专利名称：平板状待检查体的试验装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对液晶显示面板那样的平板状待检查体进行试验的装置。
背景技术：
对液晶显示面板那样的显示用面板进行点亮试验的装置具有用于对待检查体通 电的探针(probe)单元，特别是具有相对于触头的针尖进行定位的定位功能(即对准功 能)。一般而言，这种装置包括如检查工作台、工件工作台那样的面板承载部；用于使 面板承载部沿XYZ3个方向移动和绕沿Z方向延伸的e轴线旋转的工作台移动机构；配置 在面板承载部的上方的探针单元。在定位时，待检查体以能够解除吸附的方式吸附在面板承载部上，在该状态下，利 用工作台移动机构使面板承载部相对于探针单元移动，以使待检查体的电极和触头的针尖 接触。但是，在那样的试验装置中，不只是面板承载部，而且背光单元、用于支承面板承 载部的装置等也不得不因工作台移动机构而移动，所以工作台移动机构大型化，试验装置 造价较高。特别是在对近年来的大型的待检查体进行试验的装置中，由工作台所移动的对象 物的重量有时会超过1吨，所以无法避免工作台移动机构更加大型化，使试验装置的造价更高。为了解决如上述那样的课题，提出有如下的对准装置，S卩，通过使待检查体相对于 面板承载部移动来对待检查体进行定位，以使待检查体的电极和触头的针尖接触(专利文 献1) O该对准装置在面板承载面的一对相对的边的每个边上各有配置一对第1推动件， 该一对第1推动件在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置，在面板承载面的另一对相对 的边中的一个边和另一个边上各配置有第2推动件。各推动件包括被按压在待检查体的 端面的按压构件；使该按压构件相对于待检查体沿X方向或Y方向进退的移动机构。在定位时，待检查体以如下的方式被定位，S卩，各推动件的按压构件被移动机构按 压在待检查体的X方向或Y方向的端面上，使待检查体相对于面板承载部进行移动，由此， 使待检查体的电极和触头的针尖接触。在那样的对准装置中，作为各推动件的移动机构，若利用由空气、油那样的压力流 体使按压构件进退的机构，则待检查体被上述推动件配置在中央位置，相对于面板承载部 被定位。但是，在那样的对准装置中，即使对被配置在相对于面板承载部而言位于相对侧 的两推动件、或在对应的边的延伸方向上隔有间隔的推动件所供给的流体的压力存在很小 的差异，也会使推动件的按压力产生差异。结果，待检查体不能够准确地被移动，无法进行 准确的定位。
专利文献1 日本特开2008-188727号公报
发明内容
本发明提供一种能够对待检查体进行准确定位的廉价的试验装置。本发明的平板状待检查体的试验装置包括用于承载平板状待检查体的、具有矩 形的面板承载面的面板承载部；具有能被按压在上述待检查体的电极上的多个触头的探针 单元；用于使承载于上述面板承载部的待检查体相对于上述触头进行定位的对准装置。上述对准装置包括分别配置在上述面板承载面的相对的一对边的一个边和另一 个边上的第1推动机构和第1定位机构；分别配置在上述面板承载面的相对的另一对边的 一个边和另一个边上的第2推动机构和第2定位机构。上述推动机构和上述定位机构分别包括位于上述面板承载面的外侧的至少1个 按压构件；用于使该按压构件沿X方向或Y方向移动的至少1个驱动机构。各定位机构的 上述驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。各定位机构可以包括能够控制旋转角度位置的电动机。各定位机构的上述按压构件也可以由至少在其移动方向上难以弹性变形或不弹 性变形的材料制作。各定位机构的上述驱动机构可以包括驱动源和保持机构，该保持机构被该驱动 源驱动，与用于上述驱动源一起以能够解除保持状态的方式保持上述按压构件在上述X方 向或Y方向上的位置。各定位机构的上述保持机构可以包括丝杠(滚珠丝杠)，其从上述驱动源沿上述 X方向或Y方向延伸，被上述驱动源驱动而旋转；螺母，其与该丝杠(滚珠丝杠)螺纹配合、 且用于使上述按压构件在上述X方向或Y方向上移动。各推动机构的上述驱动机构的驱动源可以包括使用压力流体而使上述按压构件 进退的作动缸机构。本发明的试验装置还能够包括压力互不相同的第1和第2压力流体源以及阀装 置，该阀装置用于将该第1和第2压力流体源的压力流体有选择性地供给到上述推动机构 的上述驱动机构的驱动源。根据技术方案1 6的任一项所述的试验装置，代替上述的第1和第2压力流体源 和阀装置，该试验装置还包括电空调节器，该电空调节器用于将压力互不相同的至少2种 压力流体有选择性地供给到上述推动机构的上述驱动机构的驱动源。上述推动机构和上述定位机构还可以分别包括用于支承上述按压构件的移动体， 该移动体被配置在上述面板承载部上，且被上述驱动机构驱动而沿着上述X方向或Y方向 移动。上述按压构件也能够以绕沿Z方向延伸的轴线旋转的方式支承在上述移动体上。本发明的试验装置还可以包括用于使上述面板承载部向Z方向移动的Z移动机 构。本发明的试验装置还可以包括配置在上述面板承载部上的上浮装置，在由上述对 准装置使上述待检查体移动时，该上浮装置使该待检查体从上述面板承载面上浮。
上述上浮装置可以包括球，其被配置在上述面板承载部，并且该球的一部分能够 突出上述面板承载面或能退入上述面板承载面；弹簧，其用于对该球施力，以使该球的一部 分能从上述面板承载面上露出。上述面板承载部可以包括朝向上述面板承载面敞口的敞口部；将该敞口部有选 择性地与压力流体的供给源和减压容器中的至少一方连接的阀。
本发明的试验装置还可以包括工作台基座，该工作台基座上配置有上述面板承载 部，且具有矩形的第1开口。此外，上述面板承载部可以包括4个移动片，该4个移动片共 同形成与上述第1开口相对且与上述第1开口相似的矩形的第2开口，并且共同形成上述 面板承载面，该4个移动片使上述第2开口的大小能够变化地配置在上述工作台基座上。也可以使一对移动片在Y方向上隔有间隔、并与X方向平行地延伸，另一对移动片 在X方向上隔有间隔、并与Y方向平行地延伸。此外，上述移动片也可以构成为这些移动 片共同形成上述第2开口，并且共同形成上述面板承载面，而且使上述第2开口的大小能够 变化地配置在上述工作台基座上。而且，相邻的移动片也可以以不会妨碍向Y方向或X方 向独立移动的方式结合。本发明的试验装置还可以包括工作台基座，其具有矩形的第1开口，用于配置上 述面板承载部；结合机构，该结合机构配置在该工作台基座和上述面板承载部之间，上述移 动片以能够沿上述X方向和Y方向移动的方式与上述工作台基座结合。本发明的试验装置还可以包括移动片移动机构，该移动片移动机构配置在上述工 作台基座上，其借助上述结合机构使各移动片沿上述X方向或Y方向移动。各移动片移动机构可以包括用于使上述移动片移动、并能够控制旋转角度位置的 电动机。本发明的试验装置还可以包括上下移动机构，该上下移动机构用于使上述面板承 载部和上述探针单元向互相靠近或互相离开的方向移动。本发明的试验装置还可以包括支承在上述探针单元上的摄像装置，以从上方拍摄 上述待检查体的标记部。本发明的试验装置还可以包括支承上述面板承载部的框架。此外，上述探针单元 也可以支承在上述面板承载部或上述框架上。本发明的试验装置还可以包括使上述探针单元支承在上述面板承载部的单元支 承机构。该单元支承机构可以包括第1移动体，其沿Y方向或X方向延伸，且能够以沿上 述X方向或Y方向移动的方式承载于上述面板承载部；第2移动体，其沿上述Y方向或X方 向延伸，且以能够沿着与X方向和Z方向相倾斜的方向移动、或沿着Y方向和Z方向相倾斜 的方向移动的方式与上述第1移动体结合；止挡件，其用于限定上述第2移动体的最前方位 置；探针移动机构，使上述第1移动体沿上述X方向或Y方向移动，由此，在使上述第2移动 体沿上述X方向或Y方向移动的同时使上述第2移动体沿Z方向移动。此外，上述探针单 元也可以支承在上述第2移动体上。