专利名称：传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种传感器元件、传感器元件的制造方法、传感器装置以及电子设备。
背景技术：
作为传感器元件，已知一种角速度传感器(振动陀螺传感器)，其被用于例如车辆中的车身控制、车辆导航系统的本车位置检测、数码照相机或摄像机等的振动控制补正(所谓的手抖补正)等，并对角速度、加速度等的物理量进行检测(例如，参照专利文献I)。例如，专利文献I所记载的角速度传感器具有音叉，所述音叉通过两个臂、和对该两个臂的一端之间进行连接的连接部而构成。此外，在专利文献I所记载的角速度传感器中，音叉由非压电体材料构成，并且在各个臂上分别设置有通过压电薄膜插入在一对电极之间而构成的驱动部以及检测部。在这种专利文献I所记载的角速度传感器中，通过向驱动部的一对电极之间施加电压，从而使臂进行弯曲振动(驱动)。而且，在该驱动状态下，当臂受到绕沿着其延伸方向的轴线的角速度时，将由于科里奥利力，而使臂向与前文所述的驱动方向正交的方向挠曲，从而由检测部的一对电极检测出对应于该挠曲量的电荷。根据该被检测出的电荷，而能够对角速度进行检测。然而，如前文所述的具有两个臂的音叉一般通过对基板进行蚀刻加工而形成。此时，由于该基板的蚀刻各向异性或加工工艺的误差等，而难以使音叉的尺寸与设计一致。因此，存在如下的情况，即，音叉成为非预期的形状，从而即使在臂未受到角速度的状态下，臂也向与驱动方向不同的方向进行挠曲。当对伴随着这种臂的挠曲而由检测部的一对电极产生的电荷进行检测时，将导致检测灵敏度的降低。因此，在专利文献I所记载的角速度传感器中，通对对检测部的一对电极中的一个电极进行部分去除，从而对在臂未受到角速度的状态下由检测部的一对电极输出的电荷
量进行调节。但是，在专利文献I所记载的角速度传感器中，由检测部的一对电极输出的电荷量的调节幅度较�。浣峁嬖谌缦挛侍猓矗惺蔽薹ㄊ凳┧璧牡鹘�。专利文献1:日本特开2008-14887号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供一种能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度的传感器元件、传感器元件的制造方法以及传感器装置，并且提供一种具备所涉及的传感器装置的、可靠性较高的电子设备。本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，其能够作为以下的方式或应用例而实现。应用例I本发明的传感器元件的特征在于，具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号；第一电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生电荷；第二电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生与由所述第一电极产生的电荷极性相反的电荷。根据以这种方式构成的传感器元件，能够将如下值作为传感器输出而输出，所述值为，将产生于检测用电极上的电荷量，与产生于第一电极上的电荷量和产生于第二电极上的电荷量之间的差分相加而得到的值。而且，通过对第一电极或第二电极的一部分或全部进行去除，从而能够减小产生于第一电极或第二电极上的电荷量，进而对传感器输出进行调节。具体而言，将传感器输出调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。尤其是，由于使第一电极以及第二电极产生相互成为相反极性的电荷，因此无论在传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出与所需的基准值相比较大的情况下，还是较小的情况下，均能够通过选择第一电极以及第二电极中的任意一个电极并对一部分或全部进行去除，从而将传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出调节为所需的基准值。此外，由于一对第一电极以及一对第二电极分别被设置于，独立于驱动用振动臂的振动臂上，因此与将一对第一电极以及一对第二电极设置在驱动用振动臂上的结构相t匕，能够增大第一电极以及第二电极的电极面积。因此，能够增大传感器输出的调节幅度。而且，由于一对第一电极和一对第二电极一起被设置于一个振动臂上，因此与将一对第一电极和一对第二电极设置在分别不同的振动臂上的结构相比，能够实现小型化。应用例2在本发明的传感器元件中，优选为，将来自所述第一电极的电荷与来自所述第二电极的电荷相加而得到的电荷，与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷为相反极性。由此，能够将传感器输出调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。应用例3在本发明的传感器元件中，优选为，所述振动臂具有第一面、该第一面的相反侧的第二面、以及对所述第一面和所述第二面进行连结的一对侧面，所述第一电极包括第一主面电极和第一侧面电极，所述第一主面电极沿着所述振动臂的延伸方向而被设置在所述第一面以及所述第二面上，所述第一侧面电极被设置于一个所述侧面上，所述第二电极包括第二主面电极和第二侧面电极，所述第二主面电极沿着所述振动臂的延伸方向，而以与所述第一电极并排的方式被配置在所述第一面以及所述第二面上，所述第二侧面电极被设置于另一个所述侧面上。由此，能够将传感器输出调节(补正)为，使在传感器元件上未施加有物理量的状态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。
