高精度的间隔测量装置制造方法
【专利摘要】一种高精度的间隔测量装置，其特点在于：由基座、固定支架、调节杆、测量杆、2个定位螺母和2个锁紧螺母组成，本发明具有结构简单，操作方便，对环境的要求不高，可以实现高精度的测量。
【专利说明】高精度的间隔测量装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及间隔测量，特别是一种高精度的间隔测量装置，适用于精密装配中的 两个零部件之间的间隔测量，尤其是光刻机等光学精密仪器与设备的装配集成。 技术背景
[0002] 精密仪器的装配集成中，往往需要精确定位各个单元以及部件之间的距离。在线 测量时经常会受到环境、成本等因素的约束，使得现有的一些常规测量工具不方便使用。如 测量位置距离零件边缘较远，无法使用卡尺测量；而激光跟踪仪、三坐标测量臂等测量工具 价格昂贵。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于克服在先技术的不足，提供一种高精度的间隔测量装置。该装 置结构简单，操作方便，对环境的要求不高，可以实现高精度的测量。
[0004] 本发明的技术解决方案如下：
[0005] -种高精度的间隔测量装置，其特点在于：由基座、固定支架、调节杆、测量杆、2 个定位螺母和2个锁紧螺母组成，所述的基座通过基准面设有一个与底面平行的方形通孔 和一个与底面垂直的圆形通孔，两者之间互相垂直，所述的调节杆一端为带有45°斜面的 方杆，其余为螺杆，所述的测量杆下端带有45°斜面，上端为球面；
[0006] 所述的固定支架为」形，固定在所述的基座的基准面上，所述的固定支架的圆孔 与所述的基座的方形通孔同轴，所述的调节杆的方杆装入基座的方形通孔中，所述的螺杆 穿过固定支架上的圆孔，所述的两个定位螺母和一个锁紧螺母套设在固定支架与基座之间 的调节杆的螺杆上，在所述的固定支架的圆孔的另一面的螺杆上套设另一锁紧螺母，所述 的测量杆下端插入所述的圆形通孔中，所述的测量杆下端的45°斜面与所述的调节杆的 45°斜面相接触。
[0007] 所述的测量杆由长度可调的两段套杆连接构成。
[0008] 所述的2个定位螺母和2个锁紧螺母具有外圆柱面滚花。
[0009] 本发明一种高精度的间隔测量装置的工作过程如下：
[0010] 首先，所述的高精度的间隔测量装置安装好后，推动调节杆的螺杆端部，使其沿着 基座方形通孔运动，斜面的作用带动测量杆向上顶住被测工件。锁住2个锁紧螺母固定调 节杆的位置，然后锁紧2个定位螺母，使其与基座贴合。松开2个锁紧螺母，拉出调节杆，使 测量杆高度下降，方便取出高精度的间隔测量装置。
[0011] 其次，将所述的高精度的间隔测量装置放于测量平台上，将调节杆重新推入基座， 使得2个定位螺母与基座再次贴合，然后锁紧2个锁紧螺母。此时，本发明高精度的间隔测 量装置的位置恢复到在线测量时的位置，使用高度尺测量基座底面与测量杆球面端部之间 的间隔，得到间距值。
[0012] 与在先技术相比，本发明的有益效果是：
[0013] 本发明采用的是在线定位，线下测量的方法，可降低对环境的要求。本发明结构简 单，体积小，操作方便。
[0014] 本发明高精度的间隔测量装置在线定位后，通过降低测量杆高度的方式取出，可 以最大限度的保护被测工件。
[0015] 本发明采用机械靠面重复定位，精度高。
【专利附图】
【附图说明】
[0016] 图1为本发明高精度的间隔测量装置的轴测图；
[0017] 图2为本发明高精度的间隔测量装置一个实施例的工作状态下的剖视图；
[0018] 图3为本发明高精度的间隔测量装置中调节杆的轴测图。
[0019] 图中：1_基座；11-底面；12-方形通孔；13-圆形通孔；14-基准面；2-固定支架； 21-圆孔；3-调节杆；31-方杆；32-螺杆；4-测量杆；41-垫环；42-加长杆；5-定位螺母； 6-定位螺母；7-锁紧螺母；8-锁紧螺母;A-被测工件；B-被测工件。
【具体实施方式】
[0020] 下面结合附图和实施例，对本发明作详细阐述：
[0021] 请参见图1?图3。本发明高精度的间隔测量装置，由基座1、固定支架2、调节杆 3、测量杆4、2个定位螺母5、6和2个锁紧螺母7、8组成，
[0022] 所述的基座1通过基准面14设有一个与底面平行的方形通孔12和一个与长方体 的底面垂直的圆形通孔13,两者之间互相垂直，所述的调节杆一端为带有45°斜面的方杆 31，其余为螺杆32,所述的测量杆4下端带有45°斜面，上端为球面；
