专利名称：旋转角度检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种旋转角度检测装置，尤其涉及到通过磁性检测元件检测被检测体的旋转角度的旋转角度检测装置。
背景技术：
以往的旋转角度检测装置例如被用于检测车辆的转向轴等被检测体的旋转角度。 作为这种旋转角度检测装置曾被提案过，具备由被安装于被检测体上的矩形环状体构成的磁铁和检测该磁铁所产生的磁场的磁性检测元件并且根据磁铁的旋转所带来的磁场方向变化来检测被检测体的旋转角度的旋转角度检测装置(例如，参照专利文献I)。在该旋转角度检测装置中，利用相对置的一组边中一侧被磁化为N极、另一侧被磁化为S极的磁铁， 检测出沿磁铁的表面平行产生的磁场的方向变化。专利文献I :(日本)特开2009-281788号公报在上述旋转角度检测装置中，根据与在磁铁中被磁化为不同极性的相对置的一组边正交而产生的磁场的方向，检测被检测体的旋转角度。然而，在该旋转角度检测装置中， 由于磁铁的开口部具有大致正方形的形状，所以与被磁化为不同极性的相对置的一组边正交的方向以外方向的磁场强度有可能变大，从而不能正确地检测所期待的磁场方向，其结果有可能会发生无法高精度地检测出被检测体的旋转角度的情况。
发明内容
本发明是鉴于上述以往技术的实情而提出的，其目的在于，提供一种能够高精度地检测被检测体的旋转角度的旋转角度检测装置。本发明的旋转角度检测装置的特征在于，具备磁铁，能够随着被检测体的旋转进行旋转；以及磁性传感器单元，与上述磁铁相对置地配置并根据该磁铁旋转所带起的磁场方向变化检测上述被检测体的旋转角度，而且，上述磁铁由设有具有长方形形状的开口部的板状环状体构成，包含与上述开口部的长边方向的边相对应的一组边在内的部分被磁化为不同极性，上述磁性传感器单元具有在与上述磁铁的对置面平行的平面内并与上述开口部的内侧相对应的位置上配置了多个磁性检测元件的检测部。根据上述结构，在磁铁中使包含与开口部的长边方向的边相对应的一组边在内的部分被磁化为不同极性，因此能够扩大从该一组边的一侧边朝向另一侧边的平行磁场的形成区域。因此，能够使同一方向磁场对被配置于与开口部的内侧相对应的位置上的多个磁性检测元件起作用，因此能够高精度地检测出被检测体的旋转角度。在上述旋转角度检测装置中，上述磁铁使包含与上述磁性传感器单元相对置的对置面和被配置在该对置面的背面侧的非对置面在内的部分被磁化为不同极性是最为理想。 此时，由于能够形成从磁性传感器单元的对置面(或非对置面)朝向非对置面(或对置面) 的磁场，所以即使在磁性传感器单元的内部作为磁性检测元件配设了多个磁阻效应元件的情况下，也能够防止作用于多个磁阻效应元件的磁场强度根据各磁阻效应元件的配设位置发生很大变化。其结果，在各磁阻效应元件不会受到很大的磁�。阅芄环乐构钩纱抛栊вυ墓潭ú愕拇呕较蛞蚯看懦《浠佣芄桓荽盘吹拇懦》较虮浠呔鹊丶觳獬霰患觳馓宓男嵌�。在上述旋转角度检测装置中，上述磁铁具有大致正方形形状、大致长方形形状、角部倒角的正方形形状或角部倒角的长方形形状是最为理想。此时，利用磁铁外形的一部分， 容易直接或间接地在被检测体的所期待位置上定位，从而能够确保与磁性传感器单元所具有的磁性检测元件之间的位置精度。例如，在上述旋转角度检测装置中，上述检测部由桥接的4个磁性检测元件构成。 此时，能够用简单的结构构成检测部。根据本发明，由于在磁铁上使包含与开口部长边方向的边相对应的一组边在内的部分被磁化为不同极性，所以能够扩大从该一组边的一侧边朝向另一侧边的平行磁场的形成区域。因此，能够使同一方向的磁场对被配置在与开口部的内侧相对应的位置上的多个磁性检测元件起作用，从而能够高精度地检测被检测体的旋转角度。