上述单元支承机构还包括移动体承载部，其沿上述Y方向或X方向延伸，且以能 够在上述面板承载部上沿着上述Y方向或X方向移动的方式被支承在上述面板承载部上， 用于使上述第1移动体支承在上述面板承载部上；单元位置调整装置，使该移动体承载部 沿其长度方向移动，以能够解除保持状态的方式保持该移动体承载部在上述Y方向或X方向上相对于上述面板承载部的位置。上述探针单元还可以包括支承基座，其沿着上述矩形的边延伸，且被支承在上述 单元支承机构上；探针部件，其在该支承基座的长度方向上隔有间隔地配置，并能够沿Z方 向移动地支承在该支承基座上，该探针部件用于支承多个上述触头。上述支承基座也可以绕沿Z方向延伸的轴线旋转一定角度地支承在单元支承机 构上。此外，上述探针单元还可以包括角度调整机构，该角度调整机构使上述支承基座相对 于上述面板承载部旋转一定角度，以能够解除保持状态的方式保持上述面板承载部与上述 探针单元的绕沿上述z方向延伸的轴线旋转方向上的位置关系。探针移动机构可以包括能够控制位置的电动机，该电动机以能解除保持状态的方 式保持上述探针部件有选择性地在从上述面板承载面后退的退避位置、用于对待检查体进 行定位的对准位置、以及使上述触头与待检查体的电极接触的接触位置之间进行移动。上述探针单元也可以分别配置在与上述矩形的相邻2个边相对应的部位。上述对准装置可以包括多个上述第1推动机构和多个上述第1定位机构，该多个 上述第1推动机构配置在上述面板承载面的相对的一对边的一个边上，该多个上述第1定 位机构配置在上述面板承载面的相对的一对边的另一个边上，且该上述第1推动机构和上 述第1定位机构在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置。上述对准装置可以包括一对上述第1推动机构和一对上述第1定位机构，该一对 上述第1推动机构配置在上述面板承载面的相对的一对边的一个边上，该一对上述第1定 位机构配置在上述面板承载面的相对的一对边的另一个边上，且该上述第1推动机构和一 对上述第1定位机构在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置。上述对准装置可以包括一对上述第1定位机构，该一对上述第1定位机构在对应 的边的延伸方向上隔有间隔地配置在上述面板承载面的相对的一对边的上述另一个边上。上述第1推动机构可以包括在对应的边的方向上隔有间隔的多个上述按压构件。 此外，上述第1推动机构的上述驱动机构可以包括用于使上述按压构件沿X方向或Y方向 移动的驱动源；支承构件，在Y方向或X方向上隔有间隔地支承上述多个按压构件，且能够 绕沿Z方向延伸的轴线旋转地支承在上述驱动源上。在定位时，待检查体以如下的方式被定位，S卩，通过各推动机构和各定位机构的各 按压构件被按压到待检查体的X方向或Y方向的端面上，使待检查体相对于面板承载部移 动，由此，待检查体的电极和触头的针尖接触。在那样定位时，各定位机构的驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压 构件在X方向或Y方向上的位置，所以各定位机构的按压构件在X方向或Y方向上的位置 不变。因此，能将定位机构的按压构件用作决定待检查体在X方向和Y方向上的基准位置 的构件。上述结果，采用本发明，通过利用推动机构使被定位机构的按压构件按压待检查 体的X方向和Y方向的端面，而将待检查体和探针单元准确地定位。此外，由于各推动机构和各定位机构只要是能够使分量轻的待检查体移动的构造 即可，所以各推动机构和各定位机构分量轻，再加上不需要使面板承载部、背光单元等重量 大的目的物移动的大型的对准装置，因此试验装置造价较低。此外，若不仅使推动机构侧的按压部能后退，而且使用于决定基准位置的定位机构侧的按压构件相对于待检查体能后退，则待检查体相对于面板承载部的交接作业变得容
易O若各定位机构的驱动机构中，以能解除保持状态的方式保持上述按压构件在X方向或Y方向上的位置的驱动源包括如脉冲电动机那样的能够控制位置的电动机，则只要电 动机不旋转，各定位机构的按压构件在X方向或Y方向上的位置就没变动。若各定位机构的按压构件由至少在其移动方向上难以弹性变形或不弹性变形的 材料制作，则待检查体的缘部在X方向或Y方向上的位置就上述的按压构件准确地定位。
图1是表示本发明的试验装置的一实施例的立体图。图2是表示图1所示的试验装置的主视图。图3是表示图1所示的试验装置的俯视图。图4是沿图3的4-4线剖切得到的剖视图。图5是为了说明结合机构和移动片移动机构的一实施例，分解表示面板承载部和 承载该面板承载部的工作台基座的立体图。图6是表示将图1所示的试验装置去除探针单元后的俯视图。图7是沿着图3的7-7线得到的剖视图，是省略了面板承载部的下方的构件的剖 视图。图8是将定位机构的一实施例和面板承载部的移动片一起表示的立体图。图9是沿着图3的9-9线得到的剖视图，是省略了面板承载部的下方的构件的剖 视图。图10是将推动机构的一实施例与面板承载部的移动片一起表示的立体图。图11是将探针单元和其支承机构与面板承载部的移动片一起表示的主视图。图12是用于说明探针单元和待检查体的关系的立体图。图13是分解表示探针单元和其支承机构的立体图。图14是从X方向的一方向观察单元支承机构的一实施例时看到的立体图。图15是从与图14相反的方向看到的图14的单元支承机构的立体图。图16是表示进行定位时的推动机构和定位机构的关系的图。图17是表示进行定位和接触时，推动机构、定位机构和待检查体的关系的、局部 以截面表示的主视图。图18是表示面板承载部和上浮装置的关系的一实施例的立体图。图19是表示上浮装置的一实施例的剖视图。图20是用于说明由图1所示的试验装置进行定位的图，且是说明使待检查体沿X 方向移动的状态的图。图21是用于说明由图1所示的试验装置进行定位的图，且是说明使待检查体绕θ 轴线旋转一定角度的状态的图。图22是说明探针单元的移动状态的图，(A)是表示探针单元位于退避位置时的状 态，(B)是表示探针单元位于中间位置时的状态，(C)是表示探针单元位于接触位置时的状 态。
图23是将面板承载部的敞口部的一实施例与上浮装置的另一实施例一起表示的 图。图24是表示本发明的试验装置的另一实施例的图。图25是用于说明另一定位方法的图。图26是用于说明再一定位方法的图。图27是表示对准装置的另一实施例的图。图28是表示对准装置的再一实施例的图。图29是为了说明结合机构的另一实施例，分解表示面板承载部和承载该面板承 载部的工作台基座的立体图。
具体实施例方式用语的说明在本发明中，将图2的上下方向(与承载于面板承载部的待检查体垂直的方向) 称为Z方向或上下方向，将图2的左右方向称为X方向或左右方向，将图2的垂直纸面方向 称为Y方向或前后方向。但是，这些方向根据试验时的待检查体的姿势不同而不同。由此，本发明的试验装置可在由X方向和Y方向所规定的XY面在水平面的状态、 由X方向和Y方向所规定的XY面相对于水平面倾斜的状态等中的任一状态下使用。实施例参照图1 图4，试验装置10将封入有液晶的如液晶显示面板那样的显示用面板 作为平板状待检查体12 (参照图4、7、9等)，并将该待检查体12与规定的电路连接，从而被 用作进行如点亮检查那样的电试验的装置。待检查体12具有矩形的形状，此外，分别在与矩形的几个边对应的缘部具有多个 电极。以下，为了容易理解，对于待检查体12在X方向上具有长的长方形的形状的结构进 行说明。在图示的例子中，待检查体12分别在与矩形的相邻边相对应的2个缘部、在相对 应的缘部的长度方向上隔有间隔地具有多个电极。关于试验装置试验装置10包括装置基座即平台14 ；在平台14的上侧，与平台14隔有间隔地 配置的工作台基座16 ；配置在工作台基座16的上侧，用于承载待检查体12的面板承载部 18 ；配置在面板承载部18的上侧的多个探针单元20 ；将各探针单元20支承在面板承载部 18上的单元支承机构22 ；为了从上方拍摄承载于面板承载部18的待检查体12的标记部 (在后述内容中说明)，而安装在探针单元20上的多个摄像装置24 ；用于将承载于面板承 载部18的待检查体12相对于面板承载部18定位的、在后述内容中所说明的对准装置。