专利名称：用于氦质谱检漏的氦气释放装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空氦质谱泄漏检测与仪器领域，涉及一种用于氦质谱检漏的氦 气释放装置。
技术背景 氦质谱检漏以氦气作为探索气体，利用质谱分析原理，通过对被检件抽真空或充 压使其与外界形成压差，在压差的作用下通过漏孔泄漏的氦气进入检漏仪的质谱室，在质 谱室中逐渐建立起稳定的氦分压，检漏仪通过质谱分析测量进入质谱室的气体中氦气所产 生的电信号大�。治龅贸鐾ü┛椎穆┏龊て谥势资抑泻し盅沟谋浠曜悸� 孔的校准信号作比对，实现对漏孔漏率的定位定量检测。氦质谱检漏仪是一种比对测量仪器，被检漏孔的漏率通过与标准漏孔的漏率进行 对比得出。标准漏孔是测量漏率大小的尺子，是人为制造的一种具有已知的恒定漏率的装 置。标准漏孔内具有装有氦气的气室，打开标准漏孔后，氦气可从气室以恒定的漏率漏出， 这个恒定的漏率值由计量部门专门标定得出。氦质谱检漏方法很多，有喷吹法、氦罩法、吸氦法、预充氦法和充压真空法等。预充 氦法也叫外充法，主要用于双层嵌套容器内容器整体检漏。预充氦法类似于充压真空法，与 充压真空法的区别在于检漏之前预先将氦气充入内容器(被检件)中，而充压真空法是在检 漏过程中将氦气充入内容器，这主要因为双层嵌套容器中，在外容器上不能预留专门用于 对内容器充氦的充氦接口。预充氦法具体的检漏过程如下先合拢内容器端盖，通过充氦接口预先对内容器 充入一定量氦气，再将内容器嵌套在外容器中，合拢外容器端盖，在外容器端盖预留检漏接 口上连接检漏系统。检漏系统主要包括检漏仪和标准漏孔等。检漏时，通过检漏系统对内外 容器夹层的真空室抽真空，使夹层真空度达到检漏状态后，记录检漏仪测出的氦泄漏信号 Δ υ，再打幵标准漏孔，测量标准漏孔产生的氦信号变化量Δ υ0,可通过公式计算内容器整体 漏率。由预充氦法的检漏过程可知，预充氦法检漏存在以下不足(1)由于在内外容器夹层抽真空之前，对内容器已经充氦，因此无法准确测定检漏 系统的本底，在计算中无法扣除本底值，使测得内容器整体漏率值比真实值偏高；(2)测得内容器整体漏率中包含有充氦接口的漏率，如果充氦接口漏率较大或未 能准确测定其整体漏率，则会影响内容器整体检漏结果的准确性。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置，其结构简单合 理，能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏，使用方便。本实用新型的目的是这样实现的一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置，包括外 容器以及嵌套装在其中的内容器，在外容器壁上设置着标准漏孔，外容器通过管路与检漏 仪相连通，内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶，电控阀门通过导线与阀门控制器相连。[0010]采用本实用新型对双层嵌套容器中的内容器进行整体检漏，可有效解决采用预充 氦法进行检漏的不足。具体检漏步骤如下(1)将充入一定量氦气的氦瓶置入内容器中；(2)合拢 内容器，将内容器套入外容器中，再合拢外容器；(3)在该密闭空间连接检漏仪，通过检漏仪对外容器的密闭空间抽真空，标定系统 灵敏度；(4)通过控制开启放入内容器中氦瓶的电控阀门，释放氦气，完成对内容器充氦， 若内容器有漏，氦气可从内容器漏出，被检漏仪检测到，这样可实现对被检容器整体密封性 能检测。经过对本实用新型的密封可靠性、控制可靠性等性能参数进行反复测试，经验证 该装置工作可靠，运行稳定。在应用中，该装置有效解决了内置氦源法氦质谱检漏中氦气 的控制释放问题，能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏，其结构简单合理，使用方 便。
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。图1为本实用新型实施例1的连接结构示意图；图2为本实用新型实施例2的连接结构示意图。
具体实施方式
一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置，如图1、图2所示，包括外容器8以及嵌套 装在其中的内容器7，在外容器8壁上设置着标准漏孔2，外容器8通过管路与检漏仪1相 连通，内容器7中设置着装有电控阀门5的氦瓶6，电控阀门5通过导线与阀门控制器4相 连。如图1所示，在内容器7中还设置着压力传感器3，阀门控制器4位于外容器8外 部，压力传感器3通过导线与阀门控制器4相连。在该实施例中，分别采用电磁阀和电动球 阀作为电控阀门5。电磁阀的特点是控制简单、体积�。鄹癖阋耍蝗钡闶敲芊饪煽啃圆槐� 电动球阀高，耗电量大。根据不同的使用环境，本实施例1分别选用了 GAB312、412型电磁 阀和Swagelok的MS — 142DC 一 8mm型电动球阀，工作电压均为DC 24V。电磁阀的控制方 式为两线制，常闭型，采用通断电的方式开启或关闭；电动球阀的控制方式是三线制，开关 均需要电动驱动，采用单刀双掷的控制方式。在控制器设计中，控制器包含直流24V开关电 源、压力数据采集�？楹涂刂频缏�。控制电路可根据上述控制阀门的控制方式设计，通过开 关按钮实现。根据被检容器容积和需要充入的氦气量，内置氦瓶可选用IL 40L容量范围， 最高压力可充入15MPa。如图2所示，阀门控制器4位于内容器7中，内容器7中还设置着蓄电池10以及 定时器11，定时器11通过导线与阀门控制器4相连。该实施例的工作过程是在合拢内容 器7前，将蓄电池10以及定时器11、控制器4置入内容器7，通过定时器11提前设定好电 控阀门5开启的时间，然后合拢内、外容器7、8。在检漏过程中定时器11在预定的时间可驱 使控制器4控制开启电控阀门5，释放氦气。定时器11选用CS — 112型微电脑定时控制器，工作电压为DC24V。整个电控系统全部采用蓄电池10供电，供电电压为DC24V，经过研究最终选用蓄电池为DSB型免维护铅酸电池，电池容量6 12Ah即可。
权利要求一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置，包括外容器以及嵌套装在其中的内容器，在外容器壁上设置着标准漏孔，外容器通过管路与检漏仪相连通，其特征是内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶，电控阀门通过导线与阀门控制器相连。
2.根据权利要求1所述的用于氦质谱检漏的氦气释放装置，其特征是在内容器中还 设置着压力传感器，阀门控制器位于外容器外部，压力传感器通过导线与阀门控制器相连。
3.根据权利要求1所述的用于氦质谱检漏的氦气释放装置，其特征是阀门控制器位 于内容器中，内容器中还设置着蓄电池以及定时器，定时器通过导线与阀门控制器相连。
专利摘要本实用新型公开了一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置，包括外容器以及嵌套装在其中的内容器，在外容器壁上设置着标准漏孔，外容器通过管路与检漏仪相连通，内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶，电控阀门通过导线与阀门控制器相连。本实用新型结构简单合理，能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏，使用方便。
文档编号G01M3/20GK201731979SQ20102021889
公开日2011年2月2日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日
发明者廖旭东, 白国云, 胡茂中, 贾明雁, 陈涛, 马春林 申请人:中国人民解放军63653部队
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