专利名称：散射式云粒子探测器光学系统的制作方法
技术领域：
本实用新型设计了一种基于单模光纤耦合输出半导体激光器、散射多角度接收的
云粒子探测器。使用单模光纤耦合输出半导体激光器和方孔光阑研制云粒子探测器，通过
使用方孔切掉高斯光束的边缘部分，仅保留高斯光束的顶部，利用4f光学系统将方孔成像 在测量敏感区域中心位置，在测量敏感区域中心位置产生近似平顶光束，解决照明不均匀 问题，使用方孔光阑产生正方形光束，使粒子穿过照亮区域的时间相同，电脉冲的时间宽度 相同，易于后续的电子学处理。实用新型的云粒子探测器具有两个散射能量接收系统，从前 向和侧后向两个角度接收粒子散射，根据两个角度输出电信号的比值，可以推断云粒子的 相态。
背景技术：
人工增雨是人工影响天气的最重要的活动之一，具有很高的社会效益和经济效 益。为使云中水分更多地转化为降水，从而达到增雨的目的，人工增雨活动需要于适当时 机在云体的适当部位进行催化作业。但是，由于云体的复杂多变等因素，单凭地面上的一些 观测手段所得到的信息很难准确的确定云中的可播区，这对催化决策的准确性造成很大影 响，因此如何准确的了解云系的结构是人工影响天气科学问题的焦点。利用飞机直接飞入 云系内部，进行有效的观测，是近代云物理学一直采用的研究方法。上世纪70年代以来，美 国研制了一套自动化的机载云粒子测量系统(PMS)，目前该套仪器的在自动化测量和探测 精度的方面均有了很大的提高，其中散射式云粒子探头是该套仪器中的一个组成部分，其 测量范围为0. 5-47um。 目前，最先进的散射式云粒子测量系统功能工作原理如下，系统使用658nm 的连续激光作为照明光源，照明光束截面是200X 180um，形成的测量敏感区域大小为 2mmX180um。云粒子探头安装在飞机外部，且激光传输方向垂直于飞机飞行的方向，飞机飞 行时可以认为粒子垂直于光束方向穿过激光束，粒子穿过过程中散射激光能量，直射光被 贴在收集透镜上的全反镜反出光路，用以激光器能量的监测，散射光收集镜收集4-12°之 间的散射能量，收集来的光被分光镜分为33/66%两部分(探测通道和质量控制通道)，分 别使用光电探测器探测。其中质量控制通道其面有小孔光阑，当粒子距离测量中心位置较 远时，根据几何成像的观点则成像的位置发生变化(前后发生变化)，而使部分的光被光阑 挡�。虼顺鱿种柿靠刂仆ǖ滥芰啃∮谔讲馔ǖ赖那榭觯嗬虢沟阍皆对蛑柿靠刂仆ǖ捞� 测得到的能量越少，而探测通道能量基本不发生变化，则根据两者之间的关系，可以舍弃距 离焦点较远的粒子。在电子学上，探测通道和质量控制通道出来的电信号首先被放大，然后 通过比较器进行质量控制，同时使用多通道信号分析仪对探测通道的信号进行分析，比较 器输出为0或5V的数字信号送给DSP，作为接收和拒收的判断依据，如果是高电平则将分析 仪输出的信号通过RS232串口送给计算机，若为低电平，则系统不记录该粒子。 在长时间的使用与维护中发现，对于上述散射式云粒子测量系统就光学部分而言 主要存在以下几个方面的问题。(1)系统使用自由空间输出的半导体激光器，在光的传输
3过程中存在快轴、慢轴之分，经过一段距离后光斑为椭圆形状，不但激光模式在X轴、Y轴不 同，而且不利于后续光学系统的设计、加工、处理；(2)系统中的200X180um光束是由光阑 形成，由于光阑小孔很�。匦肟悸遣ǘ庋е械难苌洌虼耍す獾酱锕庋仗搴螅浯� 小远不止200umX180um这个尺寸，因为粒子散射能量本身很�。匦敫叨纫种浦鄙涔猓� 大反射镜的面积可以增加直射光的抑制程度，但同时也损耗了散射光，而且是O。附近的散 射光，使散射光受到很大的衰减；(3)直射光全反镜由于不能使用调整架(怕对散射光有遮 挡)而直接胶合在散射光收集透镜上；(4)接收系统中没有窄带滤光片，而云粒子探测一般 是在白天进行，很多杂散光进入接收系统，影响系统的信噪比；(5)该系统只能得到云粒子 的大小信息，不能获取云粒子的相态。现代光学技术的发展，为改进该系统提供了必要的条 件，通过采用现代化的光电器件、结合严密的几何光学波动光学设计，应该能够得到优于该 系统的云粒子探测系统。
