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[0001]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÊôÓÚ»úе¡¾¼¼ÊõÁìÓò¡¿£¬Éæ¼°Ò»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°Öá£
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[0003]îѺϽðÉϳÁ»ýTiC¡¢TiN, Ti (C£¬N)µÈÍ¿²ã¿ÉÒÔ¼«´óµØÌá¸ßîѺϽðµÄ±íÃæÐÔÄÜ£¬»ñµÃ¸ßÓ²¶È¡¢ÄÍÄ¥ÐÔ¡¢Ä͸ßκÍÄ͸¯Ê´µÄ±íÃæÒѳÉΪ²»ÕùµÄÊÂʵ¡£Ä¿Ç°£¬ÓÐÐí¶à·½·¨¿ÉÓÃÓÚÖÆ±¸¾ßÓÐÌØÊâÐÔÄܵıíÃæÍ¿²ã£¬Èçµç¶Æ(Cr, Ni)ºÍ¸÷ÖÖÆøÏà³Á»ý(physical vapourdeposition, PVD £»chemical vapour deposition, CVD),µ«ÕâЩͿ²ã¶¼±È½Ï±¡,µª»¯²ã´ó¶àÖ»Óм¸Î¢Ã××óÓÒ£¬ÄÑÒÔÂú×㹤³ÌÉϵÄÒªÇó£»ÈÈÅçÍ¿·½·¨ÖƱ¸µÄÍ¿²ãËäÈ»½Ïºñ£¬µ«Óë»ù²ÄµÄ¸½×Ų»ºÃ£¬ÎªÑо¿²»Í¬Í¿²ã²ÄÁϵÄÐÔÄÜ£¬ÐèÒª¶Ô¾ßÓв»Í¬Í¿²ãµÄÁã¼þ£¬ÔÚ¾Àú¸¯Ê´¡¢Ä¥Ëð»òÆÆ»µÊÔÑéºó£¬Æä±íÃæµÄÊÜËð³Ì¶È½øÐмì²â£¬ÒÔ±ãµÃ³ö¸÷Í¿²ãµÄÐÔÄÜÓÅÁÓ¡£
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[0004]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÊÇÕë¶ÔÏÖÓеļ¼Êõ´æÔÚµÄÉÏÊöÎÊÌ⣬ÌṩһÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°Ö㬱¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÒª½â¾öµÄÊÇÈçºÎÔÚÍ¿Óв»Í¬Í¿²ãµÄÖáÀàÁã¼þ¾¹ýÏàͬµÄÆÆ»µÊÔÑéºó£¬¼ì²â³öÁã¼þ±íÃæµÄÊÜËð³Ì¶È¡£
[0005]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍ¿Éͨ¹ýÏÂÁм¼Êõ·½°¸À´ÊµÏÖ:
