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专利名称：一种超微热导检测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检测器，特别涉及一种超微热导检测器。
背景技术：
随着社会经济的发展，目前在各大型工业企业(如煤矿、石油、空分等行业)的生 产过程中，某些生产环节下需要对特定的生产过程所产生的气体含氢量进行必要的检测， 以提高生产过程的稳定性、安全性；保证维护工作人员的人身安全和正常的生产需要。现在 企业采用的检测仪器是根据热导原理——惠斯通电桥平衡原理，对工业气体进行检测，但 是现有测量技术的测量背景参数是不可调的，这就使得在测量中，被测气体的选择会受到 很大的限制。
发明内容为解决现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种超微热导检测器， 具有测量背景参数可调、测量准确、应用范围极广、安装方便且测量精度趋于ppb/ppt数量 级的特点。为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的一种超微热导检测器， 包括壳体1，壳体1的两侧各设置有两个参考臂气室2和测量臂气室3，两个测量臂气室3 均与壳体1上的样气通道4相通，两个参考臂气室2相通，参考臂气室2的两端分别设有进 气口 5和出气口 6，两个测量臂气室3与样气通道4相接处均设置有热敏器件17，参考臂气 室2内也设置有热敏器件118。所述的进气口 5与参考臂气室2的相接处设置有锥形弹片9。所述的出气口 6与参考臂气室2的相接处设置有密封螺栓10。所述的样气通道4的进气口设置有过滤网11。所述的热敏器件17和热敏器件118均为钼丝电阻。本实用新型的体积很小，灵敏度极高，精度极优于士 1 %，材质价格也比较便宜。
附图是本实用新型的结构原理图。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作详细叙述。一种超微热导检测器，包括壳体1，壳体1的两侧各设置有两个参考臂气室2和测 量臂气室3，两个测量臂气室3均与壳体1上的样气通道4相通，两个参考臂气室2相通，参 考臂气室2的两端分别设有进气口 5和出气口 6，两个测量臂气室3与样气通道4相接处均 设置有热敏器件17，参考臂气室2内也设置有热敏器件118。所述的进气口 5与参考臂气室2的相接处设置有锥形弹片9。[0014]所述的出气口 6与参考臂气室2的相接处设置有密封螺栓10。所述的样气通道4的进气口设置有过滤网11。所述的热敏器件17和热敏器件118均为采用超微技术光在云母上刻上很细的钼 丝制成的钼丝电阻，这种钼丝电阻平行的装配于气流通道中，微气流从其表面掠过。本实用新型的工作原理为测量时，将参考气体通入参考臂气室2，样气通入测量 臂气室3中，参考臂气室2和测量臂气室3的热敏器件17和热敏器件118开始升温，阻值 开始发生变化，因参考臂气室2的参考系数(热导系数)与样气热导系数不同，利用惠斯通 电桥原理即可得到所需气体的含量。对参考臂气室2通入气体时，只需借用外力将锥形弹片9推进，气体即可充满参考 臂参考臂气室2，当气体充满后，借用参考臂气室2内部气压的作用将锥形弹片9迅速弹回 原位，防止漏气现象发生，如果需要更改背景气体，只需用螺丝刀旋动密封螺栓10，将密封 螺栓10旋出即可将背景气体释放，实现参考热导系数可调。本实用新型安装方便，参考热导系数可调，灵敏度高、测量数据精确，精度优于 士 1%，可广泛应用于色谱等各类气体分析仪器使用，其体积小、可靠性、耐振性也相对提 高。
权利要求一种超微热导检测器，其特征在于，包括壳体(1)，壳体(1)的两侧各设置有两个参考臂气室(2)和测量臂气室(3)，两个测量臂气室(3)均与壳体(1)上的样气通道(4)相通，两个参考臂气室(2)相通，参考臂气室(2)的两端分别设有进气口(5)和出气口(6)，两个测量臂气室(3)与样气通道(4)相接处均设置有热敏器件I(7)，参考臂气室(2)内也设置有热敏器件II(8)。
2.根据权利要求1所述的一种超微热导检测器，其特征在于，所述的进气口(5)与参考 臂气室(2)的相接处设置有锥形弹片(9)。
3.根据权利要求1所述的一种超微热导检测器，其特征在于，所述的出气口(6)与参考 臂气室(2)的相接处设置有密封螺栓(10)。
4.根据权利要求1所述的一种超微热导检测器，其特征在于，所述的样气通道(4)的进 气口设置有过滤网(11)。
5.根据权利要求1所述的一种超微热导检测器，其特征在于，所述的热敏器件1(7)和 热敏器件II (8)均为钼丝电阻。
专利摘要一种超微热导检测器，包括壳体1，壳体1的两侧各设置有两个参考臂气室2和测量臂气室3，两个测量臂气室3均与壳体1上的样气通道4相通，两个参考臂气室2相通，参考臂气室2的两端分别设有进气口5和出气口6，两个测量臂气室3与样气通道4相接处均设置有热敏器件I7，参考臂气室2内也设置有热敏器件II8。测量时，将参考气体通入参考臂气室2，样气通入测量臂气室3中，参考臂气室2和测量臂气室3的热敏器件I 7和热敏器件II 8开始升温，阻值开始发生变化，因参考臂气室2的参考系数(热导系数)与样气热导系数不同，利用惠斯通电桥原理即可得到所需气体的含量，本实用新型具有体积小可靠性高的特点。
文档编号G01N27/18GK201637708SQ201020115660
公开日2010年11月17日 申请日期2010年2月10日 优先权日2010年2月10日
发明者石兆奇 申请人:西安鼎研科技有限责任公司