专利名称：X射线衍射方法以及使用该方法的便携式x射线衍射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及使X射线管产生的连续波长的X射线照射试样来进行材料分析的X射线衍射方法以及使用该方法的便携式X射线衍射装置。
背景技术：
X射线衍射法，作为未知结晶试样的材料鉴定、大的试样的一部分或者搭载在各种基板上的试样的测定方法，已经确立了其使用方法。与此相伴，对目前在建筑物中使用的分析装置也可以在室外使用的测量装置的要求变强。由于近年来的电子技术的发展，电源、控制电路已经小型、轻量、低功耗化。但是在通常的X射线衍射法中，存在当试样位置偏离预定的位置时，测定精度或灵敏度恶化的问题，使用被称为测角镜的机械式测角器进行试样位置在预定的位置这样的X射线衍射测定。关于现有方法，例如在非专利文献I中记载的那样，开发了使用在特定的配置中可动地维持试样、X射线源、检测器的测角器(测角镜)的测量装置。另一方面，在专利文献I中记载了以特定部分X射线衍射的测量为目的的便携式X射线衍射装置。另外，在非专利文献2中记载了使用可进行X射线光子的能量分析的X射线检测器的、没有X射线测角器的X射线衍射测定方法。现有技术文献专利文献专利文献1:美国专利第7646847号非专利文献非专利文献1:Jenkins&Snyder, Introduction to X-ray PowderDiffractometry,1996，John Wiley&Sons, Inc. ppl78_203非专利文献2!International Center for Diffraction Data2003，Advances inX-ray Analysis, Vol. 14pp98_10
发明内容
发明要解决的课题一般，X射线衍射的测定通过X射线检测器测定与X射线衍射角度对应的X射线衍射强度，因此需要针对各角度移动试样、检测器的角度和位置来进行测定。因此，为了保持X射线源、检测器，确保角度移动的精度，机械式的测角器必然需要重量，难以作为便携式X射线衍射装置使用。另外，不需要角度移动的能量分析型X射线衍射装置的X射线检测器为大型，并且为了确保X射线衍射测定精度，进行了试样检测器间离开距离等设定，在重量以及尺寸上难以构成便携式X射线衍射装置。非专利文献1中记载的测角器是机械式，难以实 现小型化、轻量化。另外，在专利文献I中记载的装置中，需要使用用于将装置设置在试样上的夹具以及多个二维检测器的复杂结构的装置。并且，在非专利文献2中记载的无X射线测角器的X射线衍射测定方法中，需要将X射线检测器冷却到液氮温度，需要大型的制冷剂容器，并且为了得到测量精度，成为将试样检测器间隔开距离的结构，未必能够作为便携式X射线衍射装置使用。本发明是鉴于上述现有技术中的问题点而提出的，其目的在于提供实现小型且轻量的X射线衍射装置，即使在通过人力保持的使用条件下也能够取得充分稳定的精度数据的X射线衍射方法以及使用了该方法的便携式X射线衍射装置。用于解决课题的手段如上所述，本发明是鉴于可通过人力保持的小型、轻量的便携式X射线衍射装置的实现而达成，尤其基于以下所述的发明者的见解。即，在进行X射线衍射测量时，以往能够在可靠保持入射X射线和试样以及衍射X射线的位置关系的条件下进行测量。例如使用从X射线管放射的特性X射线(对阴极为Cu时，K α I的波长为O. 154056nm)来测量来自试样的衍射X射线。该测量条件基于布拉格法则，为了准确保持X射线管和试样以及X射线检测器的位置关系，使用了被称为测角镜的机械式的角度设定仪。该机械式测角镜重量大， 作为通过人力保持来进行测定的装置必不适当，因为通过人力保持，因此理想的是试样位置的偏离不影响测定，不使用测角镜来构成的X射线衍射方法以及使用该方法的X射线衍射装置。