[0006]Ò»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°Ö㬰üÀ¨Ò»µ××ù£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöµ××ùÉÏÉèÖÃÓÐÒ»¸öÓÃÓڹ̶¨Áã¼þµÄ¼Ð×°½á¹¹ºÍÒ»¸ö¼ì²âÁã¼þ±íÃæÊÜËð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â½á¹¹£¬ËùÊö¼ì²â½á¹¹°üÀ¨Ò»¸ö¼ì²âºÐ£¬ËùÊö¼ì²âºÐÉÏÉèÓÐÒ»¸öÄܹ»Ì×ÉèÔÚÖáÀàÁã¼þÉϵļì²â¿×£¬ËùÊö¼ì²âºÐÓëÒ»¸ö»¬¸Ë¹Ì¶¨Á¬½Ó£¬ËùÊö¼ì²âºÐÄÚÉèÓÐÒ»¸öÄÒÇ»£¬ËùÊö»¬¸ËÄÚÉèÓÐÒ»¸öÓëËùÊöÄÒÇ»ÏàͨµÄ·§Ç»£¬ËùÊö·§Ç»ÄÚÉèÓÐÒ»·§¸Ë£¬ËùÊö·§Ç»»¹ÓëÒ»¼ì²âϸ¹ÜÏàͨ£¬ËùÊö¼ì²âϸ¹ÜµÄÖв¿ÉèÓÐÒ»¸¡×Ó£¬ËùÊö¼ì²âÇ»Óë¼ì²â¿×Ö®¼äͨ¹ýÒ»¸ö¾ßÓе¯ÐÔµÄÄÒÆ¤¸ô¿ª£¬ËùÊö¼ì²âÇ»¡¢·§Ç»ºÍ¸¡×Ó϶˵ļì²âϸ¹ÜÄÚ¾ùÌî³äÓÐҺ̬Á÷Ì壬ËùÊö·§¸ËÉϽ½ÓÓÐÒ»¸ö¿ªÉèÓÐͨ¿×µÄ¶¨Î»°å£¬ËùÊö»¬¸ËµÄÍâ²àÉèÓÐÄܹ»²åÉèÔÚËùÊöͨ¿×ÄڵĶ¨Î»Ïú£¬ËùÊöҺ̬Á÷Ìå´¦ÓÚ³£Ñ¹ÏÂʱ£¬ËùÊöÄÒÆ¤ÓëÖáÀàÁã¼þÖ®¼ä¾ßÓмä϶£¬ËùÊöҺ̬Á÷Ìå´¦ÓÚ¸ßѹ״̬ÏÂʱ£¬ËùÊöÄÒÆ¤ÓëÖáÀàÁã¼þÏàµÖ¿¿¡£
[0007]±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵Ť×÷ÔÀíÊÇ:Ϊ¼ì²â´¦¸÷ÖÖ²ÄÁϵÄÍ¿²ã¶ÔÁã¼þµÄÇ¿¶È¡¢±íÃæÓ²¶È¡¢ÄÍĦ²ÁÐÔÄܵÈÐÔÄܵÄÓ°Ïì£¬ÌØÒÔÖáÀàÁã¼þΪÑùÆ·£¬ÔÚÆä±íÃæÒÔ²»Í¬»òÏàͬ·½·¨Í¿Éϲ»Í¬»òÏàͬµÄÍ¿²ã£¬È»ºó¶Ô¸÷¸öÑùÆ·½øÐÐÖð¸ö¼ì²â£¬½â³ý»¬¸ËÉϵĶ¨Î»ÏúºÍ¶¨Î»°åÖ®¼äµÄÁ¬½Ó£¬Ê¹¼ì²âÇ»´¦ÓÚ³£Ñ¹×´Ì¬£¬´Ëʱ£¬ÄÒÆ¤´¦ÓÚÊÕËõ״̬£¬½«ÑùÆ·²åÈëµ½¼ì²â¿×ÄÚ£¬ÓÉÓÚÄÒÆ¤´¦ÓÚÊÕËõ״̬£¬ÄÒÆ¤²»ÓëÑùÆ·½Ó´¥£¬±ãÓÚÑùÆ·µÄ²åÈ룻ÏÂѹ·§¸Ë£¬²¢½«¶¨Î»°å¹Ì¶¨ÔÚ¶¨Î»ÏúÉÏ£¬½«Áã¼þ±íÃæµÄÍ¿²ãÊÜËðºó³öÏÖ°¼Ïݲ¿Î»±»ÒºÌ¬Á÷ÌåÌî³ä£