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专利名称：测试样品装卸辅助装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体芯片测试领域，更具体来说是一种用于将测试样品装载到 测试基座和从测试基座下载的辅助装置。
背景技术：
老化(Burn-In)、早期失效率(Early Failure Rate)、高温工作寿命 (HighTemperature Operating Life)等测试是半导体芯片可靠性实验中非常重要的测试 项目。在半导体制造企业，通常采用测试基座(socket)承载测试样品(sample)，一个或 者多个测试基座布置在测试板上。测试基座包括管脚接触针(PinContact Tip)，一方面连 接到测试板的测试电路，另一方面提供与测试样品的管脚之间的良好接触。测试基座周围 还对应设置有压紧机构，压紧机构在自然状态下(也即工作状态下)能够将测试样品锁定 在测试基座上，以确保测试样品的管脚与管脚接触针紧密接触。压紧机构可以为每个测试基座旁设置一个，也可以为均布在测试基座相对两侧的 两个或者均布在测试基座四周的四个，以使得测试样品受力更加均勻。在进行测试之前，工 程师需要开启压紧机构，将测试样品装载到测试基座，放开压紧机构；测试完毕之后，工程 师再次开启压紧机构，将测试样品从测试基座内卸载，再放开压紧机构。当测试基座四周的 压紧机构数目较多时，测试样品的装载或者卸载必须要两人协作来完成，一人双手摁压开 启压紧机构，另一人用吸笔装载或者卸载测试样品。现有技术中，测试样品的装载和卸载显得比较麻烦。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种测试样品装卸辅助装置，以优化装 卸过程、减少不必要的人力支出。为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是一种测试样品装卸辅助装置， 用于测试板，所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构， 其特征在于，该辅助装置包括导轨，滑动设置在所述导轨上的滑轨，滑动设置在所述的滑 轨上的固定架；连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部件上的用于开启压紧机构的定 位针，所述定位针的数目与一个测试基座所对应的压紧机构的数目相等。优选的每个测试基座对应于至少两个压紧机构。所述的导轨为平行设置的两根，所述滑轨的两端部均设置有滑块，滑块滑动设置 在导轨上。所述固定架上连接有滑块，滑块滑动设置在滑轨上。所述固定架上连接有气缸，所述伸缩部件为气缸的活塞杆。所述气缸与控制机构 连接，所述控制机构与用于控制活塞杆伸缩的开关连接。所述控制机构可以为气阀。所述伸缩部件上连接有连接支架，连接支架上能够拆卸的连接有修正支架，定位针固定在修正支架上。由于上述技术方案的采用，使得测试样品的装载和卸载十分方便灵活快捷，一位 工程师便能独立完成，可以提高企业的生产效率。

通过附图中所示的本实用新型的优选实施例的更具体说明，本实用新型的上述及 其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未 刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。图1为本实用新型辅助装置的俯视图；图2为辅助装置除去导轨、滑轨后的侧视图，此时辅助装置处于自然状态；图3为辅助装置除去导轨、滑轨后的侧视图，此时辅助装置处于触发状态。
具体实施方式
参见图1所示的测试样品装卸辅助装置的俯视图，该辅助装置首先包括设置在测试板1的侧部的导轨2、滑动设置在所述导轨2上的滑轨3、滑动设置在 所述滑轨3上的固定架41。其中所述导轨2为平行设置的两根且沿着Y方向延伸，所述滑 轨3的两端部均设置有滑块30，两个滑块30分别滑动设置在导轨2上。所述滑轨3沿着X 方向延伸，滑轨3上滑动设置有滑块40，固定架41连接在滑块40上。工程师通过沿着导轨 2拨动滑轨3，可以使得固定架41沿着Y方向滑动，通过沿着滑轨3拨动固定架41，可以使 得固定架41沿着X方向滑动，通过X方向与Y方向的组合，实现固定架41在测试板1的不 同位置的定位。结合图2、图3，该辅助装置还进一步包括连接在固定架41上的具有活塞杆44的 气缸42、连接在所述活塞杆44上的连接支架45、连接在所述连接支架45上的修正支架46、 设置在所述修正支架46上的定位针47，还包括设置在连接支架45上的用于控制活塞杆44 伸出与缩回的开关43。所述开关43包括弹簧，当开关43处于未被触发的自然状态时，弹簧使得开关43 处于断开状态，当开关43被触发时，开关43处于闭合状态。当开关43处于断开状态时，控制机构控制活塞杆44处于缩回状态；当开关处于闭 合状态时，控制机构控制活塞杆44处于伸出状态。所述的控制机构可以为气阀，通过与活 塞的不同侧导通而实现活塞杆44的进退。