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    [0003] Òò´ËÔÚÁÙÇâ»·¾³Ï²ÄÁϵÄÓ¦Á¦Ó¦±ä²âÁ¿¾Í±Ø²»¿ÉÉÙ¡£ÆäÖУ¬µç×èÓ¦±äƬ²âÁ¿ÊÇÔË ÓÃ×î¹ã·ºµÄ²âÁ¿·½·¨¡£µ«ÊÇÆÕͨµÄµç×èÓ¦±äƬÔÚÇâ»·¾³Ï£¬ÓÉÓÚÇâÆø»áÇÖÈëµç×èʹÆäµç×è ÂÊ·¢Éú±ä»¯£¬´Ó¶øµ¼ÖÂÓ¦±äƬ±¾Éí»áÓкܴóµÄÁãµãÆ¯ÒÆºÍÈä±ä¡£Òò´Ë£¬ÇâÇÖÈëµç×èÓ¦±äƬ»á ÑÏÖØµÄÓ°Ïìµ½Æä²âÁ¿×¼È·ÐÔºÍÎȶ¨ÐÔ¡£Õâ¾Íµ¼ÖÂÆÕͨӦ±äƬ²»ÊʺÏÓÚ¸ßѹÁÙÇâ»·¾³ÏµÄÓ¦ Á¦Ó¦±ä²âÁ¿£¬ÐèÒª¿ª·¢Ò»ÖÖ¸ßѹÁÙÇâ»·¾³ÏÂרÓÃÓ¦±äƬ¡£
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    [0005] ÈÕ±¾ÒÑÑо¿³ö¶àÖÖ¸ßѹÇâ»·¾³Ï²ÄÁÏÇâ´àÐÔÄܵIJâÊÔ×°Öá£È»¶ø£¬ËûÃÇÒ²»á³öÏÖ Ó¦±äƬÔÚ¸ßѹÇâ»·¾³ÏÂÓ¦±äƬÊä³öÐźŲ¨¶¯µÄÎÊÌâ¡£
    [0006] Ŀǰ£¬ÎÒ¹úÔÚ´«¸ÐÆ÷·½ÃæµÄÑо¿»¹´¦ÔڱȽÏÂäºóµÄ½×¶Î£¬ÓÈÆäÊǸ߾«¶ÈµÄѹÁ¦´« ¸ÐÆ÷¡£ÔÚº½¿Õº½Ì졢ʯÓÍ»¯¹¤µÈÁìÓòÐèÒªµÄ¸ß¾«¶È¡¢¸ßÎȶ¨ÐÔµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷³¤ÆÚÒÀ¿¿½ø¿Ú¡£ ÕâÑÏÖØÓ°Ïìµ½ÎÒ¹úµÄÉú²úÐèÒª¡¢×è°­×ÔÖ÷¼¼Êõ´´Ð¡£
    [0007] ²»¹ý£¬ÎÒ¹úÔÚ¸ßѹ´¢ÇâºÍ¼ÓÇâ·½ÃæµÄ¼¼ÊõÒÑ´¦ÓÚÊÀ½çÁìÏÈˮƽ¡£²¢ÇҾ߱¸Á˸ßѹ ÇâϵͳµÄ½¨ÔìÄÜÁ¦¡£È»¶ø£¬ÎÒ¹úÔÚ¸ßѹÇâϵͳ°²È«±£ÕÏ·½ÃæÈÔÈ»´æÔÚ¼±Ðè½â¾öµÄÎÊÌ⣺ȱ ·¦¸ßѹÇâϵͳ²ÄÁÏ/Õû»úÄ;ÃÐÔ¼ì²â×°±¸ºÍ¼¼Êõ£¬²»¾ßÓжԸßѹÇâϵͳ½øÐа²È«¼ì²âµÄÄÜ Á¦¡£Òò´Ë£¬ÎªÁ˱£ÕϸßѹÇâϵͳ¸ü³¤µÄʹÓÃÊÙÃüºÍ°²È«¿É¿¿µØÔËÐУ¬±ØÐëÒª¼ÓÇ¿ÔÚ¸ßѹÇâϵ ͳ°²È«±£ÕÏ·½ÃæµÄ¼¼ÊõÑо¿¡£ÆäÖУ¬¸ßѹÁÙÇâ»·¾³ÏÂÓ¦Á¦Ó¦±ä²âÁ¿ÊÇʵÏÖ°²È«¼ì²âµÄ¹Ø¼ü ¼¼Êõ¡£