¬Ê¹¼ì²âϸ¹ÜÄڵĸ¡×ÓµÄλÖ÷¢Éú±ä»¯£¬¼´¿É¼ì²â´¦Áã¼þÉÏÍ¿²ãµÄÊÜËðÇé¿ö£»±¾¼ì²â×°Öüì²âÁéÃô¶È¸ß£¬½á¹¹¼òµ¥£¬°²×°·½±ã£»¶¨Î»°åÓ붨λÏúÖ®¼ä¹Ì¶¨ºó£¬»¬¸ËµÄλÖü´¹Ì¶¨£¬±£Ö¤ÔÚÿ´Î¼ì²âʱ£¬¼ì²âÇ»ÄÚµÄҺѹ»ù±¾Ïàͬ¡£
[0008]ÔÚÉÏÊöµÄÒ»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°ÖÃÖУ¬ËùÊö¼Ð×°½á¹¹°üÀ¨Ò»¸ö¹Ì¶¨ÔÚµ××ùÉϵÄ×óÖ§×ùºÍÓÒÖ§×ù£¬ËùÊö×óÖ§×ùÉϺáÏò²åÉèÓÐÒ»¸öÓëËùÊö×óÖ§×ùÂÝÎÆÁ¬½ÓµÄµ÷ÕûÂݸˣ¬ËùÊöµ÷ÕûÂݸ˵ÄÓҶ˹̶¨ÉèÖÃÓÐÒ»ÖῨ£¬ËùÊö×óÖ§×ùÉÏ»¹×ÝÏò²åÉèÔÚÓÐÒ»¸öÓë×óÖ§×ùÂÝÎÆÁ¬½ÓµÄËø½ôÂݸˣ¬ËùÊöËø½ôÂݸËÄܹ»ÓëËùÊöµ÷ÕûÂݸËÏàµÖ¿¿¡£½«Áã¼þ¹Ì¶¨ÔÚÖῨÉÏ£¬×ª¶¯µ÷ÕûÂݸˣ¬Ê¹µÃÖáÀàÁã¼þµÄÁíÒ»¶ËµÖ¿¿ÔÚÓÒÖ§×ùÉÏ£¬È»ºóÐý×ªËø½ôÂݸˣ¬Ê¹µ÷ÕûÂݸËÓë×óÖ§×ù¹Ì¶¨£¬¸Ã½á¹¹¼Ð×°ºÍ²ð×°¶¼·½±ã£¬¶øÇÒͬÖá¶È½ÏºÃ£¬±ãÓÚ¼ì²âºÐÓëÁã¼þÖ®¼äµÄÁ¬½Ó¡£
[0009]ÔÚÉÏÊöµÄÒ»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°ÖÃÖУ¬ËùÊöµ××ùÉϹ̶¨ÉèÖÃÓÐÒ»°²×°Ö§×ù£¬ËùÊö°²×°Ö§×ùÉÏÉèÓл¬²ÛÒ»ºÍ»¬²Û¶þ£¬ËùÊö»¬¸ËÉϹ̶¨ÉèÖÃÓÐÒ»¸öÓëËùÊö»¬¸Ë´¹Ö±µÄµ¼Ïò¸Ë£¬ËùÊö»¬¸Ë²åÉèÔÚËùÊö»¬²ÛÒ»ÄÚ£¬ËùÊöµ¼Ïò¸Ë²åÉèÔÚËùÊö»¬²Û¶þÄÚ¡£»¬¶¯¼ì²âºÐÊÇͨ¹ýÍÆ¶¯µ¼Ïò¸ËÍê³ÉµÄ£¬Í¨¹ý»¬²ÛÒ»ºÍ»¬²Û¶þ£¬Ê¹»¬¸Ë¶¨Î»¾«×¼¡£
[0010]ÔÚÉÏÊöµÄÒ»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°ÖÃÖУ¬ËùÊöҺ̬Á÷ÌåΪҺѹÓÍ¡£ÒºÑ¹ÓÍÄÑÓÚѹËõ£¬¶Ô¼ì²âÎó²îµÄËõСÓнϴóµÄ°ïÖú¡£
[0011]ÔÚÉÏÊöµÄÒ»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°ÖÃÖУ¬ËùÊöÄÒÆ¤Îª¹è½ºÄ¤¡£½Ï±¡µÄ¹è½ºÄ¤Ò²¾ßÓнϸߵÄÇ¿¶ÈºÍ¼«ºÃµÄµ¯ÐÔ£¬Äܹ»½ôÌùÔÚÁã¼þ±íÃæµÄ°¼ÏÝ´¦¡£
