专利名称：测试�？�、测试装置及测试方法
技术领域：
本发明涉及测试�？椤⒉馐宰爸眉安馐苑椒�。本发明尤其涉及由被测试设备输出 端子输出的输出信号相对于输入信号的相位进行修正的测试�？�、测试装置及测试方法。 本申请与下述的日本申请相关联。对于承认通过文献引用编入申请的指定国，通过引用将 下述申请中记载的内容编入本申请，作为本申请的一部分。日本专利申请2008-152191 申请日2008年06月10日
背景技术：
测试装置根据测试程序对作为测试对象的被测试设备(DUT =Device Under Test) 进行测试。测试程序包括在每个命令周期中，测试装置应执行的命令，以及与对被测试设 备的各端子输出的测试图案或从被测试设备的各端子输出的输出图案进行比较的期待值 图案。利用被测试设备，有时对从输入测试图案到对应该测试图案而输出了输出图案为 止的周期数会有未进行规定或者不固定。在将上述被测试设备输出的输出图案与期待值图 案进行比较时，优选测试装置具有下述比较功能，即检出被测试设备输出的预设的标头图 案，对在从标头图案开始到规定周期后输出的比较对象的输出图案与期待值图案进行比较 (搜索功能))。例如专利文献1中，公开了通过使输出图案列的输出与期待值图案列的读出同步 来进行比较的测试装置及测试方法。该测试装置包括执行指示标头图案列的检出开始的 检出开始命令时，检出被测试设备是否输出了标头图案列的标头图案检出部；在已检出标 头图案列的情况下，使期待值图案和输出图案同步，并在同一周期内输入期待值比较部的 定时调整部。专利文献1 特开2006-10651号公报在现有技术中，以实现搜索功能为目的的DUT输出的相移，是将标头图案输入 DUT，积累来自DUT的输出图案，并检出与标头图案对应的规定图案。这里，来自DUT的输出 图案的积累量，要求至少在标头图案的长度以上，还附加要求充分超过所需相移量的搜索 延时。同时实施对标头图案的长度加上搜索延时的全比特一致检出时，在搜索延时增大的 情况下，会产生一致检出电路的并联数变大、电路规模增大的问题。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的第1实施方式中提供一种测试�？椋ú馐酝及� 生成部，其生成给予被测试设备的测试图案；期待值图案生成部，其在将测试图案给予被测 试设备时，生成作为被测试设备显示的响应而期待的期待值图案；图案比较部，其通过将测 试图案给予被测试设备而对被测试设备所输出的输出图案与期待值图案进行比较；规定图 案检出部，其在将规定的测试图案给予被测试设备时，从输出图案检出作为对规定的测试 图案的响应而输出的规定图案；定时检出部，其检出规定图案被检出的定时；相位调整部，4其根据定时检出部所检出的定时，调整输出图案的相位使之符合期待值图案的相位。另外，提供一种测试�？椋ü娑ㄍ及讣斐霾浚浯邮涑鱿煊Ρ桓璧牟馐酝� 案的输出图案的被测试设备，检出作为规定的测试图案的响应而输出的规定图案；定时检 出部，其检出规定图案被检出的定时；相位调整部，其根据定时检出部所检出的定时，调整 输出图案的相位，使作为对测试图案的被测试设备显示的响应符合所期待的期待值图案的 相位。规定图案检出部还可包括将输出图案的数据作为输入数据依次存储的输入数据 存储部；检出输入数据存储部中存储的输入数据与规定图案一致的一致检出部；依次存储 一致检出部的检出结果的结果存储部。输入数据存储部可在每个检出周期存储输入数据， 一致检出部可在每个检出周期检出输入数据与规定图案的一致，结果存储部可在每个检出 周期依次存储检出结果。定时检出部，可在结果存储部中存储的每个检出周期的检出结果 中，检测出从显示检出结果为一致的结果存储部的比特位置检出规定图案的定时。输入数 据存储部可以是级数相当于规定图案长度的闩锁电路，一致检出部可以是并联数相当于规 定图案长度的比较电路，结果存储部可以是级数相当于规定图案的最大延时的管线电路。本发明的第2实施方式提供一种测试装置，包括测试图案生成部，其生成给予被 测试设备的测试图案；期待值图案生成部，当将测试图案给予被测试设备时，生成作为被测 试设备显示的响应所期待的期待值图案；图案比较部，其通过将测试图案给予被测试设备 而对被测试设备输出的输出图案与期待值图案进行比较；规定图案检出部，其在给予被测 试设备规定的测试图案时，从输出图案检出作为对规定的测试图案的响应而输出的规定图 案；定时检出部，其检出规定图案被检出的定时；相位调整部，其根据定时检出部检出的定 时，调整输出图案的相位使之符合期待值图案的相位。