专利名称：光学角度测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光学角度测量装置。
背景技术：
基于干涉扫描原理的高分辨率光学角度测量装置大多对于带有布置其上的测量分度(Messteilung)的分度盘仅具有小的附装公差(Anbautoleranz)。在申请人的DE 10 2010 029 211. 7中公开了一种解决该问题的测量装置。通过预先规定地使用后向反射器和波前校正器能够最小化所得的波前失真(Wellenfrontverzerrimg)，所述波前失真由径向分度的扫描引起并且也构成仅小的附装公差的原因。然而对此所需要的波前校正器原则上可以针对所扫描的测量分度的确定的分度半径或者整个确定的测量应用被优化。因此作为问题得出，光学角度测量装置的相应扫描光学系统因此不能够普遍用于不同的待扫描的分度半径或不能够普遍用于不同的测量应用。
发明内容
本发明的任务是，说明一种具有高分辨率和大附装公差的光学测量装置，其可普遍结合被扫描的测量分度的不同分度半径使用或在不同的测量应用中使用，而对此无需显著地匹配扫描光学系统。该任务按照本发明通过具有权利要求1所述特征的光学角度测量装置得到解决。按照本发明的光学角度测量装置的有利实施方案从从属权利要求中的措施得出。按照本发明的光学角度测量装置用于检测至少一个扫描光栅和带有至少一个测量分度的分度盘之间的相对运动。在此，该扫描光栅构成为线性扫描光栅。该分度盘作为测量分度包括第一和第二组合的径向圆光栅并且具有镜。在扫描光栅处的入射光束首先这样经历分裂成两个分光束。然后，分光束在第一组合的径向圆光栅方向上传播并且在那里受到衍射。衍射的分光束接着在镜方向上传播并且在那里在第二组合的径向圆光栅方向上受到反射。然后，分光束在第二组合的径向圆光栅方向上传播并且在那里受到衍射。最后， 衍射的分光束在扫描光栅方向上传播，在此处引起分光束的重叠。组合的第一和第二径向圆光栅优选使至少一个方位角光学偏转作用与径向的、环形弯曲的圆柱形透镜的光学作用相调和。在此，第一组合的径向圆光栅能够这样构成，使得除了对分光束的纵向和横向偏转作用外另外引起分光束到镜上的聚焦。该第二组合的径向圆光栅这样有利地构成，使得除了对分光束的纵向和横向偏转作用外另外引起在扫描光栅方向上传播的分光束的重新准直。在可能的实施形式中，组合的第一和第二径向圆光栅环形地在分度盘的圆周上布置并且在环圆周上分别具有恒定的方位角光栅周期并且在径向方向上具有变化的径向光栅周期。该镜优选环形地在分度盘的圆周上布置。
该分度盘由透明的材料组成并且组合的第一和第二径向圆光栅布置在第一侧并且镜布置在相反的第二侧是可能的，所述镜的反射面在第一侧的方向上取向。在可能的实施形式中，该扫描光栅构成为反射扫描光栅。光源以及多个光电子探测器元件优选布置在扫描单元中，其中从光源发射的光束可输送给扫描光栅并且重叠的分光束可输送给光电子探测器元件。在另一实施形式中，该扫描光栅此外布置在扫描单元中并且该分度盘相对于扫描单元可移动地来布置。对此可替代地能够规定，相对于扫描光栅，至少一个扫描单元布置成可推移的 (verschiebbar)并且分度盘布置成可转动的。在另一变型方案中，至少一个扫描单元与扫描光栅一起可以相对于分度盘沿着轴相对可移动地布置，所述轴穿过分度盘的中心。此外可能的是，设置多个扫描单元和的多个分配给扫描单元的扫描光栅，其中所述扫描单元和扫描光栅相对于分度盘布置在不同的方位角位置处。此外，该分度盘能够由多个分度段组成。最后也能够规定，来自扫描单元的光束经由偏转单元在分度盘方向上是可转向的并且来自分度盘的光束经由偏转单元在扫描单元方向上是可转向的。按照本发明的光学角度测量装置适合于带有不同分度半径的弯曲的测量分度的高分辨率的、普遍的扫描，而不必为此分别匹配扫描光学系统。原则上按照本发明的角度测量装置的扫描光学系统甚至能够用于线性测量分度的扫描。此外，按照本发明的光学角度测量装置不仅能够在常见的转动角检测、而且能够在专门的机器运动学(Maschinenkinematik)中的位置检测的应用中使用，下面仍详细描述所述机器运动学。也就是说，按照本发明的光学角度测量装置在最大不同的应用方面也可普遍地使用。因此借此能够以高精度地确定例如圆形工作台的转动角，所述圆形工作台沿着侧向方向可推移地布置在线性工作台上。在此，同时也检测线性工作台的引导偏差。此外，按照本发明的光学角度测量装置在这种类型的运动学中除了转动角检测外也使得可推移的圆形工作台的侧向XY位置的确定成为可能。转动角检测以及侧向XY位置的可选检测， 也就是说组合的旋转和线性运动的检测在此与现有技术不同地不是连续地、而是直接地并且用小的测量圆规进行。
