专利名称：非点亮检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将检查光照在待检查面板上而检测该待检查面板是否存在灰尘 等异物、气泡等缺陷的非点亮检查装置。
背景技术：
非点亮检查是一种将背光灯的光照在显示面板上而检测该显示面板是否存在异 物、缺陷的检查。一般公知上述非点亮检查。例如有专利文献1所述的那样的例子。在通 过使探针与封入有液晶的显示面板的电极接触而进行的点亮检查之前进行该非点亮检查。 非点亮检查装置设在生产线等的输送机附近而随时检查被输送过来的显示面板。具体而 言，利用机械手自输送机吸附显示面板，然后将显示面板载置在非点亮检查装置上，从而利 用CCD摄像机获取图像，进行检查。但是，在该情况下，检查耗费时间。因此，最近几年为了缩短在显示面板的检查工 序中的获取时间(read time)，公开了一种如专利文献2所述通过将检查装置安装在输送 装置上而能够同时进行非点亮检查和输送地实现了增值的检查装置。该检查装置是如下装 置，即、利用设在进行输送移动操作的玻璃板下方的光源将光照射在该玻璃板上、然后利用 设在玻璃板上方的线阵相机(line camera)沿与玻璃板的输送方向正交的方向进行扫描拍 照、从而根据所获得的亮部和暗部的明暗信号检测玻璃板上的缺陷。利用该检查装置照射 光，以照亮玻璃板中的非遮光性缺陷而使该非遮光性缺陷形成为亮部、使光被玻璃板中的 遮光性异物遮挡而使该遮光性异物形成为暗部，从而识别遮光性异物缺陷。专利文献1 日本特开2008-20588号公报专利文献2 日本特开平11-337504号公报但是，在一直自配置在输送装置下表面侧的背光灯向安装在输送装置上表面侧的 C⑶摄像机照射光时，会产生�：�(smear)、出现图像散乱现象(blooming)，从而无法判断 面板是否存在缺陷。另外，由于无法控制背光灯的照射范围，因此在改变显示面板的尺寸而检查较小 的面板时等情况下，会发生漏光，从而如上所述会产生模糊、出现图像散乱现象，无法判断 面板是否存在缺陷。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而做成的，目的在于提供一种无论待检查面板是多大尺寸 以及待检查面板的其他条件如何、都能准确地判断待检查面板是否存在缺陷的非点亮检查
直ο本发明的非点亮检查装置用于对待检查面板进行非点亮检查，其特征在于，该非 点亮检查装置包括线阵相机，其与用于输送上述待检查面板的输送装置面对地设置、用于 获取被该输送装置输送的上述待检查面板的图像；背光灯，其以与上述线阵相机之间夹设 有上述输送装置的状态与上述线阵相机面对地配置、且能将光照射在上述待检查面板上；
3探测面板用传感器(panel sensor)，其在上述线阵相机的上游侧检测被上述输送装置输送 过来的上述待检查面板的位置；光控制板，其控制自上述背光灯射出的光，以使该光高效率 地射入上述线阵相机；控制部，其在经过了从利用该探测面板用传感器检测到上述待检查 面板的位置到该待检查面板进入到上述线阵相机的视场中为止的设定时间之后点亮上述 背光灯。该非点亮检查装置能够抑制产生�：⒊鱿滞枷裆⒙蚁窒蟮龋佣芄唤凶既� 的检查。此外，该非点亮检查装置还能调节背光灯的光的照射范围从而能够抑制在进行非 点亮检查时发生误判断。
图1是表示用于输送待检查面板的输送装置的俯视图。图2是表示本发明的第1实施方式的非点亮检查装置的概略侧视图。图3是表示本发明的第1实施方式的非点亮检查装置的概略主视图。图4是表示本发明的第1实施方式的非点亮检查装置的遮光板的俯视图。图5是表示本发明的第2实施方式的非点亮检查装置的概略主视图。图6是表示本发明的第2实施方式的非点亮检查装置的光控制板的俯视图。图7是表示本发明的第3实施方式的非点亮检查装置的概略侧视图。图8是表示本发明的变形例的俯视图。
具体实施例方式下面，参照