另外，还提供了具有上述测试模块的测试装置。本发明的第3实施方式中，提供一种测试方法，包括测试图案生成步骤，生成给 予被测试设备的测试图案；期待值图案生成步骤，在将测试图案给予被测试设备时，生成作 为被测试设备显示的响应而期待的期待值图案；图案比较步骤，通过将测试图案给予被测 试设备，将被测试设备所输出的输出图案与期待值图案进行比较；规定图案检出步骤，在对 被测试设备给予规定的测试图案时，从输出图案检出作为对应规定的测试图案的响应而输 出的规定图案；定时检出步骤，检出规定图案被检出的定时；相位调整步骤，根据定时检出 步骤所检出的定时，调整输出图案的相位使之符合期待值图案。另外，还提供一种测试方法，包括规定图案检出步骤，检出从输出响应被给予的 测试图案的输出图案的被测试设备，作为规定的测试图案的响应而被输出的规定图案；定 时检出步骤，检出规定图案被检出的定时；相位调整步骤，根据在定时检出步骤中检出的定 时，调整输出图案的相位，使作为对测试图案的被测试设备显示的响应符合所期待的期待 值图案的相位。规定图案检出步骤可包括作为输入数据依次存储输出图案的数据的输入数据存 储步骤，对输入数据存储步骤存储的输入数据和规定图案进行一致检出的一致检出步骤， 以及在结果存储部依次存储一致检出步骤的检出结果的结果存储步骤。输入数据存储步骤 在每个检出周期存储输入数据，一致检出步骤在每个检出周期对输入数据和规定图案进行 一致检出，结果存储步骤在结果存储部依次存储每个检出周期的检出结果。定时检出步骤，可在结果存储步骤中存储的每个检出周期的检出结果中，从显示检出结果一致的结果存储 部的比特位置，检出规定图案被检出的定时。上述的发明概要并未列举本发明的全部必要特征。另外，这些特征、特征群的次级 组合也可构成发明。
图1表示测试�？�10的构成。图2表示搜索/比较部148的构成。图3表示标头图案检出部210的一例。图4表示比较期待值图案列及输出图案列的处理定时的示意图。附图标记10测试�？�100DUT102主存储器104命令存储器106测试图案存储器108期待值图案存储器110数字捕捉存储器112中央图案控制部114图案列表存储器116向量生成控制部120中央捕捉控制部122图案结果存储器130信道块140信道图案生成部142时序图案生成部144格式控制部146时序图案生成部148搜索/比较部150失效捕捉控制部152失效捕捉存储器160定时生成部170驱动器180比较器200标头图案存储部210标头图案检出部220校准部230期待值比较部240定时调整部
250选择器260错误通知部310输入数据存储部320 一致检出部330结果存储部340结果选择部350选择结果存储部
具体实施例方式下面通过发明的实施方式说明本发明，下面的实施方式并不限定本发明的权利要 求范围。并且，实施方式中说明的特征的组合的全部并非是发明的解决手段所必须的。图1是测试�？�10的构成示意图。测试�？�10为测试具有一个或多个端子的 DUT100的测试装置，其包括主存储器102、中央图案控制部112及多个信道块130。主存储器102存储DUT100的测试程序，作为执行测试程序的结果，记录DUT100输 出的输出图案。主存储器102包括命令存储器104、多个测试图案存储器106、多个期待值 图案存储器108及数字捕捉存储器110。命令存储器104存储包含在测试程序中的各命令。多个测试图案存储器106分别 对应于DUT100的各端子而设置，与各命令对应，针对每个端子存储执行该命令的命令周期 期间中使用的测试图案列。此处，测试图案列包括应该在命令周期期间中，针对DUT100的端子依次输出的多 个测试图案。例如，测试�？�10对DUT100输出每1命令周期的32比特的信号时，测试图 案存储器106对应于各命令，存储包括与1命令周期期间中输出的32比特的信号对应的32 个测试图案的测试图案列。多个期待值图案存储器108分别对应DUT100的各端子设置，对应各命令，存储在 执行该命令的命令周期期间中使用的期待值图案列。