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    [0011] ×÷ΪÓÅÑ¡£¬ËùÊöÃô¸ÐÕ¤µÄºñ¶ÈΪ3 ¦Ì m-15 ¦Ì m¡£
    [0012] ×÷ΪÓÅÑ¡£¬ËùÊöÇ⴩͸×è¸ô±¡Ä¤ÓÉÌú¹ý¶É²ãºÍÂÁ±¡²ã×é³É£¬Ç⴩͸×è¸ô±¡Ä¤¼Ó¹¤ ʱÏȲÉÓôſؽ¦Éä¼¼ÊõÔÚÃô¸ÐÕ¤±íÃæ³Á»ýÒ»²ãºñ¶ÈΪl©–-l©–©–nm½ðÊôÌúÐγÉÌú¹ý¶É²ã£¬½Ó ×ÅÔÙ³Á»ýÒ»²ãºñ¶ÈΪl©–-l©–©–nmµÄ½ðÊôÂÁÐγÉÂÁ±¡²ã¡£
    [0013] ×÷ΪÓÅÑ¡£¬´Å¿Ø½¦Éä¼¼Êõ¼Ó¹¤²ÎÊýΪ£º³éÕæ¿ÕÖÁ6. 7 X10_3Pa£¬¼ÓÈÈÖÁ300 ¡ãC£¬400 V ¸ßѹÏÂArÀë×ÓÇåÏ´ºó£¬60VµçѹÏÂÏȳÁ»ýÐγÉÌú¹ý¶É²ã£¬È»ºó³Á»ýÐγÉÂÁ±¡²ã¡£²ÉÓÃÕâÑùµÄ ²ÎÊý£¬¼Ó¹¤Ð§¹ûºÃ¡£
    [0014] ×÷ΪÓÅÑ¡£¬ËùÊö×è¸ô±¡Ä¤±íÃæ»¹²ÉÓõÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼Êõ¼Ó¹¤ÓÐÒ»²ãºñ¶ÈΪ lnm-10nmµÄÑõ»¯´í±£»¤²ã¡£
    [0015] ×÷ΪÓÅÑ¡£¬µÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼Êõ¼Ó¹¤²ÎÊýΪ£ºÊ¹ÓõÄÉäÆµÔ´ÆµÂÊΪ10-15MHZ£¬É䯵 Ô´¹¦ÂÊΪ2W/cm 2,ÆøÔ´Îªë²ÆøºÍÑõÆøµÄ°´ÕÕ5-10 :1µÄÌå»ý±È»ìºÏ¶ø³ÉµÄ»ìºÏÆøÌå£¬ÆøÌå Á÷Á¿Îª49sccm£¬·´Ó¦ÊÒÆøÑ¹ÎªlX 104-8X 104Pa£¬Ãô¸ÐդζȿØÖÆÎª250¡ãC£¬Ñõ»¯Ê±¼äΪ0. 5-2. 5h¡£²ÉÓÃÕâÑùµÄ²ÎÊý£¬¼Ó¹¤Ð§¹ûºÃ¡£