本发明的实施方式的非点亮检查装置。本发明的非点亮检查 装置是一种改进后的检查装置，其能够防止在待检查面板未处于背光灯与检查用摄像机之 间时背光灯的光直接射入检查摄像机而导致无法判断待检查面板的缺陷，并且能够抑制在 待检查面板的尺寸变化时发生误判断。第1实施方式本实施方式的非点亮检查装置被组装在用于输送待检查面板的输送装置上。输送 装置是设在待检查面板的生产线等上的一般装置。图1表示该输送装置的一例。图1中的 输送装置11是利用被驱动轴12支承的传送辊(conveyer roller) 13输送待检查面板2的 装置。该输送装置11将设在待检查面板的生产线等上的多个处理装置分别连接起来。输送装置11在2个侧壁部14之间分别安装有空出恒定间隔地配置的多个驱动轴 12。在各驱动轴12上安装有多个传送辊13。驱动轴12与未图示的皮带等相连结而被施加 动力，从而能够使传送辊13旋转。通过使各驱动轴12上的传送辊13分别被驱动旋转，能 以恒定的速度输送待检查面板2。另外，待检查面板2由用于构成上层的液晶部3、和用于 构成下层的下表面偏振片4构成。非点亮检查装置21是用于使被上述输送装置11输送的待检查面板2保持输送状 态而持续被输送地对该待检查面板2进行检查的装置。如图2、图3所示，非点亮检查装置 21由线阵相机22、背光灯31、遮光板15、探测面板用传感器24和控制部25构成。线阵相机22是用于获取被输送装置11输送的待检查面板2的图像的装置。线阵 相机22由一维摄像机构成，且能够沿与待检查面板2的输送方向正交的方向(横向)进行扫描。以使线阵相机22面朝被输送装置11输送的待检查面板2的状态，将该线阵相机22 配置在该待检查面板2的一侧(上侧)，从而拍摄透过待检查面板2的光。具体而言，将形 成为拱形(arch)的摄像机框架23分别安装在输送装置11的2个侧壁部14上，从而将该 摄像机框架23架设在输送装置11的上侧。由此，沿与待检查面板2的输送方向正交的横 向配置摄像机框架23。然后，将多个线阵相机22排列配置在摄像机框架23上。由此能够 沿横向排列各线阵相机22且覆盖待检查面板2的整个宽度。然后，利用输送装置11在各线阵相机22的正下方输送待检查面板2，从而这些线 阵相机22能够扫描待检查面板2的整个表面。背光灯31是用于从待检查面板2的下侧向该待检查面板2照射光而检测待检查 面板2上的缺陷、异物等的照明部件。以在背光灯31与线阵相机22的中间夹设有输送装 置11的状态与线阵相机22面对地配置背光灯31。S卩、将背光灯31配置在被输送装置11 输送的待检查面板2的另一侧(下侧)且与上述线阵相机22相对的位置(线阵相机22的 正下方的位置)上。沿与待检查面板2的输送方向正交的方向且与上述线阵相机22的扫 描方向匹配地配置该背光灯31。背光灯31由直线状的发光体构成，且只照射线阵相机22 的扫描区域。遮光板15是用于控制自背光灯31射出的光而使该光高效率地射入上述线阵相机 22的光控制板。具体而言，遮光板15使自背光灯31射出的光照射在上述线阵相机22的整 个视场(扫描区域)内而不照射除该视场之外的地方。将遮光板15配置在各线阵相机22 与背光灯31之间。具体而言，将遮光板15配置在各线阵相机22与背光灯31之间且配置 在传送辊13与背光灯31之间。如图4所示，遮光板15由光不能通过的板材构成，且在该遮光板15的中央部设有 能使光通过的狭缝16。该狭缝16使来自背光灯31的光自待检查面板2的下侧聚拢而只 照射在上述线阵相机22的整个视场内。该狭缝16形成为具有能够使来自背光灯31的光 自待检查面板2的下侧照射在整个视场内的尺寸的长槽状。狭缝16的长度与待检查面板 2的宽度基本相同。至少是比待检查面板2的液晶部3宽的宽度。可以比下表面偏振片4 的宽度窄。在遮光板15的端部与狭缝16的端部之间的宽度形成为遮光宽度。另外，将狭 缝16的宽度设为能供各线阵相机22扫描的宽度。即、使狭缝16具有一定程度的宽度。