具，尤其涉及能够容易地进行4端子测定的检查用触头和 使用该触头的检查用夹具。
背景技术：
本发明的检查用夹具，对于被检查物所具有的检查对象部，从检查装置对规定检 查位置供给电力或电气信号，并且从检查对象部检测电气信号，由此能够检测检查对象部 的电气特性，或者进行动作试验。本发明的被检查物，能够列举出例如印刷布线基板、柔性基板、陶瓷多层布线基 板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、以及半导体封装用的封装基板或者膜式载体 等各种基板、半导体晶片或半导体芯片、CSP(Chip size package)等的半导体装置。在本说明书中，将这些上述的被检查物统称为“被检查物”，将形成在被检查物的 检查对象部称为“检查部”。此外，在检查部设定用于实际检查该检查部的电气特性的检查 点，通过使触头压接于该检查点，来检测检查部的电气特性。以往，在作为被检查物的一实施方式的电路基板上形成有多个布线。该布线被形 成用于供给电力或流过电气信号，以使搭载在电路基板上的电气、电子部件具有期望的功 能。因此，布线不良会导致电路基板的动作不良。为了解决该问题，曾经提出过多个判定形成在电路基板、半导体装置等被检查物 的布线的对象部是否良好的检查装置的发明。该检查装置为了对例如作为被检查物的基板上所形成的布线是否良好进行判断， 使用具有与预先设定在布线上的多个检查点分别连接的多个触头(探针)的检查用夹具来 实施检查。该检查用夹具的触头的一端被压接在布线(检查部)上的检查点，其另一端被压 接在与基板检查装置电气连接的电极部。于是，借助该检查用夹具，从基板检查装置供给用 于测定布线的电气特性的电流、电压，并且向基板检查装置发送来自布线的电气信号。近年来，由于技术的进步，半导体装置变小、基板变�。迳系牟枷咭菜嬷纬� 得更加细小且复杂。随着该基板的布线向细小化及复杂化发展，检查用夹具所具有的触头 也被要求触头本身细线化、触头间距狭小化、多针化、简单化。尤其在对细小化及复杂化的被检查物的对象部进行测定时，由于对象部与触头接 触时产生的接触阻力值的影响较大，因此实施四端子测定法。在该四端子测定法中，需要相 对检查点配置电力供给用和电气信号检测用这两个电气独立的触头。因此，相比通常情况 要求更加细线化的触头。这里，例如在专利文献1所公开的检查用夹具的触头中，具备筒部件的第一电极 部、和与该第一电极部内部绝缘而配置在其内部的第二电极部，由此使第一电极部和第二 电极部同时与检查点接触。
然而，在专利文献1所公开的检查用夹具中，由于由使用绕线的螺旋弹簧来形成， 因此很难形成具有比绕线直径小4倍左右的直径的线圈，极难形成外径在100 μ m以下的绕 线螺旋弹簧，作为检查用夹具极难进行组装。即使能够形成，在制造成本上利用到2000 4000根检查用夹具也过于昂贵，具有不切实际的问题。专利文献1日本特开2005-249447号公报
发明内容
本发明提供一种具有能够应对基板的细小化及复杂化，并且具备部件个数减低的 简单化构造的四端子测定用的触头的检查用夹具。技术方案1所述的发明提供一种检查用夹具，其将具有成为被检查对象的检查部 的被检查物、与检查该检查部的电气特性的检查装置进行电气连接，其特征在于，具备连 接电极体，其具有多个与上述检查装置进行电气连接的电极部；导电性的筒形状的第一筒 体，该第一筒体的一端压接于上述检查部，且另一端压接于上述电极部；导电性的筒形状的 第二筒体，该第二筒体不与上述第一筒体电气接触并且大致同轴地配置在该第一筒体内， 其一端压接于上述检查部，且另一端压接于上述电极部；第一板状部件，其具有将上述第一 筒体和上述第二筒体各自的一端引导向上述检查点的第一引导孔；和第二板状部件，其具 有将上述第一筒体和上述第二筒体各自的另一端引导向上述电极部的第二引导孔，并且该 第二板状部件被配置成与上述第一板状部件间具有规定间隔，上述第一筒体和上述第二筒 体上隔着中间部设置有2个伸缩部，该伸缩部由筒壁部的螺旋状切口部形成，且在长轴方 向上进行伸缩，上述第一筒体和上述第二筒体在各自的中间部被固定。技术方案2所述的发明在技术方案1的基础上提供一种检查用夹具，其特征在于， 上述第一筒体和第二筒体由镍或者镍合金形成。技术方案3所述的发明在技术方案1或2的基础上提供一种检查用夹具，其特征 在于，上述第一筒体的形状形成为相对于该第一筒体的中央呈大致对称的形状，并且上述 第二筒体的形状形成为相对于该第二筒体的中央呈大致对称的形状。技术方案4所述的发明在技术方案1 3任意一项的基础上提供一种检查用夹 具，其特征在于，上述检查用夹具具有第三板状部件，该第三板状部件具有供上述中间部贯 通并对之引导的第三引导孔，上述第三板状部件具备三个并列配置的板部，配置于中间的 一个板部相对其他板部向面方向位移，并被配置在使上述第三引导孔从排列位置上偏离的 位置，由此夹持上述中间部。技术方案5所述的发明在技术方案1 3任意一项的基础上提供一种检查用夹 具，其特征在于，形成有筒形状的第三筒体，该第三筒体具有比上述第一筒体的外径大的内 径，上述第三筒体将该第一筒体大致同轴地收容在上述第三筒体内，上述第一引导孔具有 第一引导上孔和第一引导下孔，上述第一引导上孔具有比上述第三筒体的外径大的孔径， 上述第一引导下孔与上述第一引导上孔连通连结，具有比上述第三筒体的外径小且比上述 第一筒体的外径大的孔径。技术方案6所述的发明在技术方案1 5任意一项的基础上提供一种检查用夹 具，其特征在于，上述第一筒体的2个伸缩部和上述第二筒体的2个伸缩部没有被配置于在 平面上看时呈相邻的位置。