[0023] 所述的固定支架2为」形，固定在所述的基座1的基准面14上，所述的固定支架 2的圆孔21与所述的基座1的方形通孔12同轴，所述的调节杆3的方杆装入基座的方形 通孔12中，所述的螺杆32穿过固定支架上的圆孔21，在所述的测量杆上安装在所述基座 上的圆形通孔中，所述的两个定位螺母（5、6)和一个锁紧螺母7套设在固定支架与基座之 间的调节杆3的螺杆32上，在所述的圆形通孔21的另一面的螺杆32上套设另一锁紧螺母 8,所述的测量杆4下端插入所述的圆形通孔13中，所述的测量杆4下端的45°斜面与所述 的调节杆的45°斜面相接触。
[0024] 所述的测量杆4由长度可调的两段套杆连接构成。
[0025] 所述的2个定位螺母5、6和2个锁紧螺母7、8具有外圆柱面滚花。
[0026] 基座1是测量的基�。栌幸桓鲇氲酌�11平行的方形通孔12、一个与底面11垂直 的圆形通孔13,方形通孔12与圆形通孔13相互垂直。调节杆3-端为带有45°斜面的方 杆31，另一端为螺杆32,螺杆32的螺纹为右旋螺纹。测量杆4下端带有45°斜面，上端为 球面。所述的测量杆4可通过加装垫环41与加长杆42来满足被测工件不同间隔的测量需 求。
[0027] 请参见图2,图2为本发明高精度的间隔测量装置在工作状态下的剖视图。固定支 架2固定在基座1上，调节杆3的方杆31装入方形通孔12中，螺杆32穿过固定支架2上 的圆孔21，所述的圆形通孔13中安装测量杆4。该测量杆4与圆形通孔13采用过渡配合， 用于提高测量精度。测量杆4下端45°斜面与调节杆3的45°斜面33接触。定位螺母5、 定位螺母6、锁紧螺母7安装在固定支架2与基座1之间，锁紧螺母8安装在固定支架2的 另一侧。定位螺母5、定位螺母6、锁紧螺母7、锁紧螺母8的外圆柱面滚花，方便锁紧。
[0028] 本发明高精度的间隔测量装置的工作过程如下：
[0029] 首先，将本发明高精度的间隔测量装置放置于被测工件A的上表面，推动调节杆3 的螺杆32,使其沿着基座方形通孔12运动，斜面的作用带动测量杆4向上顶住被测工件B 的下表面。依次转动锁紧螺母7、锁紧螺母8以固定调节杆3的位置。依次锁紧定位螺母 5、定位螺母6,使其与基座11中的基准面14贴合。松开锁紧螺母7、锁紧螺母8,拉出调节 杆3,使测量杆4间隔下降，取出本发明高精度的间隔测量装置。
[0030] 其次，将本发明高精度的间隔测量装置放于测量平台上，将调节杆3重新推入基 座1，使得定位螺母5、定位螺母6与基准面14再次贴合，锁紧锁紧螺母7、锁紧螺母8。此 时，本发明高精度的间隔测量装置的位置恢复到在线测量时的位置。使用高度尺测量基座 底面11与测量杆4球面端部之间的间隔，得到间距值。
【权利要求】
1. 一种高精度的间隔测量装置，其特征在于：由基座（1)、固定支架（2)、调节杆（3)、测 量杆⑷、2个定位螺母（5、6)和2个锁紧螺母（7、8)组成， 所述的基座（1)通过基准面（14)设有一个与基座底面平行的方形通孔（12)和一个与 基座底面垂直的圆形通孔（13)，两者之间互相垂直，所述的调节杆一端为带有45°斜面的 方杆，其余为螺杆（32)，所述的测量杆（4)下端带有45°斜面，上端为球面； 所述的固定支架（2)为」形，固定在所述的基座（1)的基准面（14)上，所述的固定支 架⑵的圆孔（21)与所述的基座⑴的方形通孔（12)同轴，所述的调节杆⑶的方杆装 入基座的方形通孔（12)中，所述的螺杆（32)穿过固定支架上的圆孔（21)，所述的两个定位 螺母（5、6)和一个锁紧螺母（7)套设在固定支架与基座之间的调节杆（3)的螺杆（32)上， 在所述的固定支架的圆孔（21)的另一面的螺杆（32)上套设另一锁紧螺母（8)，所述的测量 杆（4)下端插入所述的圆形通孔（13)中，所述的测量杆（4)下端的45°斜面与所述的调节 杆的45°斜面相接触。
2. 根据权利要求1所述的高精度的间隔测量装置，其特征在于所述的测量杆⑷由长 度可调的两段套杆连接构成。
3. 根据权利要求1或2所述的高精度的间隔测量装置，其特征在于所述的2个定位螺 母（5、6)和2个锁紧螺母（7、8)具有外圆柱面滚花。
【文档编号】G01B5/14GK104111018SQ201410370880
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年7月31日 优先权日:2014年7月31日
【发明者】钱珍梅 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
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