遮光板15形成为能够替换成与待检查面板2的尺寸等条件相符的遮光板15的构 造。具体而言，利用螺丝等安装配件将遮光板15能装卸地安装在输送装置11的侧壁部14 上。在侧壁部14上开设有能供更换遮光板15的开口(未图示)。与照射在待检查面板2 上的背光灯的光的宽度等条件相符地替换具有不同的狭缝16的遮光板15，从而改变背光 灯的光所透过的范围。将遮光板15插入并固定在上述开口中。作为遮光板15的固定方 法，可以利用安装配件牢固地固定遮光板15，也可以利用摩擦板等支承该遮光板15以使其 不会偏离。探测面板用传感器24是用于在线阵相机22的上游侧检测被输送装置11输送过 来的待检查面板2的位置的传感器。如图2所示，探测面板用传感器24用于检测待检查面 板2正在接近各线阵相机22附近的这一情况。探测面板用传感器24配置在背光灯31以 及遮光板15的附近。使用接近传感器等能以非接触方式检测到待检查面板2的存在的传 感器为探测面板用传感器24。探测面板用传感器24配置在待检查面板2的输送方向上的
5上游侧附近，用于检测被输送过来的待检查面板2接近到跟前位置的这一情况。将利用该 探测面板用传感器24检测到的待检查面板2的上述位置情况作为触发信号(trigger)而 点亮背光灯31。这是为了解决�：牟�、图像散乱现象的出现等问题。由于自背光灯31 直接射入线阵相机22的光、和在检查待检查面板2时射入线阵相机22的光在亮度上存在 大的差别，所以若一直点亮着背光灯31，则有时会产生�：⒊鱿滞枷裆⒙蚁窒�。因此，利 用探测面板用传感器24检测待检查面板2的通过情况，只在该待检查面板2经过线阵相机 22正下方时点亮背光灯31。即、进行控制使背光灯31通常处于熄灭状态、只在待检查面板 2经过线阵相机22的正下方时点亮背光灯31。准确限定探测面板用传感器24的设置位置。这是为了在利用探测面板用传感器 24检测到待检查面板2的位置之后，准确限定直到待检查面板2的前端进入线阵相机22的 正下方视场为止的时间、并准确限定直到待检查面板2的后端经过线阵相机22的正下方视 场为止的时间。即、准确限定探测面板用传感器24的设置位置是为了在待检查面板2即将 进入线阵相机22的视场之时点亮背光灯31，且在待检查面板2经过了线阵相机22的视场 之后随即熄灭背光灯31。此时，还要考虑到背光灯31的点亮响应时间来设定探测面板用传 感器24的位置。因此，由于根据从探测面板用传感器24的设置位置到线阵相机22的视场 的距离、和待检查面板2的输送速度能够得知待检查面板2到达上述视场的时间(从检测 到待检查面板2的位置时直到进入线阵相机22的视场中的时间)，所以进行控制，使得在 即将经过待检查面板2的前端到达上述视场的时间之时点亮背光灯31、且在经过了待检查 面板2的后端到达上述视场的时间后随即熄灭背光灯31。此时，由传感器检测待检查面板 是否存在于视场中，且还要考虑到背光灯31点亮或熄灭的响应时间地设定时间。由控制部 25进行上述控制。另外，也可以将探测面板用传感器24安装在通过预先算出根据待检查面板2的输 送速度和背光灯31的响应时间得出的距离d(参照图2)而限定的设置位置上。另外，根据 待检查面板2的尺寸不同，输送速度有时不是恒定的，因此也可以安装用于使探测面板用 传感器24沿待检查面板2的输送方向移动的移动机构，从而能够调整探测面板用传感器24 的位置。此外，还可以沿横向设置多个探测面板用传感器24而能够在多个位置上检测待检 查面板2。控制部25是用于进行图像处理和点亮控制的装置。具体而言，控制部25使探测 面板用传感器24检测待检查面板2的位置，从而在经过了上述设定时间之后点亮以及熄灭 背光灯31。控制部25分别与探测面板用传感器24、背光灯31、线阵相机22相连接(在图 2、图3中为了方便图示而只表示出控制部25与线阵相机22相连接，但控制部25是与上述 构件全部相连接的)而控制它们。具体而言，控制部25是根据来自探测面板用传感器24 的检测信号而控制背光灯31的点亮、熄灭、并且获取来自线阵相机22的图像信息而进行图 像处理的装置。监控器26与该控制部25相连接。监控器26放映出线阵相机2的图像以 供操作者进行确认等。上述那样构成的非点亮检查装置21起到下述作用。在开始进行非点亮检查时同时开启线阵相机22而使探测面板用传感器24进行工 作。然后，在探测面板用传感器24检测到被输送装置11输送过来的待检查面板2的前端 时，将该检测信号发送给控制部25。