另外，技术方案7所述的发明提供一种检查用触头，其被用于将具有成为被检查 对象的检查部的被检查物、与检查该检查部的电气特性的检查装置的电极部进行电气连接 的检查用夹具中，其特征在于，具备导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的一端压接 于上述检查部，且另一端压接于上述电极部；和导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体 不与上述第一筒体电气接触并且大致同轴地配置在该第一筒体内，其一端压接于上述检查 部，且另一端压接于上述电极部，在上述第一筒体和上述第二筒体上，分别隔着中间部设置 有2个伸缩部，该伸缩部由筒壁部的螺旋状切口部形成，且在长轴方向上进行伸缩，上述第 一筒体和上述第二筒体在各自的中间部被固定。技术方案8所述的发明在技术方案7的基础上提供一种检查用触头，其特征在于， 上述第一筒体和第二筒体由镍或者镍合金形成。技术方案9所述的发明在技术方案7或8的基础上提供一种检查用触头，其特征 在于，上述第一筒体的形状形成为相对于该第一筒体的中央呈大致对称的形状，并且上述 第二筒体的形状形成为相对于该第二筒体的中央呈大致对称的形状。技术方案10所述的发明在技术方案7的基础上提供一种检查用触头，其特征在 于，形成有筒形状的第三筒体，该第三筒体具有比上述第一筒体的外径大的内径，上述第三 筒体将该第一筒体大致同轴地收容在上述第三筒体内，并且形成为比上述第一筒体短的长 度。技术方案11所述的发明在技术方案7的基础上提供一种检查用触头，上述第一筒 体的2个伸缩部和上述第二筒体的2个伸缩部没有被配置于在平面上看时呈相邻的位置。根据技术方案1或7所述的发明，检查用夹具的触头或检查用触头，由于利用导电 性的第一筒体和收容于该第一筒体内部的导电性的第二筒体将2个端子收容在一方的筒 体的内部，因此与以往的四端子测定用的探针相比，能够应对窄间距。另外，2个触头由一体 型的筒部件形成，因此能够减少部件数量而使构成简单化。进而由于2个触头上隔着各自 中间部形成有2个伸缩部，因此一个伸缩部根据来自检查点的挤压力滑动，另一个伸缩部 根据来自电极部的挤压力滑动，从而各伸缩部能够独立地发挥作用。根据技术方案2或8所述的发明，由于由镍或镍合金形成，因此具有导电性、容易 镀敷，还可确保弹性。根据技术方案3或9所述的发明，由于触头具有相对于该触头的中央呈对称的形 状，因此容易安装于保持体上，并通过设置保持触头的中间部的第三板状部件，能够容易地 由保持体来保持触头。根据技术方案5或10所述的发明，由于第三筒体形成在第一筒体的外侧，故能够 将该第三筒体利用到与板状部件间卡定的卡定部上。根据技术方案6或11所述的发明，由于第一筒体的伸缩部和第二筒体的伸缩部未 配置在相邻的位置，故能够互不受影响地各自发挥作用。
图1是表示本发明所涉及的检查用夹具的一实施方式的简略构成图。图2是本发明的第一实施方式的触头(第一触头)的简略截面图。图3示出构成第一触头构成的第一筒体和第二筒体的分解截面图，其中(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体。图4是表示第一触头安装在保持体的状态的截面图。图5是使用第一触头的检查用夹具的简略构成图。图6是本发明的第二实施方式的触头(第二触头)的简略截面图。图7示出构成第二触头的第一筒体、第二筒体和第三筒体的分解截面图，其中(a) 表示第一筒体，(b)表示第二筒体，(C)表示第三筒体。图8是表示第二触头安装在保持体的状态的截面图。图9是使用了第二触头的检查用夹具的简略构成图。图10是本发明的第三实施方式的触头(第三触头)的简略截面图。图11示出构成第三触头的第一筒体和第二筒体的分解截面图，其中(a)表示第一 筒体，(b)表示第二筒体。图12是表示第三触头安装在保持体的状态的截面图。图13是使用了第四触头的检查用夹具的简略构成图。图14是本发明的第四实施方式的触头(第四触头)的简略截面图。图15示出构成第四触头的第一筒体、第二筒体和第三筒体的分解截面图，其中 (a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体，(c)表示第三筒体。图16是表示第四触头安装在保持体的状态的截面图。图17是使用了第四触头的检查用夹具的简略构成图。图18是表示第五触头安装在保持体的状态的截面图。图19是表示第六触头安装在保持体的状态的截面图。符号说明如下1...检查用夹具；2...触头；211...第一筒体；212...第二筒体；31...第一板状 部；311...第一引导孔；32...第二板状部件；321...第二引导孔；41...电极部。
具体实施例方式对用于实施本发明的方式进行说明。图1是表示本发明所涉及的检查用夹具的一 实施方式的简略构成图。本发明所涉及的检查用夹具1具有多个触头2、将这些触头2保持 成多针状的保持体3、支承该保持体3并具有与触头2接触而成为导通状态的电极部41 (参 照图5)的连接电极体4、和设置为从电极部41延伸出来并与之电气连接的导线部5。此外，图1中作为多个触头2虽然示出3根触头并且还示出了分别对应的3根导 线部5，但它们可根据检查对象的基板所设定的检查点来决定，而不局限为3根。本发明的主要特征在于能够将2个导电性的筒状部件设定为一方的筒状部件收 容在另一方的筒状部件内部，进而作为一个触头进行使用，由此实施四端子测定。因此，对 具有本发明的特征的构成的触头进行详细的说明。另外，通过上述构成，能够减低形成保持触头的保持体的引导孔的数量。对本发明所涉及的第一实施方式的触头进行说明。图2是本发明的第一实施方式 的触头(第一触头)的简略截面图，图3示出构成第一触头的第一筒体和第二筒体的分解 截面图，(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体。该第一触头21具有第一筒体211和第二筒体212，并被形成为在第一筒体211的