在图示的例子中，探针单元20被分别配置在与矩形的相邻2个边相对应的部位。 但是，探针单元20的配置部位根据待检查体12的电极的配置位置而决定。在图示的例子中，单元支承机构22分别配置在与矩形的边相对应的部位。但是， 单元支承机构22也可以不配置在未配置有探针单元20的部位。在图示的例子中，2个摄像装置24被配置在与矩形的相邻2个边中的一边相对应 的部位，且该2个摄像装置24在该边的长度方向上隔有间隔地配置，并且，1个摄像装置24 被配置在与相邻的2边中的另一边相对应的部位。但是，2个摄像装置24也可以分别配置在各探针单元20上，且在探针单元20的长度方向上隔有间隔地配置。平台14被支承在试验装置10的框架25上(参照图4)。但是，平台14也可以是 框架25的一部分。平台14和工作台基座16具有矩形的板形状，此外，以工作台基座16位 于平台14的上方的状态，在Z(上下)方向上平台14和工作台基座16隔有间隔。工作台基座16由多个支柱26 ( 参照图4)支承在平台14上，工作台基座16还具 有大于待检查体12的矩形的开口 16a(参照图1和图4)。在平台14和工作台基座16之间 配置有已知的背光单元28 (参照图4)。关于面板承载部如图5所示，面板承载部18具有互相组合成井字形或TH:形状的4个移动片30。如 图4 图10、图12、13所示，各移动片30包括形成宽度尺寸小的长方形的第1片部30a和 形成宽度尺寸小的长方形的第2片部30b，通过以第1片部30a形成为水平状态，第2片部 30b的宽度方向形成为上下方向的状态，将它们呈L字状结合。一对移动片30在Y方向上隔有间隔、且在X方向上平行地在XY面内延伸，另一对 移动片30在X方向上隔有间隔、且沿Y方向上平行地在XY面内延伸。这些移动片30利用 在后述中说明的结合机构62与工作台基座16结合，并能够在与工作台基座16平行的面 (XY面)内沿二维方向(X方向和Y方向)移动。上述4个移动片30共同形成与待检查体12和开口 16a相似的矩形的开口 32，并 且，与矩形的面板承载面34共同形成第2片部30b的顶面。开口 16a和32相对，以容许来 自背光单元28的光进入承载于面板承载面34的待检查体12中。上述的4个移动片30利用在后述中说明的结合机构62与工作台基座16结合，能 够并以改变开口 32的大小的方式(即，在XY面内二维方向)移动。相邻的2个移动片30利用适当的结合构件结合，从而能够在X方向(或Y方向) 成为一体地移动以及能够在Y方向(或X方向)分别移动。由此，相邻的移动片30以不妨 碍对方的移动片30沿Y方向(或X方向)独立移动的方式结合。S卩，各移动片30以如下的方式结合，即，在该相邻的一方的移动片30的长度方向 (Y方向或X方向)上能与之独立移动地与该相邻的一方的移动片30结合，并且，在另一方 的移动片30的长度方向(Y方向或X方向)上能够与之一体地能够移动地与该相邻的另一 方的移动片30结合。作为上述的结合构件，例如，能够使用沿X方向(或Y方向)延伸，朝向开口 32 — 侧敞口，并且具有截面呈梯形的截面形状的所谓燕尾槽，和与该燕尾槽能滑动嵌合的、具有 截面呈梯形的截面形状的、所谓燕尾块的组合。燕尾槽形成在相邻的2个移动片30的一方的宽度方向的开口 32 —侧的端缘部， 燕尾块形成在相邻的2个移动片30的另一方的长度方向的一端缘部。但是，也可以代替燕尾槽和燕尾块的组合而使用另一结合构件，例如导轨、和能在 该导轨上滑动且与该导轨不会脱离地结合的导向件的组合。在各移动片30上设有图18和19所示的多个上浮装置36。在利用上述的对准装 置使待检查体12移动时，上浮装置36与待检查体12 —起从面板承载面34上�。苟宰际� 的待检查体12的移动流畅。在图18和19所示的例子中，各上浮装置36包括有底的筒构件38，其以开口部朝向第2片部30b的顶面(面板承载面34)敞口的方式埋入第2片部30b ；球40，其一部分能 够出入面板承载面34地配置在筒构件38上；弹簧42，其用于对球40施力，以使球40的一 部分能从面板承载面34露出；圆板状的球承载座44，能够沿上下方向移动地配置在筒构件 38中，其位于球40和弹簧42之间；环状构件46，其用于限制球40在筒构件38内的移动。上浮装置36用球40承载待检查体12，使待检查体12保持从面板承载面34上浮 的状态。因此，弹簧42的弹力只要是能够使待检查体12从面板承载面34上浮的程度即可。如图23所示，面板承载部18在各第2片部30b上具有朝向面板承载面34敞口的 多个敞口部48和连通上述多个敞口部48的连通孔50。在图示的例子中，各敞口部48是 孔，然而，也可以是朝向面板承载面34敞口，沿第2片部30b的长度方向延伸的槽那样的其 他的敞口部。各第2片部30b的连通孔50通过管54与开-关阀52连接。阀52与真空容器那 样的被减压的减压容器56连结，由阀驱动器58驱动，有选择性地打开-关闭减压容器56 和连通孔50之间的空气的流路。上述空气的流路被打开时，敞口部48和连通孔50与减压容器连接。由此，待检查 体12克服上浮装置36的弹簧42的弹力而压下球40，真空吸附于面板承载面34而不能移 动。在该状态下，进行待检查体12的点亮试验。与上述相反，上述空气的流路被关闭时，敞口部48和连通孔50从减压容器56断 开。由此，解除待检查体12向面板承载面34的吸附，球40的一部分在弹簧42的弹力作用 下从面板承载面34稍微突出。上述结果，待检查体12从面板承载面34稍微上浮。在该状态下，进行新旧的待检 查体12的更换、以及新的待检查体12的对准。如在后述中说明那样，对准是通过由对准装 置使待检查体12移动来进行的。对准时，待检查体12仅与球40抵接，且从面板承载面34 上�。阅芄涣鞒┣胰菀滓贫�。如图23所示，也可以代替上述的上浮装置36，将压缩空气源那样的压力流体源60 与阀52连接，由阀52有选择性地将减压容器56和压力流体源60与连通孔50连接。上述的情况下，作为阀52使用转换阀。通过敞口部48与压力流体源60连接并使 来自压力流体源60的压力流体从敞口部48喷出，使待检查体12从面板承载面34稍微上浮。关于结合机构如图1、3、5等所示，为了使4个移动片30能够沿X方向和Y方向移动地与工作台 基座16结合，上述的结合机构62配置在工作台基座16和面板承载部18之间。在图示的例子中，结合机构62包括带状的一对第1滑动件64，其在X方向上隔 有间隔地沿与Y方向平行的方向延伸，能够沿X方向移动地配置在工作台基座16上；带状 的一对第2滑动件66，其位于第1滑动件64的上方，在Y方向上隔有间隔并沿与X方向平 行的方向延伸，能够沿Y方向移动地配置在工作台基座16上。如图5所示，一方的第2滑动件66利用结合构件68能够沿Y方向移动地与一方 的第1滑动件64结合，另一方的第2滑动件66利用另一结合构件68能够沿Y方向移动地 与另一方的第1滑动件64结合。滑动件64和66能够分别在设于工作台基座16的上表面的一对轨道70和70上沿X方向(或Y方向)移动，且各滑动件的一端部和另一端部与该一对轨道70和70结合。各结合构件68设于相对应的第1滑动件64上，且能够沿Y方向移动地与沿该第1 滑动件64的长度方向延伸的一对轨道72结合，并且，各结合构件68设于相对应的第2滑 动件66上，且能够沿X方向移动地与沿该第2滑动件66的长度方向延伸的另一对轨道72 结合。由此，各结合构件68相对于工作台基座16能够在XY面内沿二维方向移动。在图示的例子中，沿Y方向延伸的各移动片30与结合构件68不能相对移动地与 结合构件68结合，沿X方向延伸的各移动片30能够沿X方向移动地与沿X方向延伸的第 2滑动件66的剩下的一对轨道72结合。 滑动件64和66分别利用移动片移动机构74沿X方向(或Y方向)移动，以能够 解除保持状态的方式被保持在该移动方向上的适当位置。