为了达成上述目的，在本发明中，使便携式X射线衍射装置构成为具备对试样照射平行的X射线的X射线照射单元；对由通过该X射线照射单元被照射了 X射线的试样衍射的X射线中的平行分量的衍射X射线进行会聚来检测的衍射X射线检测单元；以及对从检测出衍射X射线的所述衍射X射线检测单元输出的信号进行处理的信号处理单元。另外，为了达成上述目的，在本发明中提供了一种X射线衍射方法，其对试样照射平行的连续波长的X射线，从由被照射了该X射线的试样衍射的衍射X射线中提取平行分量，会聚该提取的衍射X射线的平行分量，通过能量分散型检测元件检测该会聚的衍射X射线，对通过该检测元件检测而得的信号进行处理。另外，为了达成上述目的，在本发明中提供了一种X射线衍射方法，其对试样的照射X射线的部位进行摄像，显示该摄像的试样的照射X射线的部位的图像，通过X射线管产生连续波长的X射线，将通过X射线管产生的X射线平行化，从斜向照射显示了图像的试样的照射X射线的部位，从由被照射了该X射线的试样衍射的X射线中选择平行的分量并使其会聚，通过检测元件检测该选择并会聚的衍射X射线，对通过该检测元件检测出的信号进行处理。发明效果根据本发明，实现了可通过人力携带保持的大小、重量的X射线衍射装置，并且提供可以通过显示器观察大型试样的特定部分的显微镜图像的同时进行X射线衍射测量，并且即使是表面凹凸位置易偏离的试样，也能够稳定地进行特定部分的X射线测量的X射线衍射方法以及使用该X射线衍射方法的便携式X射线测量装置。
图1是表示便携式X射线衍射装置的概要结构的主视图。图2是说明与X射线衍射装置中的试样位置的变化对应的衍射X射线的位置变化的图。图3是说明在X射线衍射装置中，通过受光光学元件检测的衍射X射线角度幅度和入射到X射线检测器的受光直径的缩小的图。图4是说明在上述实施例的便携式X射线衍射装置中的X射线衍射测量模块的图。图5是说明在上述实施例的便携式X射线衍射装置中的X射线发生装置(X射线管)的高压电源安装方法的图。图6是说明便携式X射线衍射装置的X射线发生装置(X射线管)的高压电源安装方法的图。图7是说明在上述实施例的便携式X射线衍射装置中，减轻X射线发生装置(X射线管)的重量的方法的图。图8是表示X射线检测器的检测信号的一例的曲线图。
具体实施例方式以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。图1是表示作为本发明的实施例的便携式X射线衍射装置100的整体结构的图。在X射线照射部20侧的箱筒21的内部内置有X射线发生用X射线管1、X射线遮光器2、试样照射用X射线光学元件3、X射线透过用窗22，在X射线检测部30侧的箱筒31的内部内置有X射线透过窗32、衍射X射线受光光学元件4、X射线检测器5。而且，在箱体部50中搭载有试样观测部6、X射线发生用高压电源7、检测器信号处理部8、高压电源以及遮光器开闭控制部9、数据处理以及显示控制部10、蓄电部11、电源电缆12、手柄13、遮光器开闭开关14以及折叠式数据显示部15。X射线照射部20侧的箱筒21和X射线检测部30侧的箱筒31相互在空间上连接，分别被安装在箱体部50上。另外，通过未图示的真空排气单元将X射线照射部20侧的箱筒21和X射线检测部30侧的箱筒31的内部排气为真空。而且，在X射线照射部20侧的箱筒21和X射线检测部30侧的箱筒31的试样200侧的面上安装用于防止向外部泄露从X射线照射部20侧对试样200照射的X射线的环状的防X射线屏蔽试样接触部40，接触部41与试样200接触，防止向外部泄露X射线。在上述结构中，通过遮光器开闭开关14进行X射线遮光器2的开闭，由此进行通过X射线发生用X射线管I发生的X射线对试样的照射的开/关。在通过遮光器开闭开关14使遮光器2为开的状态下，使通过X射线发生用X射线管I发生的X射线透过试样照射用X射线光学兀件3,照射试样200。试样照射用X射线光学元件3具有使通过X射线发生用X射线管I发生的X射线平行化后照射试样200的作用，在本实施例中使用了具有与X射线发生用X射线管I的X射线焦点16同样大小的开口的狭缝。