此处，期待值图案列包括应与多个输 出图案依次比较的多个期待值图案，该多个输出图案在命令周期期间中从DUT100的端子 依次输出。数字捕捉存储器110执行测试程序，记录DUT100输出的输出图案。上述的命令存储器104、多个测试图案存储器106、多个期待值图案存储器108，和 /或数字捕捉存储器110，既可与构成主存储器102的其他存储器�？榉挚柚茫部勺魑� 同一存储器模块内的不同的记忆区域而设置。中央图案控制部112连接主存储器102及多个信道块130，在DUT100的各端子进 行共同的处理。中央图案控制部112具有图案列表存储器114、向量生成控制部116、中央 捕捉控制部120及图案结果存储器122。图案列表存储器114，对于各个测试程序的主程序或各子程序，存储命令存储器 104中该程序的开始/结束地址、测试图案存储器106中的测试图案的起始地址、期待值图 案存储器108中的期待值图案的起始地址等。向量生成控制部116与时序图案生成部146 都具有作为时序控制部的功能，在每个命令周期中，依次执行DUT100的测试程序中包含的 命令。更具体而言，向量生成控制部116，在每个程序中，依次从图案列表存储器114读出自 起始地址到结束地址为止的各命令，并依次执行。
中央捕捉控制部120从各信道块130接收对DUT100的各端子的好坏判定结果，并 汇集各程序DUT100的好坏判定结果。图案结果存储器122存储各程序DUT100的好坏判定结果。多个信道块130的各分别与DUT100的各端子对应设置。各信道块130包括信道 图案生成部140、定时生成部160、驱动器170及比较器180。信道图案生成部140生成该端子测试中使用的测试图案列及期待值图案列，进行 DUT100的输出图案列及期待值图案列的比较。信道图案生成部140包括时序图案生成部 142、格式控制部144、时序图案生成部146、搜索/比较部148、失效捕捉控制部150及失效 捕捉存储器152。时序图案生成部142与向量生成控制部116都可以作为测试图案生成部发挥作 用。时序图案生成部142生成供给被测试设备DUT100的测试图案。时序图案生成部142 从向量生成控制部116接收应对应执行程序输出的测试图案列的起始地址。而后时序图案 生成部142，对应各命令周期从该起始地址依次从测试图案存储器106读出测试图案列，并 依次输出到格式控制部144。格式控制部144将测试图案列变换为用于控制驱动器170的 格式。时序图案生成部146与向量生成控制部116都可以作为期待值图案生成部发挥作 用。在将测试图案提供给被测试设备时，时序图案生成部146生成作为被测试设备显示的 响应而期待的期待值图案。时序图案生成部146，对应执行的程序，从向量生成控制部116 接收期待值图案列的起始地址。而后，时序图案生成部146对应各命令周期，从该起始地址 开始，依次从期待值图案存储器108读出期待值图案，并依次输出到搜索/比较部148及失 效捕捉控制部150。搜索/比较部148，将通过把测试图案给予DUT100，而对DUT100输出的输出图案 和期待值图案进行比较。搜索/比较部148，借助于比较器180，输入DUT100输出的输出图 案列，和期待值图案列进行比较。此处对于从DUT100输出的定时为不固定的输出图案列， 搜索/比较部148可以具有下述搜索功能，即将从DUT100输出规定的标头图案列作为条件 开始与期待值图案列的比较。此时，搜索/比较部148也可将执行了开始检出与标头图案 列一致的输出图案列的检出开始命令作为条件，开始标头图案列的检出。基于搜索功能，搜 索/比较部148例如可根据从开始标头图案列的检出到标头图案列被检出所要时间，调整 输出图案列和期待值图案列的比较定时。失效捕捉控制部150，从搜索/比较部148接收DUT100的输出图案列及期待值图 案列的一致/不一致的信息，生成针对该端子的DUT100的好坏判定结果。失效捕捉存储器 152存储失效信息，所述失效信息包括与由搜索/比较部148的搜索处理的结果或期待值不 一致的输出图案的值等。定时生成部160生成驱动器170输出测试图案列内的各测试图案的定时及比较 器180读取DUT100的输出图案的定时。驱动器170在由定时生成部160指定的定时中，向 DUT100输出通过信道图案生成部140内的格式控制部144输出的各测试图案。