7内部收容第二筒体212 (参照图2)。第一筒体211具有规定的长度并由导电性的材料形成。该第一筒体211形成为筒 形状、即具有两端开口部的中空状的圆柱形状。第一筒体211的一端部与检查点接触，另一 端部与电极部41 (第一电极部411)接触，由此来进行检查点与电极部的电气连接。该第一筒体211具有外侧顶端部211a、外侧第一伸缩部211b、外侧中间部211c、外 侧第二伸缩部211d和外侧后端部211e的部位。上述部位(211a 211e)由同一筒部件形 成，因此具有同一外径和内径。外侧顶端部21 Ia抵接在后述的电极部41。外侧顶端部211a被贯通支承在后述的 第二板状部件32的第二引导孔321内部，从而被引导向规定的第一电极部411。外侧后端部21 Ie抵接在设定于检查部上的检查点。外侧后端部21 Ie被贯通支承 于后述的第一板状部件31的第一引导孔311内部，从而被引导向规定的检查点。外侧第一伸缩部211b沿筒部件的壁部形成螺旋状的切口部，由此形成为在筒部 件的长轴方向伸缩的螺旋弹簧形状。此外，该外侧第一伸缩部211b所具有的弹力，可通过 适当调整螺旋状的切口部的幅宽、长度来改变其弹力的强度。外侧第二伸缩部211d沿筒部件的壁部形成螺旋状的切口部，由此形成为在筒部 件的长轴方向伸缩的螺旋弹簧形状。此外，该外侧第二伸缩部211d所具有的弹力，与外 侧第一伸缩部211b相同，可通过适当调整螺旋状的切口部的幅宽、长度来改变其弹力的强度。外侧中间部211c形成在第一筒体211的大致中央处。该外侧中间部211c被与后 述的第二筒体212的内侧中间部212c电气绝缘地固定。该外侧中间部211c的一端与外侧 第一伸缩部211b连通连结，另一端与外侧第二伸缩部211d连通连结。此外，图3(a)所示 的外侧中间部211c上示出有向内侧弯曲的外侧凹部211f，而该外侧凹部211f是为了在将 第二筒体212收容在第一筒体211内部时固定第一筒体211和第二筒体212而形成的，并 非预先形成在第一筒体211。而且该外侧凹部211f是为了固定第一筒体211和第二筒体 212，从外侧(第一筒体211)向内侧(第二筒体212)进行挤压(铆接)而固定时所形成的。 该第一及第二筒体的固定方法并不局限为所述的铆接，也可以使用激光焊接、电弧焊接、粘 结剂等其他固定方法。外侧顶端部211a的一端与第一电极部411抵接，而其另一端与外侧第一伸缩部 211b的一端连通连结，外侧第一伸缩部211b的另一端与外侧中间部211c的一端连通连结， 外侧中间部211c的另一端与外侧第二伸缩部211d的一端连通连结，外侧第二伸缩部211d 的另一端与外侧后端部211e的一端连通连结，外侧后端部211e的另一端抵接在检查点上。第一筒体211能够由一根导电性的筒状部件形成，例如，形成为外径40 250 μ m、 内径30 240 μ m、壁厚5 50 μ m。通过形成这样的尺寸，即便对于被赋予细小化及复杂 化的基板的布线、半导体装置等被检查物，亦可以简单化的构造的检查装置来应对。如图3(a)所示，第一筒体211形成为将其各部位配置成以第一筒体211的中心呈 点对称或线对称。这是由于通过形成这样的对称形状，能够在向后述的检查用夹具1的保 持体3安装时，无上下之分地利用触头2。第一筒体211的一端接触检查点，其另一端接触电极部，借助该第一筒体211实现 检查点与电极部间的电气导通，因此第一筒体211以导电性的材料形成。作为该材料，只要是具有导电性的材料则不受特别的限定，例如可以列举出镍、镍合金、钯合金。该第一筒体211，如上所述，以具有导电性的材料形成，但触头2本身也必须根据 被检查物的细小化及复杂化实施细线化来形成。尤其为了沿垂直于保持板的方向进行伸 缩，必须使触头2本身具有伸缩功能，而在以往的形成使用有绕线的螺旋弹簧的部位的检 查用夹具中，将取决于卷线自身的直径的大小，很难形成具有比卷线直径小4倍左右的直 径的线圈，极难形成外径在100 μ m以下的螺旋弹簧。即使能够形成，在组装性及制造成本 上利用到2000 4000根检查用夹具也过于昂贵，具有不切实际的问题。然而，本申请发明通过利用下述的制造方法，能够更加廉价且容易地制造出细小 的触头。就该制造方法而言，可公开下述的2个制造方法。[制法例1](1)首先，准备形成第一筒体211的中空部的芯线(未图示)。其中该芯线使用限 定第一筒体211的内径的期望粗细(例如，直径30μπι)的SUS线。(2)之后，对芯线(SUS线)涂覆光致抗蚀剂被膜，包覆该芯线的周面。对该光致抗 蚀剂的期望的部分施以曝光、显影、加热处理来形成螺旋状的掩膜。此时，例如使芯线沿中 心轴旋转，由激光进行曝光，能够形成螺旋状的掩膜。为了形成本发明的第一筒体211，而形 成为2个伸缩部(外侧第一伸缩部211b和外侧第二伸缩部211d)间具有规定距离(与外 侧中间部211c的长度量相当的距离)。(3)之后，对该芯线实施镀镍。