专利名称：一种探针卡固定框架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及IC芯片测试工具的设计领域，尤其涉及测试IC芯片时用于固定探针卡的探针卡固定框架的设计。
背景技术：
在晶圆测试(wafer test)中，测试机的测试头通过探针卡固定框架(Probecardholder)上的探针卡(Probe card)与被测试的IC芯片形成接触。探针卡上具有若干探针，在测试时与测试芯片上的焊盘(Pad)形成接触，对IC芯片的电特性进行测试。在传统测试时，探针卡固定框架上放有一保护环(Protectionring)，外径大小刚好与探针卡固定框架的内边沿重合。该保护环为绝缘材料，可有效地避免测试机台上测试头里的测试板被烧掉或损害。
然而该保护环通常较�。实亟锨�。在实际的IC芯片测试过程中，需要不时地将探针卡与探针卡固定框架离与合。在测试不同类型IC芯片时，需要更换探针卡，这样探针卡和探针卡固定框架之间反复的离合和探针卡的更换过程中都容易出现保护环粘在探针卡上的事件。由于保护环质地较轻，它粘附在探针卡上，在实际测试的操作过程中不易被察觉，随着探针卡不断地更换，保护环就会丢失。那么会导致下一次芯片测试时，探针卡固定框架上没有保护环。这不但会影响真实的IC芯片测试数据，而且同时可能导致测试机台上测试头上的测试板烧掉和损坏。为避免这些情况的发生，就需要费时和费力地重新购买保护环，这样就无形地增大了测试时的经济成本，同时也延误了测试安排。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种探针卡固定框架，以解决在实际的IC芯片测试过程中由于探针卡和探针卡固定框架反复离合的过程中导致探针卡固定框架上的保护环易丢失的问题。
为实现上述的目的，本实用新型的探针卡固定框架，探针卡固定框架是用于承载和固定具有若干探针的探针卡的固定框架，探针卡固定框架包括探针卡承载架，用于固定保护环的卡槽和保护环，卡槽开在探针卡承载架的内侧，保护环的直径大于探针卡承载架的直径，保护环的边缘部分插入探针卡承载架内侧开的卡槽内。进一步地，探针卡承载架为与探针卡匹配的环形架，保护环为具有一定宽度的圆环，保护环的宽度为圆环外环与内环的半径差。而圆环的宽度大于环形架内侧开有的卡槽深度。圆环与探针卡匹配，卡槽外圆环的宽度仅覆盖探针卡上无探针的边缘部分。探针卡承载架内侧开的卡槽高度等于保护环的厚度。
与目前的探针卡固定框架相比，该探针卡固定框架通过在探针卡承载架内侧开卡槽，将直径大于探针卡承载架直径的保护环插入该卡槽来固定保护环，使得保护环的一部分宽度可用于固定自身，另一部分宽度可实现保护环在测试中所起的作用。这样在探针卡与探针卡固定框架反复离合过程中，保护环不会再粘在探针卡上，避免保护环丢失问题的出现。
以下结合附图和具体实施例对本实用新型的探针卡固定框架作进一步详细的说明。
图1为本实用新型探针卡承载架的截面图。
图2为本实用新型探针卡承载架的示意图。
图3为本实用新型保护环的示意图。
图4为本实用新型探针卡固定框架的示意图。
具体实施方式
本实施例中探针卡固定框架是以与目前常用的圆形探针卡匹配的探针卡固定框架为例。该探针卡固定框架包括用于放置具有若干探针的圆形探针卡的探针卡承载架1，该探针卡承载架1为环形架，环形架1内侧上开有固定保护环的卡槽11，卡槽11的高度为h，卡槽11的深度为L。该探针卡固定框架还包括一保护环12，请参阅图3。保护环12具有一定宽度W和厚度t。该保护环12为一圆环，该圆环的宽度W为圆环外环半径121与内环半径122之差。保护环12直径D1大于探针卡承载架1的直径D。将保护环12边缘部分插入探针卡承载架1内侧开有的卡槽11内。通常保护环12的制作材料为绝缘材料。保护环12的宽度W大于固定保护环12的卡槽11的深度L，以便保护环12留有一部分面积与即将放置在探针卡固定框架1上的探针卡的边缘接触。
该探针卡承载架1上开有的卡槽11的高度h等于保护环12的厚度t，使得探针卡承载架1上开有的卡槽11刚好容纳一个保护环12的厚度，以固定保护环12。这是为了保证在测试IC芯片时能更准确和安全地测量，避免测试时测试头上探针出现烧毁或损害的情况，保证测试时数据的准确性，即实现保护环12在测试时具有的功能。
为保证保护环12与探针卡接触时，不影响探针卡上探针正常的测试，卡槽11外的保护环12宽度面积仅覆盖探针卡上无探针的边缘部分。请参阅图4本实用新型的探针卡固定框架示意图。具有一定厚度的保护环12插入探针卡承载架1内开有的一定高度和深度卡槽11内，卡槽的高度h恰好只能容纳一个保护环12的厚度，卡槽11的深度L能容纳保护环12的部分宽度，保护环12剩余的面积在测试时与即将放置在探针卡承载架1上的探针卡边缘形成接触，通过这种装置可简单方便地通过保护环12边缘部分的面积实现保护环12自身的固定，卡槽11外的保护环12的面积可起到传统保护环在测试中的作用。该探针卡固定框架的结构通过将保护环12固定在探针卡承载架1开的卡槽11中，就使得在探针卡与其反复离合过程，保护环12不会再粘在探针卡上，避免保护环12丢失问题的出现。
权利要求1、一种探针卡固定框架，所述探针卡固定框架是用于承载和固定具有若干探针的探针卡的固定框架，其特征在于，所述探针卡固定框架包括探针卡承载架，用于固定保护环的卡槽和保护环，所述卡槽开在探针卡承载架的内侧，所述保护环的直径大于所述探针卡承载架的直径，所述保护环的边缘部分插入所述探针卡承载架内侧开的卡槽内。
2、如权利要求1所述的探针卡固定框架，其特征在于，所述探针卡承载架为与探针卡匹配的环形架，所述保护环为具有一定宽度的圆环，所述保护环的宽度为圆环外环与内环的半径差。
3、如权利要求2所述的探针卡固定框架，其特征在于，所述圆环的宽度大于所述环形架内侧开有的卡槽深度。
4、如权利要求3所述的探针卡固定框架，其特征在于，所述圆环与所述探针卡匹配，所述卡槽外圆环的宽度仅覆盖所述探针卡上无探针的边缘部分。
5、如权利要求1所述的探针卡固定框架，其特征在于，所述探针卡承载架内侧开的卡槽高度等于所述保护环的厚度。
专利摘要本实用新型提供了一种探针卡固定框架，以解决目前的探针卡固定框架上的保护环容易丢失的问题。该探针卡固定框架包括探针卡承载架，用于固定保护环的卡槽和保护环，卡槽开在探针卡承载架的内侧，保护环的直径大于探针卡承载架的直径，保护环的边缘部分插入探针卡承载架内侧开的卡槽内。保护环的宽度大于开的卡槽的深度，卡槽的高度刚好容纳一保护环的厚度，这样保护环的一部分宽度用于插入卡槽来固定保护环，卡槽外的保护环的宽度部分用于和探针卡无探针卡的边缘部分接触，这样的探针卡固定框架既可实现原来保护环测试时的作用，又可实现保护环的固定，避免保护环的丢失。
文档编号G01R1/073GK201141873SQ20082005451
公开日2008年10月29日 申请日期2008年1月7日 优先权日2008年1月7日
发明者何莲群 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