控制部25在从接收到来自探测面板用传感器24的检测信号之时起经过了设定时 间之后点亮背光灯31，从而在被检测面板2的前端即将进入线阵相机22的视场之时或在待 检查面板2的下表面偏振片4进入线阵相机22的视场、液晶部3即将进入该视场之时照射 整个视场。即、利用遮光板15的狭缝16只照射线阵相机22的视场的区域。然后，控制部25在距离接收到来自探测面板用传感器24的不存在待检查面板2 的信号(待检查面板2经过了线阵相机22的视场的信号)之时起经过了设定时间之后，熄 灭背光灯31。即、在待检查面板2的后端离开线阵相机4的视场后随即熄灭背光灯31、或 在待检查面板2的液晶部3离开视场而下表面偏振片4还在视场中的时刻熄灭背光灯31， 从而能够防止背光灯31的光直接输入线阵相机22中。然后，控制部25对由线阵相机22获取的图像进行处理而查看亮度与其他部分不 同的点、线等。例如在常白(normallywhite)的情况下查看变成黑影的点、线等、在�：� (normallyblack)的情况下查看发亮的点、线等。若没有上述点、线等则判断为合格，若有上 述点、线等则判断为残次，且对残次的待检查面板2进行去除等处理。如上所述，通过在最佳时间控制背光灯31点亮/熄灭，能够抑制产生�：�、出现图 像散乱现象，从而能够提高检查精度。此外，通过利用遮光板15调节背光灯的光的照射范围而能够防止背光灯的光直 接射入线阵相机22，因此能够抑制在进行非点亮检查时发生误判断。另外，由于线阵相机22由一维摄像机构成、背光灯31由直线状的发光体构成，因 此相比以往的利用二维摄像机构成面状的发光体的情况，本发明能够大幅缩减成本。第2实施方式接下来，说明本发明的第2实施方式。本实施方式的非点亮检查装置的整体结构 与上述第1实施方式的非点亮检查装置相同，因此对于相同的构件标注相同的附图标记而 省略说明。本实施方式的装置还能应用在改变了待检查面板2的面板尺寸的情况中。当在背 光灯31的光的照射范围恒定的情况下改变待检查面板2的面板尺寸时，自背光灯31射出 的光不是自待检查面板2溢出、就是无法照射整个待检查面板2。为了解决该问题而使用遮 光板15’。该遮光板15’是一种控制自上述背光灯31射出的光而使该光高效率地射入上述 线阵相机22的光控制板。遮光板15’由2张遮光板构成。即、如图5、图6所示，遮光板15’由分开在左右两 侧的2张遮光板构成、并且以使各遮光板能滑动的方式支承该各遮光板，通过调整各遮光 板的间隔(狭缝)16’而使上述背光灯31的光的宽度与新的待检查面板的尺寸相符。在各遮光板15’上设有长孔17。设在侧壁部14上的螺丝等安装器具(未图示) 贯穿地设在长孔17中，从而利用该安装器具保持遮光板15’。通过使遮光板15’沿长孔17 滑动而能够任意放大或缩小遮光宽度，从而能够与面板尺寸的变化对应地调节遮光宽度。 遮光板15’的滑动机构中安装有电动机那样的驱动装置，从而在面板尺寸变化时输入数据 以调节遮光宽度，但也可以在面板尺寸变化时手动调节遮光宽度。非点亮检查装置在待检查面板经过检查装置21时利用线阵相机22依次获取待检 查面板的图像，然后利用控制部25根据该图像数据判断该待检查面板是合格品还是残次 品。如果在被检测面板中混入有灰尘、气泡，则背光灯的光会发生漫反射而透过偏振片，因此能够辨别灰尘、气泡。由此，本实施方式能够起到与上述第1实施方式相同的作用、效果。