此时，由于芯线具有导电性，所以没有形成光致抗蚀 剂掩膜的部位被镀镍。(4)之后，除去光致抗蚀剂掩膜，抽出芯线，按照期望的长度切断筒体，从而形成第 一筒体211。当然也可以在完全抽出芯线前切断筒体。另外，第一筒体211也可以按照下述的方法来制造。[制法例2]首先，准备如上所述形成第一筒体211的中空部的芯线(未图示)。对该芯线镀镍达到期望的厚度，从而在芯线的周面形成镀镍层。(2)之后，对该镀镍层的表面涂覆光致抗蚀剂。对该光致抗蚀剂的期望的部分施以 曝光、显影、加热处理从而形成螺旋状的掩膜。此时，例如使芯线沿中心轴旋转，通过激光曝 光，能够形成螺旋状的掩膜。为了形成本发明的第一筒体211，而形成为2个伸缩部(外侧 第一伸缩部211b与外侧第二伸缩部211d)具有规定距离(与外侧中间部211c的长度量相 当的距离)。(3)之后，蚀刻除去镀镍。此时，未形成光致抗蚀剂掩膜的部位的镀镍被除去。(4)之后，除去光致抗蚀剂掩膜，抽出芯线，按照期望的长度切断筒体，从而形成第 一筒体211。当然也可以在完全抽出芯线前切断筒体。以往的使用绕线的螺旋弹簧方式取决于绕线材料的直径，很难形成具有比该直径 小4倍左右的直径的线圈，极难形成外径在100 μ m以下的螺旋弹簧。基于上述的制法制得 的本发明的第一筒体211，在对芯线镀镍而形成期望的形状后，通过抽出芯线而制造得出， 与以往的使用绕线的螺旋弹簧方式的情况相比，能够减薄弹簧材料的壁厚，同时能够高精 度且自如地一并制造细小的外径及内径。之后，对形成第一触头21的第二筒体212进行说明(参照图3(b))。该第二筒体212具有规定的长度且由导电性的材料形成。该第二筒体212形成为具有两端开口部的中 空状的圆柱形状亦即筒形状。第二筒体212的一端部接触于检查点、另一端部接触于电极 部41 (第二电极部412)，由此进行检查点和电极部的电气连接。该第二筒体212与第一筒 体211最大的区别在于，为了将第二筒体212收容在第一筒体211内，而使第二筒体212的 外径形成得比第一筒体211的内径稍小。该第二筒体212具有内侧顶端部212a、内侧第一伸缩部212b、内侧中间部212c、内 侧第二伸缩部212d和内侧后端部212e的部位。上述部位(211a 211e)由于由同一筒部 件形成，故具有同一外径和内径。内侧顶端部212a抵接于后述的第二电极部412。内侧顶端部212a在第一筒体211 的外侧顶端部211a的内部空间移动。此外，由于外侧顶端部211a通过第二引导孔321被 引导向第一电极部411，因此内侧顶端部212a也被引导向第二电极部412。内侧后端部212e抵接于检查部上所设定的检查点。内侧后端部212e在第一筒体 211的内侧后端部211e的内部空间移动。此外，由于外侧后端部211e通过第一引导孔311 被引导向检查点，因此内侧后端部212e也被引导向检查点。内侧第一伸缩部212b沿筒部件的壁部形成有螺旋状的切口部，由此形成为在筒 部件的长轴方向进行伸缩的螺旋弹簧形状。其中，该内侧第一伸缩部212b所具有的弹力能 够通过适当地调整螺旋状的切口部的幅宽、长度来改变其弹力的强度。内侧第二伸缩部212d沿筒部件的壁部形成螺旋状的切口部，由此形成为在筒部 件的长轴方向进行伸缩的螺旋弹簧形状。其中，该内侧第二伸缩部212d所具有的弹力与内 侧第一伸缩部212b相同，可通过适当地调整螺旋状的切口部的幅宽、长度来改变其弹力的 强度。内侧中间部212c形成在第二筒体212的大致中央处。该内侧中间部212c被与上 述的第一筒体211的外侧中间部211c电气绝缘地固定。该内侧中间部212c的一端与内侧 第一伸缩部212b连通连结，另一端与内侧第二伸缩部212d连通连结。此外，图3(b)所示 的内侧中间部212c上示出有向内侧弯曲的内侧凹部212f，而该内侧凹部212f是为了在将 第二筒体212收容在第一筒体211内部时固定第一筒体211和第二筒体212而形成的，并 非预先形成在第二筒体212。而且该内侧凹部212f是为了固定第一筒体211和第二筒体 212，从外侧(第一筒体211)向内侧(第二筒体212)进行挤压(铆接)而固定时所形成的。 该第一及第二筒体的固定方法并不局限为所述的铆接，也可以使用激光焊接、电弧焊接、粘 结剂等其他固定方法。内侧顶端部212a的一端与第二电极部412抵接，而其另一端与内侧第一伸缩部 212b的一端连通连结，内侧第一伸缩部212b的另一端与内侧中间部212c的一端连通连结， 内侧中间部212c的另一端与内侧第二伸缩部212d的一端连通连结，内侧第二伸缩部212d 的另一端与内侧后端部212e的一端连通连结，内侧后端部212e的另一端抵接于检查点。第二筒体212能够由一根导电性的筒状部件形成，例如，形成为外径20 220 μ m、 内径10 200 μ m、壁厚5 50 μ m。通过形成这样的尺寸，即便对于被赋予细小化及复杂 化的基板的布线、半导体装置等被检查物，亦可以简单化的构造的检查装置来应对。如图3 (b)所示，第二筒体212形成为将其各部位配置成相对其中心呈点对称或线 对称。这是由于通过形成这样的对称形状，能够在向后述的检查用夹具1的保持体3安装时，无上下之分地利用触头2。第二筒体212的一端接触检查点，其另一端接触电极部，借助该第二筒体212实现 检查点与电极部间的电气导通，因此第二筒体212以导电性的材料形成。作为该材料，只要 是具有导电性的材料则不受特别的限定，例如可以列举出镍、镍合金、钯合金。该第二筒体 212的制造方法与上述的第一筒体211的情况相同，故此处省略说明。