发明内容本实用新型解决的技术问题通过使用单模光纤耦合输出半导体激光器、非球面 准直镜、方孔光阑和4f变换系统，既产生了需要的激光的均匀照明，又解决了光束切割过 程中的衍射问题，提高了散射光接收的纯度；实用新型的云粒子探测器具有两个接收角度， 根据两个角度输出电信号的比值，可以推断云粒子的相态。 本实用新型的技术解决方案如下 —种散射式云粒子探测器光学系统包括发射光学单元、前向散射探测单元和侧 后向散射探测单元； 所述发射光学单元包括一台单模光纤耦合输出激光器(1)、非球面准直镜(2)、 方孔光阑(3)、4f光学系统；所述4f光学系统包括傅立叶变换透镜(4)、反傅立叶变换透镜 (6)和第一全反镜(5); 所述前向散射探测单元包括前向散射光收集透镜(9)、第一窄带滤光片(10)、 第二全反镜(11)、第一光电探测器(12)、会聚透镜(13)、分光棱镜(14)、第二光电探测器 (15)、小孔光阑(16)、第三光电探测器(17); 所述侧后向散射探测单元包括第二窄带滤光片(19)、侧后向散射收集透镜 (20)、第四光电探测器(21); 所述光纤激光器(1)光纤末端输出的光使用非球面镜(2)进行准直，准直后使用 方孔光阑(3)去切割，经4f光学系统(4)将方孔光阑(3)成像到测量区域中间即第一窗 口玻璃(7)、第二窗口玻璃(8)之间中心位置；在该中间位置光束特性与方孔光阑(3)处光 束特性相同，衍射现象不明显，因此，在以该点为中心的一个小范围内，形成均匀照明，同时 由于粒子经过光束的时间相同，产生电信号的时域特性相同，消除了边缘效应，易于后续处 理。 系统在两个方向上接收云粒子的散射，分别收集前向散射和侧后向散射，根据两
个方向上光电探测器的输出可以推断待测粒子的相态。
散射式云粒子探测系统光路，包括以下步骤 (1)单模光纤耦合输出激光器的激光从光纤末端输出； (2)非球面准直镜将其光纤末端的输出变为平行光，其光斑尺寸为2mm ;[0016] (3)使用300umX300um的方孔光阑去切割整形后的激光束，仅适用高斯光束中间 相对均匀的部分； (4)使用4f光学系统将方孔光阑上的方孔的成像到测量敏感区域(第一窗口玻璃 与第二窗口玻璃之间中心位置处)； (5)所有发射部分元件通过窗口玻璃与外界空气隔离； (6)所有前向散射接收器件通过窗口玻璃与外界空气隔离； (7)前向散射透镜收集13°以内的光信号，包括直射信号和散射信号； (8)利用窄带滤光片抑制收集的杂散光，增加信噪比； (9)使用45°全反镜将散射光全反，该全反镜中间开孔，孔的大小使直射光完全 通过。
(10)散射光由会聚透镜进行聚焦； (11)分光棱镜将聚焦后的散射光分为3 : 1两部分，分光棱镜反3透1 ; (12)分光棱镜反射部分对应质量控制通道，探测器前面放一小孔用于质量控制，
透射部分直接由光电探测器探测； (13)侧后向散射部分光学元件通过窗口玻璃与外界大气隔离； (14)窄带滤光片用于抑制杂散光引起的噪声； (15)收集透镜将侧后向散射聚焦到探测器，用于侧后向散射能量的探测； 本实用新型中激光器为光纤耦合输出激光器为连续激光器，波长为685nm，输出功 率为35mW。所说非球面准直镜的工作口径为2mm，准直后激光的发散角小于lmrad。所说方 孔光阑方孔大小为300umX300um。 4f光学系统包括傅立叶变换透镜、全反镜、反傅立叶变 换透镜。傅立叶变换透镜对经过方孔光阑的光进行傅立叶变换，全反镜将光的传输方向改 变90度，但不改变光的性质，反傅立叶变换透镜对入射的光进行反傅立叶变换，最终将方 孔的像呈现在测量敏感区域中间。 所述的第一、第二、第三窗口玻璃均为石英平板，分别用来密封发射光学系统、前 向散射接收系统、侧后向接收系统。 所述的散射光接收透镜分别用来接收前向散射和侧后向散射，接收透镜所成的接 收立体角分别为4-13° 、128.5-141.5° 。所述的窄带滤光片中心透过波长为685nm，带宽 为10nm，带宽内透过率为99X。所述的全反镜(11)为685nm45。全反，中心有一方孔，可以 让激光的直射光直接通过，照射在探测器上，用于监测激光器能量的抖动。 所述的会聚透镜(13)将粒子散射光信号会聚到探测器，会聚后相差很�。