    [0016] ²­Ê½Ó¦±äƬΪ¸ßѹÇâ»·¾³ÏµÄÔØºÉ´«¸ÐÆ÷²âÁ¿µÄºËÐIJ¿¼þ,¶øÓ¦±äƬ²âÁ¿µÄºËÐÄ ²¿¼þΪÃô¸ÐÕ¤£¬Òò´Ë£¬±¾·¢Ã÷ÖØµã¸Ä½øÁËÃô¸ÐÕ¤µÄ²ÄÁÏ£¬²ÉÓÃÌØ¶¨Åä±ÈµÄÌú»ùºÏ½ð£¬ÓÉÓÚÌú »ùºÏ½ðÊÇÌåÐÄÁ¢·½½á¹¹£¬¾ßÓм«µÍµÄÇâ±¥ºÍ¹ÌÈܶȣ¬Òò´ËÃô¸ÐÕ¤ÄÚ²¿Ç⺬Á¿ºÜµÍ¡£¹Ê¶øÓÃÕâ ÖÖ²ÄÁÏÖÆ±¸³öÀ´µÄÔØºÉ´«¸ÐÆ÷ÔÚ¸ßѹÁÙÇâ»·¾³Ï¾ßÓÐÁãµãÆ¯ÒÆ¡¢Èä±äСµÄÌØµã¡£
    [0017] ÓÉÓÚÃô¸ÐÕ¤²ÄÁÏÖк¬Á¿´ó²¿·ÖÊÇÌú£¬Ìú¹ý¶É²ãµÄ³Á»ýÓÐÀûÓÚÌá¸ßÂÁ±¡²ãÓë»ùÌåµÄ ½áºÏÁ¦£»¶øÂÁ¾ßÓм«µÍµÄÇâÀ©É¢ÏµÊý£¬¿ÉÒÔÓÐЧµØ×èÖ¹ÇâµÄÇÖÈë¡£ÇâÔÚ½ðÊôÖÐÒÔ¼ä϶ԭ×Ó ÐÎʽÀ©É¢£¬¾ßÓкܸߵÄÉøÍ¸ÄÜÁ¦£¬¶øÇâÔÚÑõ»¯ÎïÖÐÖ÷ÒªÒÔ·Ö×Ó״̬´æÔÚ£¬²¢ÇÒÑõ»¯Îï»áÒÖÖÆ Çâ·Ö×Ó½âÀëΪÇâÔ­×Ó£¬´Ó¶ø×èÖ¹ÇâÏò½ðÊô»ùÌåÀ©É¢¡£Òò´ËÓÅÑ¡µÄ£¬±¾·¢Ã÷ÔÚ×è¸ô±¡Ä¤±íÃæÀû ÓõÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼ÊõÖÆ±¸Ò»²ã³¬±¡µÄÖÂÃÜÑõ»¯ÂÁ²ã£¨lrniTlOnm)£¬´Ó¶øÔÙÒ»´Î×è°­ÁËÇâµÄÇÖ Èë¡£ÕâÑù£¬ÔÚ¾­¹ýÑõ»¯ÂÁ²ãºÍ×è¸ô±¡Ä¤ºóÄܹ»ÇÖÈëÃô¸ÐÕ¤µÄÇâÆøº¬Á¿¼«µÍ£¬¶øÃô¸ÐÕ¤²ÄÁϱ¾ ÉíÒ²¾ßÓнϵ͵ÄÇâ±¥ºÍ¹ÌÈܶÈ¡£×îºó£¬»·¾³ÖÐÇÖÈëÃô¸ÐÕ¤²ÄÁÏÖеÄÇ⺬Á¿ºÜµÍ£¬Òò¶øÓÉÇâÇÖ Èë²úÉúµÄÁãµãÆ¯ÒÆºÍÈä±ä½«µÃÒÔÒÖÖÆ¡£
    [0018] ÔÚ¸ßѹÁÙÇâ»·¾³Ï£¬±¾·¢Ã÷ÕâÖÖÐÂÐ͵ÄÃô¸ÐÕ¤Ïà¶ÔÓÚ´«Í³µÄÃô¸ÐÕ¤ÄÜÓÐЧµÄ¿Ë·þ ÇâÇÖÈë¶øµ¼ÖµÄÁãµãÆ¯ÒÆºÍÈä±äµÄÎÊÌ⣬´Ó¶ø±£Ö¤ÁË´«¸ÐÆ÷×îºó²âÁ¿½á¹ûµÄ׼ȷÐÔºÍÎȶ¨ ÐÔ¡£