应用例4在本发明的传感器元件中，优选为，在所述振动臂的顶端部上设置有质量调节部。由此，能够对振动臂的共振频率进行调节。因此，能够使振动臂的共振频率接近于驱动用振动臂的驱动振动的频率，从而增大随着驱动用振动臂的驱动振动的、振动臂的振动的振幅，随之，增大一对第一电极间以及一对第二电极间的电位差。其结果为，能够增大传感器输出的调节幅度。应用例5在本发明的传感器元件中，优选为，所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方具备共用部，其沿着振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。由此，能够通过对第一电极或第二电极的多个分支部中的至少一个分支部的中途、或共用部的中途进行切断，从而减小一对第一电极间或一对第二电极间的电位差，进而对传感器输出进行调节。尤其是，由于多个分支部从共用部分支，因此即使对任意的分支部进行切断，也能够维持其他的分支部与检测用电极电连接的状态。应用例6在本发明的传感器元件中，优选为，多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在所述共用部侧大。由此，能够确保调节之前(对共用部或分支部的中途进行切断之前)的第一电极以及第二电极的电极面积分别较大，从而增大通过对共用部或分支部的中途的切断而实施的对传感器输出的调节幅度，且比较简单地对分支部的中途进行切断。应用例7在本发明的传感器中，优选为，所述分支部相对于所述共用部的所述延伸方向而倾斜。由此，能够较为简单地对分支部的中途进行切断。应用例8在本发明的传感器元件中，优选为，所述振动臂具有沿着所述延伸方向而设置的槽部，所述分支部的至少一部分被设置于所述槽部的壁面上。由此，当振动臂由压电体材料构成时，能够增大一对第一电极间以及一对第二电极间的电位差。因此，能够增大传感器输出的调节幅度。应用例9在本发明的传感器元件中，优选为，具有检测用振动臂，其从所述基部延伸，且根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动，所述检测用电极被设置于所述检测用振动臂上。由此，能够增大检测用电极的电极面积。因此，能够提高传感器元件的检测灵敏度。应用例10本发明的传感器元件的制造方法的特征在于，所述传感器元件具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号；第一电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生电荷；第二电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生与由所述第一电极产生的电荷极性相反的电荷，所述传感器元件的制造方法包括电荷调节工序，在所述电荷调节工序中，通过对所述第一电极或所述第二电极的一部分或全部进行去除，从而对产生于所述第一电极或所述第二电极上的电荷量进行调节。根据这种传感器元件的制造方法，能够得到可简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度的传感器元件。应用例11在本发明的传感器元件的制造方法中，优选为，在所述电荷调节工序之前，包括对在通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷进行测量的工序；根据该测量结果而对所述振动臂的共振频率进行调节的工序。由此，能够获得可简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度的传感器元件。应用例12在本发明的传感器装置中，优选为，具有本发明的传感器元件；使所述传感器元件进行驱动的电路；对来自所述检测部的输出进行检测的电路。由此，能够提供一种价格低廉且具有优异的检测灵敏度的传感器装置。应用例13本发明的电子设备的特征在于，具有本发明的传感器元件。由此，能够提供一种具有优异的可靠性的电子设备。
图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的传感器装置(电子装置)的概要结构的模式剖视图。图2为图1所示的传感器装置的俯视图。图3为表示在图1所示的传感器装置中所具备的传感器元件的俯视图。图4 Ca)为表示图3所示的传感器元件的驱动用振动臂的放大俯视图，图4 (b)为图4 (a)所示的驱动用振动臂的剖视图。图5 Ca)为表示图3所示的传感器元件的检测用振动臂的放大俯视图，图5 (b)为图5 (a)所示的检测用振动臂的剖视图。图6 Ca)为表示图3所示的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图，图6 (b)为图6 (a)所示的调节用振动臂的剖视图。图7为表示图3所示的传感器元件中的检测用电极、第一调节用电极以及第二调节用电极的连接状态的图。图8为用于对图3所示的传感器元件的动作进行说明的图。图9 (a)为表不图5所不的检测用电极的泄漏输出的图，图9 (b)为表不图6以及图7所示的调节用电极的输出的图。图10为表示图3所示的传感器元件的特性调节方法的一个示例的流程图。图11为用于对图3所示的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。
图12为表示本发明的第二实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图13为用于对图12所示的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。图14为表示应用了本发明的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结构的立体图。图15为表示应用了本发明的电子设备的移动电话(也包括PHS (PersonalHandy-phone System :个人移动电话系统))的结构的立体图。图16为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。
具体实施例方式以下，根据附图所示的实施方式，而对本发明的传感器元件、传感器元件的制造方法、传感器装置以及电子设备进行详细说明。第一实施方式首先，对本发明的第一实施方式进行说明。图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的传感器装置(电子装置)的概要结构的模式剖视图，图2为图1所示的传感器装置的俯视图，图3为表示在图1所示的传感器装置中所具备的传感器元件的俯视图，图4 Ca)为表示图3所示的传感器元件的驱动用振动臂的放大俯视图，图4 (b)为图4 (a)所示的驱动用振动臂的剖视图，图5 (a)为表示图3所示的传感器元件的检测用振动臂的放大俯视图，图5 (b)为图5 (a)所示的检测用振动臂的剖视图，图6 (a)为表示图3所示的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图，图6 (b)为图6 Ca)所示的调节用振动臂的剖视图，图7为表示图3所示的传感器元件中的检测用电极、第一调节用电极以及第二调节用电极的连接状态的图，图8为用于对图3所示的传感器元件的动作进行说明的图，图9 Ca)为表示图5所示的检测用电极的泄漏输出的图，图9(b)为表示图6以及图7所示的调节用电极的输出的图。