专利名称：一种电抗可控芯片测试插座的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体行业，特别涉及到一种半导体芯片的测试装置。
背景技术：
随着集成电路芯片运行速度的日益提高，芯片测试行业要求芯片测试夹具能具有 更高的高频信号集成性能。在芯片的实际测试中，测试夹具必须维持电抗(或阻抗)在某 一特定范围内(例如50欧姆)，以减少电信号在通过时造成的损耗，但是，目前的芯片测试 夹具都不能满足高频特性的要求。据检索，在本实用新型作出之前，尚末发现与本实用新型 相同的电抗可控芯片测试插座。在现有技术中，目前采用的主要技术措施是尽可能缩短连 接芯片和线路板的接触探针，企图获得良好的高频特性，但均不能满足可加工性和低价格 的要求。同样，现有技术中的芯片测试插座，一般由芯片保持板、芯片插座主体及探针保持 板所组成，对于信号/电源弹簧探针和接地探针而言，采用的是相同的弹簧探针，这也从根 本上决定了电抗不能满足日益升高的频率要求。
实用新型内容本实用新型的目的，是通过对现有技术的改进，采用了置换式全新结构和不同的 弹簧探针，来满足电抗可控并且根据芯片不同的触点分布进行调节的测试要求，以期达到 减少制造成本和提高加工性能的要求。本实用新型的目的是通过下述的技术方案来实现的本实用新型涉及的电抗可控 芯片测试插座，其结构主要包括有安装在测试插座上部的芯片保持板和测试插座底部的探 针保持板。两者之间还装有一块可方便拆卸的探针定位板。而在芯片保持板与探针定位板 之间，装配有一接地铜块。接地铜块按实际要求置有内腔，分别相应插入接地弹簧探针和信 号/电源弹簧探针。接地弹簧探针的外径，与插入的接地铜块相应的针腔孔内径相近，以保 证可以插入，又有良好的接触性能；而信号/电源弹簧探针的外径与接地铜块相应的针腔 孔内径，应保持有一定的比例，一般为2. 1 2. 5，两者间的间隙，存在着能起绝缘作用的空 气介质。接地弹簧探针与信号/电源弹簧探针的上端和下端都有相同的直径。由于本实用新型引入了接地铜块，并保障了接地铜块与弹簧探针的良好接触，保 证了可靠的接地；又使接地铜块与信号/电源弹簧探针之间不直接接触，合理的存在着绝 缘的空气介质，从而获得了特定的电抗。在本实用新型中，信号/电源弹簧探针以及接地弹 簧透针之间的隔离绝缘，主要取决于探针定位板；而芯片保持板与探针保持板则起到了保 持探针的定位功能。信号/电源探针和接地探针的分布，取决于探针定位板，同种尺寸芯 片、不同接触点分布时，只要通过更换不同探针定位板，就可以实现，由此可见，本实用新型 达到了如前所述的实用新型目的。
图1 本实用新型结构示意图具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型技术方案作进一步说明。利用螺丝将芯片保持板2和接地铜块3固定在一起，然后根据芯片1的触点分布， 选择与之相对应的探针定位板6，根据不同的孔腔直径，分别装入接地弹簧探针4和信号/ 电源弹簧探针5，然后装上探针保持板7，用螺丝将其固定到插座主体上，整个插座便可组 装完成。芯片保持板2由绝缘材料制成，所有孔腔与探针4、5之间的空隙较�。佣运� 弹簧探针4、5有定位和导向作用。同时，芯片保持板2上还设有大的导向孔，以保证芯片1 上的球与弹簧探针头4、5相接触。接地铜块3由导电铜材组成，它被置于在芯片保持板2和探针定位板6之间，由于 它与接地弹簧探针4相接触，从而使整个接地铜块3与测试主板上的接地线相接，这样就使 信号针与孔腔之间产生特定的电抗值。探针定位板6由绝缘材料制成，以分离信号/电源弹簧探针5和接地弹簧探针4 之间的接触，同时，它作为一个与芯片1上信号、电源、接地触点分布相对应的定位零件，对 不同触点分布的芯片来说，只需配制相应的探针定位板6，其它零件可以不变，降低了测试 插座的成本。信号/电源弹簧探针5和接地弹簧探针4的上下端应具有相同的直径，从而使芯 片保持板2和探针保持板7的针腔孔具有相同的直径。这样，当芯片1的触点分布发生变 化时，弹簧探针4、5、接地铜块3、芯片保持板2和透针保持板7就可以成为通用零件，而不 必更换。信号/电源弹簧探针5的外径，与接地铜块3的针腔内径之比例，可选择为2. 3，以 满足符合电抗所要求的比例。信号/电源弹簧探针的下部外圆设有一夹持圈，在探针定位 板6的压持下，下动针向上移动，产生预载，可保证探针在运行中有稳定而较低的电阻。接地弹簧探针4的上部有一台阶，在芯片保持板2的压力下，接地弹簧探针4会向 下压缩而具有预载。探针保持板7由绝缘材料制成，具有保持探针在孔腔内的功能，同时对探针的下 端具有一定的导向作用。当需要更换另一种芯片1时，可松开螺丝，取下探针保持板7，取出接地弹簧探针4 和信号/电源弹簧探针5，选择更换相对应的探针定位板6，然后分别装入两种探针4、5，装 上探针保持板7，用螺丝固定，便形成了 一个新的测试插座。
权利要求一种电抗可控芯片测试插座，包括有安装在插座上部的芯片保持板(2)和插座底部的探针保持板(7)，以及弹簧探针，其特征在于探针保持板(7)的上部还装有一可活动拆卸的探针定位板(6)；而在芯片保持板(2)与探针定位板(6)之间，装配有接地铜块(3)；所述弹簧探针，分别有接地弹簧探针(4)和信号/电源弹簧探针(5)，分别插入接地铜块(3)相应的孔腔内。
2.根据权利要求1所述的一种电抗可控芯片测试插座，其特征在于接地弹簧探针(4) 的外径与接地铜块(3)相应的针腔孔内径相近，有良好的接触。
3.根据权利要求2所述的一种电抗可控芯片测试插座，其特征在于信号/电源弹簧 探针(5)的外径与接地铜块(3)相应的针腔孔内径的比例为2. 1 2. 5 ；两者间存在着绝 缘的空气介质。
4.根据权利要求3所述的一种电抗可控芯片测试插座，其特征在于接地弹簧探针(4) 与信号/电源弹簧探针(5)的上端和下端，直径相同。
专利摘要一种电抗可控芯片测试插座，由芯片保持板(2)、接地铜块(3)、探针定位板(6)、探针保持板(7)以及接地弹簧探针(4)与信号/电源弹簧探针(5)所组成。随着集成电路芯片运行速度的日益提高，可以满足测试行业要求芯片测试夹具，应具有更好高频集成信号，使其电抗(或阻抗)在某一特定范围内，以减少电信号通过时的损耗。同时，本实用新型在使用不同芯片(1)的触点分布发生变化时，只需要方便地更换探针定位板(6)，其它零件则不要改变，便可满足使用要求，大大提高了测试插座的加工性，降低了成本。
文档编号G01R1/073GK201662582SQ20092027328
公开日2010年12月1日 申请日期2009年12月11日 优先权日2009年12月11日
发明者周家春, 杨晓勇, 潘杰姆, 陶西昂 申请人:安拓锐高新测试技术(苏州)有限公司
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