咏� 射极限。所述的分光棱镜将散射光信号分为3 : l两部分。所述的小孔光阑(16)用于探 测区域的控制，其直径为200um。所述的光电探测器(12)、 (15)、 (17)、 (21)分别用于激光 器功率监视、前向散射探测、前向散射质量控制通道探测、侧后向散射探测。 本实用新型与现有技术相比具有的优点在于 本实用新型针对云粒子探测器研制过程中光束控制困难以及仪器使用过程中的 边缘效应两个问题，通过使用单模光纤耦合输出半导体激光器、方孔光阑和4f光学系统研 制云粒子探测器，并通过多角度收集散射光，可以获取云粒子相态信息。半导体激光器的自 由输出光斑一般为椭圆形，椭圆形光斑不易控制，因此，将该椭圆光斑汇聚进入单模光纤， 光纤末端输出的光斑为高斯光束，是最为理想的激光传输模式；边缘效应是云滴粒子探测器的主要误差来源之一，通过使用方孔光阑切掉高斯光束的边缘部分，仅保留高斯光束的 顶部，使用4f光学系统减小衍射的影响，产生近似平顶光束，消除边缘效应；实用新型的云 粒子探测器具有两个散射能量接收系统，从前向和侧后向两个角度接收粒子散射，根据两 个角度输出电信号的比值，可以推断云粒子的相态。
(1)使用单模光纤耦合输出激光器，输出的激光模式好，光斑为圆形光斑易于处 理；使用非球面镜对光纤输出光进行准直，准直后的激光发散角小且光束直径�。� (2)利用方孔光阑去切高斯光束，利用4f光学系统消除衍射对系统的影响； (3)在系统中全反镜中心开孔，让直射光直接穿过，用以监测激光器能量，减小了 光学加工的难度。
(4)在散射接收过程中使用窄带滤光片，抑制仪器白天工作时的杂散光引起的噪
声° (5)使用多方向散射的接收，不但接收前向散射，而且接收侧后向散射，利用前向 散射可以获取粒子的尺寸，利用两方向散射的比值可以获取粒子的相态信息。
图1为散射式云粒子探测器的光路示意图 图中1-单模光纤耦合输出激光器；2_非球面准直镜；3_方孔光阑；4_傅立叶变 换透镜；5-第一全反镜；6-反傅立叶变换透镜；7-第一窗口玻璃；8-第二窗口玻璃；9-前 向散射光收集透镜；10-第一窄带滤光片；11-第二全反镜；12-第一光电探测器；13_会聚 透镜；14-分光棱镜；15-第二光电探测器；16-小孔光阑；17-第三光电探测器；18-第三窗 口玻璃；19-第二窄带滤光片；20-侧后向散射收集镜；21-第四光电探测器。
具体实施方式
如图1所示，本发为明基于新颖光路的散射式云粒子探测器，它使用单模光纤耦 合输出半导体激光器作为照明光源，使用非球面准直镜将激光准直；利用方孔光阑和4f变 换系统，既产生了需要的激光的均匀照明，又解决了光束切割过程中的衍射问题，提高了散 射光接收的纯度；接收散射时，使用窄带滤光片，提高了仪器白天工作时的信噪比；实用新 型的云粒子探测器具有两个接收角度，不但可以获取云粒子的尺寸，而且可以根据两个角 度散射强度的比值，可以推断云粒子的相态。 该系统由一台单模光纤耦合输出激光器1、非球面准直镜2、方孔光阑3、傅立叶变 换透镜4、第一全反镜5、反傅立叶变换透镜6、第一窗口玻璃7、第二窗口玻璃8、前向散射光 收集透镜9、第一窄带滤光片10、第二全反镜11、第一光电探测器12、会聚透镜13、分光棱镜 14、第二光电探测器15、小孔光阑16、第三光电探测器17、第三窗口玻璃18、第二窄带滤光 片19、侧后向散射收集镜20、第四光电探测器21组成。 其中单模光纤耦合输出激光1用来产生685nm的单模连续激光，在本系统中作为 照明光源，其中非球面准直镜2用于对光纤末端输出的激光进行准直，非球面镜相对于球 面镜有更好的准直效果，准直后激光的发散角小于lmrad。其中方孔光阑3用于切割激光光 束，只取高斯光束的中间部分，产生近似的均匀的照明。傅立叶变换透镜4经过光阑切割的 激光进行傅立叶变换。第一全反镜5将变换后的光转过90。，不改变光的性质。反傅立叶变换透镜6，对光进行反傅立叶变换，使其最终方孔的像成在探测区域的中心位置(第一窗 口玻璃与第二窗口玻璃间中心位置)。 第一窗口玻璃7用来密封发射光学系统，使其与外界大气隔离。第二窗口玻璃8 用来密封前向接收系统，使其与外界大气隔离。