    [0019] ±¾·¢Ã÷µÄÓÐÒæÐ§¹ûÊÇ£ºÄÜÓÐЧ¼õÉÙ¸ßѹÇâ»·¾³ÏÂÓÉÇâÇÖÈë²úÉúµÄÁãµãÆ¯ÒÆºÍÈä ±ä£¬±£Ö¤Á˲âÁ¿½á¹ûµÄ׼ȷÐÔºÍÎȶ¨ÐÔ¡£
    [0020]

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    [0021] ͼ1ÊDZ¾·¢Ã÷µÄÒ»ÖÖÖ÷ÊӽṹʾÒâͼ¡£
    [0022] ͼ2ÊÇͼ1µÄA-AÏòʾͼ¡£
    [0023] ͼ3ÊDZ¾·¢Ã÷²­Ê½Ó¦±äƬµÄÒ»ÖֽṹʾÒâͼ¡£
    [0024] ͼÖУº1¡¢´«¸ÐÆ÷ÉϿǣ¬2¡¢´«¸ÐÆ÷Ï¿ǣ¬3¡¢µ¯ÐÔÌ壬4¡¢²­Ê½Ó¦±äƬ£¬41¡¢Ãô¸ÐÕ¤£¬42¡¢»ù µ×£¬43¡¢¸²¸Ç²ã£¬44¡¢Òý³öÏߣ¬5¡¢µçÀ¡£

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    [0025] ÏÂÃæÍ¨¹ý¾ßÌåʵʩÀý£¬²¢½áºÏ¸½Í¼£¬¶Ô±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸×÷½øÒ»²½µÄ¾ßÌå˵Ã÷¡£
    [0026] ±¾·¢Ã÷ÖУ¬Èô·ÇÌØÖ¸£¬Ëù²ÉÓõÄÔ­ÁϺÍÉ豸µÈ¾ù¿É´ÓÊг¡¹ºµÃ»òÊDZ¾ÁìÓò³£ÓõÄ¡£ ÏÂÊöʵʩÀýÖеķ½·¨£¬ÈçÎÞÌØ±ð˵Ã÷£¬¾ùΪ±¾ÁìÓòµÄ³£¹æ·½·¨¡£
    [0027] ʵʩÀý1 : Ò»ÖÖ¸ßѹÇâ»·¾³ÏµÄÔØºÉ´«¸ÐÆ÷(Èçͼ1¡¢2Ëùʾ)£¬°üÀ¨´«¸ÐÆ÷ÉÏ¿Ç1¡¢´«¸ÐÆ÷Ï¿Ç2¼° µ¯ÐÔÌå3,µ¯ÐÔÌå3·Ö±ðÓë´«¸ÐÆ÷ÉÏ¿Ç1¡¢´«¸ÐÆ÷Ï¿Ç2ÂÝÎÆÁ¬½Ó£¬µ¯ÐÔÌå3Öв¿¾ù²¼Óв­Ê½ Ó¦±äƬ4,µ¯ÐÔÌå3Öв¿µÄËĸöÃæÃ¿¸öÃæÖм䶼ÓÐһƬ²­Ê½Ó¦±äƬ4,µ¯ÐÔÌå3Öв¿Ç°¡¢ºó±í ÃæÉϵIJ­Ê½Ó¦±äƬ4ºáÏò²¼ÖÃ(²Î¿¼¸½Í¼3)£¬µ¯ÐÔÌå3Öв¿×ó¡¢ÓÒ±íÃæÉϵIJ­Ê½Ó¦±äƬ4×Ý Ïò²¼Ö㬲­Ê½Ó¦±äƬ4Ó뵯ÐÔÌå3Õ³½Ó£¬²­Ê½Ó¦±äƬ4°üÀ¨Ãô¸ÐÕ¤41¡¢»ùµ×42 (¿É²ÉÓ󣹿 µÄ²£Á§ÏËά²¼)¡¢¸²¸Ç²ã43 (¿É²ÉÓ󣹿µÄ¾ÛËÄ·úÒÒÏ©±¡Ä¤£©ºÍÒý³öÏß44 (Èçͼ3Ëùʾ)£¬Òý ³öÏß44Á¬½Óµ½µçÀÂ5ÉÏ´Ó¶ø½«Êý¾ÝÊä³ö£¬Ãô¸ÐÕ¤41µÄºñ¶ÈΪ3 ¦Ì m£¬Ãô¸ÐÕ¤41Óɽºð¤¼ÁÕ³ ÔÚ»ùµ×42ºÍ¸²¸Ç²ã43Ö®¼ä£¬Òý³öÏß44Á¬½ÓÃô¸ÐÕ¤41Á½¶Ë£¬Ãô¸ÐÕ¤µÄÖÆ×÷²ÄÁÏΪÌú»ùºÏ½ð£¬ Ìú»ùºÏ½ð°´ÖÊÁ¿°Ù·Ö±È¼Æ¸÷ÔªËØµÄ×é³ÉΪ£º¸õ10%£¬Äø8%£¬ÂÁ6%£¬Ìú76%¡£
    [0028] Ãô¸ÐÕ¤ÖÆ×÷ʱ£¬ÏȽ«Ìú»ùºÏ½ðѹ³Éºñ¶ÈΪ3¦Ì¦Ð¦ÉµÄ²­Æ¬£¬È»ºó²ÉÓ󣹿µÄ¹â¿ÌÊ´¼¼ ÊõÔÚ²­Æ¬±íÃæÖÆ×÷³öÉè¼ÆµÄͼÐλñµÃÃô¸ÐÕ¤£¬È»ºóÔÚÃô¸ÐÕ¤±íÃæ¼Ó¹¤Ò»²ãÇ⴩͸×è¸ô±¡ Ĥ£¬Ç⴩͸×è¸ô±¡Ä¤ÓÉÌú¹ý¶É²ãºÍÂÁ±¡²ã×é³É£¬Ç⴩͸×è¸ô±¡Ä¤¼Ó¹¤Ê±ÏȲÉÓôſؽ¦Éä¼¼ ÊõÔÚÃô¸ÐÕ¤±íÃæ³Á»ýÒ»²ãºñ¶ÈΪl©–nm½ðÊôÌúÐγÉÌú¹ý¶É²ã£¬½Ó×ÅÔÙ³Á»ýÒ»²ãºñ¶ÈΪ10nm µÄ½ðÊôÂÁÐγÉÂÁ±¡²ã¡£
    [0029] ´Å¿Ø½¦Éä¼¼Êõ¼Ó¹¤²ÎÊýΪ£º³éÕæ¿ÕÖÁ6. 7 X 10_3 Pa£¬¼ÓÈÈÖÁ300 ¡ãC£¬400 V¸ßѹÏÂAr Àë×ÓÇåÏ´ºó£¬60VµçѹÏÂÏȳÁ»ýÐγÉÌú¹ý¶É²ã£¬È»ºó³Á»ýÐγÉÂÁ±¡²ã¡£
    [0030] ×è¸ô±¡Ä¤±íÃæ»¹²ÉÓõÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼Êõ¼Ó¹¤ÓÐÒ»²ãºñ¶ÈΪlnmµÄÑõ»¯ÂÁ±£»¤²ã¡£ µÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼Êõ¼Ó¹¤²ÎÊýΪ£ºÊ¹ÓõÄÉäÆµÔ´ÆµÂÊΪ10MHz£¬ÉäÆµÔ´¹¦ÂÊΪ2W/cm 2,ÆøÔ´Îª ë²ÆøºÍÑõÆøµÄ°´ÕÕ5 :1µÄÌå»ý±È»ìºÏ¶ø³ÉµÄ»ìºÏÆøÌå£¬ÆøÌåÁ÷Á¿Îª49sCCm£¬·´Ó¦ÊÒÆøÑ¹Îª lX104Pa£¬Ãô¸ÐդζȿØÖÆÎª250¡ãC£¬Ñõ»¯Ê±¼äΪ0. 5h¡£