图I为表示本发明的一个实施方式所涉及到的旋转角度检测装置的重要部分的立体图。图2为上述实施方式所涉及到的旋转角度检测装置的磁性传感器单元所具有的磁阻效应元件的剖面模式图。图3为使用4个图2所示磁阻效应元件形成了桥接电路的电路图。图4为表示上述实施方式所涉及到的旋转角度检测装置的磁性传感器单元的2相正弦波形输出信号的图。图5为上述实施方式所涉及到的旋转角度检测装置所具有的磁铁的俯视图(a)和侧视图(b)。图6为从设有正方形形状的开口部的磁铁产生的磁场的结构的说明图。图7为从上述实施方式所涉及到的旋转角度检测装置所具有的磁铁产生的磁场的结构的说明图。附图标记101基板，102磁性传感器单元，103磁铁，103a开口部，104磁阻效应元件，104a交换偏直层，104b固定层，104c非磁性层，104d自由层，104e 2而子层
具体实施例方式下面，将参照附图详细说明本发明的一个实施方式。图I为表示本发明的一个实施方式所涉及到的旋转角度检测装置的重要部分的立体图。另外，本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置例如被用于检测车辆转向轴等被检测体的旋转角度。不过，适用本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置的设备并不受限于此，也可适用于检测被检测体旋转角度的任意设备。如图I所示，本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置由磁性传感器单元102和磁铁103构成，该磁性传感器单元102被安装于基板101上，该磁铁103与该磁性传感器单元102离开一定距离而相对置地配设。磁铁103直接或间接地被安装于可旋转地设置的被检测体上，并且构成为可随着该被检测体的旋转而旋转。另外，为了便于说明，在图I中省略表示安装了磁铁103的被检测体。磁性传感器单元102具有具备多个磁性检测元件并桥接这些元件而构成的检测部。具体地为，磁性传感器单元102的检测部包含使用了 4个磁阻效应元件(GMR(Giant Magneto-Resistive)元件)的桥接电路而构成。磁性传感器单元102根据磁铁103旋转所带来的磁场方向变化，检测被检测体的旋转角度。磁铁103由大致矩形形状的环状体构成。而且，磁铁103大致形成板状，以图I所示的下表面构成与磁性传感器单元102的对置面，以同图所示的上表面构成非对置面。磁铁103能够以开口部103a的中心作为旋转轴进行旋转地被安装于被检测体上。例如，磁铁 103以开口部103a的中心与磁性传感器单元102的检测面中心一致地被配置在旋转角度检测装置内。在这里，将说明磁性传感器单元102所具有的磁阻效应元件的结构。图2为本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置的磁性传感器单元102所具有的磁阻效应元件剖面模式图。如图2所示，通过磁感应将输出信号输出的磁阻效应元件104作为基本结构，在基板101之上层叠交换偏置层(反强磁性体层)104a、固定层(销住磁性层)104b、非磁性层104c和自由层(自由磁性层)104d而形成。为了使磁阻效应元件104发挥巨磁阻效应， 例如，父换偏直层104a由a _Fe203层、PtMn合金层或IrMn合金层等形成，固定层104b由 NiFe层形成，非磁性层104c由Cu层形成，自由层104d由NiFe层形成，不过,可并不受限于这些材料，只要能够发挥巨磁阻效应，也可使用其它材料。而且，只要发挥巨磁阻效应，磁阻效应元件104的结构可并不受限于上述层叠结构。图2所示磁阻效应元件104的固定层104b通过交换偏置层104a被磁化,并通过该交换偏置层104a将磁化方向固定(销住)在特定方向。