比较器180 在由定时生成部160指定的定时中，取得从DUT100的端子输出的输出图案，并提供给信道 块130内的搜索/比较部148及数字捕捉存储器110。并且信道图案生成部140，可代替上述的分别设置时序图案生成部142及时序图案生成部146的结构，而采用具有时序图案生成部142及时序图案生成部146的功能的共 通的时序图案生成部的结构。图2是搜索/比较部148的结构示意图。搜索/比较部148包括标头图案存储 部200、标头图案检出部210、校准部220、期待值比较部230、定时调整部M0、选择器250及 错误通知部沈0。标头图案存储部200存储多个标头图案列。标头图案检出部210根据从 向量生成控制部116接收的信号，判断是否执行了用于指示与标头图案列一致的输出图案 列的检出开始的检出开始命令。此处，检出开始命令包括从标头图案存储部200选择检出 对象的标头图案列的指示。标头图案检出部210优选为规定图案检出部的一例。在对DUT100给予规定的测 试图案时，标头图案检出部210从输出图案检出可作为针对规定的测试图案的响应而输出 的规定图案。在执行检出开始命令时，标头图案检出部210根据检出开始命令，从标头图案 存储部200选择检出对象的标头图案列。另外，标头图案检出部210对于根据检出开始命 令选择的标头图案列，检出是否从DUT100输出与其标头图案列一致的输出图案列。具体而 言，标头图案检出部210从比较器180的输出信号中检出与信号标头图案列一致的输出图 案列。定时调整部240优选具有定时检出部的功能，所述定时检出部检出规定图案被检 出的定时。当与标头图案列一致的输出图案列被检出时，定时调整部240根据从标头图案 列的检出开始到标头图案列被检出为止所经过的时间，在校准部220设定调节输出图案列 的输出定时的参数。例如定时调整部240可在校准部220设定使输出图案列相移的相移量。 通过适当设定该相移量，可使输出图案列及期待值图案列同步。校准部220可为相位调整部的一例。校准部220根据定时检出部检出的定时调整 输出图案的相位，使之与期待值图案的相位一致。校准部220从比较器180输入由DUT100 输出的输出图案列。并且校准部220将输入的输出图案列按照通过定时调整部240设定的 相移量进行相移，并发送到期待值比较部230及选择器250。并且校准部220在未检出标头 图案列时，不必使输出图案列进行相移而原样输出即可。更具体而言，校准部220包括纵向连接的多个触发电路、选择多个触发电路的任 一个输出进行输出的选择器。并且初级触发电路依次输入输出图案列。选择器根据由定时 调整部240设定的相移量，选择任一个触发电路的输出并输出。因此校准部220可使通过 输出图案的触发电路的数量发生改变，并可使输出图案列及期待值图案列的定时相一致。在标头图案列被检出时，期待值比较部230将从校准部220输入的输出图案列与 从时序图案生成部146输入的期待值图案列进行比较，并把比较结果依次发送到选择器 250。在标头图案列被检出时，选择器250输入基于期待值比较部230的比较结果并发送到 失效捕捉控制部150。另一方面，选择器250在未检出标头图案列时，将从校准部220输入 的输出图案列发送到失效捕捉控制部150。在错误通知部260从开始标头图案列的检出到预设的期间内、未检出与其标头图 案列一致的输出图案列时，将标头图案列的检出失败的信息通知给测试�？�10的利用者。 由此，利用者可以及时得知发生不能检出标头图案列的错误，同时，还可以通过调查失效捕 捉存储器152中存储的、到发生错误为止的输出图案列来容易地查找其错误的发生原因。图3为标头图案检出部210的一例示意图。标头图案检出部210具有输入数据存储部310、一致检出部320、结果存储部330、结果选择部340及选择结果存储部350。输入数据存储部310作为输入数据依次存储输出图案的数据。输入数据存储部 310在每个检出周期存储输入数据。输入数据存储部310可以是级数相当于规定图案长度 的闩锁电路。一致检出部320检出输入数据存储部中存储的输入数据与规定图案的一致。一致 检出部320检出每个检出周期的输入数据与规定图案的一致。一致检出部320可以是相当 于规定图案的长度的并联数的比较电路。