作为按照本发明的光学角度测量装置的另外的优点可以列举，所述光学角度测量装置除了可能的高分辨率外此外在测量分度侧上相对大的扫描面的情况下同时对于分度盘具有大的附装公差。本发明的其它优点以及细节从根据附图对实施例的以下描述中得
出ο在此
图1示出了包括不同几何大小的按照本发明的光学角度测量装置的组件的示意图； 图2a、2b分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的带有扫描光程的剖视图3a、!3b分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的展开的扫描光程；
图如示出了来自带有布置在其上的镜的按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的分度盘的下侧的部分视图4b示出了来自带有布置在其上的径向圆光栅的按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的分度盘的上侧的部分视图4c示出了按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的扫描光栅的部分视
图5示出了用于阐述按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的径向圆光栅的尺寸确定的图示；
图6、7分别示出了带有极坐标运动学的机器的视图，其中使用按照本发明的光学角度测量装置的第二实施形式；
图8a、8b分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第二实施形式的带有扫描光程的剖视图9a、9b分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第二实施形式的展开的扫描光程；
图IOa示出了来自带有布置在其上的镜的按照本发明的光学角度测量装置的第二实施形式的分度盘的下侧的部分视图IOb示出了来自带有布置在其上的径向圆光栅的按照本发明的光学角度测量装置的第二实施形式的分度盘的上侧的部分视图IOc示出了按照本发明的光学角度测量装置的第二实施形式的扫描光栅的部分视
图IlaUlb分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第三实施形式的带有扫描光程的剖视图lh、12b分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第三实施形式的展开的扫描光程；
图13a示出了来自带有布置在其上的镜的按照本发明的光学角度测量装置的第三实施形式的分度盘的下侧的部分视图1 示出了来自带有布置在其上的径向圆光栅的按照本发明的光学角度测量装置的第三实施形式的分度盘的上侧的部分视图13c示出了按照本发明的光学角度测量装置的第三实施形式的扫描光栅的部分视
图14、15分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第四实施形式的带有扫描光程的剖视图16、17分别示出了带有按照本发明的光学角度测量装置的第五实施形式的测量装置(Messanordnung)的视图18、19分别示出了带有极坐标运动学的另一机器的视图，其中使用按照本发明的光学角度测量装置的第六实施形式。
具体实施方式
在以下详细阐述按照本发明的光学角度测量装置的不同的具体的实施例或应用例之前，根据图1阐述事先确定的基本的想法。此外在图1中示出了各个几何大�。诹硗獾拿枋鼋讨刑教炙龅募负未笮�。按照本发明的光学角度测量装置基于干涉扫描原理并且包括扫描单元20以及相对于此在XY平面中旋转的带有至少一个布置在其上的测量分度的分度盘。在此，该测量分度在图1中未示出。为了确定分度盘10相对于扫描单元20的转动角