自由层104d根据外部磁场的方向，改变相对于固定层104b磁化方向的磁化方向。在磁阻效应元件104的两端接合形成端子层104e。然后，相对于固定层104b的固定的磁化方向，自由层104d的磁化方向根据外部磁场的方向改变，从而2个端子层104e之间的电阻值的变化作为输出信号输出。使用4个图2所示的磁阻效应元件104,通过组合这些4个磁阻效应元件104,形成图3所示的桥接电路。为了便于说明，在图3所示的4个磁阻效应元件104上分别取上 “GMR1”、“GMR2”、“GMR3”以及“GMR4”标记，并且分别给在磁阻效应元件104的两端形成的一侧端子层104e取上“El”标记、另一侧端子层104e取上“E2”标记之后进行说明。4个磁阻效应元件GMRl GMR4中，固定层104b的磁化方向的朝向相差180 °的 2个磁阻效应元件GMR1、磁阻效应元件GMR2和磁阻效应元件GMR3、磁阻效应元件GMR4分别成组而使用。并且，相邻一组磁阻效应元件GMRl和磁阻效应元件GMR3的固定层104b的磁化方向为相差180°的相反方向，而相邻另一组磁阻效应元件GMR2和磁阻效应元件GMR4 的固定层104b的磁化方向为相差180°的相反方向。在图3中，磁阻效应元件GMRl的固定层104b的磁化方向为朝上箭头所示方向；磁阻效应元件GMR2的固定层104b的磁化方向为朝下箭头所示的成180°的相反方向。而且， 磁阻效应元件GMR3的固定层104b的磁化方向为朝下箭头所示的方向；磁阻效应元件GMR4的固定层104b的磁化方向为朝上箭头所示的成180°的相反方向。并且，在磁阻效应元件GMRl的端子层E2上连接磁阻效应元件GMR2的端子层El， 使2个磁阻效应元件GMR1、GMR2串联连接。另一方面，在磁阻效应元件GMR3的端子层E2 上连接磁阻效应元件GMR4的端子层E1，使2个磁阻效应元件GMR3、GMR4串联连接。连接磁阻效应元件GMRl的端子层El和磁阻效应元件GMR3的端子层El，并在其连接点Vl上连接电源Vcc的正侧。连接磁阻效应元件GMR2的端子层E2和磁阻效应元件 GMR4的端子层E2，并在其连接点V2上连接电源Ncc的负侧。并且，对连接点Vl和连接点 V2输入检测信号。连接磁阻效应元件GMRl的端子层E2和磁阻效应元件GMR2的端子层El，将其连接点A+作为输出磁阻效应元件104的电阻值的变化信号(电压)的输出部。另一方面，连接磁阻效应元件GMR3的端子层E2和磁阻效应元件GMR4的端子层El，将其连接点A-作为输出磁阻效应元件104的电阻值的变化信号(电压)的输出部。并且，从2个连接点A+和连接点A-输出基于磁阻效应元件104的电阻值的变化的2相正弦波形的输出信号(图4所示的 P1、P2)。相对于组成该桥接电路的4个磁阻效应元件GMRl GMR4的固定层104b的固定的磁化方向，当基于外部磁场的自由层104d的磁化方向变化时，随着该磁化方向的变化， 在4个磁阻效应元件GMRl GMR4上产生电阻值的变化。该电阻值的变化在各磁阻效应元件104的固定层104b的磁化方向和自由层104d的磁化方向处在相同方向时表不最小值, 反平行(成180°的相反方向)时表示最大值。因此，随着磁化磁阻效应元件104的自由层 104d的外部磁场的方向，从形成桥接电路的输出端子的2个连接点A+、A-输出图4所示的正弦波形的输出信号(P1、P2)。因此，以磁阻效应元件104的电阻值变化的中间点作为参照点时，该电阻值变化的极性(增加的方向设为+，减少的方向设为_)在磁阻效应元件104的固定层104b的磁化方向被设定为相同方向的磁阻效应元件GMRl和磁阻效应元件GMR4、磁阻效应元件GMR2和磁阻效应兀件GMR3成为相同极性,在磁阻效应兀件104的固定层104b的磁化方向被设定为相差180°的相反方向(反平行)的磁阻效应元件GMRl和磁阻效应元件GMR2、磁阻效应元件GMR3和磁阻效应元件GMR4成为相反极性。