专利名称：用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于测量透射率的设备，更具体地，涉及用于测量透射率的相对较简单的设备，该设备可测量图案化的玻璃基板的透射率。
背景技术：
近来，为应对能源短缺和环境污染，正在大规模的开发高效的光伏�？�。对于光伏�？椋哺腔謇绮ＡЩ宓耐干渎剩怨夥？榈男什跋�。因此，正在进行大量研究和开发，例如通过使用玻璃基板使内部吸收最小化或通过使用镀膜改善透射率，以提高透射率。另外，还进行了二维OD)阵列图案化，以在光所入射到的玻璃基板的表面中形成图案，从而提高玻璃基板的透射率。目前，图案化的玻璃基板不仅广泛应用于光伏�？椋一褂τ糜谄桨逑允酒� (PDP)。玻璃基板制造商在制造图案化的玻璃基板的过程中通过将光照射到图案化的玻璃基板上，来实时地对连续生产的图案化的玻璃基板的透射率进行精确检查。相关技术中使用分光计作为用于测量图案化的玻璃基板的透射率的装置。不过， ISO 9050国际标准规定玻璃基板对太阳光的透射率是通过将测量标准光源D65和测量装置的与波长相关的透射率乘以与波长相关的敏感性权重因子而计算得到。因此，相关技术的分光计被配置为使其通过接收从380nm到780nm范围内的所有可见波长的光并对它们进行处理而呈现出与波长相关的透射率。也就是说，为了利用相关技术的分光计测量玻璃基板的透射率，必须测量相关玻璃基板的所有与波长相关的透射率。图1是描述入射光被分光计接收的过程的示例图，其中相关技术的图案化的玻璃基板的透射率被测量，图2是描述当激光束穿过玻璃基板后，在图案化的玻璃基板和没有图案的玻璃基板上的激光束分布的视图。这里，附图标记“20”为累计球，“21”为接收光的探测器。图2(a)示出激光束穿过图案化的玻璃基板后扩散的激光束分布，图2(b)示出激光束穿过没有图案的玻璃基板后扩散的激光束分布。如图1中所示，因为入射光在穿过图案化的玻璃基板后被严重扩散，因此相关技术的分光计不能够精确测量图案化的玻璃基板的透射率。这是因为如果入射光在穿过图案化的玻璃基板后被严重扩散，则累计球20的探测器21就可能接收不到光，这从图2(a)可以看出。因此，存在一个问题，即利用相关技术的分光计测量图案化的玻璃基板的透射率时，结果是不可靠的。还存在另一个问题，即低估了图案化的玻璃基板的透射率。在本发明背景部分中公开的信息仅仅是为了增强对本发明的背景的了解，不应当被看作是承认或以任何形式暗示该信息形成了已为本领域技术人员所知的现有技术。
发明内容
本发明的各个方面提供了用于测量透射率的设备，其可测量被图案化的玻璃基板的高可靠性的透射率。还提供了一种用于测量透射率的设备，其能够防止图案化的、使穿过其的光很大程度扩散的玻璃基板的透射率被低估。在本发明的一个方面，用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备包括发射激光束的光束辐射器；对激光束进行准直的准直透镜；对经所述准直透镜准直的激光束的大小进行扩展的光束扩展器；具有光接收部分的探测器，该光接收部分接收经所述光束扩展器扩展之后穿过所述图案化的玻璃基板的激光束；以及利用所述探测器接收的激光束对所述图案化的玻璃基板的透射率进行测量的测量部分。在本发明的示例性实施例中，光束扩展器对激光束进行扩展，使得经所述光束扩展器扩展之后入射到所述图案化的玻璃基板上的激光束具有这样的大小，即入射到所述图案化的玻璃基板的至少10个图案单元上。根据本发明的实施例，用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备被实现为包括激光束辐射器、反射镜、准直透镜、光束扩展器、探测器以及测量部分，其中经所述光束扩展器扩展之后入射到所述图案化的玻璃基板上的激光束具有使其入射到所述图案化的玻璃基板的至少10个图案单元上的大小。因此，即使入射光很大程度地被所述图案化的玻璃基板扩散，该设备也可有利地测量图案化的玻璃基板的具有高可靠性的透射率。另外，根据本发明的实施例，用于测量图案化的玻璃的透射率的设备被实现为，使其利用波长权重因子为最大值的单一波长来测量代表性的透射率，而不必使用复杂的波长分离光学装置。作为有益效果，可相对较简单地制造该设备，从而降低其制造成本。此外，根据本发明的实施例，可有利地将用于测量图案化的玻璃的透射率的设备微型化，使其可应用于制造玻璃基板的实际过程中的检验透射率的过程。另外，根据本发明的实施例，用于测量图案化的玻璃的透射率的设备可用于测量光电池的覆盖玻璃的透射率的设备。本发明的方法和设备具有其它的特点和优点，根据合并于此的附图，这些将是明显的或被更具体地阐述，且在下述具体实施方式