该试样照射用X射线光学元件3可以是平行管类型的单毛细管，也可以是将平行管类型的单毛细管捆扎多个而形成的多毛细管型的元件。由被照射了 X射线的试样反射(也包含散射)的X射线的一部分入射到衍射X射线受光光学元件4，到达X射线检测器5。在衍射X射线受光光学元件4中使用了将平行管类型的单毛细管捆扎多个而形成的多毛细管型的元件。入射到该多毛细管型衍射X射线受光光学元件4的由试样200反射的X射线的平行分量透过多毛细管型衍射X射线受光光学元件4，入射到具有X射线的能量分辨率的X射线检测器5，测量来自试样的衍射X射线。在此，多毛细管型衍射X射线受光光学元件4被形成为将出射的X射线会聚在X射线检测器5的检测面(未图示)上。通过X射线检测器5检测X射线而得的模拟信号，通过检测器信号处理部8进行可数据处理的数字化，进行数据处理并通过显示控制部10进行处理，将其结果显示在折叠式数据显示部15上。另外，用图中的单点划线a以及b表示本实施例的便携式X射线衍射测量装置100的X射线衍射测量的X射线的光轴中心。图1所示的本实施例中，在图2中相对于X射线衍射测量的X射线的光轴的中心a，试样100的位置理想地是S的位置。在通过人手保持的便携式X射线衍射测量装置100的实际的测量中，难以将试样200持续保持在理想位置，如图2所示，设想以L表示的量变化(偏离)。此时产生衍射的试样200的位置为从SI到S2之间(变化宽度L)。此时，在X射线检测部30侧没有图1所示的多毛细管型衍射X射线受光光学元件 4，假设由试样100反射的X射线沿角度Θ 2的方向前进，则通过下式(公式I)表示用于检测衍射X射线的受光光学元件5’的截面上的衍射X射线的光轴中心b的偏离宽度DmDtl=LXsin ( Θ 1+Θ 2)/sin (( Θ 1+Θ 2)/2) (公式 I)在此，Θ I是试样照射用X射线光学元件3的向试样的入射角度，Θ 2是由试样衍射的X射线的出射角度。Θ1和Θ 2都设定在10° 60°的范围内。如果将入射X射线的光束直径设为d，则为了即使试样位置偏移L也能够稳定地测量衍射X射线，必须使X射线检测器5’的受光面大于下式(公式2)所示的数值D1。D1=(W)=d+LXsin ( Θ 1+Θ 2)/sin (( Θ 1+Θ 2)/2) (公式 2)然后，使用图3说明用于向在图1所示的衍射X射线受光光学元件4中取入衍射X射线束的X射线检测部30的原理的一部分。在本实施例中，作为衍射X射线受光光学元件4使用将平行管类型的单毛细管捆扎而形成的具有平行部分的多毛细管。多毛细管可以利用平滑的玻璃细管内面的X射线的全反射来变换X射线束的形状。石英玻璃的全反射临界角根据X射线的波长(能量)而不同，但是，对应于X射线波长O. 083nm、能量15keV约为O. 125 度(2. 2mrad)0在图3中，将玻璃管内壁直径为200nm的单毛细管集成束状而形成的多毛细管4时，以全反射临界角的角度入射到多毛细管4的X射线以约IOOym进行一次全反射，在图3的Tl长度IOmm的平行多毛细管4中产生100次全反射。此时，如果假设全反射的反射率为O. 99，则以O. 125度从多毛细管4的入射端401侧入射的X射线在多毛细管内部大部分被吸收。以作为全反射临界角的一半的O. 06度左右入射的X射线，全反射次数为一半即50次，来自多毛细管的出射强度约为50%。因此，入射角度和出射角度的关系为图4所示的分布。X射线的波长比O. 083nm短(能量高于15keV)的X射线，如果不以更小的入射角度入射则无法通过平行多毛细管。另一方面，即使是长波长(低能量)的X射线，反射率也为相同程度，因此无法以反射次数增多的大入射角度通过平行多毛细管。因此，将玻璃管内壁直径为200nm、长度为IOmm的单毛细管集成束状而形成的多毛细管4仅可以选择角度发散为O. 12度左右的平行的X射线束。基于这样的多毛细管4的准直仪的动作，可以是通常的叠层型准直仪的动作，也可以使用小型化的叠层型准直仪。