结果存储部330依次存储一致检出部的检出结果。结果存储部330依次存储每个 检出周期的检出结果。结果存储部330可以是级数相当于规定图案的最大延时的管线电 路。结果选择部340可为定时检出部的一例。结果选择部340在结果存储部330中存 储的每个检出周期的检出结果中，检出从表示检出结果一致的结果存储部330的比特位置 到检出规定图案的定时。结果选择部340在搜索延时部分的处理结束时以检出命令的定时检出标头图案 的前部。例如假定1周期的比特数为40，在从检出命令开始5周期的第4比特检出标头的 前部时，选择结果即相移量变为163UI。并且在多个标头图案被检出时，选择最早的相位的 数据作为检出结果。选择结果存储部350存储结果选择部340选择的选择结果。被选择结果存储部 350存储的选择结果，作为相移量被提供给定时调整部M0。图4为比较期待值图案列及输出图案列处理的定时示意图。向量生成控制部116 通过具有执行命令的命令执行步骤、将输出图案和期待值图案进行比较的比较步骤的多个 步骤的命令执行管线，执行各个命令。更具体而言，在命令执行步骤中，向量生成控制部116 在每个命令周期依次执行下述多个命令即，包括指示标头图案列的检出开始的HiTST命 令、指示其标头图案列的检出结束的I3KTEND命令的多个命令的多个命令。此处I3KTST命令 为检出开始命令的一例，PKTEND命令为检出结束命令的一例。时序图案生成部146针对多个命令中的每一个，从期待值图案存储器108依次读 出该命令对应的期待值图案。例如时序图案生成部146，读出对应H(TST命令的期待值图案 EDl0时序图案生成部146读出对应I3KTST命令的下一个NOP命令的期待值图案ED2。此 处，由于比较步骤晚于命令执行步骤而执行，故在比较步骤的输入期待值图案列的定时，晚 于在命令执行步骤中执行对应的命令的定时。
比较步骤中比较器180，取得从DUT100的端子输出的输出图案并提供给搜索/比 较部148。例如比较器180，依次取得输出图案列D1、D2、D3、…DruDn+1、及Dn+2并提供给 搜索/比较部148。校准部220，按照定时调整部240设定的相移量让该输出图案列相移， 并输出到期待值比较部230。 更具体而言，定时调整部240通过在校准部220设定适当的相移量，在比较步骤中 输入期待值图案列ED1、ED2、及ED3的定时中，进行使应该与ED1、ED2、及ED3比较图案列 D1、D2、D3在比较步骤中输入的调整。同样，定时调整部240在比较步骤输入期待值图案列 EDn、EDn+1、及EDn+2的定时中，使应该与EDn、EDn+1、及EDn+2比较的输出图案列Dn、Dn+1、 Dn+2在比较步骤中输入。由此，定时调整部240能够使各期待值图案和应与其期待值图案10进行比较的输出图案同步，在同一周期中同步输入到期待值比较部230。如上所述，若采用本实施例中的测试�？�10，即使在从DUT100的输出图案的输出 的开始定时不固定的情况下，也可使期待值图案及输出图案适当地同步。向量生成控制部116在执行INTEND命令时，定时调整部240进行下述设定，通过 期待值比较部230使输出图案不进行相移。由此，期待值比较部230可使输入的输出图案 列不发生相移而原样输出到期待值比较部230。更具体而言，在执行INTEND命令后，时序图 案生成部146读出期待值图案列EDm、EDm+1、及EDm+2。此处，由于比较步骤晚于命令执行 步骤而执行，所以输入比较步骤中期待值图案列的定时，晚于命令执行步骤中对应命令的 执行定时。在比较步骤中，比较器180依次取得输出图案列Dm、Dm+l、及Dm+2并提供给搜索/ 比较部148。校准部220使该输出图案列不进行相移而输出至期待值比较部230。其结果， 期待值比较部230将输出图案Dm+1及期待值图案EDm进行比较并将比较结果Rm写入失效 存储器。如上所述，执行INTEND命令时，定时调整部240将校准部220中设定的相移量返 回到标头图案检出前的状态。其结果，定时调整部240可将对应某一命令的期待值图案和 其命令执行时从DUT100取得的输出图案，在同一周期中输入到期待值比较部230。由此，可 以仅仅针对DUT100的测试的一部分，控制期待值图案及输出图案是否同步。