中，与附图一起用于解释本发明的某些原理。
图1是描述相关技术中入射光被对图案化的玻璃基板进行测量的分光计接收的过程的示例图；图2是描述当激光束穿过玻璃基板后在图案化的玻璃基板和没有图案的玻璃基板上的激光束分布的视图；图3是描述在ISO 9050国际标准中规定的与波长相关的权重因子的曲线图；图4是根据本发明示例性实施例的用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备的配置的视图；以及图5是描述在根据本发明示例性实施例的用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备中使用的探测器的特征的曲线图。
具体实施例方式现在将具体描述本发明的各种实施例、在附图中被图示的且在下面被描述的示例，从而使具有本发明涉及的领域的普通技术的人能够容易将本发明投入实践。虽然将结合其示例性实施例来描述本发明，但应当理解的是，该描述并不旨在将本发明限于那些示例性实施例。相反，本发明旨在不仅包含示例性实施例，而且还包含各种替代、修改、等同和其它可包括于所附权利要求所限定的本发明的精神和范围内的实施例。图3是描述在ISO 9050国际标准中规定的与波长相关的权重因子的曲线图。ISO 9050国际标准规定玻璃基板对太阳光的透射率是通过将测量标准光源D65 和测量装置的与波长相关的透射率乘以与波长相关的敏感性权重因子而计算得到。那么， 相关技术的分光计被实现为使其通过接收从380nm到780nm范围内的所有可见波长的光然后对它们进行处理从而产生与波长相关的透射率。然而，如果根据在ISO 9050国际标准中规定的方法来计算透射率，那么在具有低权重因子的波长处透射率几乎为0，因此没有被充分加到总透射率中。下面的表1列出了通过根据ISO 9050国际标准的规定测量没有图案的平面玻璃基板的透射率而得到的数据和通过测量最大权重因子波长例如^Onm的透射率所得到的数据。表 权利要求
1.一种用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备，包括 发射激光束的光束辐射器；对从激光束辐射器发射来的激光束进行准直的准直透镜； 对经所述准直透镜准直的激光束的大小进行扩展的光束扩展器； 具有光接收部分的探测器，接收经所述光束扩展器扩展之后穿过所述图案化的玻璃基板的激光束；以及利用所述探测器接收的激光束对所述图案化的玻璃基板的透射率进行测量的测量部分。
2.根据权利要求1所述的设备，其中，从所述激光束辐射器发射的激光束具有550nm的单一波长。
3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述光束扩展器将激光束扩展到使激光束能入射到所述图案化的玻璃基板的至少10个图案单元上的大小。
4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述探测器的光接收部分的大小为经所述光束扩展器扩展之后入射到所述图案化的玻璃基板上的激光束的大小的至少两倍。
5.根据权利要求1所述的设备，还包括将从所述激光束辐射器发射的激光束反射到所述准直透镜的反射镜。
6.根据权利要求5所述的设备，还包括从所述反射镜反射的激光束中去除噪声的噪声滤波器。
全文摘要
一种用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备。光束辐射器发射激光束。准直透镜对从激光束辐射器发射来的激光束进行准直。光束扩展器对经准直透镜准直的激光束的大小进行扩展。探测器具有光接收部分，该光接收部分接收经光束扩展器扩展之后穿过图案化的玻璃基板的激光束。测量部分利用探测器接收的激光束来测量图案化的玻璃基板的透射率。
文档编号G01M11/02GK102539390SQ20111045612
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月30日 优先权日2010年12月30日
发明者尹敬敏, 崔宰荣, 曹瑞英, 朴敬旭, 权润瑛, 李会官, 李钟声 申请人:三星康宁精密素材株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