由于第一触头21中将第二筒体212收容配置在第一筒体211的内部，故如图3(b) 所示，优选将绝缘被膜212g形成在第二筒体212的外侧周缘。该绝缘被膜212g例如可以利 用聚酰亚胺、聚四氟乙烯(PTFE)、环氧树脂。该绝缘被膜212g的厚度例如形成为1 5 μ m。该绝缘被膜212g虽然在图2的实施方式中形成在第二筒体212的外侧周缘，但亦 可形成在第一筒体211的内侧周缘。而当在第一筒体211的内侧周缘形成绝缘被膜时，则 其会在将各伸缩部形成于第一筒体211、抽出芯线而形成为筒形状之后形成。如图2所示，第二筒体212既可配置成从第一筒体211的两开口端突出，第二筒体 212亦可配置成完全不突出。第一筒体211和第二筒体212由于都具有2个伸缩部，故即便 某一方想要发生平面突出，通过在受到检查点或电极部挤压时伸缩部发生充分的收缩，第 一筒体211和第二筒体212双方能够抵接在一起。图4是表示第一触头21安装在保持体的状态的截面图。检查用夹具1具有用来保持第一触头21的保持体3。该保持体3具有第一板状部 件31和第二板状部件32。第一板状部件31具有用来将第一触头21的一端向检查点引导的第一引导孔311。 第一引导孔311形成得比第一筒体211的外径稍大。这里对该第一板状部件31的厚度不 做特别限定，但优选形成得比外侧后端部211e的长度更短。这是为使外侧后端部211e能 够沿第一引导孔311可靠地进行滑动的缘故。第二板状部件32被配置成与第一板状部件31间具有规定间隔，并且具有用来将 第一触头21的另一端引导向电极部41的第二引导孔321。第二引导孔321形成得比第一 筒体211的外径稍大。这里对该第二板状部件32的厚度不做特别的限定，但优选形成得比 外侧顶端部211a的长度更短。这是为使外侧顶端部211a能够沿第二引导孔321可靠地进 行滑动的缘故。第一触头21被配置成分别从第一引导孔311和第二引导孔321突出到外侧。当使用第一触头21时，优选使用图4所示的第三板状部件33。该第三板状部件 33具备具有规定间隔而并列配置的上板部331、中板部332和下板部333。上述板状部具有 供第一触头21贯通插入的第三引导孔334。第三板状部件33的第三引导孔334被配置在 第一引导孔311和第二引导孔321的直线上。该第三板状部件33的中板部332相对于其他板部(上板部331和下板部333)在 面方向上位移。因此，第三引导孔334在中板部332发生位移前能够容易地供第一触头21 贯通，而当中板部332发生位移后，中板部332挤压第一触头21的外侧中间部211c，由此能 够保持第一触头21。按照上述方式将第一触头21固定于保持体3。图5是使用第一触头的检查用夹具的简略构成图。检查用夹具1的连接电极体4 形成有与各第一触头21对应的电极部41。该电极部41构成为具有与第一筒体211抵接 而成为导通状态的第一电极部411、和与第二筒体212抵接而成为导通状态的第二电极部412。其中连接电极体4以绝缘材料形成。在图5所示的电极部41中，第一电极部411与第二电极部412由铜导线形成，且 被形成为各自的端面与各筒体的端部接触。另外，在图5中，第一电极部411和第二电极部 412与各个筒体接触，并且被配置成处于最远的位置。在图5所示的第一实施方式中，第一筒体211和第二筒体212在各自的中间部得 到固定，并且第三板状部件33的中板部332在平面方向位移，由此将第一触头21可装卸自 如地保持。另外，在第一实施方式中，当使第一触头21保持于保持体3进而安装在连接电极 体4上时，外侧第一伸缩部211b和内侧第一伸缩部211b被压缩而以施力状态被安装。通 过以上述方式进行安装，外侧第一伸缩部211b和内侧第一伸缩部212b会不断地挤压各个 电极部41，能够使第一触头21和电极部41的接触阻力值极为稳定，而不会受到检查点与第 一触头21的接触状态的影响。以上为对第一实施方式的检查用夹具的说明。之后，对第二实施方式的检查用夹具1’进行说明。图6是本发明的第二实施方式 的触头(第二触头)的简略截面图，图7示出构成第二触头的第一筒体、第二筒体和第三筒 体的分解截面图，(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体，(c)表示第三筒体。其中，对于第 二实施方式的检查用夹具与第一实施方式的检查用夹具为同一构成的情况，标记同一符号 并省略说明。第二实施方式的第二触头22构成为具有第一筒体211、第二筒体212和第三筒体 223。该第二触头22的第一筒体211和第二筒体212，具有与第一触头21的第一筒体211 和第二筒体212相同的构成，这里省略说明。第三筒体223将第一筒体211 (及第二筒体212)同轴地收容在内部。因此，第三 筒体223被形成为具有比第一筒体211的外径稍大的内径。该第三筒体223形成为两端开 口的筒形状，第一筒体211和第二筒体212被配置为从两端开口延伸出来(参照图6)。第三筒体223具有用于与第一筒体211(包括第二筒体212)固定的固定凹部 223a。该固定凹部223a不是被预先形成的，而是在将第一筒体211收容配置在其内部之后 形成的。后边将详细叙述该固定凹部223a的形成方法。第三筒体223既可由导电性材料形成，亦可由非导电性材料形成，但在由导电性 材料形成时需要相应地对其周缘进行绝缘被覆，以实现与相邻的其他第二触头22间为非 电气接触。此外，作为制造该第三筒体223的方法，可以利用制造第一及第二筒体的方法。