,径向光栅作为测量分度设置在分度盘10上。该径向光栅在扫描光程中使衍射的光束的波前(Wellenfronten)失真。因此在扫描单元20中矫正式的扫描光栅是必要的，以便使两个分光束干涉并且以高的调制度产生扫描信号。如果期望大的关于分度盘10和扫描单元 20的相对位置的安装和运行公差，那么在扫描单元中在扫描光程中布置附加的后向反射元件和波前校正器原则上是可能的。对此例如参考开头已经提及的申请人的DE 10 2010 029 211. 7。在此，原则上专门将扫描单元20的光学元件与分度盘10的测量分度的分度半径R 匹配是必要的。现在本发明提出一种扫描光学系统，其在测量分度中实施来自DE 10 2010 029 211. 7的后向反射元件和波前校正器的功能，其中测量分度被构成为分度盘10上的组合的径向圆光栅。作为扫描光栅，在扫描单元20中仅要求多于一个的线性光栅。以此方式能够使用同一扫描单元20用于扫描带有布置在其上的测量分度的不同分度半径R的不同分度盘10。另外，甚至可能的是，使用按照本发明的光学角度测量装置的扫描单元20基于线性扫描光栅也用于扫描带有线性测量分度(R ^ 的实物量具(MafiverkSrperung)。 例如在申请人的WO 2008/138502 Al中公开了对此适用的实物量具。因为该扫描光栅构成为线性光栅，该扫描光栅的侧向移动对扫描信号的信号强度不具有影响。因此也能够与扫描单元20空间上分开地布置并且在其纵向或横向伸展中任意地被放大。也就是说，因此经由按照本发明的角度测量装置可确定扫描光栅和带有布置在其上的测量分度的分度盘之间或者与扫描光栅和分度盘相连的机器组件之间的相对运动。以此方式可能的是，在按照本发明的光学角度测量装置的特殊实施形式中也在分度盘相对于扫描光栅的大的侧向XY移动情况下实施角度测量。在此，当扫描单元20与分度盘 10—起移动但是不一起转动时，允许的侧向XY移动仅通过扫描光栅的大小限定。扫描信号的信号强度在该范围内始终不变地高。因此，按照本发明的光学角度测量装置的该实施形式特别适合于上面提及的带有专门的运动学的机器。在此，通过布置多个扫描单元和必要时还有多个扫描光栅，侧向XY移动的同时确定也是可能的。第一实施形式
图加和2b分别示出了按照本发明的光学角度测量装置的第一实施形式的带有扫描光程的剖视图。在扫描单元20中布置的、被准直的光源21、例如合适的激光光源沿着光轴Z照射第一线性扫描光栅23. 1，所述第一线性扫描光栅23. 1被施加在扫描板M的下侧。在此， 扫描板M的朝向被扫描的分度盘10的侧理解为扫描板M的下侧；扫描板的与此相反的侧称为上侧。入射的光束在扫描光栅M的地点P3处被分裂成两个分光束。然后，两个分光束在测量分度的第一部分方向上传播，所述第一部分构成为第一组合的径向圆光栅11. 1 并且布置在分度盘10的前侧。在地点？如或？仙处，分光束在此射到第一组合的径向圆光栅11. 1上。该第一组合的径向圆光栅11. 1环形地在分度盘10的圆周上布置并且构成为透光光栅(Durchlichtgitter)。该第一组合的径向圆光栅按照本发明联合多种光学功能它使射到其上的两个分光束在^平面中再次与光轴Z平行地偏转(纵向的偏转作用)并且使它们在X方向上偏转(横向的偏转作用)。另外，它通过径向圆柱形透镜作用在径向方向上使得两个射到的分光束聚焦到镜12上，所述镜12处在透明的分度盘10的背侧。在此，该镜(如在图如的部分视图中可看到)在分度盘10的圆周上环形地布置。由第一组合的径向圆光栅11. 1衍射的或者如前面所述被影响的分光束因此在镜 12方向上传播并且在那里在镜12上的地点Pfe或P^3处在测量分度的第二部分方向上受到反射，也就是反射到分度盘10上的第二组合的径向圆光栅11. 2上。当在镜12上的地点 P5a或P^3处反射后，分光束因此在分度盘10上的第二组合的径向圆光栅11. 2方向上传播。该第二组合的径向圆光栅11. 