[0012]ÔÚÉÏÊöµÄÒ»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°ÖÃÖУ¬ËùÊö¼ì²âϸ¹ÜÉÏ¿ÌÓбê¶ÈÏß¡£
[0013]ÓëÏÖÓм¼ÊõÏà±È£¬±¾ÊµÓÃÐÂÐ;ßÓÐÒÔÏÂÓŵã:
[0014]1¡¢½â³ý»¬¸ËÉϵĶ¨Î»ÏúºÍ¶¨Î»°åÖ®¼äµÄÁ¬½Ó£¬Ê¹¼ì²âÇ»´¦ÓÚ³£Ñ¹×´Ì¬£¬´Ëʱ£¬ÄÒÆ¤´¦ÓÚÊÕËõ״̬£¬½«ÑùÆ·²åÈëµ½¼ì²â¿×ÄÚ£¬ÓÉÓÚÄÒÆ¤´¦ÓÚÊÕËõ״̬£¬ÄÒÆ¤²»ÓëÑùÆ·½Ó´¥£¬±ãÓÚÑùÆ·µÄ²åÈë¡£
[0015]2¡¢ÏÂѹ·§¸Ë£¬²¢½«¶¨Î»°å¹Ì¶¨ÔÚ¶¨Î»ÏúÉÏ£¬½«Áã¼þ±íÃæµÄÍ¿²ãÊÜËðºó³öÏÖ°¼Ïݲ¿Î»±»ÒºÌ¬Á÷ÌåÌî³ä£¬Ê¹¼ì²âϸ¹ÜÄڵĸ¡×ÓµÄλÖ÷¢Éú±ä»¯£¬¼´¿É¼ì²â´¦Áã¼þÉÏÍ¿²ãµÄÊÜËðÇé¿ö£»±¾¼ì²â×°Öüì²âÁéÃô¶È¸ß£¬½á¹¹¼òµ¥£¬°²×°·½±ã¡£
[0016]3¡¢¶¨Î»°åÓ붨λÏúÖ®¼ä¹Ì¶¨ºó£¬»¬¸ËµÄλÖü´¹Ì¶¨£¬±£Ö¤ÔÚÿ´Î¼ì²âʱ£¬¼ì²âÇ»ÄÚµÄҺѹ»ù±¾Ïàͬ¡£
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[0017]ͼ1ÊDZ¾¼ì²â×°ÖõÄÕûÌå½á¹¹Ê¾Òâͼ¡£
[0018]ͼ2ÊDZ¾¼ì²â×°ÖÃÖл¬¸ËºÍ¼ì²âºÐµÄ½á¹¹Ê¾Òâͼ¡£[0019]ͼ3ÊÇͼ2Öоֲ¿AµÄ·Å´óͼ¡£
[0020]ͼ4ÊÇͼ2ÖÐB·½ÏòÉϵĽØÃæÍ¼¡£
[0021]ͼÖУ¬1¡¢µ××ù£»2¡¢¼Ð×°½á¹¹£»21¡¢×óÖ§×ù£»22¡¢ÓÒÖ§×ù£»23¡¢µ÷ÕûÂݸˣ»24¡¢ÖῨ£»25¡¢Ëø½ôÂݸˣ»3¡¢¼ì²â½á¹¹£»31¡¢¼ì²âºÐ£»32¡¢¼ì²â¿×£»33¡¢»¬¸Ë£»34¡¢ÄÒÇ»£»35¡¢·§Ç»£»36¡¢·§¸Ë£»37¡¢¼ì²âϸ¹Ü£»38¡¢¸¡×Ó£»39¡¢ÒºÌ¬Á÷Ì壻4¡¢°²×°Ö§×ù£»5¡¢»¬²ÛÒ» £»6¡¢»¬²Û¶þ £»7¡¢µ¼Ïò¸Ë¡£