第二触头22中，第二筒体212收容在第一筒体211中，之后第三筒体223将该第 一筒体211收容在其内部。此外，固定凹部223a是在通过从第三筒体223的外侧向内侧挤 压(铆接)而固定时所形成的。该第一及第二筒体的固定方法也可以使用激光焊接、电弧 焊接、粘结剂等其他固定方法，而不局限为上述铆接。此外，由于配置全部第一乃至第三筒 体，故亦可形成为固定全部筒体，首先固定第一和第二筒体，之后固定第三筒体。图8是表示第二触头被安装于保持体的状态的截面图。第二实施方式的检查用夹 具具有第一板状部件34和第二板状部件32。由于第二板状部件32与第一实施方式的检查 用夹具为同一构成，故省略说明。该第一板状部件34具有将第二触头22引导向检查点的第一引导孔341。该第一 引导孔341具有第一引导上孔34a和第一引导下孔34b。该第一引导上孔34a形成为具有
12比第三筒体223的外径稍大的孔径。第一引导下孔34b具有比第一筒体211的外径稍大且比第三筒体223的外径小的 孔径。通过按照如上方式利用2个孔径不同的孔来形成第一引导孔341，使得第二触头22 利用第三筒体223与第一筒体211的粗细差而得到卡定。图9是使用第二触头22的检查用夹具1’的简略构成图。第二触头22，在被安装 于保持体3时，从第二板状部件32的第二引导孔321插入，并引导向第一板状部件34的第 一引导孔341。此时，第二触头22的第三筒体223被卡定在第一引导孔341内部孔径的差 异边界处。在使第二触头22保持于保持体3后，以第二触头22的一端压靠向电极部41的方 式，将第二板状部件32与连接电极体4抵接。此时，由于第二触头22的第一筒体211和 第二筒体212分别压接于第一电极部41a和第二电极部41b，因此各自的外侧第一伸缩部 211b和内侧第一伸缩部212b收缩而成为施力状态，第一筒体211的外侧顶端部211a和第 二筒体212的内侧顶端部212a无论是否抵接于检查点都始终与各电极部41接触。另外，配 置在另一方侧的内侧及外侧第二伸缩部211d、212d在自然长的状态下处于待检查的状态， 只在实际检查时这些伸缩部才会滑动。以上是对第二实施方式的检查用夹具的说明。之后，对第三实施方式的检查用夹具1”进行说明。图10是本发明的第三实施方 式的触头(第三触头23)的简略截面图。图11示出构成第三触头的第一筒体和第二筒体 的分解截面图，(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体。其中，对于第三实施方式的检查用夹 具与第一实施方式或第二实施方式的检查用夹具为同一构成的情况，标记同一符号并省略 说明。第三实施方式的检查用夹具1”的主要特征在于在第三触头23的第一筒体211的 外侧周缘设置有绝缘被覆211g和在第二筒体212的外侧周缘设置有绝缘被覆212g。第三触头23具有第一筒体211和第二筒体212。第三触头23的第一筒体211和 第二筒体212的基本构成由于与第一触头21的相同，故省略说明，只对不同的构成进行说 明。第一筒体211的外侧第一伸缩部211b和外侧第二伸缩部211d被配置在平面上看不与 第二筒体212的内侧第一伸缩部212b和内侧第二伸缩部212d相邻的位置(参照图10)。 通过按照上述的方式各个伸缩部沿第三触头23的长轴方向交替配置，即便各个伸缩部滑 动彼此也不会接触。第一筒体211在外侧顶端部211a、外侧中间部211c和外侧后端部211e的外侧周 缘形成有绝缘被覆211g。该绝缘被覆211g形成为具有规定的厚度，例如形成为5 20 μ m。 特别是形成于外侧后端部211e的周缘的绝缘被覆211g与第二实施方式的检查用夹具1’ 的第三筒体223相同，被卡定于第一板状部件34的第一引导孔341中。图11(a)中列举的第一筒体211的绝缘被覆211g未被设置在用于固定第一筒体 211和第二筒体212的外侧凹部211f的部位。之所以未设置绝缘被覆，是为了在从第一筒 体211的外侧进行挤压时使得第一筒体211和第二筒体212更可靠地固定。第二筒体212在内侧顶端部212a、内侧中间部212c和内侧后端部212e的外侧周 缘形成有绝缘被覆212g。该绝缘被覆212g形成为具有规定的厚度，例如形成为1 10 μ m。 通过在第二筒体212的上述各部位设置绝缘被覆212g，能够将第一筒体211的各伸缩部的滑动方向稳定地限制在第二触头23的长轴方向上。图12是表示第三触头安装在保持体的状态的截面图。如该图12所示，与第二实 施方式的第二触头相同，利用第一板状部件34所具有的第一引导孔341的有差异的2个孔 部(第一引导上孔34a和第一引导下孔34b)，第三触头23通过设置在外侧后端部21 Ie的 绝缘被覆211g与第一筒体211的粗细差而得到卡定。图13是使用第三触头的检查用夹具的简略构成图。第三实施方式的检查用夹具 1”与第二实施方式的检查用夹具1’相同，在第三触头23被安装到保持体3时，从第二板状 部件32的第二引导孔321插入，并被引导向第一板状部件34的第一引导孔341。此时，第 三触头23的绝缘被覆211g被卡定在第一引导孔341内部直径的差异边界处。在使第三触头23保持在保持体3后，以第三触头23的一端压靠向电极部41的方 式，将第二板状部件32与连接电极体4抵接。此时，由于第三触头23的第一筒体211和 第二筒体212分别压接于第一电极部41a和第二电极部41b，因此各自的外侧第一伸缩部 211b和内侧第一伸缩部212b收缩而成为施力状态，第一筒体211的外侧顶端部211a和第 二筒体212的内侧顶端部212a无论是否抵接于检查点都始终与各电极部41接触。