2按照本发明地也联合多种光学功能它使两个入射到其上的分光束在η平面中再次以相反的反向偏转(纵向的偏转作用)，使得所述分光束在共同的地点P7处射到扫描板M的第二扫描光栅23. 2上。此外，两个分光束在TL平面中再次与光轴Z平行地指向(横向的偏转作用)。此外，经由光学圆柱形透镜作用进行两个分光束的重新准直。在本实施例中，该分度盘10由透明的材料组成。组合的第一和第二径向圆光栅布置在分度盘10的第一侧(上侧)；镜12布置在分度盘10的相反的第二侧(下侧)，所述镜的反射面在第一侧的方向上取向。当在第二组合的径向圆光栅11. 2处衍射或影响之后，分光束在线性扫描光栅 23. 3方向上传播，在此处所述分光束重叠或使成干涉并且分裂成三个分别组合的分光束。 三个组合的分光束以所得的0.和士 1.衍射级(Beugimgsordrumg)从扫描光栅23. 2中出来并且到达扫描单元20中的光电子探测器元件22. 1,22.2和22. 3上，所述光电子探测器元件提供与移动有关地调制的扫描信号。通过第二线性扫描光栅23. 2的特殊设计能够实现，扫描信号彼此分别移相120°。对此以已知的方式构成为相衍射光栅，其电桥高度 (Stegh5he)根据不等于180°的相移来选择并且其电桥宽度与半个光栅周期有偏差。接着扫描信号被输送给(未示出的)分析单元，其由此产生位置值。在本第一实施例中，因此除了光源21和光电子探测器元件22. 1、22. 2、22. 3外，在扫描单元20中还布置有线性扫描光栅23. 1,23. 2。在此，从光源21发射的光束可输送给第一扫描光栅23. 1，重叠的分光束可从第二扫描光栅23. 2输送给光电子探测器元件22. 1、 22. 2、22. 3。分度盘10相对于扫描单元20布置成可相对移动的，也就是可围绕着分度盘10 的中央轴转动，所述中央轴与光轴Z平行地穿过分度盘10的中点。在图3a和北中以拉伸或展开的形式示出了该实施例的扫描光程。在此，在图3a 中在地点P4a、P4b和P6a、P6b处可看到组合的径向圆光栅11. 1和11. 2的横向的偏转作用，所述横向的偏转作用在X方向上产生分光束的光线偏移(Strahlversatz)。在图3中示出了在地点P3处经由第一扫描光栅23. 1分裂成两个分光束，示出了在地点P4a、P4b和 P6a、P6b处经由组合的径向圆光栅11. 1和11. 2的纵向偏转作用以及在第二扫描光栅23. 2 的地点P7处两个分光束的重叠。
图如示出了在分度盘10的下侧上环形弯曲的镜12的俯视图或部分视图和两个分光束，所述两个分光束通过组合的径向圆光栅11.1的圆柱形透镜作用线形聚焦地在地点Pfe和P^处被反射。在图4b中以示意化的部分视图示出了在分度盘10的上侧上的环形的组合的径向圆光栅11. 1和11. 2。所述光栅11. 1,11. 2的局部棋盘式结构有利地构成为带有相位高度 180°的相衍射光栅。在方位角(azimutal)方向上，也就是沿着环形，它如同径向光栅周期式地结构化。与此相应地，光栅11. 1在圆周附上(Uber dem ^ifang)和光栅11. 2在圆周 N2上具有方位角光栅周期。在径向方向上，光栅结构与绕射的、环形弯曲的圆柱形透镜的光栅结构相对应。它因此能够被看作圆光栅，其径向光栅周期相应地径向地改变。图如示出了在扫描板M的下侧上的两个线性扫描光栅23. 1和23. 2的部分视图。 两个扫描光栅23. 1,23.2在该实施形式中具有同样的光栅常数和光栅取向。扫描光栅23. 2 的特殊设计上面已经描述。扫描光栅23. 1优选构成为带有180°相差(Wmsenhub)和几乎等于半个光栅常数的电桥宽度(Stegbreiten)的相衍射光栅。原则上也可能的是，如同对于扫描光栅23. 2，对于扫描光栅23. 1选择同样的光栅结构，使得两个扫描光栅也能够实施成共同的扫描光栅。以下根据图5更详细地阐述组合的第一和第二径向圆光栅11. 1和11. 2的专门尺寸确定。对此观察两个分光束的k矢量的X和Y分量。在地点IMa处入射的分光束通过在带有光栅常数dA的线性扫描光栅23. 1处衍射而具有k矢量kA1，其中
/ O \
‘^ (Ii (方程 1)。