另外，在下文中，为了便于说明，在图1 7中，作为相互正交的三个轴，图示了 X轴、y轴以及z轴，并将与X轴平行的方向称为“x轴方向”，将与y轴平行的方向称为“y轴方向”，将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。此外，也将+ z轴侧称为“上”，将-Z轴侧称为“下”。传感器装置图1以及图2所示的传感器装置I为，对作为物理量的角速度进行检测的陀螺传感器。这种传感器装置I能够用于，例如摄像设备的手抖补正、使用了 GPS (GlobalPositioning System :全球定位系统)卫星信号的移动体导航系统中的车辆等的姿态检测、姿态控制等。如图1以及图2所示，该传感器装置I具有传感器元件2 ；IC (IntegratedCircuit :集成电路)芯片3 ;封装件4，其对传感器元件2和IC芯片3进行收纳。以下，对构成传感器装置I的各个部分依次进行说明。传感器元件2
传感器元件2为，对绕一个轴的角速度进行检测的陀螺传感器元件。如图3所示，该传感器元件2具有基部21 ;—对驱动用振动臂221、222 对检测用振动臂231、232 ;—对调节用振动臂(振动臂)241、242 ;支承部25 ;四个连结部261、262、263,264 ;驱动用电极组51、52 ;检测用电极组53、54 ;调节用电极组55、56。在本实施方式中，基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242、支承部25以及四个连结部261、262、263、264由压电体材料一体地形成。作为这种压电体材料，虽然并不被特别限定，但优选使用水晶。由此，能够使传感器元件2的特性较为优异。水晶具有相互正交的X轴(电轴)、Y轴(机械轴)以及Z轴(光学轴)。基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242、支承部25以及四个连结部261、262、263、264例如能够通过对如下基板进行蚀刻加工而形成，所述基板由Z轴存在于厚度方向上且具有与X轴以及Y轴平行的板面的水晶构成。所涉及的基板的厚度根据传感器元件2的振荡频率(共振频率)、外形尺寸以及加工性等而被适当设定。另外，在下文中，以基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242、支承部25以及四个连结部261、262、263、264由水晶一体地构成的情况为示例而进行说明。基部21经由四个连结部261、262、263、264而被支承在支承部25上。四个连结部261、262、263、264分别呈长条状，且一端与基部21连结，另一端与支承部25连结。驱动用振动臂221、222分别从基部向y轴方向(+ y轴方向)延伸。此外，驱动用振动臂221、222分别沿着水晶的Y轴延伸。而且，驱动用振动臂221、222的横截面分别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。而且，在驱动用振动臂221上设置有驱动用电极组51，同样地，在驱动用振动臂222上设置有驱动用电极组52。以下，代表性地对驱动用电极组51进行说明。另外，关于驱动用电极组52，由于与驱动用电极组51相同，因此省略其说明。如图4 (a)、(b)所示，驱动用电极组51通过被设置于驱动用振动臂221的上表面上的驱动用电极511、被设置于驱动用振动臂221的下表面上的驱动用电极512、被设置于驱动用振动臂221的一个(图4中的左侧)侧面上的驱动用电极513、以及被设置于驱动用振动臂221的另一个(图4中的右侧)侧面上的驱动用电极514而构成。驱动用电极511以及驱动用电极512以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，驱动用电极513以及驱动用电极514以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。这种驱动用电极511、512经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57a电连接。此外，驱动用电极513、514经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57b电连接。检测用振动臂231、232分别从基部21向y轴方向(_y轴方向)延伸。此外，检测用振动臂231、232分别沿着水晶的Y轴而延伸。而且，检测用振动臂231、232的横截面分别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。这种检测用振动臂231、232为，分别根据被施加于驱动用振动臂221、222的物理量而进行振动的构件。
而且，在检测用振动臂231上设置有检测用电极组53，同样地，在检测用振动臂232上设置有检测用电极组54。如此，通过在作为独立于驱动用振动臂221、222而设置的检测用振动臂231、232上设置检测用电极组53、54，从而能够增大检测用电极组53、54的检测用电极的电极面积(作为电极而发挥功能的部分的面积)。因此，能够提高传感器元件2的检测灵敏度。以下，代表性地对检测用电极组53进行说明。另外，关于检测用电极组54，由于与检测用电极组53相同，因此省略其说明。如图5 (a)、(b)所示，检测用电极组53通过被设置于检测用振动臂231的上表面上的检测用电极531、532、和被设置于检测用振动臂231的下表面上的检测用电极533、534而构成。此处，检测用电极531、533分别被设置于检测用振动臂231的宽度方向上的一侧(图5中的左侧)，此外，检测用电极532、534分别被设置于检测用振动臂231的宽度方向上的另一侧(图5中的右侧)。检测用电极531以及检测用电极534以相互成为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，检测用电极532以及检测用电极533以相互成为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。这种检测用电极531、534经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57c电连接。