由此，通过图3所示的4个磁阻效应元件GMRl GMR4的连接关系和磁阻效应元件104的电阻值的变化，形成惠斯顿桥接电路，通过使磁阻效应元件104感应外部磁场的磁性，作为根据该外部磁场所带来的磁阻效应元件104的自由层104d的磁化方向变化进行所期待的动作的磁性传感器单元102起作用。在本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置中，磁性传感器单元102所具有的4 个磁阻效应元件GMRl GMR4被配置在与磁铁103相对于磁性传感器单元102的对置面相平行的平面内。尤其是，这些磁阻效应元件GMRl GMR4被配置在与相对置地配置的磁铁 103的开口部103a的内侧相对应的位置上。接着，将说明本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置所具有的磁铁103的结构。图5为本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置所具有的磁铁103的俯视图(a)和侧视图(b)。而且，在图5(b)中表示从图5(a)的下方侧看的侧视图。如图5(a)所示，磁铁103由其外形中在4个角部设有圆弧形状部的大致正方形形状的环状体构成。而且，在磁铁103中央设有长方形形状的开口部103a。具体地为，设置有图5(a)所示上下方向尺寸W比同图所示左右方向尺寸L长的长方形形状的开口部103a。在磁铁103中，包含与开口部103a的长边方向的边(向图5 (a)所示的上下方向延伸的边)相对应的一组边在内的部分被磁化为不同极性。具体地为，在图5(a)所示的图纸靠前侧部分中，同图所示左侧一半部分被磁化为N极，右侧一半部分被磁化为S极。另一方面，在图5(a)所示的图纸里侧部分中，同图所示的左侧一半部分被磁化为S极，右侧一半部分被磁化为N极(参照图5 (b))。并且，如图5(b)所示，在磁铁103中，包含与磁性传感器单元102相对置的对置面 (图5(b)所示的下表面)和被配置在该对置面的背面侧的非对置面(图5(b)所示的上表面)在内的部分被磁化为互相不同的极性。具体地为，在图5(b)所示的左侧部分中，同图所示的下侧部分被磁化为S极，上侧部分被磁化为N极。同样，在图5(b)所示的右侧部分中，同图所示的下侧部分被磁化为N极，上侧部分被磁化为S极。用图I说明如上所述地被磁化的磁铁103的结构，在磁铁103中，图I所示靠前侧 (右下侧)的一边的下侧部分被磁化为N极、上侧部分被磁化为S极，同图所示里侧(左上侧)的一边的下侧部分被磁化为S极、上侧部分被磁化为N极。另外，在图I中为了便于说明，用斜线表不与磁铁103的N极相对应的部分。在这里，比较说明从上述被磁化的磁铁103所产生的磁场的结构和从设有正方形形状的开口部103a'的磁铁103'所产生的磁场的结构。图6为从设有正方形形状的开口部103a'的磁铁103'所产生的磁场的结构的说明图。图6(a)、(b)分别表示磁铁103' 的俯视图以及侧视图。图6 (c)表示从磁铁103'的中心的距离与磁场强度之间的关系。在图6(a)中，用箭头的粗细表示磁场的强度。还有，与本实施方式所涉及到的磁铁103不同，在图6所示的磁铁103'中，图 6(a)所示的左侧一半部分整个被磁化为N极，同图所示的右侧一半部分整个被磁化为S极。 