该多毛细管4的出射端402侧如后述那样，从多毛细管4的出射端402出射的X射线在X射线检测器5的检测面上会聚，可以使检测面的大小小于D1,因此，与图2说明的结构相比，实现了 X射线检测器5的小型化。接着，在图3中说明在本发明的实施例中使用的平行毛细管型衍射X射线受光光学元件4的设计。X射线受光光学元件4的入射端401侧的开口直径DJg据上述(2)式来求出，但是当将实用的尺寸即X射线束直径(d)设为1_，将试样位置的偏离(L)设为±2_时，受光光学系统的入射端401侧的开口直径(D1)需要为约9_左右。作为X射线检测器5，将作为能量分散型检测器的硅漂移型半导体检测器(SDD)中直径为IOmm的检测器产品化，可以获得该检测器，因此，可以在平行多毛细管的一端作为X射线检测器而直接安装SDD来使用。在此，使用了利用多毛细管的特征进行X射线检测器5的直径的缩小的受光光学元件。在上述的X射线波长为O. 083nm、能量为15keV的情况下,石英表面的全反射临界角为O. 125度(2. 2mrad),因此，通过一次的全反射可以成为约O. 25度的反射角。当使多毛细管从受光部(X射线的入射侧)平滑地以旋转椭圆面形状缩小直径时，可以通过在多毛细管内壁的全反射缩小衍射X射线的直径。当设进行20次全反射，以直线平均进行约5度的口径缩小时，在从平行多毛细管部分延长T2=24mm的部分，出射端402侧的开口直径约为6mm，可以会聚入射到直径IOmm的入射端401的衍射X射线，使其从出射端402出射。此时，如果将全反射的反射率设为O. 99，则X射线强度的降低不过约为20%。通过使用这样的缩小光学元件，作为X射线检测器5，可以代替直径IOmm的检测器(面积80mm2)而使用计算上直径6mm (面积25mm2)的检测器。目前大型的硅漂移半导体检测器价格高，能量分辨率的特性也是小型检测器优良，因此利用小型光学元件更有利。而且，如果设将截面形成为旋转椭圆面形状的出射端402侧的T2=50mm，则将出射端402侧的开口直径设为约2_，可以使用标准量产的面积7_2 (直径3_)的廉价的检测器。在此所示的计算值使用全反射临界角度，但是在本发明的实施例中，设为长度为50mm、具有将入射端401侧的开口直径IOmm在出射端402侧缩小为5mm的平滑的旋转椭圆面形状的多毛细管。该多毛细管只要是会聚入射的X射线后出射到X射线检测器5侧即可，因此，关于形状，不需要与焦点关联，能够设为平滑的二维曲面形状。然后，使用图5说明在本发明的实施例中使用的X射线发生用X射线管1、X射线发生用高压电源7以及高压电源以及遮光器开闭控制9。在X射线发生用X射线管I中使用了陶瓷绝缘的小型X射线管。也可以使用玻璃管型。如果整体电路结构为阳极(对阴极)接地型，则使用了热阴极时需要高压绝缘型的灯丝变压器，但是，对于阴极接地型则不需要高压绝缘型的灯丝变压器，因此有利于轻量化，在本实施例中设为阴极接地型。在这种情况下，通过X射线发生用X射线管I发生的热(10W)经由高压绝缘材料，通过热传导由X射线测量装置本体散热。在X射线发生用高压电源7中使用了 12级的全波整流科克罗夫-瓦耳顿高压升压整流电路70。通过压电变压器71向科克罗夫-瓦耳顿高压升压整流电路70进行高频电力供给。通过单一的压电变压器71进行4kV_10W的供给。压电变压器71的工作频率约为SOkHz0从高压电源以及遮光器开闭控制部9以±24V的高频进行对压电变压器71的电力供给。在高压电源以及遮光器开闭控制部9中，根据80kHz的高频发信号电路91和X射线发生用X射线管I的施加电压施加负反�。ü荽硪约跋允究刂撇�10控制成为从外部设定的电压。