在图示的例子中，作为各移动片移动机构74使用了下述机构，该机构包括设置 在工作台基座16的上表面上的电动机；以沿X方向(或Y方向)延伸的状态与上述电动机 连结，由该电动机驱动而旋转的滚珠丝杠；与该滚珠丝杠螺纹配合且利用连结件与滑动件 64或66连结的螺母。电动机是脉冲电动机那样的能够控制位置的电动机，以能够解除保持 状态的方式保持旋转角度位置。例如，在一对第1滑动件64利用相对应的移动片移动机构74向互相靠近、互相离 开的方向(X方向)移动时，借助结合构件68与第1滑动件64连结的一方(沿Y方向延 伸)的一对移动片30与结合构件68 —起向互相靠近、互相离开的方向(X方向)移动，并 且，利用上述的燕尾槽和燕尾块等结合部件与该一方的移动片30连结的另一方(沿X方向 延伸)的一对移动片30随着该一方的移动片30的移动而沿X方向移动。此外，在两个第2滑动件66利用相对应的移动片移动机构74向互相靠近、互相离 开的方向(Y方向)移动时，与第2滑动件66连结的上述另一方(沿X方向延伸)的一对 移动片30与第2滑动件66 —起向互相靠近、互相离开的方向(Y方向)移动，并且，利用上 述的燕尾槽和燕尾块等结合部件与该移动片30连结的上述一方(沿Y方向延伸)的一对 移动片30随着该另一方的移动片30的移动而沿长度方向(Y方向)移动。因此，4个移动片30移动成开口 32的大小为图3和图6所示的大小。结果，能够 将开口 32以及面板承载面34的大小根据要进行试验的待检查体12的大小而改变。该作 业在待检查体12的点亮试验之前进行。关于对准装置参照从图2、4、7 10、16和17，上述的对准装置包括一对第1推动机构80和一 对第1定位机构82，分别配置在面板承载面34的相对的一对边(X边)的一方和另一方，且 在对应的边的长度方向上隔有间隔地配置；第2推动机构84和第2定位机构86，分别配置 在面板承载面34的相对的另一对边(Y边)的一方及和另一方。推动机构80、84分别使待检查体12相对于定位机构82或86进退，该定位机构82 或86配置在与配置有推动机构的一侧相反的一侧。相反，定位机构82、86分别决定待检查 体12的X方向(或Y方向)上的基准位置。如图7 10所示，推动机构80、84和定位机构82、86分别位于与面板承载面34 相同的高度位置，包括俯视看位于面板承载面34的外侧的按压构件90 ；支承按压构件90 的支柱状的移动体92 ；用于使移动体92以及按压构件90相对于面板承载面34进退的驱动机构94 ；用于支承按压构件90、移动体92和驱动机构94的支承板96。在图示的例子中，移动体92沿上下方向延伸，具有支柱状的形状。按压构件90是 利用安装销98能够绕沿Z方向延伸的轴线旋转地安装在移动体92的上端部的辊，但也可 以是其他的构件。支承板96能够沿第1片部30a的长度方向(X方向或Y方向)移动地组装在设于 面板承载部18的移动片30的第1片部30a的上表面的一对轨道100上。两轨道100在第 1片部30a的宽度方向(Y方向或X方向)上隔有间隔地沿与长度方向(X方向或Y方向) 平行的方向延伸。如图7 10所示，支承板96利用导向件102被组装在一方的轨道100上，还载置 在另一方的轨道100的上表面上。因此，一方的轨道100作为导轨而起作用。另一方的轨 道100在X方向(或Y方向)上的多个部位分别设有向上方敞口的内螺纹孔104。在另一方的轨道100上载置有具有沿X方向(或Y方向)延伸的长孔106的带状 的紧固金属构件108，并且紧固金属构件108被设置成与支承板96不能相对移动。紧固金 属构件108通过从上方插入长孔106中而与内螺纹孔104螺纹配合的螺栓110以能解除安 装状态的方式安装在另一方的轨道100上。由此，各支承板96以能够解除固定状态的方式 被固定在X方向(或Y方向)上的规定的位置。上述结果，推动机构80、84和定位机构82、86分别以能够解除固定状态的方式被 固定在X方向(或Y方向)的规定的位置。因此，另一方的轨道100作为固定轨道使用，该 固定轨道以能够解除固定状态的方式固定推动机构和定位机构在X方向(或Y方向)上的位置。但是，通过改变与螺栓110螺纹配合的内螺纹孔104的位置和紧固金属构件108 相对于螺栓110的位置，能够根据待检查体12的种类、大小等选择推动机构和定位机构在 X方向(或Y方向)上的位置。各驱动机构94包括在支承板96的宽度方向(Y方向或X方向)上隔有间隔、且 沿支承板96的长度方向(X方向或Y方向)延伸的一对轨道112 ；能够沿支承板96的宽度 方向移动地与各轨道112嵌合的滑动件114 ；用于连结两滑动件114的连结板116 ；用于使 按压构件90沿支承板96的宽度方向移动的驱动源118。滑动件114被安装在连结板116的下表面。驱动源118被安装在支承板96的上 表面。移动体92以直立状态安装在连结板116上。但是，移动体92与连结板116也可以 是一体的构造。如图9和图10所示，推动机构80、84的各驱动源118使用空气动作动缸和油压作 动缸那样的流体压作动缸机构。该作动缸机构的该作动缸被安装在支承板96上，活塞杆与 滑动件114连结。因此，推动机构80、84的各驱动机构94通过利用驱动源118使滑动件114相对于 第2片部30b进退，使按压构件96相对于面板承载面34以及待检查体12沿X方向或Y方 向进退。如图7和图8所示，定位机构82、86的各驱动源118使用脉冲电动机那样的能够 控制旋转角度位置的电动机。因此，定位机构82、86的各驱动机构94还具有滚珠丝杠120 和与滚珠丝杠120螺纹配合的螺母122，该滚珠丝杠120从相对应的驱动源118沿支承板96的宽度方向(χ方向或Y方向)延伸，在相对应的驱动源118的驱动下进行旋转。螺母122 被安装在连结板116上。定位机构82、86的各驱动机构94利用驱动源118使滚珠丝杠120旋转，使螺母122 相对于第2片部30b进退，由此，使按压构件96相对于面板承载面34以及待检查体12 (X 方向或Y方向)进退。如图20所示，推动机构80、84的各驱动源(作动缸机构)118利用阀装置128有 选择性地连接2个压力流体源124、126。压力流体源124、126储存有具有互不相同的压力 的被压缩的空气、油那样的压力流体。阀装置128具有被阀驱动器129有选择性地驱动的多个阀。阀装置128内的各阀 被阀驱动器129有选择性地驱动，将推动机构80、84的驱动源118中的1个有选择性地与 压力流体源124、126连接。由此，使上述的作动缸机构的活塞杆相对于作动缸进退，使按压 构件96相对于面板承载面34以及待检查体12进退。
此外，如图20所示，定位机构82、86的各驱动源(能够控制位置的电动机)118由 电动机驱动器130所驱动，由对应的按压构件96决定待检查体12在X方向(或Y方向) 上的基准位置。各基准位置由待检查体12的种类、大小等预先决定。例如如图20所示，具有上述那样的构造的对准装置使X方向用定位机构86的按 压构件96沿X方向进退，在保持待检查体12在X方向上的基准位置的同时，利用X方向用 推动机构84的按压构件96将待检查体12相对于X方向用定位机构86的按压构件96按 压。由此，待检查体12在X方向上被对准。待检查体12在Y方向上的对准是通过使Y方向用定位机构82、82和Y方向用推 动机构80、80像上述那样动作来进行的。例如如图21所示，待检查体12绕沿Z方向延伸的θ轴线旋转的对准是可以通过 使Y方向用定位机构82、82和Y方向用推动机构80、84的按压构件90分别沿以箭头标记 表示的方向移动来进行的。如上述那样进行对准时，各推动机构的驱动源与压力低的压力流体源124连接。 由此，待检查体12被按压构件90以较弱的力夹持。结果，待检查体12与按压构件90碰撞 时，作用于待检查体12的冲击�。乐挂蚋贸寤鞫鸬拇觳樘�12的破损。在对准期间，待检查体12利用图18和19所示的上浮装置36，从面板承载面34上 浮。因此，在对准时，待检查体12流畅地移动，进行准确的对准。