另外，配 置在另一方侧的内侧及外侧第二伸缩部211d、212d在自然长的状态下处于待检查的状态， 只在实际检查时这些伸缩部才会滑动。以上是对第三实施方式的检查用夹具的说明。之后，进行对第四实施方式的检查用夹具的说明。图14是本发明的第四实施方式 的触头(第四触头)的简略截面图。图15示出构成第四触头的第一筒体、第二筒体和第三 筒体的分解截面图，(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体，(c)表示第三筒体。第四实施方式的第四触头24具有第一筒体211、第二筒体212和第三筒体223，与 第二实施方式的第二触头22类似。第四触头24与第二触头22的不同点在于，第二触头22 的各伸缩部被配置在相邻位置(参照图6)，而第四触头不具有配置在相邻位置的伸缩部。图16是表示第四触头安装在保持体的状态的截面图。图17是使用第四触头的检 查用夹具的简略构成图。如该图16所示，与第二实施方式的第二触头相同，利用第一板状 部件34所具有的第一引导孔341的有差异的2个孔部(第一引导上孔34a和第一引导下 孔34b)，第四触头24通过第四触头24的第三筒体223与第一筒体211的粗细差得到卡定。图17是使用第四触头的检查用夹具的简略构成图。第四实施方式的检查用夹具 1”’与第二实施方式的检查用夹具1’相同，在第四触头24被安装于保持体3时，从第二板 状部件32的第二引导孔321插入，并被引导向第一板状部件34的第一引导孔341。此时， 第四触头24的第三筒体223卡定在第一引导孔341内部直径的差异边界处。在使第四触头24保持于保持体3后，以第四触头24的一端压靠向电极部41的方 式，将第二板状部件32与连接电极体4抵接。此时，由于第四触头23的第一筒体211和 第二筒体212分别压接于第一电极部41a和第二电极部41b，因此各自的外侧第一伸缩部 211b和内侧第一伸缩部212b收缩而成为施力状态，第一筒体211的外侧顶端部211a和第 二筒体212的内侧顶端部212a无论是否抵接于检查点都始终与各电极部41接触。另外，配 置在另一方侧的内侧及外侧第二伸缩部211d、212d在自然长的状态下处于待检查的状态， 只在实际检查时这些伸缩部才会滑动。以上是对第四实施方式的检查用夹具的说明。
对第五实施方式的检查用夹具进行说明。图18是表示本发明的第五实施方式的 触头(第五触头25)保持于保持体的状态的简略截面图。其中对第五实施方式的检查用夹 具(或第五触头25)与第三实施方式的检查用夹具(或第三触头23)为同一构成的情况， 标记同一符号并省略说明。第五实施方式的检查用夹具(未图示)的主要特征在于第五触头25的第一筒体 211的外侧第一伸缩部211b和外侧第二伸缩部211d在第五触头25的伸缩部中配置在最外 侧，以及设置有第二筒体212的内侧第一伸缩部和内侧第二伸缩部这两个伸缩部。第五触头25具有第一筒体211和第二筒体212。第五触头25的第一筒体211和 第二筒体212的基本构成由于与第三触头23相同，故省略说明，仅对不同的构成进行说明。 第一筒体211的外侧第一伸缩部211b和外侧第二伸缩部211d被配置在平面上看与第二筒 体212的内侧第一伸缩部212bl、212b2和内侧第二伸缩部212dl、212d2不相邻的位置(参 照图18)。通过按照上述的方式各伸缩部沿第五触头25的长轴方向配置在不相邻的位置， 即便各伸缩部滑动彼此也不会接触。第二筒体212具有内侧第一伸缩部和内侧第二伸缩部，而在该第五触头25的实施 方式中，以2个伸缩部212bl、212b2来形成内侧第一伸缩部，并以2个伸缩部212dl、212d2 来形成内侧第二伸缩部。此外，形成有用于使2个伸缩部之间具有规定间隔的筒部，并在该 筒部的外侧周缘形成绝缘被覆。通过如此地形成多个第一伸缩部、第二伸缩部，能够抑制配 置于内侧的第二筒体212出现挠曲。第五触头25在外侧顶端部21 la、外侧中间部211c和外侧后端部21 Ie的外侧周缘 形成有绝缘被覆211g。形成于外侧后端部211e的周缘的绝缘被覆211g与第二实施方式的 检查用夹具1’的第三筒体223相同，被第一板状部件34的第一引导孔341卡定。以上是对第五实施方式的检查用夹具的第五触头的构成的说明。对第六实施方式的检查用夹具进行说明。图19是本发明的第六实施方式的触头 (第六触头)的简略截面图。第六实施方式的第六触头26具有第一筒体211、第二筒体212和第三筒体223，与 第四实施方式的第四触头24类似。该第六触头26与第四触头24的不同点是分别由2个 伸缩部来形成第六触头26的第二筒体212上所形成的内侧第一伸缩部212b和内侧第二伸 缩部212d。此外，第六触头26的各伸缩部与第五触头25相同，被设定为未将伸缩部配置在 相邻位置。在第六触头26中，第三筒部223被第一板状部件34的第一引导孔341卡定，避免 了第六触头26从保持体3脱出。以上是对第六实施方式的检查用夹具所使用的第六触头的说明。在本说明书中，作为电极部41将铜导线的端面配置成分别抵接于各第一筒体和 第二筒体的一部分，但亦可将该电极部41配置形成为具有与第一筒体或第二筒体相同的 端面。另外，绝缘被膜211g亦可形成为包覆除两顶端部外的伸缩部的表面。除此之外， 用来说明本发明的附图中记载的两伸缩部虽然形成为右向卷绕，但亦可以相反的卷绕方向 在第一筒体和第二筒体上设定形成。