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[0023]Èçͼ1¡¢Í¼2¡¢Í¼3ºÍͼ4Ëùʾ£¬Ò»ÖÖÁã¼þ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â×°Ö㬰üÀ¨Ò»µ××ù1£¬µ××ùIÉÏÉèÖÃÓÐÒ»¸öÓÃÓڹ̶¨Áã¼þµÄ¼Ð×°½á¹¹2ºÍÒ»¸ö¼ì²âÁã¼þ±íÃæÊÜËð³Ì¶ÈµÄ¼ì²â½á¹¹3£¬¼ì²â½á¹¹3°üÀ¨Ò»¸ö¼ì²âºÐ31£¬¼ì²âºÐ31ÉÏÉèÓÐÒ»¸öÄܹ»Ì×ÉèÔÚÖáÀàÁã¼þÉϵļì²â¿×32£¬¼ì²âºÐ31ÓëÒ»¸ö»¬¸Ë33¹Ì¶¨Á¬½Ó£¬¼ì²âºÐ31ÄÚÉèÓÐÒ»¸öÄÒÇ»34£¬»¬¸Ë33ÄÚÉèÓÐÒ»¸öÓëÄÒÇ»34ÏàͨµÄ·§Ç»35£¬·§Ç»35ÄÚÉèÓÐÒ»·§¸Ë36£¬·§Ç»35»¹ÓëÒ»¼ì²âϸ¹Ü37Ïàͨ£¬¼ì²âϸ¹Ü37µÄÖв¿ÉèÓÐÒ»¸¡×Ó38£¬¼ì²âÇ»Óë¼ì²â¿×32Ö®¼äͨ¹ýÒ»¸ö¾ßÓе¯ÐÔµÄÄÒÆ¤¸ô¿ª£¬¼ì²âÇ»¡¢·§Ç»35ºÍ¸¡×Ó38϶˵ļì²âϸ¹Ü37ÄÚ¾ùÌî³äÓÐҺ̬Á÷Ìå39£¬·§¸Ë36ÉϽ½ÓÓÐÒ»¸ö¿ªÉèÓÐͨ¿×µÄ¶¨Î»°å8£¬»¬¸Ë33µÄÍâ²àÉèÓÐÄܹ»²åÉèÔÚͨ¿×ÄڵĶ¨Î»Ïú9£¬ÒºÌ¬Á÷Ìå39´¦ÓÚ³£Ñ¹ÏÂʱ£¬ÄÒÆ¤ÓëÖáÀàÁã¼þÖ®¼ä¾ßÓмä϶£¬ÒºÌ¬Á÷Ìå39´¦ÓÚ¸ßѹ״̬ÏÂʱ£¬ÄÒÆ¤ÓëÖáÀàÁã¼þÏàµÖ¿¿¡£
[0024]Ϊ¼ì²â´¦¸÷ÖÖ²ÄÁϵÄÍ¿²ã¶ÔÁã¼þµÄÇ¿¶È¡¢±íÃæÓ²¶È¡¢ÄÍĦ²ÁÐÔÄܵÈÐÔÄܵÄÓ°Ïì£¬ÌØÒÔÖáÀàÁã¼þΪÑùÆ·£¬ÔÚÆä±íÃæÒÔ²»Í¬»òÏàͬ·½·¨Í¿Éϲ»Í¬»òÏàͬµÄÍ¿²ã£¬È»ºó¶Ô¸÷¸öÑùÆ·½øÐÐÖð¸ö¼ì²â£¬½â³ý»¬¸Ë33ÉϵĶ¨Î»Ïú9ºÍ¶¨Î»°å8Ö®¼äµÄÁ¬½Ó£¬Ê¹¼ì²âÇ»´¦ÓÚ³£Ñ¹×´Ì¬£¬´Ëʱ£¬ÄÒÆ¤´¦ÓÚÊÕËõ״̬£¬½«ÑùÆ·²åÈëµ½¼ì²â¿×32ÄÚ£¬ÓÉÓÚÄÒÆ¤´¦ÓÚÊÕËõ״̬£¬ÄÒÆ¤²»ÓëÑùÆ·½Ó´¥£¬±ãÓÚÑùÆ·µÄ²åÈ룻ÏÂѹ·§¸Ë36£¬²¢½«¶¨Î»°å8¹Ì¶¨ÔÚ¶¨Î»Ïú9ÉÏ£¬½«Áã¼þ±íÃæµÄÍ¿²ãÊÜËðºó³öÏÖ°¼Ïݲ¿Î»±»ÒºÌ¬Á÷Ìå39Ìî³ä£¬Ê¹¼ì²âϸ¹Ü37Äڵĸ¡×Ó38µÄλÖ÷¢Éú±ä»¯£¬¼´¿É¼ì²â´¦Áã¼þÉÏÍ¿²ãµÄÊÜËðÇé¿ö£»±¾¼ì²â×°Öüì²âÁéÃô¶È¸ß£¬½á¹¹¼òµ¥£¬°²×°·½±ã£»¶¨Î»°å8Ó붨λÏú9Ö®¼ä¹Ì¶¨ºó£¬»¬¸Ë33µÄλÖü´¹Ì¶¨£¬±£Ö¤ÔÚÿ´Î¼ì²âʱ£¬¼ì²âÇ»ÄÚµÄҺѹ»ù±¾Ïàͬ¡£