如上所述，在对准时，各定位机构的按压构件90决定待检查体12的基准位置，所 以各定位机构的按压构件90由至少在其移动方向上难以弹性变形或不弹性变形、或者难 以磨损或不磨损的材料例如硬质树脂制作。由此，即使待检查体12被推动机构的按压构件90按压，由于使用能够控制位置的 电动机作为驱动源进行协同作用，因此定位机构的按压构件90也保持基准位置。因为能够 不考虑按压构件90的弹性变形地决定作为驱动源的电动机的旋转量，所以电动机的位置 控制变得容易。但是，在考虑按压构件90的弹性变形，决定作为驱动源的电动机的旋转量的情况 下，定位机构的按压构件90也可以由能够弹性变形的材料制作。对此，推动机构的按压构件90可以为具有不使待检查体12破损程度的硬度的树脂那样的材料。因此，推动机构的按压构件90既可以是不弹性变形的材料也可以是弹性变 形的材料。待检查体12被推动机构80、84按压到定位机构82、86的按压构件90上时，在滚 珠丝杠120和螺母122之间的磨擦力的作用下，只要驱动源118不被驱动，就阻止定位机构 82,86的按压构件90后退。由此，用于对准的基准位置不变动。像上述那样，定位机构82、86的各驱动机构94以能够改变以及能够解除保持状态 的方式保持按压构件90在X方向或Y方向上的最前方位置。图16和图17表示X方向、Y 方向和绕9轴线的对准结束的状态。在对准结束后，各推动机构的驱动源与高压力的压力流体源126连接。由此，待检 查体12被按压构件90以较强的力夹持。直到点亮试验结束，待检查体12 —直保持由按压 构件90以较强的力夹持的状态。关于探针单元如图7、11等所示，各探针单元20包括沿着矩形的边(沿X方向或Y方向)延伸 而且被单元支承机构22支承的板状的支承基座132 ；在支承基座132的长度方向上隔有间 隔地安装在支承基座132上的多个支承部件134 ；能够沿Z方向移动地支承在各支承部件 134上的移动部件136 ；安装在各移动部件136上的探针部件138。支承基座132利用多个螺纹构件(未图示)能够拆卸地安装在单元支承机构22 的上表面。各支承部件134具有从其上端部向面板承载面34 —侧突出的突出部。各移动部件136利用轨道140和导向件142组装在支承基座132上，该轨道140设 于支承基座132的前侧(开口 32 —侧)且沿上下方向延伸；该导向件142能够沿轨道140 的上下方向移动地与轨道140结合，此外，支承部件134的上述突出部在上下方向上贯通， 利用与移动部件136螺纹配合的调整螺栓144能调整上下方向的位置。如图9和图11所示，各探针部件138具有在X方向或Y方向上隔有间隔地排列的 多个触头146，而且以这些触头146的针尖朝向上述面板承载部18的状态支承在移动部件 136 上。单元支承机构如图7、9、11 15等所示，单元支承机构22包括配置在面板承载部18的第1片 部30a上的、沿第1片部30a的长度方向延伸的板状的移动体承载部150 ；配置在移动体承 载部150上的第1移动体152 ；以能够沿相对于面板承载面34倾斜的方向移动的方式与第 1移动体152结合的第2移动体154 ；安装在第2移动体154的上端部的顶板156 ；用于使 第1移动体152沿第1片部30a的宽度方向移动的探针移动机构158 ；用于限制第2移动 体154的最前方位置(开口 32 —侧的位置)的止挡件160。移动体承载部150利用一对或多对轨道162和导向件164结合在第1片部30a上， 该一对或多对轨道162以在移动体承载部150的宽度方向上隔有间隔、且沿移动体承载部 150的长度方向(X方向或Y方向)平行地延伸的状态设于第1片部30a ；该导向件164以 能够沿各轨道162的长度方向移动的方式支承在该各轨道162上、且组装在移动体承载部 150的下侧。因此，移动体承载部150能够沿第1片部30a的长度方向移动。第1移动体152利用一对轨道166和导向件168结合在移动体承载部150上。该 一对轨道166以在移动体承载部150(第1片部30a)的长度方向上隔有间隔、且沿移动体承载部150的宽度方向平行地延伸的状态设于移动体承载部150 ；该导向件168以能够沿 各轨道166的长度方向移动的方式支承在该各轨道166上、且组装在第1移动体152的下 侧。因此，第1移动体152能够沿移动体承载部150 (或第1片部30a)的宽度方向移动。第1和第2移动体152和154以第2移动体154位于面板承载面34 —侧的方式 相对于面板承载面34倾斜地彼此结合。因此，第1和第2移动体152和154分别具有倾斜 向下的面和倾斜向上的面。第2移动体154沿第1片部30a的长度方向延伸，并且，以越靠 近上部越靠近面板承载面34 —侧的方式倾斜延伸。第2移动体154利用一对轨道170和导向件172与第1移动体152结合，该一对轨 道170设于第1移动体152的倾斜向下的面，在第1片部30a的长度方向上隔有间隔，沿第 1片部30a的宽度方向平行地延伸；该导向件172以能够沿各轨道170的长度方向移动的 方式与该各轨道170结合，且设于第2移动体154的倾斜向上的面。因此，第2移动体154 能够相对于第1移动体152沿倾斜的方向移动。顶板156为长边在第1片部30a的长度方向上的长方形形状，而且被安装在第2 移动体154的顶部。探针单元20安装在顶板156上，被第2移动体154支承。各探针移动机构158使用了如下的机构，该机构包括设置在移动体承载部150的 上表面上的电动机174;以沿X方向(或Y方向)延伸的状态与电动机174连结，由电动机 174驱动而旋转的滚珠丝杠176 ；与滚珠丝杠176螺纹配合的螺母178 ；安装在第2移动体 154上，用于支承螺母178的结合构件180。为了如脉冲电动机那样以能够解除保持状态的方式保持旋转角度位置，电动机 174为能够控制位置的电动机，其借助支座182支承在移动体承载部150上。滚珠丝杠176 与电动机174的旋转轴连结，并且借助另一支座184支承在移动体承载部150上。利用孔186和杆188，防止第1和第2移动体152和154沿与倾斜向下的面和倾斜 向上的面垂直的方向相对移动，以及第1和第2移动体152和154沿长度方向的相对移动， 该孔186向斜上方延伸、上端敞口地形成于第1移动体152 ；该杆188从上方插入孔186。第1和第2移动体152和154被配置在杆188的周围的压缩螺旋弹簧190施力， 以使第1和第2移动体152和154在杆188的长度方向上具有相对离开的趋势。实际上， 因为利用轨道166和导向件168防止第1移动体152在杆188的长度方向上移动，所以利 用弹簧190对第2移动体154向斜上方施力。如图11所示，单元支承机构22还具有设于第1和第2移动体152和154的止挡 件191和193，以限制第2移动体154的上升最高位置。止挡件191和193分别设于第1和 第2移动体152和154的倾斜向下的面和斜朝上面上，在第2移动体154上升时互相抵接， 以阻止第2移动体154的上升。在如上述那样的单元支承机构22中，在第1移动体152在电动机174正转的驱动 下，朝向待检查体12移动时，第2移动体154与第1移动体152朝向同方向移动。此时，用 于使第2移动体154克服弹簧190的弹力向斜下方移动的移动产生机构192 (参照图7、11、 13等)设于第2移动机构154。如图7、11所示，移动产生机构192包括二字状的支座194，设于第2移动体154 的待检查体12 —侧的倾斜向下的面上；辊196，安装在支座194上，且该辊196能够绕沿第 2移动体154的长度方向延伸的轴线旋转且能够与止挡件160抵接。