而且，检测从磁铁103'所产生的磁场的变化的图中没有表示的磁性传感器单元102'具有与本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置所具备的磁性传感器单元102相同的结构， 并以相同的位置关系配置。在设有正方形形状的开口部103a'的磁铁103'中，在被磁化为N极的部分中，从图6(a)所示上下方向上延伸的部分(以下，称“N极侧垂直部分”)103b'的中央产生的磁场的强度如下，即在被磁化为S极的部分中，朝向图6(a)所示左右方向上延伸的部分(以下，称“S极侧水平部分” 103d'的左端部附近的磁场M2大于朝向图6(a)所示上下方向上延伸的部分(以下，称“S极侧垂直部分”)103c'中央的磁场Ml。而且，在被磁化为N极的部分中，从图6(a)所示左右方向上延伸的部分(以下，称“N极侧水平部分”)103e'的右端部附近产生并朝向S极侧垂直部分103d'中央的磁场M3的强度具有与从N极侧垂直部分 103b'的中央产生并朝向S极侧水平部分103d'的右端部附近的磁场M2大致相同的强度。在磁性传感器单元102'中，根据磁铁103'旋转所带来的从N极侧垂直部分 103b/朝向S极侧垂直部分103c'的磁场(即，与磁场Ml平行的磁场。以下，适当称为“平行磁场”)的方向变化检测被检测体的旋转角度。不过，在磁铁103'中，如图6(a)所示， 由于与平行磁场不同方向的磁场(例如，磁场M2和磁场M3)强度相对较大,所以不能扩大形成平行磁场的区域。其结果，在构成磁性传感器单元102'的多个磁阻效应元件GMRl GMR4中，不能准确地检测平行磁场的方向，发生不能高精度地检测被检测体的旋转角度的情况。而且，在磁铁103'中，如图6(b)所示，磁铁103'的整个厚度方向被磁化为单一极性。所以，在磁铁103'的周围形成强度从N极侧垂直部分103b'向S极侧垂直部分 103c'变大的磁场(另外，在图6(b)中只表示在磁铁103'的下侧区域形成的磁场)。此时，如图6(c)所示，磁场强度在磁铁103'的中心0附近最�。孀糯又行�0接近N极侧垂直部分103b'或S极侧垂直部分103c'变大。尤其是，磁场强度所表示的曲线形成从磁铁 103'的中心0朝向N极侧垂直部分103b'或S极侧垂直部分103c'描绘陡峭曲线的状态。 如上所述地形成的磁场作用于磁性传感器单元102'所具有的磁阻效应元件104'。图7为从本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置所具有的磁铁103产生的磁场的说明图。还有，在图7(a) (C)中表示磁铁103的与图6(a) (C)相同的状态图。而且，在以下的说明中，为了便于说明，在磁铁103中，被磁化为N极的部分当中，也将图7(a) 所示上下方向上延伸的部分称为N极侧垂直部分103b，将7 (a)所示左右方向上延伸的部分称为N极侧水平部分103e。而且，在被磁化为S极的部分当中，将图7(a)所示上下方向上延伸的部分称为S极侧垂直部分103c，将图7(a)所示左右方向上延伸的部分称为S极侧水平部分103d。并且，将从N极侧垂直部分103b朝向S极侧垂直部分103c的磁场称为平行磁场。如上所述，由于在磁铁103中设有长方形形状的开口部103a，与图6(a)所示的磁铁103'相比，从N极侧垂直部分103b的中央到S极侧水平部分103d上端部附近的距离长。因此,从N极侧垂直部分103b的中央产生的磁场强度中，朝向S极侧垂直部分103c中央的磁场M5大于朝向S极侧水平部分103d左端部附近的磁场M4。而且，从N极侧水平部分103e的右端部附近产生并朝向S极侧垂直部分103c中央的磁场M6的强度具有与从N 极侧垂直部分103b的中央产生并朝向S极侧水平部分103d左端部附近的磁场M4大致相同的强度。