控制机构为本领域公知技术，图中未显示。所述的修正支架46与连接支架45能够拆卸的连接，定位针47固定在修正支架46 上。对应不同型号的测试板1，可以制作不同型号的修正支架46，不同型号的修正支架46 上的定位针47的形状、尺寸、距离等会有差异。由于修正支架与连接支架能够拆卸，通过更 换修正支架即能满足不同测试板的需求，比较经济节约。测试板1上设置有多个测试基座10，测试基座10呈矩形，测试基座10的四个角上 分别设置有压紧机构11用于将测试样品锁定在测试基座10上。相对应的，每个修正支架 46上设置有四个定位针47，每个定位针47分别与一个压紧机构11相对应，当修正支架46 下降时，四个定位针47可以同时与四个压紧机构11抵触。当定位针47抵触在压紧机构11 上时可以使得压紧机构11打开，此时可以将测试样品装载至测试基座10或者从测试基座10卸载测试样品。本辅助装置的工作过程为参见图2，当该装置处于自然状态时，开关43处于断开状态，气阀反向开启，活塞杆处于缩回状态，定位针47不与压紧机构11接触，压紧机构11处于工作状态，可以将测试 样品牢固的锁定在测试基座10上。参见图3，当工程师需要装载或者卸载测试样品时，拨动固定架41，使得滑轨3在 导轨2的合适位置定位、固定架41在滑轨3的合适位置定位，此时定位针47对准压紧机构 11 ；摁压开关43，使得开关43处于闭合状态，气阀正向开启，活塞杆44伸出，带动连接支架 45、修正支架46、定位针47下降，定位针47触发压紧机构11，压紧机构11处于打开状态， 此时可以进行测试样品的装载或者卸载。在整个装载或者卸载的过程中，工程师一只手操 作本辅助装置(摁压开关)，另一只手用吸笔吸取测试样品，而不需要其他人的帮忙。当工程师放开开关43之后，该装置又回复到图2的状态。本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定权利要求，任何本 领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此 本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
权利要求一种测试样品装卸辅助装置，用于测试板，所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构，其特征在于，该辅助装置包括导轨，滑动设置在所述导轨上的滑轨，滑动设置在所述的滑轨上的固定架；连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部件上的用于开启压紧机构的定位针，所述定位针的数目与一个测试基座所对应的压紧机构的数目相等。
2.根据权利要求1所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于每个测试基座对应于 至少两个压紧机构。
3.根据权利要求1所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于所述的导轨为平行设 置的两根，所述滑轨的两端部均设置有滑块，滑块滑动设置在导轨上。
4.根据权利要求1所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于所述固定架上连接有 滑块，滑块滑动设置在滑轨上。
5.根据权利要求1所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于所述固定架上连接有 气缸，所述伸缩部件为气缸的活塞杆。
6.根据权利要求5所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于所述气缸与控制机构 连接，所述控制机构与用于控制活塞杆伸缩的开关连接。
7.根据权利要求6所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于所述控制机构为气阀。
8.根据权利要求1所述的测试样品装卸辅助装置，其特征在于所述伸缩部件上连接 有连接支架，连接支架上能够拆卸的连接有修正支架，定位针固定在修正支架上。
专利摘要本实用新型涉及一种测试样品装卸辅助装置，用于测试板，所述的测试板包括测试基座、用于将测试样品锁定在测试基座上的压紧机构，该辅助装置包括导轨，滑动设置在所述导轨上的滑轨，滑动设置在所述的滑轨上的固定架；连接在固定架上的伸缩部件、连接在伸缩部件上的用于开启压紧机构的定位针，所述定位针的数目与一个测试基座所对应的压紧机构的数目相等。由于本辅助装置的使用，使得测试样品的装载和卸载十分方便灵活快捷，一位工程师便能独立完成，而不用两人协作，可以提高企业的生产效率。
文档编号G01R31/00GK201611371SQ201020033228
公开日2010年10月20日 申请日期2010年1月19日 优先权日2010年1月19日
发明者刘云海, 李刚, 郑鹏飞 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司