在单元支承机构22上，在第1和第2移动体152和154在电动机174的驱动下朝 向待检查体12移动时，辊196与止挡件160抵接。在第1和第2移动体152和154在电动机174的驱动下朝向待检查体12进一步 移动时，第2移动体154的前进被止挡件160阻止，所以在轨道170和导向件172的嵌合部 产生用于使第2移动体154向倾斜下方移动的移动力。利用上述的移动力，第2移动体154随着第1移动体152的进一步前进而向下方 移动。其结果，探针单元20向下方移动，探针部件138所具有的触头的针尖按压于待检查 体12的电极上。此时，待检查体12由按压构件90以较强的力夹持，并且同时被吸附于面板承载面 34，即使触头的针尖按压于待检查体12的电极上，也能够可靠地防止待检查体12相对于面 板承载部18和探针单元20移动。在上述状态下，电动机174逆转时，在辊196与止挡件160抵接的状态下，第1移 动体152相对于面板承载面34和第2移动体154后退。在该期间内，第2移动体154利用 弹簧190的力相对于第1移动体152上升，向上方离开待检查体12。电动机174进一步逆转时，第1移动体152持续后退。但是，第2移动体154因止 挡件193与止挡件191抵接而停止上升，在该状态下该第2移动体154与第1移动体152 一起相对于面板承载面34朝向退避位置后退。如上所述，在电动机174正转的驱动下，第2移动体154和探针部件138相对于面 板承载面34和待检查体12前进和下降，以能解除保持状态的方式保持在前进和下降的位 置，此外，在电动机174逆转的驱动下，第2移动体154和探针部件138相对于面板承载面 34和待检查体12上升和后退，以能解除保持状态的方式保持在退避位置。第2移动体154以及探针部件138后退到退避位置的状态下，相对于面板承载面 34更换待检查体12。此时、待检查体12从面板承载面34上�。⑶姨秸氲ピ�20从面板承 载面34后退得较多，能够容易相对于面板承载面34进行待检查体12的交接。关于摄像装置如图7、11 13等所示，各摄像装置24包括支承在探针单元20的支承基座132 上的倒L字状的支承部件200;以从标记部(未图示)的上方拍摄标记部的方式支承在支 承部件200上的摄像机202。标记部是设于待检查体12的标记本身、特定的触头的针尖等。摄像机202拍摄待 检查体12的标记部附近，是产生图像信号的摄像机那样的面传感器，可以用C⑶面传感器。各摄像机202的输出信号在未图示的控制装置中被进行图像处理，用于求出待检 查体12相对于试验装置10、特别是面板承载部18、探针单元20等的错位(位置偏离)。所 求出的错位(位置偏离)用作驱动上述的对准装置的信号。关于角度调整装置如图15所示，各单元支承机构22还包括角度调整装置，该角度调整装置用于使移 动体承载部150沿其长度方向移动，以能够解除保持状态的方式保持移动体承载部150在 X方向(或Y方向)上的相对于面板承载部18的位置。该角度调整装置包括结合轴206，其用于使支承基座132以相对于顶板156能够 绕沿Z方向延伸的轴线旋转一定角度的方式支承在顶板156上；螺母208，其固定在顶板的长度方向的端部的上表面上；一对调整螺栓210，其与螺母208螺纹配合，用于沿X方向(或 Y方向)按压支承基座132的长度方向的端部的后面。在上述的角度调整装置中，增大两调整螺栓210中的一个调整螺栓210旋入螺母 208的旋入量，并减小两调整螺栓210中的另一个调整螺栓210旋入螺母208的旋入量时， 支承基座132绕结合轴206旋转一定角度，而相对于顶板156移动。因此，通过调整两调整 螺栓210旋入螺母208的旋入量，能调整支承基座132相对于对应的移动片30的姿势。周雜胃如图12、13、15等所示，利用单元位置调整装置使探针单元20相对于面板承载部 18的移动片30沿X方向(或Y方向)移动，调整探针单元20在X方向(或Y方向)上的位置。在图示的例子中，单元位置调整装置包括配置在第1片部30a上的能够控制位置 的电动机212 ；被电动机212驱动而旋转的滚珠丝杠214 ；与滚珠丝杠214螺纹配合的螺母 216 ；与螺母216和移动体承载部150结合的结合构件218。通过在电动机212正转时，螺母216沿X方向(或Y方向)移动，移动体承载部 150沿同方向移动。通过在电动机212逆转时，螺母216沿Y方向(或X方向)移动，移动 体承载部150沿同方向移动。由此，移动体承载部150以及探针单元20在X方向(或Y方向)上相对于移动片 30的位置被调整，以能够解除保持状态的方式被保持在该位置，所以能够使各触头146的 针尖和待检查体12的电极可靠地接触。关于试验装置的动作如图22的(A)所示，试验装置10在各探针单元20、各移动体92和各第2移动体 154后退的状态下，从上方进行待检查体12相对于面板承载部18的交接。接着，如图22的(B)所示，各按压构件90前进而进行对准，并且探针部件138前 进，各触头的针尖移动到待检查体12的电极的上方。在此期间，推动机构80、84分别在较 低的流体压力的作用下动作，防止待检查体12破损。接着，如图22的(C)所示，各探针部件138下降，各触头的针尖被按压于待检查体 12的电极上。在此期间，推动机构80、84分别在较高的流体压力的作用下动作，防止待检查 体12移动。在该状态下，对待检查体12通电，进行待检查体12的点亮试验。上述的点亮试验既可以是操作者从上方目测待检查体12的目测点亮试验，也可 以是用如摄像机那样的面传感器且在控制装置中进行图像处理的自动点亮试验。在点亮试验期间，待检查体12被对准装置所把持，并且被触头146按压到面板承 载面34上，所以也可以不连接减压容器56和敞口部48。这种情况下，不需要减压容器56。电试验结束后，各探针单元20、各第1移动体152和各第2移动体154后退到图 22的(A)所示的位置，待检查体12从面板承载面34上浮后，进行待检查体12相对于面板 承载部18的交接。另一实施例参照图24，试验装置250中，作为使面板承载部18和探针单元20向互相靠近、互 相离开的方向移动的上下移动机构，使用利用支柱26支承工作台基座16的Z工作台252 来代替单元支承机构22，以使面板承载部18沿上下方向移动。
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Z工作台152是所谓的一般的升降机构，代替平台14而被支承在装置的框架25 上。背光单元28被载置在Z工作台252上。探针单元20借助用于使探针单元20在XY面 内移动的探针工作台254，支承在框架25上。试验装置250除了利用Z工作台152使面板承载部18相对于探针单元20上下移 动、利用探针工作台254使各探针单元20在XY面内移动这一点之外，与试验装置10相同 作用且能够同样使用。对准的另一实施例代替试验装置250的Z工作台252，或在Z工作台的基础上，具有和以往的试验装 置相同的、用于使面板承载部18沿X、Y或Z的方向移动的机构、以及绕e轴线旋转一定角 度的机构等，在该情况下，也可以通过上述以外的方法进行探针单元20和待检查体12的对 准。以下说明有关那样的对准的例子。在具有e移动机构的情况下，在由推动机构80、84和定位机构82、86把持待检查 体12的状态下，使待检查体12绕e轴线旋转一定角度，并且利用如移动片移动机构74那 样的适当的机构，使面板承载部30与两探针单元20 —起沿X方向或Y方向移动。如图25所示，在具有0移动机构和Y移动机构的情况下，在由推动机构80、84和 定位机构82、86把持待检查体12的状态下，利用0移动机构使待检查体12绕0轴线旋 转一定角度，并且利用Y移动机构使待检查体12相对于两探针单元20沿Y方向移动，进一 步使两探针单元20相对于待检查体12沿X方向移动。在具有e移动机构和X移动机构的情况下，在由推动机构80、84和定位机构82、 86把持待检查体12的状态下，利用e移动机构使待检查体12绕e轴线旋转一定角度，并 且利用X移动机构使待检查体12相对于两探针单元20沿X方向移动，进一步使两探针单 元20相对于待检查体12沿Y方向移动。如图26所示，在具有0移动机构和XY移动机构的情况下，在由推动机构80、84 和定位机构82、86把持待检查体12的状态下，利用0移动机构使待检查体12绕0轴线 旋转一定角度，并且利用XY移动机构使待检查体12相对于两探针单元20沿X方向移动。 这种情况下，也可以不使两探针单元20移动。