专利名称:一种气体传感器的制作方法
技术领域:
本实 用新型涉及ー种气体传感器。
背景技术:
现有的气体传感器结构复杂。
发明内容为了克服上述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供ー种气体传感器,结构简单。为了达到上述目的,本实用新型采取的技术方案为—种气体传感器,包括衬底1,在衬底I的一个边上设有第一晶体管2和第二晶体管3,第一晶体管2和第一电极4连接,第二晶体管3和第二电极5连接,在第一晶体管2和第二晶体管3之间设有分子膜6。本实用新型具有结构简单的优点。
附图为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做详细描述。參照附图,一种气体传感器,包括衬底1,在衬底I的一个边上设有第一晶体管2和第二晶体管3,第一晶体管2和第一电极4连接,第二晶体管3和第二电极5连接,在第一晶体管2和第二晶体管3之间设有分子膜6。本实用新型的工作原理为;被检测气体通过分子膜6形成偶极层,能够引起第一电极4、第二电极5的电流变化,分析电流变化来分析被检测气体,本实用新型具有结构简单的优点。
权利要求1.ー种气体传感器,包括衬底(I),其特征在干在衬底(I)的一个边上设有第一晶体管⑵和第二晶体管(3),第一晶体管⑵和第一电极⑷连接,第二晶体管(3)和第二电极(5)连接,在第一晶体管(2)和第二晶体管(3)之间设有分子膜(6)。
专利摘要一种气体传感器,包括衬底,在衬底的一个边上设有第一晶体管和第二晶体管,第一晶体管和第一电极连接,第二晶体管和第二电极连接,在第一晶体管和第二晶体管之间设有分子膜,被检测气体通过分子膜形成偶极层,能够引起第一电极、第二电极的电流变化,分析电流变化来分析被检测气体,本实用新型具有结构简单的优点。
文档编号G01N27/60GK202421125SQ20112053190
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月15日 优先权日2011年12月15日
发明者徐晓东, 杨立斌 申请人:西安威正电子科技有限公司