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专利名称：一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种玻璃板或其他透明材料的检测装置，具体涉及一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置。
背景技术：
在TFT玻璃基板的生产过程中，总是会在玻璃基板表面或玻璃基板内部产·生各种类型的缺陷。缺陷可包括表面不连续性、线状缺陷、条纹、结石、气泡以及玻璃基板体的光学不均匀性。为了防止带有缺陷的玻璃基板进入到高成本运行的后端玻璃冷加工工序，并能够将玻璃基板的缺陷信息及时的反馈给玻璃热端工序控制系统，使得热端工序能够采取适当的措施来减少缺陷。由此可见，对玻璃基板的检测显得十分的重要。尽管当前通常使用非相干性白光检测玻璃基板缺陷，但由于来自较远距离的小尺寸(点状)光源的光的局部空间相干性，可能会观察到一些衍射效应。由尺寸为Rs的光源射出的在玻璃基板上相隔间距的各个点上光，将具有80%的空间相干性，其中
权利要求1.一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，其特征在于，包括点光源(I)，待检测的玻璃基板(2)，屏幕(3)，线性光源(10)，所述玻璃基板(2)位于点光源(I)和屏幕(3)之间，线性光源(10)位于玻璃基板(2)的两侧。
2.根据权利要求I所述的一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，其特征在于，所述用于检测玻璃基板中缺陷的装置还包括支撑底座(8)，设置于支撑底座(8)上的位置调节装置(9)，设置于位置调节装置(9)上的安装框架(11)和设置于安装框架(11)上的挡板(18);线性光源(10)安装于安装框架(11)上。
3.根据权利要求2所述的一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，其特征在于，位置调节装置(9)包括调整手轮(12)、调整支架(13)和导轨(14);其中导轨(14)设置于支撑底座(8)上，调整支架(13)设置在导轨(14)上，调整手轮(12)设置在调整支架(13)下端。
4.根据权利要求2所述的一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，其特征在于，安装框架(11)上设有驱动线性光源(10)沿垂直于屏幕(3)的方向运动的直线运动装置(16)和气动装置(17)。
专利摘要本实用新型提供一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，包括点光源，待检测的玻璃基板，屏幕，线性光源，所述玻璃基板位于点光源和屏幕之间，线性光源位于玻璃基板的两侧；所述用于检测玻璃基板中缺陷的装置还包括支撑底座，设置于支撑底座两侧的位置调节装置。线性光源可改变或加强点光源光束的至少一部分的光强度并在屏幕上形成均匀的亮度分布，使检查人员感受到的在屏幕检查区内的亮度是均匀的，进而能准确的分辨出缺陷的存在，可以避免漏检、误检，使检查结果的一致性得到提高；这种提高是在不改变光学放大率、从光源至屏幕的距离或光源的光强度的情况下取得的。
文档编号G01N21/958GK202794060SQ20122032957
公开日2013年3月13日 申请日期2012年7月9日 优先权日2012年7月9日
发明者郭强, 成敢为 申请人:彩虹显示器件股份有限公司