在面板承载面34的相对的一对边中的一个边上，代替在对应的边的延伸方向上 隔有间隔地配置一对的推动机构84，既可以如图27所示配置单一的推动机构84，也可以配 置3个以上的推动机构84(未图示)。此外，在面板承载面34的相对的一对边中的一个边上，代替在对应的边的延伸方 向上隔有间隔地配置一对的推动机构84，也可以如图28所示，包括在对应的边的方向上 隔有间隔的多个按压构件90 ；在Y方向(或X方向)上隔有间隔地支承上述按压构件90的 支承构件260 ；用于使支承构件260沿X方向或Y方向移动的驱动源118 ；用于使支承构件 260能够绕沿Z方向延伸的轴线旋转地与驱动源118连结地进行支承的支承轴销262。在图28所示的实施例中，各按压构件90支承在上述的移动体92上，而且移动体 92支承在支承构件260上。结合机构的另一实施例参照图29，在结合机构的另一实施例中，使用3对结合构件270、272、274。各结合构件270和图5所示的结合构件68相同，能够沿Y方向移动地与设于第1滑动件64的一对轨道72结合，并且，能够沿X方向移动地与设于第2滑动件66的一对轨 道72结合。各结合构件272能够沿X方向移动地与设于第2滑动件66的另一对轨道72结合。 各结合构件274能够沿Y方向移动地与设于第1滑动件64的一对轨道72结合，而且不能 移动地安装在沿Y方向延伸的移动片30上。设于沿Y方向延伸的各移动片30的下表面的一对轨道276能够沿Y方向移动地 与结合构件270结合，并且，沿Y方向延伸的各移动片30以不能移动的方式安装在结合构 件274上。设于沿X方向延伸的各移动片30的下表面的一对轨道278能够沿X方向移动地 与结合构件272结合，并且沿X方向延伸的各移动片30利用以不能移动的方式设于下表面 的一对辅助结合构件280，以能够沿X方向移动的方式与第2滑动件66的轨道72结合。
在结合机构的另一实施例中，一对第1滑动件64向互相靠近、互相离开的方向(X 方向)移动时，借助结合构件270与第1滑动件64连结的沿Y方向延伸的一移动片30与 结合构件68 —起向互相靠近、互相离开的方向(X方向)移动，并且，利用上述的燕尾槽和 燕尾块等结合部件与该一方的移动片30连结的沿X方向延伸的另一移动片30，随着上述一 移动片30的移动而沿X方向移动。此外，在两第2滑动件66向互相靠近、互相离开的方向(Y方向)移动时，借助结 合部272与第2滑动件66连结的沿X方向延伸的上述另一移动片30与第2滑动件272 — 起向互相靠近、互相离开的方向(Y方向)移动，并且，利用上述的燕尾槽和燕尾块等结合部 件与该另一移动片30连结的沿Y方向延伸的上述一移动片30，随着上述另一移动片30的 移动而沿长度方向(Y方向)移动。因此，4个移动片30移动成使开口 32的大小为图3和图6所示的大小。结果，能 够根据要进行试验的待检查体12的大小改变开口 32以及面板承载面34的大小。产业上的利用可能性作为单元支承机构20、结合机构62、移动片移动机构74、定位机构82、86、探针移 动机构158等使2个构件相对移动的机构的驱动源所使用的电动机，既可以是旋转式电动 机也可以是线性电动机。同样，各推动机构的驱动源也可以是在旋转力或推动力小于定位机构的电动机的 范围内、能分2级改变旋转力或推动力的旋转式电动机和线性电动机中的任一个。但是，压缩空气的体积根据压力而变化，所以作为推动机构的驱动源，若选用利用 压缩空气的作动缸机构，则在对准时，可大大降低按压构件与待检查体碰撞时的冲击。因 此，优选使用利用压缩空气的作动缸机构。此外，代替使用如上述那样的电动机(motor)，特别是定位机构82、86的驱动源， 也可以在选用采用了滚珠丝杠120和螺母122的机构、采用了齿条和小齿轮的机构等的同 时、选用驱动这些机构的油压电动机那样的其他的驱动源。面板承载部18也可以具有不能变更开口 32的大小的构造、例如专用于相同大小 的待检查体的构造。此外，定位机构的构造也能进行各种变更。如上述的实施例那样，也可以代替2种的流体压力源124、126、阀装置128和阀驱 动器129，使用通过电压控制而能够输出适当压力流体的电空调节器。这种情况下，电空调节器将互不相同的至少2种压力流体有选择性地供给到推动机构80、84的驱动机构的驱动 源 118。 本发明不限定于上述实施例，只要不脱离本发明技术方案的范围，就能进行各种变更。
权利要求
一种平板状待检查体的试验装置，其特征在于，包括用于承载平板状待检查体的、具有矩形的面板承载面的面板承载部；具有能被按压在上述待检查体的电极上的多个触头的探针单元；用于使承载于上述面板承载部的待检查体相对于上述触头进行定位的对准装置，上述对准装置包括分别配置在上述面板承载面的相对的一对边中的一个边和另一个边的第1推动机构和第1定位机构；分别配置在上述面板承载面的相对的另一对边的一个边和另一个边的第2推动机构和第2定位机构，上述推动机构和上述定位机构分别包括位于上述面板承载面的外侧的至少1个按压构件；用于使该按压构件沿X方向或Y方向移动的至少1个驱动机构，各定位机构的上述驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。
2.根据权利要求1所述的试验装置，其中，各定位机构包括能够控制旋转角度位置的电动机。
3.根据权利要求1或2所述的试验装置，其中，各定位机构的上述按压构件由至少在其移动方向上难以弹性变形或不弹性变形的材 料制作。
4.根据权利要求1所述的试验装置，其中，各定位机构的上述驱动机构包括驱动源和保持机构，该保持机构由该驱动源驱动，并 用于与上述驱动源一起以能够解除保持状态的方式保持上述按压构件在上述X方向或Y方 向上的位置。
5.根据权利要求4所述的试验装置，其中，各定位机构的上述保持机构包括丝杠，其从上述驱动源沿上述X方向或Y方向延伸， 被上述驱动源驱动而旋转；螺母，其与该滚珠丝杠螺纹配合，且用于使上述按压构件在上述 X方向或Y方向上移动。
6.根据权利要求1所述的试验装置，其中，各推动机构的上述驱动机构的驱动源包括使用压力流体使上述按压构件进退的作动 缸机构。
7.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括压力互不相同的第1和第2压力流体源；阀装置，用于将该第1和 第2压力流体源的压力流体有选择地向上述推动机构的上述驱动机构的驱动源供给。
8.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括电空调节器，该电空调节器用于将压力互不相同的至少2种压力流 体有选择性地向上述推动机构的上述驱动机构的驱动源供给。
9.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述推动机构和上述定位机构还分别包括移动体，该移动体用于支承上述按压构件， 且被上述驱动机构驱动而沿着上述X方向或Y方向移动，该移动体配置在上述面板承载部 上。
10.根据权利要求9所述的试验装置，其中，上述按压构件以能绕沿Z方向延伸的轴线旋转的方式支承在上述移动体上。
11.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括用于使上述面板承载部向Z方向移动的Z移动机构。
12.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括上浮装置，该上浮装置配置在上述面板承载部上，在利用上述对准 装置使上述待检查体移动时，该上浮装置使该待检查体从上述面板承载面上浮。
13.根据权利要求12所述的试验装置，其中，上述上浮装置包括球，该球配置于上述面板承载部，其一部分能突出上述面板承载面 或能退入上述面板承载面；弹簧，其用于对该球施力，以使该球的一部分能从上述面板承载 面露出。
14.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述面板承载部包括敞口部，其朝向上述面板承载面敞口 ；阀，其将该敞口部有选择 性地与压力流体的供给源和减压容器中的至少一方连接。