另外，在高压电源以及遮光器开闭控制部9中包含用于控制X射线发生用X射线管I的电流的灯丝电流控制部92和X射线遮光器用的开关电路93。X射线发生用X射线管I以及X射线发生用高压电源7—体地模铸在高压电源安全屏蔽罩77中，高压电源安全屏蔽罩77的外部端子全部为24V以下的电压，实现了使用、生产以及调整、检查作业的安全。在此，为了小型轻量化而使用了压电变压器72，但是也可以使用稍微增加重量也可以的高频线圈变压器。然后，使用图6说明X射线发生用高压电源7的构造。X射线发生用高压电源7，通过在陶瓷基板75上使用芯片电容器73、芯片二极管74、图6中未记载的芯片寄存器而形成。这些芯片部件使用表面安装用的部件，小型地构成。将科克罗夫-瓦耳顿高压升压整流电路70的一级设定为4kV，因此，将两个4kV耐压的芯片电容器73和2kV耐压的芯片二极管74串联构成桥电路72，成为12倍全波整流电路。因此，在本发明的实施例中，以最大施加电压48kV，设额定使用电压和电流为40kV-0. 25mA。进而在需要高电压的情况下，可以通过增加倍级数来应对。X射线发生用高压电源7在陶瓷基板75的背面搭载电压负反馈控制用的电压分割用芯片寄存器(未图示)，并且安装压电变压器78。压电变压器78为薄长方形的诗笺形状，因此，最适合小型的安装。另外，与电磁高频变压器比较，在小型装置中采用时从电磁噪声的观点来看也有优势。但是，其原理上进行高频(80kHz)的振动，因此，放入特氟龙(注册商标)产的箱体77内，然后安装在基板上。然后，使用图7详细说明使用了本实施例的X射线衍射测定。如图7 (a)所示，在X射线发生用X射线管I的X射线焦点16发生的X射线通过试样照射用X射线光学元件3，并且通过图7 (b)所示的在防X射线屏蔽部40的试样面侧设置的试样照射X射线透过窗22，照射试样200。此时，与试样200的接触部41由钨(W)、钽(Ta)或铅(Pb)等重金属构成，与试样密接，由此可以消除X射线的泄露。而且，为了提高使用时的安全性，与试样的形状匹配地将图中未记载的掺入重金属的树脂片设置在其外侧，防止X射线泄露。并且成为如下的安全构造，即在根据通过图中未记载的无触点开关和试样观察用开口 42进行光学的测量的试样观察部6的数据，确认防X射线屏蔽部40的接触部41是否与试样接触的基础上，通过遮光器开闭开关14的开/关来控制X射线的照射。照射到试样200的X射线的一部分作为衍射X射线透过衍射X射线检测透过窗32，入射到衍射X射线受光光学元件4，导入X射线检测器5测定X射线衍射数据。本实施例的情况下，在X射线发生用X射线管I中使用钥(Mo)的对阴极，将试样照射X射线角度(Θ I)和衍射X射线取出角度(Θ2)设为20度，将可测定的d值设为0.7nm 0.07nm。此时使用的X射线的波长范围为O. 5nm O. 07nm。O. 5nm的波长的X射线(2. 4keV)等O. 3nm以上的波长的X射线在大气中容易被吸收，因此，X射线照射部20侧的箱筒21和X射线检测部30的箱筒31通过未图示的单元，内部被进行真空排气。在本实施例的情况下，虽然为完全的真空开封构造，但是，也可以不是完全的真空开封而仅在要使用时通过泵进行排气。在本实施例中，在X射线照射部20侧的箱筒21以及X射线检测部30的箱筒31和防X射线屏蔽部40的接触部41之间，以及X射线照射部20侧的箱筒21以及X射线检测部30的箱筒31和箱体50之间保持旋转可动。由此，在进行试样测定时，能够通过手动旋转箱体50将测定数据显示在折叠式数据显示部15上。由此，通过在旋转的同时继续测量，能够取得平均化后的数据，能够进行准确稳定的测量。而且，可以确定特定的衍射图案出现的方向，可以测定在试样中产生X射线衍射的结晶如何取向。图8表示从检测出衍射X射线的X射线检测器5输出的检测信号的例子。在本实施例中，作为X射线检测器5使用能量分散型的SDD。SDD是一个像素的传感器，因此使从试样200在衍射角Θ 2方向衍射的X射线入射到多毛细管4的大直径的入射端4 01，并使其会聚成X射线检测器5的像素大小程度来检测，在提高检测灵敏度方面有效。在接受了图8所示的检测信号的检测信号处理部8中对信号进行处理，计算试样200的晶格间隔。