..“..'.ι /该k矢量首先应该通过第一偏转功能、也就是通过组合的径向圆光栅11. 1的光栅矢量_kA1进行补偿。为此，该光栅矢量_kA1分解成径向分和方位角分量kAla。径向分量能够通过相应的径向光栅常数获得并且方位角分量kAla能够通过相应的方位角光栅常数获得。第一偏转功能将会单独使入射的分光束与光轴Z平行地转向。径向圆柱形透镜作用重叠到所述入射的分光束上，所述径向圆柱形透镜作用通过根据以下关系的相应的光栅相位 (『)进行描述
#L{r) = ^ ^r-nr ■ ^(r — RY - + (方程 2) 其中，
λ激光光源的波长分度盘的折射率 R分度盘的分度半径 ■聚焦地点的方位角位移(见下面) 4分度盘的厚度。 该圆柱形透镜的聚焦地点处在分度半径R处。通过射中点P^与分度半径R的距离，圆柱形透镜径向地使分光束偏转。该偏转的所属的光栅矢量用ku表示
^t (方程 3)其中，rp4a射中地点P^的半径。如果如同在该实施例中，圆柱形透镜作用仅应该在X方向上引起偏转，则光栅矢量ku的Y分量必须通过相应的方位角光栅矢量kUa进行补偿。该方位角光栅矢量kUa产生聚焦地点的相应的方位角位移V。为了优化圆柱形透镜的映射质量应该根据上面的公式考虑在光栅相位Φι⑴中的该方位角位移V.。组合的径向圆光栅11. 1的结构从所有方位角和径向偏转作用和圆柱形透镜作用
的重叠中产生。所得的方位角光栅矢量kAla+kUa能够在圆周上换算成周期m的方位角数目
权利要求
1.用于检测至少一个扫描光栅(23.1,23. 2 ；123 ；223 ；323)和带有至少一个测量分度的分度盘(10 ；110 ；210 ；310 ；410 ；510)之间的相对运动的光学角度测量装置，其中-该扫描光栅(23. 1,23. 2 ；123 ；223 ；323)构成为线性扫描光栅，并且 -该分度盘(10 ；110 ；210 ；310 ；410 ；510)作为测量分度包括第一和第二组合的径向圆光栅(11. 1、11. 2 ；111. 1,111. 2 ；211. 1,211. 2 ；311. 1,311. 2)并且具有镜(12 ；112 ；212 ； 312)，使得-在扫描光栅1,23. 2 ；123 ；223 ； 323)处的入射光束首先经历分裂成两个分光束；-分光束在第一组合的径向圆光栅(11. 1 ；111. 1 ；211. 1 ；311. 1)方向上传播并且在那里受到衍射；-衍射的分光束在镜(12 ；112 ；212 ；312)方向上传播并且在那里在第二组合的径向圆光栅(11. 2 ；111. 2 ；211. 2 ；311. 2)方向上受到反射；-分光束在第二组合的径向圆光栅(11. 2 ；111. 2 ；211. 2 ；311. 2)方向上传播并且在那里受到衍射；-衍射的分光束在扫描光栅1,23. 2 ；123 ；223 ；323)方向上传播，在此处引起分光束的重叠。
2.根据权利要求1所述的光学角度测量装置，其中所述组合的第一和第二径向圆光栅 (11. 1、11. 2 ；111. 1,111. 2 ；211. 1,211. 2 ；311. 1,311. 2)将至少一个方位角光学偏转作用与径向的、环形弯曲的圆柱形透镜的光学作用相调和。
3.根据权利要求1或2所述的光学角度测量装置，其中所述第一组合的径向圆光栅 (11. 1、11. 2 ；111. 1,111. 2 ；211. 1,211. 2 ；311. 1,311. 2)这样构成，使得除了对分光束的纵向和横向的偏转作用外此外引起分光束到镜(12 ；112 ；212 ；312)上的聚焦。
4.根据权利要求1所述的光学角度测量装置，其中所述第二组合的径向圆光栅(11.1、II.2 ；111. 1,111. 2 ；211. 1,211. 2 ；311. 1,311. 2)这样构成，使得除了对分光束的纵向和横向的偏转作用外此外引起在扫描光栅(23. 1,23. 2 ；123 ；223 ；323)方向上传播的分光束的重新准直。
5.根据前述权利要求中至少一项所述的光学角度测量装置，其中所述组合的第一和第二径向圆光栅(11. 1、11. 2 ；111. 1,111. 2 ；211. 1,211. 2 ；311. 1,311. 2)环形地在分度盘 (10 ；110 ；210 ；310 ；410 ；510)的圆周上布置并且在环圆周上分别具有恒定的方位角光栅周期并且在径向方向上具有变化的径向光栅周期。