第3实施方式接下来，说明本发明的第3实施方式。本实施方式的非点亮检查装置的整体结构 与上述第1实施方式的非点亮检查装置相同，因此对于相同的构件标注相同的附图标记而 省略说明。本实施方式的非点亮检查装置具有偏振片。图7表示对不具有偏振片4的待检查面板2’进行非点亮检查的实施例。在检查 不具有偏振片4的待检查面板2’时，自背光灯射出的光全都透过待检查面板2’，从而存在 因高亮度的光射入线阵相机22而无法判断该待检查面板2’是合格品还是残次品的问题。 因此，在本实施方式中设有光控制板4’。该光控制板4’是控制自上述背光灯31射出的光 而使该光高效率地射入上述线阵相机22的板材。上述光控制板4’由两张偏振片构成。上述偏振片由1/4波片构成。使这两张1/4 波片的偏振方向彼此错开90°地配置该1/4波片。使一方的1/4波片面对上述线阵相机 22、且使另一方的1/4波片面对上述背光灯31地分别配置上述1/4波片。由此，通常利用一方的1/4波片和另一方的1/4波片阻挡自背光灯31射出的光， 而使线阵相机22拍摄的图像变暗。在待检查面板2’上存在异物的情况下，受到背光灯31侧的1/4波片的作用而发 生了直线偏振的光因为异物的存在而发生漫反射，从而透过线阵相机22侧的1/4波片。由 此，线阵相机22能在通常的图像中检测到点状或线状的光。由此，本实施方式的非点亮检查装置能够抑制产生�：�、出现图像散乱现象，从而 能够提高检查精度。此外，由于背光灯31的光不会直接射入线阵相机22，因此能够抑制在 进行非点亮检查时发生误判断。变形例在上述各实施方式中，设有2个线阵相机22，但由于待检查面板2具有各种尺寸， 因此也可以与待检查面板2的尺寸相符地设置1个或3个以上的线阵相机22。在该情况下 同样能够起到与上述各实施方式相同的作用、效果。在上述各实施方式中，利用摄像机框架23等将非点亮检查装置21 —体地组装在 输送装置11上，但也可以将非点亮检查装置21作为独立构件而适当地组装在已有的输送 装置11上。例如，也可以使摄像机框架23等安装器具具有能安装在输送装置11上或自输 送装置11上拆下的结构，然后将该安装器具组装在已有的输送装置11上。也可以将安装 器具形成为U字形而自输送装置11的侧面将该安装器具插入安装在输送装置11上。在上述第1实施方式中，将遮光板15的狭缝16设定为恒定的长度，但遮光板15 也可以是能伸缩的结构，从而能够调整狭缝16的长度。具体而言，如图8所示，遮光板41 由滑动板片42和滑动支承片43构成。利用在第1实施方式的遮光板15的中央附近切割 该遮光板15而成的一方的片构成滑动板片42。以在第1实施方式的遮光板15的中央附近 切割了该遮光板15的状态在该遮光板15的两端部设置供上述滑动板片42的两端部嵌合 的支承筒部44，从而构成滑动支承片43。由此，滑动板片42的两端部与滑动支承片43的 各支承筒部44嵌合地进行滑动，从而调整狭缝45的长度。即、也可以能够与待检查面板2 的宽度尺寸相符地调节狭缝的长度，从而使上述背光灯31的光与上述待检查面板2的宽度
8尺寸相符。在该情况下同样能够起到与上述各实施方式相同的作用、效果。另外，在上述各实施方式中，分别独立地设置遮光板15和光控制板4’，但也可以 重叠地设置它们。另外，也可以设置用于支承上述第2实施方式中的2张遮光板的遮光宽度调节机 构。可以利用分别支承上述各遮光板而使该遮光板移动的由直动式电动机等构成的直动机 构构成该遮光宽度调节机构，从而操作者能够一边看着监控器26 —边准确调节遮光板的 间隔，以使其与待检查面板2的宽度相符。在上述各实施方式中，将上述探测面板用传感器24固定在摄像机框架23上，但探 测面板用传感器24也可以是能够利用直动机构沿与待检查面板2的输送方向正交的方向 滑动的方式安装在摄像机框架23上。另外，直动机构既可以是自动式机构，也可以是手动 式机构。