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专利名称：探针保护系统及方法
技术领域：
本技术主要应用于集成电路测试领域，特别是一种探针卡的保护系统及方法。
背景技术：
众所周知，探针卡的探针在测试过程中都是裸露在空气中的，所以很容易被氧化，特别是在测试有熔丝烧录测试的芯片中表现特别明显，因为在熔丝烧录的过程中探针上会有大电流通过，探针极容易被氧化。当探针被氧化后，测试的良率会受到很大影响，这时候必须选择磨探针，严重的只能到针卡厂重新换针才能提高良率。探针被氧化后对测试有以下几点影响I、成品率变低，间接的提高了产品的测试成本；
2、磨针影响了测试效率，直接提高产品的测试成本；3、返厂维修针卡，影响的测试进度。如果只有一张针卡时会导致整个产品的测试处于停滞状态，直接影响产品的出货周期。另一方面，一般测试是晶圆出厂后的第一步工序，晶圆在做测试的时候比较脏，上面有很多我们肉眼不能看到的杂质。如果测试的时候针刚好落在这些杂质上面，就会导致接触不良从而影响测试的初测良率，延长了测试时间，间接增加了测试成本。从整个测试行业来看，目前并没有相应的技术、方法或措施来解决探针卡的探针在测试过程被氧化这一问题。

发明内容
本发明的目的是提供了一种探针在测试过程中的保护系统及方法，用以解决探针卡的探针被氧化的问题，从而延长探针的使用寿命，降低测试成本。本发明还可以从一定程度上去除晶圆上的杂质，从而提高初测的良率。为了实现上述目的，本发明提供一种探针保护系统，该系统包括氮气产生装置、氮气输送管道、测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N > I ;所述测试机台上安装有探针卡；所述探针卡上设置有探针保护装置。较佳的，所述氮气产生装置处于永久激活状态；较佳的，所述痰气输送管道上设置一开关，所述开关用来控制氮气的通断；较佳的，所述探针保护装置包括能自由弯曲伸缩的输气管道、调节阀门和氮气喷嘴，所述能自由弯曲伸缩的输气管道分别与所述氮气输送管道和所述氮气喷嘴连接，所述调节阀门安装在所述能自由弯曲伸缩的输气管道上，用来调节氮气量的大小。本发明还提供了一种探针保护方法，包括以下步骤安装探针；放置待测晶圆到测试机台上；
调整探针保护装置，将氮气喷嘴对准晶圆和探针的接触面，并根据晶圆和探针的形状利用调节阀门来调节氮气喷嘴的出气量；打开所述开关，为探针保护装置供气；
氮气通过氮气喷嘴吹到晶圆和探针的接触面上；探针完成晶圆的测试；询问测试是否完成，是则进行最后一步，否则进行下一步； 更换晶圆，再次进行测试；询问测试是否完成，是则进行下一步，否则进行上一步；测试完成后，依次关闭调节阀门、开关。与现有技术相比，本发明使得探针在测试的整个过程中都处于氮气的保护下，防止被氧化，而氮气本身无色无味无毒，且极易获得，成本低廉，氮气的流动还可以清除晶圆的杂质。


图I :本发明探针保护系统结构框2 :本发明探针保护装置结构框3 :本发明探针保护方法流程图
具体实施例方式请同时参阅图1，图I为本发明探针保护系统结构框图。本发明探针保护系统较佳实施方式包括氮气产生装置、氮气输送管道、测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N > I ;所述测试机台上安装有探针卡；所述探针卡上设置有探针保护装置。所述氮气产生装置处于永久激活状态，氮气产生装置可以是氮气瓶或者其他能够不间断提供氮气的设备。所述痰气输送管道上设置一开关，所述开关用来控制氮气的通断。具体的，请结合图2。所述探针保护装置包括能自由弯曲伸缩的输气管道、调节阀门和氮气喷嘴，所述能自由弯曲伸缩的输气管道分别与所述氮气输送管道和所述氮气喷嘴连接，所述能自由弯曲伸缩的输气管道可以在立体空间内自由调整所述氮气喷嘴的位置，所述调节阀门安装在所述能自由弯曲伸缩的输气管道上，所述调节阀门用来调节氮气量的大小。请参阅图3，图3为本发明探针保护方法流程图，本发明探针保护方法较佳实施方式包括以下步骤安装探针；放置待测晶圆到测试机台上；调整探针保护装置，将氮气喷嘴对准晶圆和探针的接触面，并根据晶圆和探针的形状利用调节阀门来调节氮气喷嘴的出气量；打开所述开关，为探针保护装置供气；