此外，检测用电极532、533经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57e电连接。另外，检测用电极组54经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57d、57f电连接。调节用振动臂241、242分别从基部21向y轴方向(+ y轴方向)延伸。在本实施方式中，在基部21的X轴方向上的两端部上，沿着X轴方向而延伸出一对臂部，调节用振动臂241从一个臂部的顶端部起延伸，而调节用振动臂242从另一个臂部的顶端起延伸。由此，能够使调节用振动臂241、242随着驱动用振动臂221、222的驱动振动而高效地进行振动。此外，调节用振动臂241、242分别沿着水晶的Y轴而延伸。而且，调节用振动臂241,242的横截面分别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。即，该调节用振动臂241、242分别具备第一面(上表面)、该第一面的相反侧的第二面(下表面)、以及对所述第一面和所述第二面进行连结的一对侧面。这种调节用振动臂241、242被设置为，与前文所述的驱动用振动臂221、222平行。即，驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242在相互平行的方向上延伸。由此，当由水晶构成驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242等时，能够将驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242构成为分别沿着水晶的Y轴而延伸，从而使驱动用振动臂221、222高效地进行振动，并且通过简单的结构而使调节用电极组55、56的一对调节用电极之间产生电位差。此外，在调节用振动臂241的顶端部上，设置有以宽度大于基端部的方式而形成的质量部2411 (锤部)(参照图6 (a))。同样地，在调节用振动臂242的顶端部上，设置有以宽度大于基端部的方式而形成的质量部(锤部)。由此，能够增大调节用振动臂241、242的顶端部的质量，从而减小调节用振动臂241、242的固有振动频率(共振频率)、或者能够抑制调节用振动臂241、242的长度。此外，在调节用振动臂241的顶端部(质量部2411)上设置有能够根据需要而使一部分或者全部被去除的质量调节用膜2412 (质量调节部)(参照图6 (a))。同样地，在调节用振动臂242的顶端部(质量部)上设置有能够根据需要而使一部分或者全部被去除的质量调节用膜(质量调节部)。由此，能够分别对调节用振动臂241、242的共振频率进行调节。因此，能够分别使调节用振动臂241、242的共振频率接近于驱动用振动臂221、222的驱动振动的频率，从而增大随着驱动用振动臂221、222的驱动振动的、调节用振动臂241、242的振动的振幅，随之，增大调节用电极组55、56的一对调节用电极间的电位差。其结果为，能够增大后文叙述的传感器输出的调节幅度。作为这种质量调节用膜2412的构成材料，虽然并不被特别限定，但是从能够增大·调节用振动臂241的质量的调节幅度的观点出发，优选为，使用与调节用振动臂241的构成材料相比比重较大的材料，此外，从能够与调节用电极组55 —并形成从而简化制造工序的观点出发，优选为，使用与调节用电极组55等相同的构成材料(金属材料)。而且，在调节用振动臂241上设置有调节用电极组55，同样地，在调节用振动臂242上设置有调节用电极组56。以下，代表性地对调节用电极组55进行说明。另外，关于调节用电极组56，由于与调节用电极组55相同，因此省略其说明。如图6 (a)、(b)所示，调节用电极组55通过作为第一调节用电极(第一电极)的调节用电极551、552、553、和作为第二调节用电极(第二电极)的调节用电极554、555、556而构成。具体地进行说明，在调节用振动臂241的上表面的宽度方向上的一侧(图6中的左侦D设置有调节用电极(第一主面电极)551，而在调节用振动臂241的上表面的宽度方向上的另一侧(图6中的左侧)设置有调节用电极(第二主面电极)554。在本实施方式中，调节用电极551、554被设置为，分别沿着调节用振动臂241的延伸方向而延伸，且相互平行。由此，在后文所述的传感器输出的调节中，无论在传感器元件2上未施加有物理量的状态下的、传感器输出与所需的基准值相比较大的情况以及较小的情况中的哪种情况下，均能够增大传感器输出的调节幅度。此外，在调节用振动臂241的下表面的宽度方向上的一侧(图6中的左侧)设置有调节用电极(第一主面电极)552，而在调节用振动臂241的下表面的宽度方向上的另一侧(图6中的右侧)设置有调节用电极(第二主面电极)555。在本实施方式中，调节用电极552、555被设置为，分别沿着调节用振动臂241的延伸方向而延伸，且相互平行。此外，调节用电极552被形成为，在俯视观察时与调节用电极551重叠。S卩，调节用电极551以及调节用电极552被形成为，在俯视观察时彼此的外形相一致。根据以这种方式形成的调节用电极551以及调节用电极552，在如后文所述那样将调节用电极551的一部分去除时，也能够同时去除与该被去除的部分相对应的调节用电极552的部分。另外，同样地，调节用电极554以及调节用电极555被形成为，在俯视观察时彼此的外形相一致。此外，调节用振动臂241的一个(图6中的左侧)侧面上设置有调节用电极(第一侧面电极)553，而在调节用振动臂241的另一个(图6中的右侧)侧面上设置有调节用电极(第二侧面电极)556。