如图7(a)所不，在磁铁103中，由于与平行磁场不同方向的磁场(例如，磁场M4 和磁场M6)强度相对较�。阅芄焕┐笮纬善叫写懦〉那�。其结果，在构成磁性传感器单元102的多个磁阻效应元件GMRl GMR4中，能够准确地检测平行磁场的方向，从而能够高精度地检测被检测体的旋转角度。而且，如图7(b)所示，在磁铁103中，在左侧部分，下侧部被磁化为S极，上侧部分被磁化为N极；并且在右侧部分，下侧部分被磁化为N极，上侧部分被磁化为S极。因此，在磁铁103周围，在左侧部分形成从磁铁103的上表面朝向下表面的第I磁�。谟也嗖糠中纬纱哟盘�103的下表面朝向上表面的第2磁场。另外，还形成从被配置在磁铁103下侧部分上的N极侧垂直部分103b朝向S极侧垂直部分103c的第3磁场(另外，在图7 (b)中省略了在磁铁103上侧区域形成的磁场)。构成在磁性传感器单元102所具有的磁阻效应元件GMRl GMR4上作用的磁场的第3磁场强度，因第I磁场以及第2磁场的存在而被减小，比在图6 (b)所示磁铁103'形成的磁场小。此时,如图7(c)所示，磁场强度在磁铁103的中心0附近最�。⑺孀糯又行�0 接近N极侧垂直部分103b或S极侧垂直部分103c变大。尤其是，磁场强度所表示的曲线为从磁铁103的中心0朝向N极侧垂直部分103b或S极侧垂直部分103c描绘缓慢曲线的状态。如图6(c)所示，当作用于磁阻效应元件104'的磁场的强度描绘陡峭曲线而变化时，在磁阻效应元件104'中有可能发生不仅构成磁阻效应元件104'的自由层104d'的磁化方向发生变化，而且固定层104b'的磁化方向发生变化的情况。其结果，不能准确地检测到磁铁103'旋转所带来的平行磁场的方向的变化，从而不能高精度地检测到被检测体的旋转角度。与此相比，在本实施方式所涉及到的磁铁103中，由于作用于磁阻效应元件104的磁场的强度描绘缓慢曲线而变化，所以能够防止固定层104b的磁化方向变化的情况，从而能够根据磁铁103旋转所带来的平行磁场的方向的变化，高精度地检测到被检测体的旋转角度。如以上说明，在本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置中，由于磁铁103的包含与开口部103a的长边方向的边相对应的一组边在内的部分被磁化为互相不同的极性， 所以能够扩大从该一组边的一侧边朝向另一侧边的平行磁场的形成区域。因此，能够使同一方向的磁场作用于被配置在与开口部103a的内侧相对应的位置上的多个磁阻效应元件 GMRl GMR4，从而能够高精度地检测到被检测体的旋转角度。尤其是，在本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置中，由于包含磁铁103的与磁性传感器单元102相对置的对置面和被配置在该对置面背面侧上的非对置面在内的部分被磁化为互相不同的极性，所以能够形成从与磁性传感器单元102相对置的对置面(或非对置面)朝向非对置面(或对置面)的磁场，从而即使在磁性传感器单元102的内部配设了多个磁阻效应元件GMRl GMR4，也能够防止作用于多个磁阻效应元件GMRl GMR4的磁场的强度根据各磁阻效应元件的配设位置引起大变化。其结果，不会在各磁阻效应元件受到极端地大的磁�。佣芄环乐构钩纱抛栊вυ�104的固定层104b的磁化方向随着强磁场引起变化，因此能够根据磁铁103旋转所带来的磁场方向变化，更加高精度地检测到被检测体的旋转角度。并且，在本实施方式所涉及到的旋转角度检测装置中，磁铁103的外形大致构成正方形形状。从而，能够利用磁铁103外形的一部分容易直接或间接地在被检测体的所期待位置上定位，所以能够确保与磁性传感器单元102所具有的磁阻效应元件104之间的位置精度。