    [0031] ʵʩÀý2: ±¾ÊµÊ©ÀýÓëʵʩÀý1µÄ²»Í¬Ö®´¦ÔÚÓÚ£ºÃô¸ÐÕ¤µÄºñ¶ÈΪ15 ¦Ì m£¬Ìú»ùºÏ½ð°´ÖÊÁ¿°Ù·Ö ±È¼Æ¸÷ÔªËØµÄ×é³ÉΪ£º¸õ20%£¬Äø3%£¬ÂÁ1%£¬Ìú76% ;Ìú¹ý¶É²ãºñ¶ÈΪlOOnm£¬ÂÁ±¡²ãºñ¶ÈΪ 100nm©–
    [0032] Ñõ»¯ÂÁ±£»¤²ãºñ¶ÈΪ10nm£¬µÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼Êõ¼Ó¹¤²ÎÊýΪ£ºÊ¹ÓõÄÉäÆµÔ´ÆµÂÊΪ 15MHz£¬ÉäÆµÔ´¹¦ÂÊΪ2W/cm 2,ÆøÔ´Îªë²ÆøºÍÑõÆøµÄ°´ÕÕ10 :1µÄÌå»ý±È»ìºÏ¶ø³ÉµÄ»ìºÏÆø Ìå£¬ÆøÌåÁ÷Á¿Îª49SCCm£¬·´Ó¦ÊÒÆøÑ¹Îª8X104Pa£¬Ãô¸ÐդζȿØÖÆÎª250¡ãC£¬Ñõ»¯Ê±¼äΪ2. 5h©–
    [0033] ÆäËüͬʵʩÀý1¡£
    [0034] ʵʩÀý3 : ±¾ÊµÊ©ÀýÓëʵʩÀý1µÄ²»Í¬Ö®´¦ÔÚÓÚ£ºÃô¸ÐÕ¤µÄºñ¶ÈΪ8 ¦Ì m£¬Ìú»ùºÏ½ð°´ÖÊÁ¿°Ù·Ö±È ¼Æ¸÷ÔªËØµÄ×é³ÉΪ£º¸õ15%£¬Äø5%£¬ÂÁ3%£¬Ìú77% ;Ìú¹ý¶É²ãºñ¶ÈΪ50nm£¬ÂÁ±¡²ãºñ¶ÈΪ50nm¡£
    [0035] Ñõ»¯ÂÁ±£»¤²ãºñ¶ÈΪ5nm£¬µÈÀë×ÓÌåÑõ»¯¼¼Êõ¼Ó¹¤²ÎÊýΪ£ºÊ¹ÓõÄÉäÆµÔ´ÆµÂÊ Îª12MHz£¬ÉäÆµÔ´¹¦ÂÊΪ2W/cm 2,ÆøÔ´Îªë²ÆøºÍÑõÆøµÄ°´ÕÕ7 :1µÄÌå»ý±È»ìºÏ¶ø³ÉµÄ»ìºÏ ÆøÌå£¬ÆøÌåÁ÷Á¿Îª49SCCm£¬·´Ó¦ÊÒÆøÑ¹Îª5X104Pa£¬Ãô¸ÐդζȿØÖÆÎª250¡ãC£¬Ñõ»¯Ê±¼äΪ 1. 5h¡£
    [0036] ÆäËüͬʵʩÀý1¡£
    [0037] ±¾·¢Ã÷µÄÔØºÉ´«¸ÐÆ÷£¬ÔÚ120Mpa¸ßѹÇâ»·¾³Ï·ÅÖÃ20hµÄÁãµãÆ¯ÒÆáê100 ¦Ì m/m£¬ Èä±ä< 100 ¦Ì m/m£¬±£Ö¤Á˲âÁ¿½á¹ûµÄ׼ȷÐÔºÍÎȶ¨ÐÔ¡£
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