此处，调节用电极553 (第一调节用电极)作为与调节用电极551 (第一调节用电极)成对，且与调节用电极552 (第一调节用电极)成对的共用电极而发挥作用。同样地，调节用电极556 (第二调节用电极)作为与调节用电极554 (第二调节用电极)成对，且与调节用电极555 (第二调节用电极)成对的共用电极而发挥作用。另外，调节用电极553也可以通过以调节用振动臂241的上表面侧和下表面侧进行分割，并且分别与调节用电极551、552成对的两个电极而构成。同样地，调节用电极556也可以通过以调节用振动臂241的上表面侧和下表面侧进行分割，并且分别与调节用电极554、555成对的两个电极而构成。调节用电极551以及调节用电极552以相互成为相同电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，调节用电极554以及调节用电极555以相互成为相同电位的方式而电连接。而且，调节用电极551、552、556经由未图示的配线，而与前文所述的检测用电极531、534 —起，与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57c电连接。此外，调节用电极553、554、555经由未图示的配线，而与前文所述的检测用电极532、533 —起，与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57e电连接。另外，调节用电极组56经由未图示的配线，而与检测用电极组54 —起，与图3所示的、被设置于支承部25上的端子57d、57f电连接。以此种方式，调节用电极551 553以及调节用电极554 556以相互成为相反极性的方式，而与检测用电极531 534电连接。如图7所示，在具有这种调节用电极551 556的传感器元件2中，能够将产生于检测用电极531、534上的电荷、与产生于调节用电极551、552和调节用电极556上的电荷相加而得到的值，作为传感器输出而从端子57c输出，并将产生于检测用电极532、533上的电荷、与产生于调节用电极553和调节用电极554、555上电荷相加的而得到值，作为传感器输出而从端子57e输出。调节用电极551、552和调节用电极556以相反极性进行连接，从而将所产生的电荷相互抵消。此外，调节用电极553和调节用电极554、555以相反极性进行连接，从而将所产生的电荷相互抵消。而且，通过对调节用电极551、552的一部分或全部进行去除，从而能够减小产生于调节用电极551、552和调节用电极553上的电荷量。由此，产生于调节用电极551、552和调节用电极553上的电荷量、与产生于调节用电极556和调节用电极554、555上的电荷量之间将产生差异。该差分的电荷量成为对传感器输出进行调节的信号(调节信号)。另外，此处所输出的调节信号的极性成为调节用电极556和调节用电极554、555的极性。此外，通过对调节用电极554、555的一部分或全部进行去除，从而能够减小产生于调节用电极554、555和调节用电极556上电荷量。由此，产生于调节用电极554、555和调节用电极556上的电荷量、与产生于调节用电极551、552和调节用电极553上的电荷量之间将产生差异。该差分的电荷量成为对传感器输出进行调节的信号(调节信号)。另外，此处所输出的调节信号的极性成为调节用电极551、552和调节用电极553的极性。具体而言，例如能够将传感器输出调节(补正)为，在传感器元件2上未施加有物理量的状态下的传感器输出(以下，也称为“零点输出”)成为零。尤其是，由于调节用电极551 553以及调节用电极554 556以相互为相反极性的方式，而与检测用电极531 534电连接，因此无论在传感器元件2上未施加有物理量的状态下的传感器输出与所需的基准值相比较大的情况下，还是较小的情况下，均能够通过选择调节用电极551、552以及调节用电极554、555中的任一个调节用电极并对一部分或全部进行去除，从而将传感器元件2上未被施加物理量的状态下的传感器输出调节为所需的基准值。在以这种方式构成的传感器元件2中，通过向端子57a和端子57b之间施加驱动信号，从而如图8所示，驱动用振动臂221和驱动用振动臂222以相互接近、远离的方式而进行弯曲振动(驱动振动)。即，交替反复如下两个状态，所述两个状态为，驱动用振动臂221向图8所示的箭头标记Al的方向弯曲，且驱动用振动臂222向图8所示的箭头标记A2的方向弯曲的状态、和驱动用振动臂221向图8所示的箭头标记BI的方向弯曲，且驱动用振动臂222向图8所示的箭头标记B2的方向弯曲的状态。当以这种方式而使驱动用振动臂221、222进行驱动振动的状态下，向传感器元件2施加绕y轴的角速度《时，驱动用振动臂221、222将通过科里奥利力，而在z轴方向上相互向相反侧进行弯曲振动。随之，检测用振动臂231、232在z轴方向上相互向相反侧进行弯曲振动(检测振动)。即，交替反复如下两个状态，所述两个状态为，检测用振动臂231向图8所示的箭头标记Cl的方向弯曲，且检测用振动臂232向图8所示的箭头标记C2的方向弯曲的状态、和检测用振动臂231向图8所示的箭头标记Dl的方向弯曲，且检测用振动臂232向图8所示的箭头标记D2的方向弯曲的状态。通过对由于这种检测用振动臂231、232的检测振动而产生于检测用电极组53、54上的电荷进行检测，从而能够求出施加于传感器元件2的角速度《。此时，调节用振动臂241、242也随着驱动用振动臂221、222的驱动振动，而在相互接近、远离的方向上进行弯曲振动。在所涉及的传感器元件2中，例如当由于制造时的误差而导致驱动用振动臂221、222的横截面形状与设计不一致时，在未向传感器元件2施加物理量并通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态下，如图9 (a)所示，将在检测用电极531、534以及检测用电极532、533上产生成为泄漏输出S的电荷。此外，在传感器元件2中，无论在传感器元件2上是否施加有物理量，均随着驱动用振动臂221、224的驱动振动，如图9 (b)所示，而在调节用电极551、552以及调节用电极553上产生成为调节用输出Tl的电荷，并在调节用电极554、555以及调节用电极556上产生成为调节用输出T2的电荷。调节用输出Tl和调节用输出T2相互为相反极性(反相)。此外，通过使调节用输出Tl和调节用输出T2的合计Tl + T2与泄漏输出S相抵消，从而能够使传感器元件2的零点输出成为零。因此，通过对调节用电极551、552或调节用电极554、555的一部分或全部进行去除，以使调节用输出Tl和调节用输出T2的总和T1+T2与泄漏输出S相抵消，从而对传感器输出进行调节。即，传感器元件2的制造方法具有电荷调节工序，在所述电荷调节工序中，通过对调节用电极551、552或调节用电极554、555的一部分或全部进行去除，从而对产生于所述调节用电极551、552或调节用电极554、555上的电荷量进行调节。此处，列举具体示例而对电荷调节工序(传感器元件2的特性调节方法)进行说明。另外，虽然在下文中，代表性地对与检测用振动臂231以及调节用振动臂241、243相关的特性调节进行说明，但对与检测用振动臂232以及调节用振动臂242、244的特性调节而言也是相同的。图10为表示图3所示的传感器元件的特性调节方法的一个示例的流程图，图11为用于对图3所示的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。