[0025]Èçͼ1Ëùʾ£¬¼Ð×°½á¹¹2°üÀ¨Ò»¸ö¹Ì¶¨ÔÚµ××ùIÉϵÄ×óÖ§×ù21ºÍÓÒÖ§×ù22£¬×óÖ§×ù21ÉϺáÏò²åÉèÓÐÒ»¸öÓë×óÖ§×ù21ÂÝÎÆÁ¬½ÓµÄµ÷ÕûÂݸË23£¬µ÷ÕûÂݸË23µÄÓҶ˹̶¨ÉèÖÃÓÐÒ»ÖῨ24£¬×óÖ§×ù21ÉÏ»¹×ÝÏò²åÉèÔÚÓÐÒ»¸öÓë×óÖ§×ù21ÂÝÎÆÁ¬½ÓµÄËø½ôÂݸË25£¬Ëø½ôÂݸË25Äܹ»Óëµ÷ÕûÂݸË23ÏàµÖ¿¿¡£½«Áã¼þ¹Ì¶¨ÔÚÖῨ24ÉÏ£¬×ª¶¯µ÷ÕûÂݸË23£¬Ê¹µÃÖáÀàÁã¼þµÄÁíÒ»¶ËµÖ¿¿ÔÚÓÒÖ§×ù22ÉÏ£¬È»ºóÐý×ªËø½ôÂݸË25£¬Ê¹µ÷ÕûÂݸË23Óë×óÖ§×ù21¹Ì¶¨£¬¸Ã½á¹¹¼Ð×°ºÍ²ð×°¶¼·½±ã£¬¶øÇÒͬÖá¶È½ÏºÃ£¬±ãÓÚ¼ì²âºÐ31ÓëÁã¼þÖ®¼äµÄÁ¬½Ó£¬µ××ùIÉϹ̶¨ÉèÖÃÓÐÒ»°²×°Ö§×ù4£¬°²×°Ö§×ù4ÉÏÉèÓл¬²ÛÒ» 5ºÍ»¬²Û¶þ 6£¬»¬¸Ë33ÉϹ̶¨ÉèÖÃÓÐÒ»¸öÓ뻬¸Ë33´¹Ö±µÄµ¼Ïò¸Ë7,»¬¸Ë33²åÉèÔÚ»¬²ÛÒ» 5ÄÚ£¬µ¼Ïò¸Ë7²åÉèÔÚ»¬²Û¶þ 6ÄÚ£¬»¬¶¯¼ì²âºÐ31ÊÇͨ¹ýÍÆ¶¯µ¼Ïò¸Ë7Íê³ÉµÄ£¬Í¨¹ý»¬²ÛÒ» 5ºÍ»¬²Û¶þ 6£¬Ê¹»¬¸Ë33¶¨Î»¾«×¼¡£
[0026]Һ̬Á÷Ìå39ΪҺѹÓÍ£¬ÒºÑ¹ÓÍÄÑÓÚѹËõ£¬¶Ô¼ì²âÎó²îµÄËõСÓнϴóµÄ°ïÖú£¬ÄÒÆ¤Îª¹è½ºÄ¤£¬½Ï±¡µÄ¹è½ºÄ¤Ò²¾ßÓнϸߵÄÇ¿¶ÈºÍ¼«ºÃµÄµ¯ÐÔ£¬Äܹ»½ôÌùÔÚÁã¼þ±íÃæµÄ°¼ÏÝ´¦£¬¼ì²âϸ¹Ü37ÉÏ¿ÌÓбê¶ÈÏß¡£
[0027]ÀûÓÃÉÏÊö¼ì²â×°ÖýøÐÐÖáÀàÁã¼þ±íÃæ±íÃæÄ¥Ëð³Ì¶È¼ì²âµÄ·½·¨£¬Ö÷Òª°üÀ¨ÒÔϲ½Öè:
[0028]A£¬ÔÚ¶à¸öͬһ³ß´çµÄÖáÀàÁã¼þÉÏÍ¿Éϲ»Í¬²ÄÖʵÄÍ¿²ã£¬»òÕßÔÚ¶à¸öͬһ³ß´çµÄÖáÀàÁã¼þÉÏͨ¹ý²»Í¬¼Ó¹¤·½·¨Í¿ÉÏͬһ²ÄÖʵÄÍ¿²ã£¬ÒÔ´ËÖÆ¶¯¶à¸ö¼ì²âÑùÆ·£¬²»Í¬²ÄÖʵÄÍ¿²ãºÍ²»Í¬µÄ¼Ó¹¤·½·¨£¬¶ÔÁã¼þ±íÃæµÄÍ¿²ãµÄÐÔÄܾùÓнϴóÓ°Ï죬²»Í¬ÑùÆ·½øÐмǼºÍ±àºÅ£¬
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