6.根据权利要求1所述的光学角度测量装置，其中所述镜(12；112 ；212 ；312)环形地在分度盘(10 ；110 ；210 ；310 ；410 ；510)的圆周上布置。
7.根据权利要求5和6所述的光学角度测量装置，其中所述分度盘(10；110 ；210 ； 310 ；410 ；510)由透明的材料组成并且布置在组合的第一和第二径向圆光栅(11. 1、11. 2 ；III.Kill. 2 ；211. 1,211. 2 ；311. 1,311. 2)的第一侧上并且布置在镜(12 ；112 ；212 ；312) 的相反的第二侧上，所述镜的反射面在第一侧的方向上取向。
8.根据前述权利要求中至少一项所述的光学角度测量装置，其中所述扫描光栅(123; 223 ；323)构成为反射扫描光栅。
9.根据权利要求1至7中至少一项所述的光学角度测量装置，其中光源Ol；321)以及多个光电子探测器元件(22. 1 - 22.3 ；322. 1 - 322. 3)布置在扫描单元(20 ；120 ；320 ； 420.1 - 420. 4 ；520. 1 - 520.4)中并且从光源Ql ;321)发射的光束可输送给扫描光栅 (23. 1,23. 2 ；123 ；223 ；323)并且重叠的分光束可输送给光电子探测器元件(22. 1 - 22. 3 ； 322. 1 - 322. 3)。
10.根据权利要求9所述的光学角度测量装置，其中在扫描单元00)中此外布置有扫描光栅1,23. 2)并且分度盘(10)相对于扫描单元00)可移动地布置。
11.根据权利要求9所述的光学角度测量装置，其中相对于扫描光栅(123;223)，至少一个扫描单元(120 ；420. 1 - 420. 4 ；520. 1 - 520. 4)可推移地并且分度盘(110 ；210 ；410 ； 510)可转动地被布置。
12.根据权利要求9所述的光学角度测量装置，其中至少一个扫描单元(320)与扫描光栅(32 —起相对于分度盘(310)沿着轴(X)相对可移动地布置，所述轴穿过分度盘(310) 的中心。
13.根据权利要求9所述的光学角度测量装置，带有多个扫描单元(420.1 - 420. 3)和多个分配给扫描单元G20. 1 - 420.3)的扫描光栅GM. 1 - 4M. 3)，其中所述扫描单元 (420. 1 - 420. 3)和扫描光栅(424. 1 - 424. 3)布置在相对于分度盘010)的不同的方位角位置上。
14.根据权利要求9所述的光学角度测量装置，其中所述分度盘(410.1)由多个分度盘段组成。
15.根据权利要求9所述的光学角度测量装置，其中-来自扫描单元(320)的光束经由偏转单元在分度盘(310)方向上是可转向的并且-来自分度盘(310)的光束经由偏转单元在扫描单元(320)方向上是可转向的。
全文摘要
本发明涉及一种用于检测至少一个扫描光栅和带有至少一个测量分度的分度盘之间的相对运动的光学角度测量装置。该扫描光栅构成为线性扫描光栅并且该分度盘作为测量分度包括第一和第二组合的径向圆光栅并且具有镜。在扫描光栅处的入射光束首先这样经历分裂成两个分光束。然后，分光束在第一组合的径向圆光栅方向上传播并且在那里受到衍射。衍射的分光束在镜方向上传播并且在那里在第二组合的径向圆光栅方向上受到反射。分光束接着在第二组合的径向圆光栅方向上传播并且在那里受到衍射。衍射的分光束在扫描光栅方向上传播，在此处引起分光束的重叠。
文档编号G01B11/26GK102564353SQ20111034318
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月3日 优先权日2010年11月3日
发明者W.霍尔茨阿普费尔 申请人:约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
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