在传感器元件2的特性调节方法中，准备前文所述的传感器元件2，通过对传感器元件2的调节用电极551、552或调节用电极554、555的一部分或全部进行去除，从而对传感器元件2的特性进行调节。如前文所述，当以如图9 (a)所示的方式产生泄漏输出S，且以如图9 (b)所示的方式产生调节用输出Tl、T2时，通过选择调节用电极551、552以及调节用电极554、555中的调节用电极551、552，并对一部分进行去除，从而对传感器元件2的特性进行调节。另外，当泄漏输出S与图9 (a)所示的输出成为相反极性(反相)时，只需通过选择调节用电极554、555并对一部分进行去除，从而对传感器元件2的特性进行调节即可。此夕卜，作为需要去除一部分的调节用电极，只需根据后文叙述的步骤SI的测量结果，来判断是选择调节用电极551、552，还是选择调节用电极554、555即可。以下，如前文所述，以如图9 (a)所示的方式产生泄漏输出S且以如图9 (b)所示的方式产生调节用输出T1、T2的情况为代表而进行具体说明。在所涉及的情况下，具体而言，通过对调节用电极551的一部分或全部进行去除，从而对传感器元件2的特性进行调节。另外，虽然关于调节用电极552，也与调节用电极551相同地被去除一部分，但在以下，代表性地对调节用电极551进行说明。在进行所涉及的特性调节时，于通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态下，对在端子57c上产生的电荷量进行测量，并根据该测量结果来实施所述切断。更具体地进行说明，如图10所示，首先对泄漏输出(零点输出)进行测量(步骤SI)。然后，根据该测量结果，而对是否需要进行粗调节进行判断(步骤S2)。具体而言，当零点输出在第一设定值(例如IOOpA左右)以上时，判断为需要进行粗调节，而当零点输出小于第一设定值时，判断为不需要进行粗调节。当判断为需要粗调节时，实施粗调节(步骤S3)。具体而言，例如，如图11 (a)所示，对调节用电极551的基端侧的预定的位置以及面积的部分进行去除。此处，通过针对于被去除的调节用电极551的每个位置以及面积，利用实验或计算等而预先求出由于所述去除而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据在步骤SI中所测量出的零点输出，而适当地决定调节用电极551的去除位置以及面积。此外，调节用电极551的去除并不被特别限定，例如可以使用激光来实施。此外，当判断为需要进行粗调节时，根据需要，通过对质量调节用膜2412的一部分或全部进行去除，从而对调节用振动臂241的共振频率进行调节。即，根据需要，在电荷调节工序之前，包括对在通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态下，产生于检测用电极531 534上的电荷进行测量的工序；根据该测量结果而对调节用振动臂241、242的共振频率进行调节的工序。由此，能够增大传感器输出的调节幅度。另外，在图11
(a)中，图示了通过对质量调节用膜2412的一部分进行去除而形成的质量调节用膜2412A。
质量调节用膜2412的一部分或全部的去除并不被特别限定，例如可以使用激光来实施。在所涉及的粗调节之后，再次返回至步骤SI，而对泄漏输出(零点输出)进行测量。而且，在零点输出成为小于第一设定值之前，交替反复对零点输出的测量和粗调节。另一方面，当判断为不需要进行粗调节时，根据在步骤SI中的测量结果，而对是否需要进行微调节进行判断(步骤S4)。具体而言，当零点输出在小于第一设定值的第二设定值(例如IOpA左右)以上时，判断为需要进行微调节，而当零点输出小于第二设定值时，判断为不需要进行微调节。当判断为需要进行微调节时，实施微调节(步骤S5)。具体而言，例如，如图11 (b)或图11(c)所示，对调节用电极551的顶端部的预定的位置以及面积进行去除。另外，图11
(b)图示了在未实施粗调节的条件下实施了微调节的情况，图11 (c)图示了在实施了粗调节之后实施了微调节的情况。此外，虽然在图11 (b)、(c)中，图示了对调节用电极551的一部分进行去除，以使调节用电极551的宽度方向上的一部分残留的情况，但也可以根据需要而对调节用电极551的宽度方向上的整个区域进行去除，即，也可以对调节用电极551的延长方向上的中途进行切断。由此，能够通过一次切断而使调节用电极551中的与切断位置相比靠顶端侧的部分丧失作为电极的功能。此处，与粗调节相同，通过针对于被去除的调节用电极551的每个位置以及面积，利用实验或计算等而预先求出由于所述去除而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据在步骤SI中所测量出的零点输出，而适当地决定调节用电极551的去除位置以及面积。在所涉及的微调节之后，再次返回至步骤SI，而对泄漏输出(零点输出)进行检测。而且，在零点输出成为小于第二设定值之前，交替反复对零点输出的测量和微调节。另一方面，当判断为不需要微调节时，结束传感器元件2的特性调节。根据如以上所说明的传感器元件2的特性调节方法，由于能够根据需要而任意选择如前文所述的粗调节以及微调节，从而能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。IC 芯片 3图1以及图2所示的IC芯片3为一种电子部件，其具有对前文所述的传感器元件2进行驱动的功能、和对来自传感器元件2的输出(传感器输出)进行检测的功能。虽然未图示，但这种IC芯片3具备驱动电路，其对传感器元件2进行驱动；检测电路，其对来自传感器元件2的输出进行检测。此外，在IC芯片3中设置有多个连接端子31。封装件4如图1以及图2所不，封装件4具备基座部件41(基座),其具有向上方开放的凹部；盖部件42 (盖体)，其以覆盖该基座部件41的凹部的方式而设置。由此，在基座部件41和盖部件42之间，形成有用于收纳传感器元件2以及IC芯片3的内部空间。基座部件41通过平板状的板体411 (板部)、和与板体411的上表面的外周部接合的框体412 (框部)而构成。这种基座部件41例如由氧化铝质烧结体、水晶、玻璃等构成。如图1所不,在基座部件41的上表面(被盖部件42所覆盖的一侧的表面)上,通过如包括例如环氧树脂、丙烯酸类树脂等而构成的粘合剂这样的接合部件81，而接合有前文所述的传感器元件2的支承部25。由此，传感器元件2相对于基座部件41而被支承并固定。此外，在基座部件41的上表面上，通过如包括例如环氧树脂、丙烯酸类树脂等而构成的粘合剂这样的接合部件82，而接合有前文所述的IC芯片3。