前向散射光收集透镜9所成的接收立体角 分别为13° 。第一窄带滤光片用来抑制进入前向接收系统的杂散光。第二全反镜ll中心 开孔，让直射光直接通过，使最终进入前向散射系统的光为4-13° 。光电探测器12用于系 统直射光的测量，可以用以检测激光器能量变化。会聚透镜13将粒子散射光信号会聚到探 测器，会聚后相差很�。咏苌浼�。分光棱镜14将散射光信号分为3 : l两部分，反3 透l。第二光电探测器15用来获取粒子尺寸的大�。浞却笮∮肓Ｗ映叽缦喙�。小孔光 阑16用于探测区域的控制，其直径为200um。第三光电探测器17用于质量控制，根据其与 第二探测器的比值，可以确定粒子是否在探测灵敏区域。 第三窗口玻璃18用于密封侧后向散射接收系统，将侧后向散射接收单元与外界 空气隔离开。第二窄带滤光片19用来抑制进入侧后向散射接收单元的杂散光，提高信噪 比。侧后向散射收集透镜20用来接收粒子的侧后向散射，接收的立体角为128. 5-141. 5° 。 第四光电探测器21用于粒子侧后向散射的探测。
以下结合附图说明散射式云粒子探测器的具体实现过程。 系统工作时，打开光纤耦合输出激光器1的电源，激光器出光，光纤尾部有单模激 光输出，输出激光的发散角决定于所用光纤的数值孔径。发散的激光经过非球面镜2进行 准直，非球面准直镜输出的光斑直径为2mm，激光的发三角微为lmrad，根据单模光的特性， 此时光斑的能量分布是按照高斯函数旋转对称的高斯光斑，即光斑的中间能量大，沿径向 方向逐渐减小。为获取近似的均匀照明，在光路中心位置处放置一个300umX300um的方孔 光阑3。在紧贴光阑的后表面处，透过的光束形状接近方孔，但由于小孔尺寸较�。粑奁� 他光学透镜，随着光的传输，衍射现象十分严重。为此，使用4f光学系统，光阑出来的光首 先经过傅立叶变换透镜4进行傅立叶变换，形成频谱面，再用一相同的傅立叶透镜6对光 进行反傅立叶变换，将小孔的像成在测量敏感区域中心位置(第一窗口玻璃与第二窗口玻 璃间中心位置)，在这个位置光斑的特性等同于光阑处的光斑特性，能够产生近似的均匀照 明。穿过测量敏感区域的粒子把激光向周围散射，散射过程遵循Mie散射理论，并由于粒子 很�。梢钥醋鞯愎庠�。 粒子的前向散射光由散射光接收透镜9接收，并用一窄带滤光片IO滤掉进入系统 的其他波长的杂散光，其接收的立体角最大为13° ，但由于在O。附近，散射光和直接入射 光无法分开，因此，滤光片后面放置一45。全反镜ll，该全反镜中间开孔，让直接入射光通 过，该部分光可以用第一光电探测器12进行探测，可以监视激光功率的变化。全反镜11中 心开孔导致0-4°以内的散射光被损失，4-13°内的散射光进入被反射，用会聚透镜13进 行会聚，会聚光在进入探测器前被分光棱镜14分为两部分，该分光棱镜将信号光分为反透 3 : l两部分。透射光直接由第二光电探测器15进行探测，其输出信号幅度与粒子尺寸大 小相关。反射光在进入第三光电探测器17必须经过直径为200um的小孔光阑16。当粒子 从测量区域的中心位置通过时，此时光被聚焦的很�。芄凰忱ü】祝孀帕Ｗ咏牍� 路的位置偏离中心位置，成像变大，导致部分光被小孔光阑挡住，偏离中心位置处越多，被 挡住的光也就越多，导致第三光电探测17和第二光电探测器15的输出变为1 : l，此时粒子经过的路径为测量敏感区域的最边缘。 侧后向散射与前向散射的接收原理相同，只是光轴不同，并且不再重复使用质量 控制。侧后向散射光经光学窗口 18、窄带滤光片19由散射光收集透镜20进行收集，该透镜 收集光的立体角范围为128.5-141.5° ，侧后向散射光由第四光电探测器21进行探测。 根据Mie散射理论，如果粒子为液态，其折射率为1. 33，当粒子尺寸一定时，其向 空间散射能量的模式是固定的，也就是说前向散射和侧后向散射的比值是固定的。实际测 量时，第二光电探测器15的输出决定了所测粒子大�。诙獾缣讲馄�15与第四光电探测 器21的比值，如果正好为理论计算的前后向散射比值，此时，粒子为液态，否则，记为固态， 即冰晶。