本发明并不限定于上述各实施方式，只要不脱离本发明的主旨，就能进行各种变 更。特别是，能对遮光板的形状、配置方式、移动机构等进行各种改进。上述第3实施方式所检查的待检查面板2’以处于设置偏振片4之前的阶段的面 板为对象，作为最终的面板，有只在待检查面板2’的下侧表面设有偏振片4的面板、只在待 检查面板2’的上侧表面设有偏振片4的面板、或在待检查面板2’的上下两侧表面均设有 偏振片4的面板。工业实用件本发明的非点亮检查装置能够用在对检查光可透过的面板的检查操作中，该面板 可以是需要检测在该面板的内部、表面上是否存在灰尘等异物、气泡等缺陷的所有面板。
权利要求
一种非点亮检查装置，其用于对待检查面板进行非点亮检查，其特征在于，该装置包括线阵相机，其与用于输送上述待检查面板的输送装置面对地设置、且用于获取被该输送装置输送的上述待检查面板的图像；背光灯，其以与上述线阵相机之间夹设有上述输送装置的状态与上述线阵相机面对地配置、且能将光照射在上述待检查面板上；探测面板用传感器，其在上述线阵相机的上游侧检测被上述输送装置输送过来的上述待检查面板的位置；光控制板，其控制自上述背光灯射出的光，以使该光高效率地射入上述线阵相机；控制部，其在经过了从利用该探测面板用传感器检测到上述待检查面板的位置到该待检查面板进入到上述线阵相机的视场中为止的设定时间之后点亮上述背光灯。
2.根据权利要求1所述的非点亮检查装置，其特征在于， 上述光控制板由具有能供光透过的狭缝的遮光板构成；该遮光板的狭缝的宽度能够调节，以使该狭缝的宽度与上述待检查面板的宽度尺寸相 符，从而使上述背光灯的光与上述待检查面板的宽度尺寸相符。
3.根据权利要求1所述的非点亮检查装置，其特征在于，上述光控制板由分开在左右两侧的2张遮光板构成，且各遮光板被支承为被支承为可 滑动的状态，通过调节各遮光板的间隔，能使上述背光灯的光的宽度与上述待检查面板的 尺寸相符。
4.根据权利要求2所述的非点亮检查装置，其特征在于， 能伸缩地构成上述遮光板，从而能够调整上述狭缝的长度。
5.根据权利要求3所述的非点亮检查装置，其特征在于， 上述2张遮光板被遮光宽度调节机构支承；该遮光宽度调节机构由分别支承上述各遮光板而使该遮光板移动的直动机构构成。
6.根据权利要求2所述的非点亮检查装置，其特征在于，上述遮光板被安装为能装卸的状态，且能替换上述遮光板，以使该遮光板与上述待检 查面板的尺寸等条件相符。
7.根据权利要求1所述的非点亮检查装置，其特征在于，上述探测面板用传感器被安装为能沿与待检查面板的输送方向正交的方向滑动的状态。
8.根据权利要求1所述的非点亮检查装置，其特征在于，上述光控制板由彼此的偏振方向错开的两张偏振片构成，其中一方的偏振片面对上述 线阵相机，另一方的偏振片面对上述背光灯。
全文摘要
本发明提供一种能够抑制产生�：⒊鱿滞枷裆⒙蚁窒蟮榷凶既返募觳�、能够调节背光灯的光的照射范围而抑制发生误判断的非点亮检查装置。该装置用于对待检查面板进行非点亮检查。该装置包括线阵相机，其与输送装置面对地设置、用于获取被该输送装置输送的上述待检查面板的图像；背光灯，其与上述线阵相机面对地配置、且将光照射在上述待检查面板上；探测面板用传感器，其在上述线阵相机的上游侧检测被上述输送装置输送过来的上述待检查面板的位置；光控制板，其控制自上述背光灯射出的光，以使该光高效率地射入上述线阵相机；控制部，其在经过了到上述待检查面板进入上述线阵相机的视场中为止的设定时间之后点亮上述背光灯。
文档编号G01N21/88GK101887026SQ20101017416
公开日2010年11月17日 申请日期2010年5月13日 优先权日2009年5月13日
发明者水野邦广 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司
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