另外，在上述实施方式中说明了磁铁103的外形大致为正方形形状的情况，不过， 其外形也可改为大致长方形形状。此时，也能得到与上述实施方式相同的效果。另外，本发明并不受限于上述实施方式，实施时可做出种种变更。在上述实施方式中，关于附图所示的大小和形状等，可不限定于此，能够在发挥本发明效果的范围内适当地进行变更。其他只要不脱离本发明的目的范围，适当变更后予以实施也可以。例如，在上述实施方式中，说明了磁铁103的外形大致为正方形形状的情况，但是关于磁铁103的结构并不限定于此，而可适当变更。例如，将磁铁103的外形变更为大致长方形形状、角部倒角的正方形形状或角部倒角的长方形形状也可以。变更为圆形形状或椭圆形状也可以。此时，也能够以设长方形形状开口部103a为前提，得到与上述实施方式相同的效果。尤其是，当磁铁103的外形为大致正方形形状、大致长方形形状、角部倒角的正方形形状或角部倒角的长方形形状时，能够利用磁铁103外形的一部分容易直接或间接地在被检测体的所期待位置上定位，因此能够确保与磁性传感器单元102所具有的磁性检测元件之间的位置精度。而且，如上所述地能够在具有上述任意外形形状的磁铁103上适用，所以通过只改变现有旋转角度检测装置所使用的磁铁103，就能够提高被检测体旋转角度的检测精度。
权利要求
1.一种旋转角度检测装置，具备磁铁，能够随着被检测体的旋转进行旋转；以及磁性传感器单元，与上述磁铁相对置地配置并根据该磁铁旋转所带来的磁场方向变化检测上述被检测体的旋转角度，其特征在于，上述磁铁由设有具有长方形形状的开口部的板状环状体构成，并且包含与上述开口部的长边方向的边相对应的一组边在内的部分被磁化为不同极性；上述磁性传感器单元具有检测部，该检测部在与上述磁铁的对置面平行的平面内与上述开口部的内侧相对应的位置上配置了多个磁性检测元件。
2.根据权利要求I所述的旋转角度检测装置，其特征在于，上述磁铁使包含与上述磁性传感器单元相对置的对置面和被配置在该对置面的背面侧的非对置面在内的部分被磁化为不同极性。
3.根据权利要求I所述的旋转角度检测装置，其特征在于，上述磁铁的外形具有大致正方形形状、大致长方形形状、角部倒角的正方形形状或角部倒角的长方形形状。
4.根据权利要求2所述的旋转角度检测装置，其特征在于，上述磁铁的外形具有大致正方形形状、大致长方形形状、角部倒角的正方形形状或角部倒角的长方形形状。
5.根据权利要求I至4中任意一项所述的旋转角度检测装置，其特征在于，上述检测部由桥接的4个磁性检测元件构成。
6.根据权利要求5所述的旋转角度检测装置，其特征在于，上述磁性检测元件为磁阻效应元件。
全文摘要
提供一种能够高精度地检测被检测体旋转角度的旋转角度检测装置。该旋转角度检测装置具备磁铁(103)，能够随着被检测体的旋转进行旋转；以及磁性传感器单元(102)，与磁铁(103)相对置地配置并根据该磁铁(103)旋转所带来的磁场方向变化检测被检测体的旋转角度，其特征在于，磁铁(103)由设有长方形形状的开口部(103a)的板状环状体构成，并且包含与开口部(103a)的长边方向的边相对应的一组边在内的部分被磁化为不同极性；磁性传感器单元(102)具有检测部，该检测部在与磁铁(103)的对置面相平行的平面内与开口部(103a)的内侧相对应的位置上配置了多个磁性检测元件。
文档编号G01D5/12GK102589581SQ20111041979
公开日2012年7月18日 申请日期2011年12月15日 优先权日2010年12月16日
发明者信浓正绍, 德永一郎, 高原久直 申请人:阿尔卑斯电气株式会社
专业数控铣床产品供应商
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