权利要求
一种检查用夹具，其将具有成为被检查对象的检查部的被检查物、与检查该检查部的电气特性的检查装置进行电气连接，其特征在于，具备连接电极体，其具有多个与所述检查装置进行电气连接的电极部；导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的一端压接于所述检查部，且另一端压接于所述电极部；导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体不与所述第一筒体电气接触并且大致同轴地配置在该第一筒体内，其一端压接于所述检查部，且另一端压接于所述电极部；第一板状部件，其具有将所述第一筒体和所述第二筒体各自的一端引导向所述检查点的第一引导孔；和第二板状部件，其具有将所述第一筒体和所述第二筒体各自的另一端引导向所述电极部的第二引导孔，并且该第二板状部件被配置成与所述第一板状部件间具有规定间隔，在所述第一筒体和所述第二筒体上，分别隔着中间部而设置有2个伸缩部，该伸缩部由筒壁部的螺旋状切口部形成，且在长轴方向上进行伸缩，所述第一筒体和所述第二筒体在各自的中间部被固定。
2.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于 所述第一筒体和第二筒体由镍或者镍合金形成。
3.根据权利要求1或2所述的检查用夹具，其特征在于所述第一筒体的形状形成为相对于该第一筒体的中央呈大致对称的形状，并且所述第 二筒体的形状形成为相对于该第二筒体的中央呈大致对称的形状。
4.根据权利要求1 3中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于所述检查用夹具具有第三板状部件，该第三板状部件具有供所述中间部贯通并对之引 导的第三引导孔，所述第三板状部件具备三个并列配置的板部，配置于中间的一个板部相对其他板部向 面方向位移，并被配置在使所述第三引导孔从排列位置上偏离的位置，由此夹持所述中间 部。
5.根据权利要求1 3中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于形成有筒形状的第三筒体，该第三筒体具有比所述第一筒体的外径大的内径， 所述第三筒体将该第一筒体大致同轴地收容在所述第三筒体内， 所述第一引导孔具有第一引导上孔和第一引导下孔， 所述第一引导上孔具有比所述第三筒体的外径大的孔径，所述第一引导下孔与所述第一引导上孔连通连结，具有比所述第三筒体的外径小且比 所述第一筒体的外径大的孔径。
6.根据权利要求1 5中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于所述第一筒体的2个伸缩部和所述第二筒体的2个伸缩部没有被配置于在平面上看时 呈相邻的位置。
7.—种检查用触头，其被用于将具有成为被检查对象的检查部的被检查物、与检查 该检查部的电气特性的检查装置的电极部进行电气连接的检查用夹具中，其特征在于，具 备导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的一端压接于所述检查部，且另一端压接于所述电极部；和导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体不与所述第一筒体电气接触并且大致同轴地 配置在该第一筒体内，其一端压接于所述检查部，且另一端压接于所述电极部，在所述第一筒体和所述第二筒体上，分别隔着中间部而设置有2个伸缩部，该伸缩部 由筒壁部的螺旋状切口部形成，且在长轴方向上进行伸缩，所述第一筒体和所述第二筒体在各自的中间部被固定。
8.根据权利要求7所述的检查用触头，其特征在于所述第一筒体和第二筒体由镍或者镍合金形成。
9.根据权利要求7或8所述的检查用触头，其特征在于所述第一筒体的形状形成为相对于该第一筒体的中央呈大致对称的形状，并且所述第 二筒体的形状形成为相对于该第二筒体的中央呈大致对称的形状。
10.根据权利要求7所述的检查用触头，其特征在于形成有筒形状的第三筒体，该第三筒体具有比所述第一筒体的外径大的内径，所述第 三筒体将该第一筒体大致同轴地收容在所述第三筒体内，并且形成为比所述第一筒体短的 长度。
11.根据权利要求7所述的检查用触头，其特征在于所述第一筒体的2个伸缩部和所述第二筒体的2个伸缩部没有被配置于在平面上看时 呈相邻的位置。
全文摘要
本发明提供一种检查用夹具及检查用触头，该检查用夹具具有能够应对基板的细小化及复杂化，并且具备部件个数减低的简单化构造的四端子测定用的触头。在将被检查物和检查装置电气连接的检查用夹具中，具有与上述检查装置电气连接的电极部，一端压接于检查部且另一端压接于电极部的导电性的筒形状的第一筒体；和大致同轴地配置在该第一筒体内，一端压接于检查部且另一端压接于电极部的导电性的筒形状的第二筒体，上述第一筒体和上述第二筒体上隔着中间部设置有由筒壁部的螺旋状的切口部形成的在长轴方向上伸缩的2个伸缩部，第一筒体和上述第二筒体在各自的中间部被固定。
文档编号G01R1/04GK101907642SQ20101019335
公开日2010年12月8日 申请日期2010年6月1日 优先权日2009年6月2日
发明者春日部进, 沼田清 申请人:日本电产理德株式会社
专业数控铣床产品供应商
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