氮气通过氮气喷嘴吹到晶圆和探针的接触面上；探针完成晶圆的测试；询问测试是否完成，是则进行最后一步，否则进行下一步；
更换晶圆，再次进行测试；询问测试是否完成，是则进行下一步，否则进行上一步；测试完成后，依次关闭调节阀门、开关。结合图I、图3对描述本发明的工作原理。所述氮气装置处于永久激活状态，在开始工作之前，安装适合待测晶圆的探针到所述探针卡上，根据所述待测晶圆和所述探针的形状和尺寸通过所述调节阀门来调整氮气喷嘴的的出气量，将所述开关置于闭合状态，所述氮气喷嘴输送的氮气将探针置于氮气的包围环境下，隔绝了与空气的接触，同时不断的利用氮气吹所述探针与待测芯片的接触面，从而将杂质清除掉，完成所有测试后依次关闭调节阀门和开关，最后将所述探针取下另外进行封存。在整个过程中，探针只有很少的时间裸露在空气中，从而大大减小了其氧化的几率，并同时提高了测试良率、降低了测试成本。以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。
权利要求
1.一种探针保护系统，其特征在于包括氮气产生装置、氮气输送管道、测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N > I ;所述测试机台上安装有探针卡；所述探针卡上设置有探针保护装置。
2.根据权利要求I所述的探针保护系统，其特征在于所述氮气产生装置处于永久激活状态。
3.根据权利要求I所述的探针保护系统，其特征在于所述痰气输送管道上设置一开关，所述开关用来控制氮气的通断。
4.根据权利要求I所述的探针保护系统，其特征在于所述探针保护装置包括能自由弯曲伸缩的输气管道、调节阀门和氮气喷嘴，所述能自由弯曲伸缩的输气管道分别与所述氮气输送管道和所述氮气喷嘴连接，所述调节阀门安装在所述能自由弯曲伸缩的输气管道上，用来调节氮气量的大小。
5.根据权利要求4所述的探针保护系统，其特征在于所述能自由弯曲伸缩的输气管道可以在立体空间内自由调整所述氮气喷嘴的位置。
6.一种探针保护方法，包括以下步骤 安装探针； 放置待测晶圆到测试机台上； 调整探针保护装置，将氮气喷嘴对准晶圆和探针的接触面，并根据晶圆和探针的形状利用调节阀门来调节氮气喷嘴的出气量； 打开所述开关，为探针保护装置供气； 氮气通过氮气喷嘴吹到晶圆和探针的接触面上； 探针完成晶圆的测试； 询问测试是否完成，是则进行最后一步，否则进行下一步； 更换晶圆，再次进行测试； 询问测试是否完成，是则进行下一步，否则进行上一步； 测试完成后，依次关闭调节阀门、开关。
全文摘要
本发明提供一种探针保护系统，该系统包括氮气产生装置、氮气输送管道及测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N≥1；所述测试机台上安装有探针卡；所述探针卡上设置有探针保护装置。本发明还提供了一种探针保护方法，解决了探针卡的探针被氧化的问题，从而延长探针的使用寿命，降低测试成本。本发明还可以从一定程度上去除晶圆上的杂质，从而提高初测的良率。
文档编号G01R1/06GK102944707SQ201210475538
公开日2013年2月27日 申请日期2012年11月21日 优先权日2012年11月21日
发明者徐正元 申请人:成都市中州半导体科技有限公司