试样200的结晶面的间隔d和峰值波长λ的关系通过布拉格条件式表示为2dsin Θ = λ (公式 3)在此，Θ为X射线的入射角。另一方面，波长λ (nm)和能量E (keV)之间具有如下关系λ =12. 4/Ε (公式 4)因此，将公式2代入公式I中，将X射线的入射角度Θ设为30°时，表示为如下，d=12. 4/E (公式 5)因此，根据图8所示的检测信号使用公式5的关系，可以求出结晶面间隔d。使用该求出的结晶间隔d的数据，可以根据内部应力和结晶间隔的关系求出试样200的内部应力。在此，作为X射线管I的阳极对阴极使用钥(Mo)时，可以检测3 15keV的能量范围的X射线，因此，通过公式5可以在试样200的结晶面的间隔d为O. 41 O. 083nm的范围内进行检测。另外，作为X射线的阳极对阴极使用银(Ag)时，可以检测3 20keV的能量范围的X射线，因此通过公式5可以在试样200的结晶面的间隔d为O. 41 O. 062nm的范围内进行检测。根据本实施例，可以通过多毛细管型的光学元件从被照射了 X射线的试样发生并入射到X射线检测部30的箱筒31的衍射X射线中提取平行分量，因此，即使试样表面的高度变化也能够可靠地检测衍射X射线的平行分量，容易向试样安装便携式X射线衍射装置，能够使用便携式X射线衍射装置高效地进行试样分析。并且，容许试样表面的高度在某程度的范围内变化，因此，也能够对表面粗糙的试样、表面柔软有起伏的试样进行分析。另外，因为通过多毛细管型的光学元件会聚衍射X射线来进行检测，因此可以将X射线检测器小型化，可以使便携式X射线衍射装置更加小型轻量化。产业上的利用可能性本发明可以在使用了对试样照射X射线管发生的连续波长的X射线来进行材料的分析的X射线衍射方法的便携式X射线衍射装置中使用。符号说明I X射线发生用X射线管；2 X射线遮光器；3 :试样照射用X射线光学元件；4 :衍射X射线受光光学元件；5 :X射线检测器；6 :试样观察部；7 :X射线发生用高压电源；8 :检测器信号处理部；9 :高压电源以及遮光器开闭控制部；10 :数据处理以及显示控制部；11 蓄电部；12 :电源电缆；13 :手柄；14 :遮光器开闭开关；15 :折叠式数据显示部；20 :X射线照射部；21 :箱筒；22 :试样照射X射线透过窗；30 :X射线检测部；31 :箱筒；32 :衍射X射线检测透过窗；40 :防X射线屏蔽试样接触部；42 :试样观察用开口 ；50 :箱体部；77 :高压电源安全屏蔽罩。
权利要求
1.一种便携式X射线衍射装置，其特征在于， 具备 从方向对试样照射平行的X射线的X射线照射单元； 对由通过该X射线照射单元被照射了 X射线的试样衍射的X射线中的平行分量的衍射X射线进行会聚来检测的衍射X射线检测单元；以及 对从检测出所述衍射X射线的所述衍射X射线检测单元输出的信号进行处理的信号处理单元。
2.根据权利要求1所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 还具备 对所述试样的照射所述X射线的部位进行摄像的摄像单元；以及 显示该摄像而得的图像的显示单元。
3.根据权利要求1所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 所述X射线照射单元具备 产生连续波长的X射线的X射线管； 开闭通过该X射线管产生的X射线的光路的遮光器单元； 将通过所述X射线管产生的X射线平行化后从斜向照射试样的照射光学单元；以及 内置所述X射线管、所述遮光器单元和所述照射光学单元的X射线照射部箱筒。
4.根据权利要求3所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 所述照射光学单元由狭缝或者多毛细管形成。
