专利名称：一种真空计校准装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种校准装置，尤其是一种真空计校准装置。
背景技术：
目前，真空计的现场校准设备包括一个校准室、一个与校准室连通的微量调节阀、 一个通过管路和接口与校准室连通的标准真空计、一个通过管路和接口与校准室连通的被 校真空计，一个分子泵、机械泵和旁抽回路。例如专利号为ZL200620138384.4专利名称为 便携式真空计校准装置的专利文件。现有的现场真空计校准装置精度很低，校准范围�。薹ń卸喾段Ｗ迹晃薹ㄔ� 多种气体环境下进行校准。
实用新型内容本实用新型提供了一种真空计校准装置，主要使用模拟的真空计使用环境，并在 此条件下对配有真空规管的真空计进行常规性校准。本实用新型提供的真空计校准装置包括真空校量室、标准真空计、抽气系统、流量 控制系统。优选的，所述的流量控制系统包括符合压强控制仪和流量计，符合压强控制仪分 别与标准真空计和流量计电信号相连，流量计的出气端与真空校量室相通。流量控制系统 可以控制真空校量室的压强。优选的，所述的真空校量室为半球体；抽气系统与半球体的中心相连。这种结构的 真空校量室内，各个与底面平行的圆周上的压强是相同，不会出现真空校量室内的压强不 均勻的问题。优选的，在所述的真空校量室的与底面平行的圆周表面上设有多个外部联通设 备，与真空校量室相通。优选的，所述的标准真空计通过所述的外部联通设备与真空校量室连接；所述的 流量计出气端通过另外一个外部联通设备与真空校量室连接。优选的，所述的流量计的进气端连接气瓶或者空气。可以根据需要模拟真空计的 工作环境，在气瓶中装入需要的气体，流进真空校量室。优选的，所述的真空校量室与抽气系统之间设有挡板阀。挡板阀能够稳定真空校 量室里的气压。优选的，所述的抽气系统的主抽气泵为分子泵。优选的，所述的抽气系统的主抽气泵连接一个真空管体，真空管体的另一端与前 级泵管道相连。真空管体起到保护主抽气泵的作用，当抽气系统漏气时，外界空气进入主抽 气泵会损坏主抽气泵，如果在主抽气泵上连接一个真空管体，漏气时，外界空气会进入真空 管体，起到缓冲作用，还可在真空管体上安装报警装置，漏气时就会报警，保护了整个抽气 系统。
图1为本实用新型的一种真空计校准装置的一个实施例示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型的真空计校准装置包括真空校量室、标准真空计、抽气系 统、流量控制系统。更进一步的，所述的流量控制系统包括符合压强控制仪和流量计，符合压强控制 仪分别与标准真空计和流量计电信号相连，流量计的出气端与真空校量室相通。流量控制 系统可以控制真空校量室的压强。所述的真空校量室为半球体；抽气系统与半球体的中心 相连。这种结构的真空校量室内，各个与底面平行的圆周上的压强是相同，不会出现真空校 量室内的压强不均勻的问题。所述的半球形真空校量室上设有8个外部联通设备，且位于同一与地面平行的圆 周表面上，与真空校量室相通，外部联通设备与球形真空室密封焊接，外部联通设备的端部 设有锁母可固定真空规管，其中一个外部联通设备固定标准真空计FZh-2B符合真空计， 另一个外部联通设备接带有符合压强控制系统的进气系统，剩下的6个外部联通设备可固 定待校准真空计的真空规管或者盲堵。下部为抽气系统，包括前级泵、分子泵、真空管体。前级泵为直连泵；分子泵与真空 校量室连接处设有挡板阀，挡板阀能够稳定真空校量室里的气压；真空管体与分别与分子 泵和前级泵相连，真空管体起到保护主抽气泵的作用，当抽气系统漏气时，外界空气进入主 抽气泵会损坏主抽气泵，如果在主抽气泵上连接一个真空管体，漏气时，外界空气会进入真 空管体，起到缓冲作用，还可在真空管体上安装报警装置，漏气时就会报警，保护了整个抽 气系统。工作原理标准真空计测出真空校量室内的压强，发送信号给符合压强控制仪，符合压强控 制仪根据所需的压强差值，发送信号给流量计，流量计通过阀门调整进入真空校量室的气 体流量；由于抽气系统抽气量是不变的，进入气体的量减少，真空校量室内的压强就会变 �。粗蛟龃蟆Ｔ俑荼曜颊婵占频牟饬恐担Ａ看Ｗ嫉恼婵占�。本实用新型的优点是可以在较大范围内校量真空计，并且校量精度更高。其中极 限真空度优于3X 10_7Pa，校准范围在2. OX 1(Γ4-1. OX IO5Pa,稳定性小于10%。
权利要求一种真空计校准装置，包括真空校量室、标准真空计、抽气系统，其特征在于还包括流量控制系统。
2.根据权利要求1所述的真空计校准装置，其特征在于所述的流量控制系统包括符 合压强控制仪和流量计，符合压强控制仪分别与标准真空计和流量计电信号相连，流量计 的出气端与真空校量室相通。
3.根据权利要求2所述的真空计校准装置，其特征在于所述的流量计的进气端连接 气瓶或者空气。
4.根据权利要求1所述的真空计校准装置，其特征在于所述的真空校量室与抽气系 统之间设有挡板阀。
5.根据权利要求1所述的真空计校准装置，其特征在于所述的抽气系统的主抽气泵 为分子泵。
6.根据权利要求1所述的真空计校准装置，其特征在于所述的抽气系统的主抽气泵 连接一个真空管体，真空管体的另一端与前级泵管道相连。
7.根据权利要求1所述的真空计校准装置，其特征在于所述的真空校量室为半球体； 抽气系统与半球体的中心相连。
8.根据权利要求1 7任一所述的真空计校准装置，其特征在于所述真空校量室的 与底面平行的圆周表面上设有多个外部联通设备，与真空校量室相通。
9.根据权利要求8所述的真空计校准装置，其特征在于所述标准真空计通过所述的 外部联通设备与真空校量室连接；所述的流量计出气端通过另外一个外部联通设备与真空 校量室连接。
专利摘要本实用新型提供了一种真空计校准装置，包括真空校量室、标准真空计、抽气系统、流量控制系统；所述的流量控制系统包括符合压强控制仪和流量计，符合压强控制仪分别与标准真空计和流量计电信号相连，流量计的出气端与真空校量室相通。流量控制系统可以控制真空校量室的压强。本实用新型的优点是可以在较大范围内校量真空计，并且校量精度更高。其中极限真空度优于3×10-7Pa，校准范围在2.0×10-4-1.0×105Pa，稳定性小于10％。
文档编号G01L27/00GK201697751SQ20102019031
公开日2011年1月5日 申请日期2010年5月10日 优先权日2010年5月10日
发明者李峰, 陈国华 申请人:北京天普太阳能工业有限公司
专业数控铣床产品供应商
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