专利名称：微型光学谐振腔的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学谐振腔。具体说是关于谐振式光学陀螺中的光学谐振腔。
背景技术：
在谐振式光学陀螺中，光学谐振腔是决定陀螺精度和灵敏度的核心器件，在本发明作出前，光学谐振腔大多采用圆形光纤环形谐振腔和波导环形谐振腔，由于波导和光纤都有这样的一个特点，直波导或直光纤的损耗非常小，当弯曲的曲率半径越�。獠ǖ乃鸷木驮酱螅庋拖拗屏似骷叽绮荒茏龅奶。簿陀跋炝似骷捎眉晒庋У姆椒傻叫酒希薹闶导市枨蠖云骷⑿突囊�。
发明内容
本发明的目的是提供一种光波损耗小、利于微型化的微型光学谐振腔。
本发明的微型光学谐振腔包括由集成有反射镜的波导围成的闭合折角多边形波导环形腔和弯成的具有端口的直角拐弯波导，所说的反射镜设在波导折角处，直角拐弯波导在波导环形腔的一侧或在波导环形腔的相对两侧，直角拐弯波导中有一根波导与波导环形腔中某一根波导平行、相耦合。
工作时，光沿着直角拐弯波导输入和输出，通过相耦合的波导，光耦合进入折角多边形波导环形腔，波导中的光通过反射镜在拐角处实现方向的改变，当符合谐振条件的特定波长(频率)的光在环形腔发生谐振时，沿直角拐弯波导有最小或最大的光强输出。此谐振频率有固定的间隔(周期)，于是能得到一条谐振峰或谷周期出现的谐振曲线。
本发明的光学谐振腔因使用反射镜，故能完全采用直波导构成呈折角多边形的环形谐振腔，且反射镜与波导是集成的整体，与已有技术相比，谐振腔的尺寸不受曲率半径限制，利于将尺寸做�。唤隹杉跣∷鸷模惨子诮庋痴袂患傻叫酒希迪治⑿突�。
图1是本发明的一种具体结构示意图；图2是本发明的另一种具体结构示意图；图3是本发明的又一种具体结构示意图。
具体实施例方式
参照图1、图2、图3，本发明的光学谐振腔包括由集成有反射镜1的波导2围成的闭合折角多边形波导环形腔3和弯成的具有端口的直角拐弯波导4，反射镜设在波导折角处，闭合折角多边形可以是任意形状，如图1为三角形，图2为五边形，图3为矩形。图1、图2所示实例，直角拐弯波导4位于波导环形腔3的一侧，直角拐弯波导4中的一根波导A与波导环形腔3中的一根波导B平行，相耦合，端口处的二根波导中的一根为输入波导，另一根为输出波导。如波导a为输入波导，波导b为输出波导。在特定频率下发生谐振时，在波导b有最小的光强输出，此谐振频率有固定的间隔，于是得到一条谐振谷周期出现的谐振曲线。
图3所示实例，在矩形波导环形腔3的相对两侧，分别设有直角拐弯波导4，两直角拐弯波导中的波导A各与波导环形腔中的波导B平行，相耦合。其中一个直角拐弯波导为输入波导，另一个直角拐弯波导为输出波导。如当一个直角拐弯波导中的波导a为输入波导时，则另一个直角拐弯波导中的波导b为输出波导，在特定频率下发生谐振时，在波导b有最大的光强输出，此谐振频率有固定的间隔，于是得到一条谐振峰周期出现的谐振曲线。
权利要求
1.微型光学谐振腔，其特征是它包括由集成有反射镜[1]的波导[2]围成的闭合折角多边形波导环形腔[3]和弯成的具有端口的直角拐弯波导[4]，所说的反射镜[1]设在波导折角处，直角拐弯波导[4]在波导环形腔[3]的一侧或在波导环形腔[3]的相对两侧，直角拐弯波导[4]中有一根波导[A]与波导环形腔中某一根波导[B]平行、相耦合。
全文摘要
本发明的微型光学谐振腔包括由集成有反射镜的波导围成的闭合折角多边形波导环形腔和弯成的具有端口的直角拐弯波导,所说的反射镜设在波导折角处,直角拐弯波导在波导环形腔的一侧或在波导环形腔的相对两侧,直角拐弯波导中有一根波导与波导环形腔中某一根波导平行、相耦合。该光学谐振腔因使用反射镜,故能完全采用直波导构成呈折角多边形的环形谐振腔,且反射镜与波导是集成的整体,与已有技术相比,谐振腔的尺寸不受曲率半径限制,利于将尺寸做小,不仅可减小损耗,也易于将光学谐振腔集成到芯片上,实现微型化。
文档编号G01C19/58GK1367372SQ0211105
公开日2002年9月4日 申请日期2002年3月13日 优先权日2002年3月13日
发明者金仲和, 郭伟, 唐衍哲, 王跃林 申请人:浙江大学
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