以上使用实施例对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限定于上述实施 例记载的范围。本领域技术人员明白，对上述实施例可以进行多种改良或变更。从权利要 求的记载可知，上述实施了多种改良或变更的形态显然也包含在本发明的技术范围内。应当注意，本发明中权利要求、说明书及附图中所表示的装置、系统、程序及方法 中动作、手续、阶段及步骤等的各处理的执行顺序，在没有特别指明“最先”、“先于”等，或者 只要前边处理的输出不是在后边的处理中使用，即可以任意顺序实现。关于权利要求、说明 书、及附图中的动作流程，为了方便使用了“首先”、“接着”等进行了说明，但并不意味必须 以该顺序实施。
权利要求
1.一种测试�？椋涮卣髟谟诎ü娑ㄍ及讣斐霾浚浯邮涑鱿煊Ρ桓璧牟馐酝及傅氖涑鐾及傅谋徊馐陨璞福斐鲎� 为规定的测试图案的响应而输出的规定图案；定时检出部，其检出所述规定图案被检出的定时；相位调整部，其根据所述定时检出部所检出的定时，调整所述输出图案的相位，使作为 对所述测试图案的所述被测试设备显示的响应符合所期待的期待值图案的相位。
2.根据权利要求1记载的测试模块，其特征在于所述规定图案检出部还包括 将所述输出图案的数据作为输入数据依次存储的输入数据存储部；检出所述输入数据存储部中存储的所述输入数据与所述规定图案一致的一致检出部；依次存储所述一致检出部的检出结果的结果存储部。
3.根据权利要求2记载的测试模块，其特征在于 所述输入数据存储部在每个检出周期存储所述输入数据；所述一致检出部在每个所述检出周期检出所述输入数据与所述规定图案的一致； 所述结果存储部依次存储每个所述检出周期的检出结果。
4.根据权利要求3记载的测试�？椋涮卣髟谟谒龆ㄊ奔斐霾浚谒鼋峁娲⒉恐写娲⒌拿扛鏊黾斐鲋芷诘募斐鼋峁校斐� 从显示所述检出结果为一致的所述结果存储部的比特位置检测出了所述规定图案的定时。
5.根据权利要求2 4中任一项记载的测试�？椋涮卣髟谟� 所述输入数据存储部是级数相当于所述规定图案长度的闩锁电路； 所述一致检出部是并联数相当于所述规定图案的长度的比较电路； 所述结果存储部是级数相当于所述规定图案的最大延时的管线电路。
6.一种测试装置，其包括权利要求1 5中任一项所记载的测试�？椤�
7.—种测试方法，其特征在于包括规定图案检出步骤，从输出响应被给予的测试图案的输出图案的被测试设备，检出作 为规定的测试图案的响应而输出的规定图案；定时检出步骤，检出所述规定图案被检出的定时；相位调整步骤，根据在所述定时检出步骤中检出的定时，调整所述输出图案的相位，使 作为针对所述测试图案的所述被测试设备显示的响应，与所期待的期待值图案的相位相符I=I ο
8.根据权利要求7记载的测试方法，其特征在于所述规定图案检出步骤包括 作为输入数据依次存储所述输出图案的数据的输入数据存储步骤；检出在所述输入数据存储步骤存储的所述输入数据和所述规定图案一致的一致检出 步骤；以及在结果存储部中依次存储所述一致检出步骤的检出结果的结果存储步骤。
9.根据权利要求8记载的测试方法，其特征在于所述输入数据存储步骤在每个检出周期存储所述输入数据； 所述一致检出步骤在每个所述检出周期检出所述输入数据与所述规定图案的一致； 所述结果存储步骤在所述结果存储部依次存储每个所述检出周期的检出结果。
10.根据权利要求9记载的测试方法，其特征在于所述定时检出步骤，在所述结果存储 步骤中存储的每个所述检出周期的检出结果中，从显示所述检出结果为一致的所述结果存 储部的比特位置，检出所述规定图案被检出的定时。
全文摘要
本发明公开了一种测试�？椋淇梢种萍焖髦械囊恢录觳獾缏返牟⒘浚貌馐阅？榘ù邮涑鱿煊Ρ桓璧牟馐酝及傅氖涑鐾及傅谋徊馐陨璞福斐鲎魑娑ǖ牟馐酝及傅南煊Χ涑龅墓娑ㄍ及傅墓娑ㄍ及讣斐霾浚患斐龉娑ㄍ及副患斐龅亩ㄊ钡亩ㄊ奔斐霾浚桓荻ㄊ奔斐霾克斐龅亩ㄊ保髡涑鐾及傅南辔唬棺魑圆馐酝及傅谋徊馐陨璞赶允镜南煊Ψ纤诖钠诖低及傅南辔幌辔坏髡�。
文档编号G01R31/319GK102057288SQ20098012160
公开日2011年5月11日 申请日期2009年6月8日 优先权日2008年6月10日
发明者秋田德则 申请人:爱德万测试株式会社
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