权利要求一种散射式云粒子探测器光学系统包括发射光学单元，其特征是该系统还包括前向散射探测单元和侧后向散射探测单元；所述发射光学单元包括一台单模光纤耦合输出激光器(1)、非球面准直镜(2)、方孔光阑(3)、4f光学系统；所述4f光学系统包括傅立叶变换透镜(4)、反傅立叶变换透镜(6)和第一全反镜(5)；所述前向散射探测单元包括前向散射光收集透镜(9)、第一窄带滤光片(10)、第二全反镜(11)、第一光电探测器(12)、会聚透镜(13)、分光棱镜(14)、第二光电探测器(15)、小孔光阑(16)、第三光电探测器(17)；所述侧后向散射探测单元包括第二窄带滤光片(19)、侧后向散射收集透镜(20)、第四光电探测器(21)；所述光纤激光器(1)光纤末端输出的光使用非球面准直镜(2)进行准直，准直后使用方孔光阑(3)切割，经4f光学系统(4)将方孔光阑(3)成像到测量区域中间即第一窗口玻璃(7)、第二窗口玻璃(8)之间中心位置。系统在两个方向上接收云粒子的散射，分别收集前向散射和侧后向散射，根据两个方向上光电探测器的输出推断待测粒子的相态。
2. 根据权利要求1所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是单模光纤耦合输出激光器(1)为连续激光器，波长为685nm，输出功率为35mW。
3. 根据权利要求l所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是非球面准直镜(2) 的工作口径为2mm，准直后激光的发散角小于lmrad。
4. 根据权利要求1所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是方孔光阑(3)方 孔大小为300umX300um。
5. 根据权利要求1所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是系统还设有第一窗口玻璃(7)、第二窗口玻璃(8)、第三窗口玻璃(18)，分别密封发射光学单元、前向散射探 测单元和侧后向探测单元。
6. 根据权利要求1所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是前向散射光收集透镜(9)所成的接收立体角为4-13° ，侧后向散射光收集透镜(20)所成的接收立体角为 128.5-141.5° 。
7. 根据权利要求1所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是第一窄带滤光 片(10)和第二窄带滤光片(19)的中心透过波长为685nm，带宽为10nm，带宽内透过率为 99%。
8. 根据权利要求l所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是全反镜(11)为 685nm 45°全反，中心有一方孔，能够让激光的直射光直接通过，照射在探测器(12)上，用 于监测激光器能量的抖动。
9. 根据权利要求1所述的散射式云粒子探测器光学系统，其特征是会聚透镜(13)将 粒子散射光信号会聚到分光棱镜(14)，分光棱镜(14)将散射光信号分为3 : l两部分，分 送给探测器第二光电探测器(15)和第三光电探测器(17)。
专利摘要本实用新型公开一种基于单模光纤耦合输出半导体激光器、散射多角度接收的散射式云粒子探测器光学系统。本实用新型的散射式云粒子探测器光学系统包括发射光学单元、前向散射探测单元和侧后向散射探测单元，它通过使用单模光纤耦合输出半导体激光器、非球面准直镜、方孔光阑和4f变换系统，既产生了需要的激光的均匀照明，又解决了光束切割过程中的衍射问题，提高了散射光接收的纯度；本实用新型的云粒子探测器具有两个接收角度，根据两个角度输出电信号的比值，可以推断云粒子的相态。
文档编号G01N21/49GK201514379SQ20092023508
公开日2010年6月23日 申请日期2009年8月19日 优先权日2009年8月19日
发明者卜令兵, 黄兴友 申请人:南京信息工程大学
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
