专利名称：惯性力传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动体的姿态控制和导航等各种电 子设备中使用的惯性力传感器。
背景技术：
图11是以往的角速度传感器的电路方框图。在图11中，以往的角速度传感器包 括具有驱动电极2、监视电极3、检测电极4的振子1 ；驱动电路5 ；振动控制电路6 ；检测电 路7 ；故障诊断电路8 ；以及滤波器电路9。驱动电路5对驱动电极2通电驱动信号并使振 子1振动。检测电路7基于起因于惯性力而从检测电极4输出的检测信号检测角速度。振 动控制电路6基于从监视电极3输出的监视信号控制驱动信号的通电量。故障诊断电路8 对检测电路7输入模拟角速度信号并进行故障诊断。图12是检测电路7中包含的滤波器电路9的等效电路图。该滤波器电路9是，输 入信号被输入到一个输入端子10a，另一个输入端子IOb被接地，输出信号从输出端子11输 出的电路。输入信号通过电阻20 (Rl)输入到输入部分(IN)，在输入端子IOa和输出端子 11上电阻12(R2)和电容器13(C1)被并联连接。从滤波器电路9的输出部分(OUT)输出滤 波后的信号。通过该检测电路7中的滤波器电路9，检测信号被滤波并作为期望的信号输出，基 于该期望的信号检测角速度。滤波器是低通滤波器或是高通滤波器。滤波器电路9的截止 频率为IOHz左右。在上述惯性力传感器中，如图11所示，它的故障诊断是，例如，在电源接通后的起 动时，将故障诊断用的模拟角速度信号从故障诊断电路8输入到检测电路7。然后，若基于 模拟角速度信号检测出角速度，则可以判断没有故障。再有，作为有关本发明的现有技术文献信息，例如，已知专利文献1。在上述以往 的结构中，检测信号通过检测电路7中的滤波器电路9被滤波。在该滤波器电路9中，如图 12所示，包括电阻20(R1)、电阻12(R2)和电容器13 (Cl)，但它们一般是一个延迟元件。这 里，滤波器电路9中的传递函数如(式1)那样，相位特性如(式2)那样，延迟时间如(式 3)那样。
权利要求
惯性力传感器，包括具有驱动电极、监视电极、检测电极的振子；对所述驱动电极通电驱动信号并使所述振子振动的驱动电路；基于起因于惯性力并从所述检测电极输出的检测信号检测角速度的检测电路；基于从所述监视电极输出的监视信号控制所述驱动信号的通电量的振动控制电路；以及对所述检测电路输入模拟角速度信号并进行故障诊断的故障诊断电路，所述检测电路具有对所述检测信号进行滤波的滤波器电路，在所述故障诊断时，切换所述滤波器电路的特性。
2.如权利要求1所述的惯性力传感器，所述滤波器电路根据时钟频率决定其响应性， 所述故障诊断电路在故障诊断时使所述滤波器电路中的截止频率大于通常时的截止频率 来进行故障诊断。
3.如权利要求1所述的惯性力传感器，所述滤波器电路根据时钟频率决定其响应性， 所述故障诊断电路在故障诊断时使所述时钟频率大于通常时的时钟频率来进行故障诊断。
4.如权利要求2或权利要求3所述的惯性力传感器，仅在起动时进行故障诊断。
5.如权利要求2或权利要求3所述的惯性力传感器，在起动时或稳定驱动时的其中之 一中进行故障诊断。
全文摘要
提供抑制角速度的检测精度的劣化，并且提高故障诊断的诊断精度的惯性力传感器。该惯性力传感器包括具有驱动电极、监视电极、检测电极的振子；对驱动电极通电驱动信号并使振子振动的驱动电路；基于起因于惯性力并从检测电极输出的检测信号检测角速度的检测电路；基于从监视电极输出的监视信号而控制驱动信号的通电量的振动控制电路；以及对检测电路输入模拟角速度信号并进行故障诊断的故障诊断电路，在故障诊断时，是设置了切换在检测电路中包含的滤波器电路的特性并缩短延迟时间的滤波器切换电路的结构。
文档编号G01C19/5776GK101990626SQ20098011258
公开日2011年3月23日 申请日期2009年4月8日 优先权日2008年4月10日
发明者植村猛, 黑田启介 申请人:松下电器产业株式会社
专业数控铣床产品供应商
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