由此，IC芯片3相对于基座部件41而被支承并固定。而且，如图1以及图2所示，在基座部件41的上表面上，设置有多个内部端子71以及多个内部端子72。在多个内部端子71上，通过由例如接合线构成的配线，而电连接有前文所述的传感器元件2的端子57a 57f。该多个内部端子71经由未图示的配线，而与多个内部端子72电连接。此外，在多个内部端子72上，通过由例如接合线构成的配线，而电连接有前文所述的IC芯片3的多个连接端子31。另一方面,如图1所示,在基座部件41的下表面(封装件4的底面)上，设置有在被安装于组装有传感器装置I的设备(外部设备)中时使用的多个外部端子73。该多个外部端子73经由未图示的内部配线，而与前文所述的内部端子72电连接。由此，IC芯片3和多个外部端子73被电连接。这种各个内部端子71、72以及各个外部端子73分别由金属被膜构成，所述金属被膜例如通过电镀而在钨(W)等的金属层上层叠镍(Ni)、金(Au)等的被膜而构成。在这种基座部件41上气密性地接合有盖部件42。由此，封装件4内被气密密封。该盖部件42例如由与基座部件42相同的材料、或者铁镍钴合金、42合金、不锈钢等的金属构成。作为基座部件41与盖部件41的接合方法，并不被特别限定，例如可以使用通过由焊料、固化性树脂等构成的粘合剂而实施的接合方法，缝焊、激光焊接等的焊接方法等。由于所涉及的接合在减压环境下或惰性气体环境下实施，因此能够将封装件4内保持为减压状态或封入有惰性气体的状态。根据如以上所进行说明的第一实施方式所涉及的传感器装置I所具备的传感器元件2，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。此外，根据具备如前文所述的传感器元件2的传感器装置1，能够实现价格低廉且具有优异的检测灵敏度的传感器装置。第二实施方式接下来，对本发明的第二实施方式进行说明。图12为表示本发明的第二实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图13为用于对图12所示的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。本实施方式所涉及的传感器元件除如下方面以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同，即，省略了调节用振动臂的顶端部的宽度宽大部以及质量调节用膜，且调节用振动臂的横截面形状、第一调节用电极以及第二调节用电极的形状有所不同。另外，在以下的说明中，对于第二实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图13中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图12所示的调节用振动臂241A。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241A成对的调节用振动臂。调节用振动臂241A的横截面呈H字状。在这种调节用振动臂241A的上表面的宽度方向上的中央部处，形成有沿着y轴方向而形成的槽部2413，同样地，在调节用振动臂241A的下表面的宽度方向上的中央部处，形成有沿着y轴方向形成的槽部2414。槽部2413、2414的横截面分别呈矩形，且具有与调节用振动臂241A的侧面平行的壁面。在这种调节用振动臂241A上设置有调节用电极组55A。该调节用电极组55A通过被设置于调节用振动臂241A的上表面上的调节用电极551A、554A、被设置于调节用振动臂241A的下表面上的调节用电极552A、555A、被设置于调节用振动臂241A的一个(图12中的左侧)侧面上的调节用电极553、和被设置于调节用振动臂241A的另一个(图12中的右侧)侧面上的调节用电极554而构成。此处，调节用电极551A被设置于调节用振动臂241A的上表面的一侧(图12中的左侧)，而调节用电极554A被设置于调节用振动臂241A的上表面的另一侧(图12中的右侧)。此外，调节用电极552A被设置于调节用振动臂241A的下表面的一侧(图12中的左侧)，而调节用电极555A被设置于调节用振动臂241A的下表面的另一侧(图12中的右侧)。而且，调节用电极551A、552A以及调节用电极554A、555A被形成为，在俯视观察时，相对于调节用振动臂241A的中心轴(穿过中心且在I轴方向上延伸的线段)而对称。另外，虽然未图示，但是调节用电极552A、555A在俯视观察时，既可以呈与调节用电极551A、554A相一致的形状，也可以呈与调节用电极551A、554A不同的形状。以下，对调节用电极551A进行详细叙述。另外，由于调节用电极552A、554A、555A与调节用电极55IA相同，因此省略其说明。如图12 (a)所示，调节用电极551A具备共用部60和多个分支部61。共用部60与未图示的检测用电极电连接。此外，多个分支部61从共用部60分支，且沿着调节用振动臂241A的延伸方向而并排设置。这种调节用电极551A通过对多个分支部61中的至少一个分支部61的中途、或者共用部60的中途进行切断，从而能够减少调节用电极551A和调节用电极553之间的电位差，进而对传感器输出进行调节。尤其是，由于多个分支部61从共用部60分支，因此即使对任意的分支部61进行切断，也能够维持其他的分支部61与共用部60电连接的状态。即，能够将调节用电极551A的电极面积减少多个分支部61中的任意分支部61的量。而且，由于多个分支部61沿着调节用振动臂241A的延伸方向而并排设置，因此根据被切断的分支部61的位置以及数量，能够简单且高精度地对传感器输出进行调节。在本实施方式中，共用部60沿着调节用振动臂241A的延伸方向而延伸，多个分支部61从共用部60的长度方向上的互不相同的多个部位起分支。由此，能够简化调节用电极55IA的结构。在本实施方式中，如图12 (a)所示，在俯视观察时(从z轴方向观察时)，共用部60被设置于调节用振动臂241A的宽度方向上的中央部、即槽部2413的底面上。此外，共用部60以狭窄的宽度被形成。由此，能够比较简单地将共用部60的中途切断。此外，各个分支部61具有宽度狭窄部62，其以狭窄的宽度被形成在共用部60侧；宽度宽大部63，其以宽大的宽度被形成在与共用部60相反的一侧。如此，由于各个分支部61具有宽度宽大部63，从而能够确保调节之前(将共用部60或分支部61的中途切断之前)的调节用电极551A的电极面积较大，进而增大通过共用部60或分支部61的中途的切断而实施的对传感器输出的调节幅度。