15.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括具有矩形的第1开口的工作台基座，该工作台基座配置有上述面板 承载部，上述面板承载部包括4个移动片，该4个移动片共同形成矩形的第2开口，并且共同形 成上述面板承载面，且该4个移动片以使上述第2开口的大小能够变化的方式配置在上述 工作台基座上，该矩形的第2开口能够与上述第1开口相对且与上述第1开口相似。
16.根据权利要求15所述的试验装置，其中，一对移动片在Y方向上隔有间隔、并与X方向平行地延伸，另一对移动片在X方向上隔 有间隔、并与Y方向平行地延伸，上述移动片构成为，这些移动片共同形成上述第2开口、并且共同形成上述面板承载 面，且以能够使上述第2开口的大小变化的方式配置在上述工作台基座上，相邻的移动片以不妨碍彼此向Y方向或X方向独立移动的方式进行结合。
17.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括具有矩形的第1开口的工作台基座，其配置有上述面板承载部；结 合机构，该结合机构配置在该工作台基座和上述面板承载部之间，使上述移动片以能够沿 上述X方向和Y方向移动的方式与上述工作台基座结合。
18.根据权利要求17所述的试验装置，其中，该试验装置还包括配置在上述工作台基座上的移动片移动机构，该移动片移动机构借 助上述结合机构使各移动片沿上述X方向或Y方向移动。
19.根据权利要求18所述的试验装置，其中，各移动片移动机构包括用于使上述移动片移动、且能够控制旋转角度位置的电动机。
20.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括上下移动机构，该上下移动机构用于使上述面板承载部和上述探针 单元向互相靠近或互相远离的方向移动。
21.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括支承在上述探针单元上的摄像装置，以从上方拍摄上述待检查体的 标记部。
22.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括支承上述面板承载部的框架，上述探针单元支承在上述面板承载部或上述框架上。
23.根据权利要求1所述的试验装置，其中，该试验装置还包括使上述探针单元支承在上述面板承载部上的单元支承机构，该单元支承机构包括第1移动体，其以能够沿上述X方向或Y方向移动的方式承载于 上述面板承载部，且沿Y方向或X方向延伸；第2移动体，其以能够沿着与X方向和Z方向 相倾斜的方向、或沿着与Y方向和Z方向相倾斜的方向移动的方式与上述第1移动体结合， 且沿上述Y方向或X方向延伸；止挡件，其用于限定上述第2移动体的最前方位置；探针移 动机构，其用于使上述第1移动体沿上述X方向或Y方向移动，由此使上述第2移动体沿上 述X方向或Y方向移动的同时沿Z方向移动，上述探针单元支承在上述第2移动体上。
24.根据权利要求23所述的试验装置，其中，上述单元支承机构还包括移动体承载部，其沿上述Y方向或X方向延伸，且以能够在 上述面板承载部上沿着上述Y方向或X方向移动的方式被支承在上述面板承载部上，用于 使上述第1移动体支承在上述面板承载部上；单元位置调整装置，其使该移动体承载部沿 其长度方向移动，以能够解除保持状态的方式保持该移动体承载部在上述Y方向或X方向 上相对于上述面板承载部的位置。
25.根据权利要求23所述的试验装置，其中，上述探针单元还包括支承基座，其沿着上述矩形的边延伸，且被支承在上述单元支承 机构上；探针部件，其以能够沿Z方向移动的方式被支承在该支承基座上，且在该支承基座 的长度方向上隔有间隔地配置，该探针部件用于支承多个上述触头。
26.根据权利要求25所述的试验装置，其中，上述支承基座以能够绕沿Z方向延伸的轴线旋转一定角度的方式支承在单元支承机 构上，上述探针单元还包括角度调整机构，该角度调整机构用于使上述支承基座相对于上述 面板承载部旋转一定角度，以能够解除保持状态的方式保持上述面板承载部与上述探针单 元的绕沿上述Z方向延伸的轴线旋转方向上的位置关系。
27.根据权利要求23所述的试验装置，其中，各探针移动机构包括能够控制位置的电动机，该电动机以能解除保持状态的方式保持 上述探针部件，使上述探针部件有选择性地在从上述面板承载面后退的退避位置、用于借 助上述对准装置对待检查体进行定位的对准位置、使上述触头与待检查体的电极接触的接 触位置之间进行移动。
28.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述探针单元分别配置在与上述矩形的相邻2个边相对应的部位。
29.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述对准装置包括多个上述第1推动机构和多个上述第1定位机构，该多个上述第1 推动机构配置在上述面板承载面的相对的一对边的一个边上，该多个上述第1定位机构配 置在上述面板承载面的相对的一对边的另一个边上，且该多个上述第1推动机构在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置，该多个上述第1定位机构在对应的边的延伸方向上隔有 间隔地配置。
30.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述对准装置包括一对上述第1推动机构和一对上述第1定位机构，该一对上述第1 推动机构配置在上述面板承载面的相对的一对边的一个边上，该一对上述第1定位机构配 置在上述面板承载面的相对的一对边的另一个边上，且该一对上述第1推动机构在对应的 边的延伸方向上隔有间隔地配置，该一对上述第1定位机构在对应的边的延伸方向上隔有 间隔地配置。
31.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述对准装置包括一对上述第1定位机构，该一对上述第1定位机构配置在上述面板 承载面的相对的一对边的上述另一个边上，且在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置。
32.根据权利要求1所述的试验装置，其中，上述第1推动机构包括在对应的边的方向上隔有间隔的多个上述按压构件，上述第1推动机构的上述驱动机构包括驱动源，其用于使上述按压构件沿X方向或Y 方向移动；支承构件，其在Y方向或X方向上隔有间隔地支承上述多个按压构件，且以能够 绕沿Z方向延伸的轴线旋转的方式支承在上述驱动源上。
全文摘要
本发明提供一种平板状待检查体的试验装置，能够准确地进行待检查体的定位且造价低。适用于试验装置的对准装置包括第1推动机构和第1定位机构，其分别配置在面板承载面的相对的一对边的一个边和另一个边上，并且在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置；第2推动机构和第2定位机构，其分别配置在面板承载面的相对的另一对边的一个边和另一个边上。推动机构和定位机构分别位于与面板承载面相同的高度位置，且分别包括位于面板承载面的外侧的按压构件和使按压构件相对于面板承载面进退的驱动机构。各定位机构的驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。
文档编号G01R31/00GK101876679SQ20101016070
公开日2010年11月3日 申请日期2010年4月28日 优先权日2009年5月1日
发明者外川让, 安斋正行, 植木勲, 藤原慎治 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司
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