5.根据权利要求1所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 所述衍射X射线检测单元具备 使由通过所述X射线照射单元被照射了 X射线的上述试样衍射的X射线入射后对平行分量进行会聚的受光光学元件； 检测通过该受光光学元件会聚的衍射X射线的检测光学元件；以及 内置所述受光光学元件和所述检测光学元件的X射线检测部箱体。
6.根据权利要求5所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 所述受光光学元件由多毛细管构成，平行地形成该多毛细管的来自所述试样的衍射X射线入射侧，将出射所述衍射X射线的一侧的截面形成得小于所述入射侧的截面。
7.根据权利要求5所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 所述检测光学元件由能量分散型检测器构成。
8.根据权利要求7所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于， 所述能量分散型检测器是硅漂移型半导体检测器(SDD)。
9.一种X射线衍射方法，其特征在于， 对试样照射平行的连续波长的X射线， 从由被照射了该X射线的所述试样衍射的衍射X射线中选择平行分量，会聚该选择的衍射X射线的平行分量， 通过能量分散型检测元件检测该会聚的衍射X射线， 对通过该检测元件检测而得的信号进行处理。
10.根据权利要求9所述的X射线衍射方法，其特征在于，使用狭缝或多毛细管形成所述平行的连续波长的X射线。
11.根据权利要求9所述的X射线衍射方法，其特征在于， 使由所述试样衍射的X射线入射到多毛细管，使入射到该多毛细管的衍射X射线中的平行分量的衍射X射线从比所述多毛细管的所述衍射X射线入射侧直径小的出射侧出射，由此，从由所述试样衍射的X射线中选择平行的分量并使其会聚。
12.—种X射线衍射方法，其特征在于， 对试样的照射X射线的部位进行摄像， 显示该摄像的试样的照射X射线的部位的图像， 通过X射线管产生连续波长的X射线， 将通过该X射线管产生的X射线平行化，从斜向照射显示了所述图像的试样的照射X射线的部位， 从由被照射了该X射线的试样衍射的X射线中选择平行的分量并使其会聚， 通过检测元件检测该选择并会聚的衍射X射线， 对通过该检测元件检测出的信号进行处理。
13.根据权利要求12所述的X射线衍射方法，其特征在于， 使用狭缝或多毛细管将通过所述X射线管产生的X射线平行化。
14.根据权利要求12所述的X射线衍射方法，其特征在于， 使由所述试样衍射的X射线入射到多毛细管，使入射到该多毛细管的衍射X射线中的平行分量的衍射X射线，从比所述多毛细管的所述衍射X射线入射的一侧直径小的出射侧出射，由此，从通过所述试样衍射的X射线选择平行的分量。
15.根据权利要求12所述的X射线衍射方法，其特征在于， 通过能量分散型检测元件检测所述选择并会聚的衍射X射线。
全文摘要
本发明为了提供一种可通过人力保持，可进行测定位置的图像确认的便携式X射线衍射测量装置，使便携式X射线衍射装置构成为具备从斜向对试样照射平行的X射线的X射线照射单元；对通过该X射线照射单元被照射了X射线的试样衍射的X射线中的平行分量的衍射X射线进行会聚来检测的衍射X射线检测单元；以及对从检测出衍射X射线的所述衍射X射线检测单元输出的信号进行处理的信号处理单元，并提供了对试样照射平行的连续波长的X射线，从被照射了该X射线的试样衍射的衍射X射线提取平行分量，对该提取出的衍射X射线的平行分量进行会聚，用能量分散型的检测元件检测该会聚而得的衍射X射线，对用该检测元件检测而得的信号进行处理的X射线衍射方法。
文档编号G01N23/207GK103026215SQ201180036808
公开日2013年4月3日 申请日期2011年7月28日 优先权日2010年7月28日
发明者中野朝雄, 上地义德 申请人:株式会社理学
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
