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专利名称：外差干涉仪的激光方位调整装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于测量微细形貌的共光路外差干涉仪的激光方位调整装置。
背景技术：
共光路激光外差干涉技术是在一般环境及超精加工现场环境下高精度测量微细形貌的一种最有前途的方法之一，外差干涉仪是最常用的测量设备，它主要由干涉系统，倒置的望远系统，反射镜，棱镜，聚焦物镜，光电接收器和比相计等组成，其干涉系统中的激光器均是放在一个V形槽或半圆槽中。为了保证测量光束不发生频率混叠而产生非线性误差，激光束的偏振态与反射镜及棱镜之间要保证正确的位置关系。当需要改变激光束的偏振态的方位时，只有手动旋转V形槽中的激光管，这就使得激光管的旋转角度不准确，而且容易引起整个光路中心的改变，使光路调节困难、繁琐，很难保证激光束的正确偏振方位及测量精度。

发明内容
本实用新型的目的是，提供一种能够精密调节外差干涉仪的激光束方位，并且简单实用的激光方位调整装置。本实用新型的技术解决方案是，在干涉头外壳的基底上安装一个旋转台，旋转台的中心孔中安装两个内表面为圆柱面、外表面为一端大一端小的锥形柱面半圆筒楔形块，由两个半圆筒楔形块夹持激光器，并将楔形块中锥形柱面小的一端装入旋转台的中心孔。本实用新型在干涉系统中安装的旋转台及用两个半圆筒楔形块夹持激光器，使外差干涉仪在精密转台作用下有效地扩大了激光管的转动范围，提高了转动精度，而且调整方便快捷，由于采用了楔形块夹持激光管，所以使得激光管与精密转台同轴，保证了激光管出射光束的中心和转台的转动中心重合，楔形筒选用软质材料制成，不会损坏激光管。该调节系统的调节精度完全能够满足使干涉系统测量精度达到nm量级的要求。


图1为本实用新型楔形块的剖视图；图2为本实用新型楔形块的示意图；图3为本实用新型精密转台结构示意图；图4为本实用新型楔形块与激光管精密转台装配示意图。
具体实施方式
由软质材料制成的两个近似半圆的楔形块1其内圆为直筒，用以夹持住激光管2，其外圆在其长度方向上具有一定的楔角，以保证激光管与精密小转台3同心并保证稳固连接，调整精密转台3的调整手柄4可以实现转台360°的自由旋转和在±6°范围内的精密旋转。装配时，将激光管2放在两个半圆形楔筒1中，再将由两个楔块1组成的楔筒放入精密转台3的中心孔中，楔筒1的外圆楔角可以使激光管稳定地固定在精密转台3上，同时可以保证激光管出射光束的中心和转台的转动中心重合。精密转台固定在干涉头外壳的基底上，使转台的旋转中心和整个干涉系统的光路中心重合。
权利要求1.一种由干涉系统，倒置的望远系统，反射镜，棱镜，聚焦物镜，光电接收器和比相计等组成的外差干涉仪的激光方位调整装置，其特征是，在干涉系统外壳的基底上安装旋转台，旋转台的中心孔中安装两个内表面为圆柱面、外表面为一端大一端小的锥形柱面半圆筒楔形块，两个半圆筒楔形块夹持激光器，锥形柱面小的一端装入旋转台的中心孔。
专利摘要本实用新型涉及一种用于测量微细形貌的共光路外差干涉仪的激光方位调整装置。本实用新型的技术解决方案是，在外差干涉仪的干涉头上加装精密转台和两个近似半圆的夹持激光管的楔形块，两个楔形块合成一个楔形筒，其楔形筒的小的一端装入转台的中心孔中。本实用新型的精密转台有效地扩大了激光管的转动范围，提高了转动精度，而且调整方便快捷，由于采用了楔形块夹持激光管，所以使得激光管与精密转台同轴，保证了激光管出射光束的中心和转台的转动中心重合，楔形筒选用软制材料制成不会损坏激光管。该调节系统的调节精度完全能够满足使干涉系统测量精度达到nm量级的要求。
文档编号G01B11/24GK2589933SQ0229116
公开日2003年12月3日 申请日期2002年12月17日 优先权日2002年12月17日
发明者赵慧洁, 张广军 申请人:北京航空航天大学