此外，由于各个分支部61具有宽度狭窄部62，从而能够比较简单地将分支部61的中途切断。此外，多个宽度狭窄部62以相互平行的方式设置。此外，多个分支部61以成为相互相等的尺寸的方式而形成。此外，多个分支部61在调节用振动臂241的延伸方向、即y轴方向上，以等间距并排设置。此外，各个宽度狭窄部62被设置于调节用振动臂241A的槽部2413的底面上。由此，能够使用激光而容易地切断各个宽度狭窄部62。尤其是，各个宽度狭窄部62在相对于调节用振动臂241A的延伸方向而倾斜的方向上延伸。由此，在使用激光而对宽度狭窄部62进行切断时，无论使激光在X轴方向以及y轴方向中的哪个方向上进行扫描，均能够将宽度狭窄部62切断。因此，能够容易地将分支部61的中途切断。尤其是，各个分支部61的一部分被设置于槽部2413的壁面(与调节用振动臂241A的侧面平行的壁面)上。由此，能够增大从调节用电极551A以及调节用电极553输出的电荷。因此，能够增大传感器输出的调节幅度。以下，根据图13，代表性地对通过去除调节用电极551A的一部分或全部而对传感器元件的特性进行调节的情况进行说明。首先，对泄漏输出(零点输出)进行测量。并且，根据其测量结果而对是否需要进行粗调节进行判断。当判断为需要进行粗调节时，例如，如图13 (a)所示，将调节用电极551A的多个分支部61中位于调节用振动臂241A的基端侧的分支部61切断所需数量。此处，通过针对于各个分支部61，利用实验或计算等而预先求出由切断而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据所测量出的零点输出，而适当地对需要切断的分支部61的数量以及位置进行选择。此外，分支部61的切断没有被特别限定，但能够使用例如激光而实施。在所涉及的粗调节之后，再次对泄漏输出(零点输出)进行测量。而且，在零点输出成为小于第一设定值之前，交替反复对零点输出的测量和微调节。另一方面，当判断为不需要进行粗调节时，根据所测量出的零点输出而对是否需要进行微调节进行判断。当判断为需要进行微调节时，例如，如图13 (b)或图13 (C)所示，将调节用电极551A的多个分支部61中位于调节用振动臂241A的顶端侧的分支部61切断需要数量。另夕卜，图13 (b)图示了在未实施粗调节的条件下实施了微调节的情况，图13 (c)图示了在实施了粗调节之后实施了微调节的情况。此外，虽然在图13 (b)、(c)中，图示了对分支部61的宽度狭窄部62进行切断的情况，但也可以对共用部60的中途进行切断。由此，能够通过一次切断而汇总多个分支部61的量，从而减小调节用电极551A的电极面积。此处，与粗调节相同，通过针对于各个分支部61，利用实验或计算等而预先求出由于切断而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据所测量出的零点输出，而适当地对需要切断的分支部61的数量以及位置进行选择。在所涉及的微调节之后，再次对泄漏输出(零点输出)进行检测。而且，在零点输出成为小于第二设定值之前，交替反复对零点输出的测量和微调节。另一方面，当判断为不需要进行微调节时，结束传感器元件的特性调节。根据如以上所说明的第二实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。如以上所说明的各个实施方式的传感器装置能够被组装到各种电子设备中而使用。根据这种电子设备，能够使可靠性较为优异。电子设备此处，根据图14 图16，而对具备本发明的电子装置的电子设备的一个示例进行详细说明。图14为表示应用了本发明的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结构的立体图。在该图中，个人计算机1100通过具备键盘1102的主体部1104、和具备显示部100的显示单元1106而构成，并且显示单元1106以能够通过铰链结构部而相对于主体部1104进行旋转的方式被支承。在这种个人计算机1100中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感器装置I。图15为表示应用了本发明的电子设备的移动电话(也包括PHS)的结构的立体图。在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202和听筒1204之间配置有显示部100。在这种移动电话1200中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感器装置I。图16为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。另外，在该图中，对该数码照相机与外部设备的连接也简单地进行了图示。此处，通常的照相机通过被摄物体的光图像而对银盐感光胶片进行感光，与此相对，数码照相机1300通过CCD (Charge Coupled Device :电荷稱合器件)等的摄像元件而对被摄物体的光图像进行光电转换，从而生成摄像信号(图像信号)。在数码照相机1300的壳体(主体)1302的背面上设置有显示部100，并且成为根据由CXD产生的摄像信号来进行显示的结构，显示部100作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包括光学透镜(摄像光学系统)及(XD等在内的受光单元1304。当摄影者对被显示在显示部上的被摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点的CCD的摄像信息被输送并存储于存储器1308中。此外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有影像信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，而在影像信号输出端子1312上连接有影像监视器1430，在数据通信用输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作，从而使被存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。在这种数码照相机1300中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感器装置I。另外，本发明的电子设备除了能够应用于图14的个人计算机(便携式个人计算机)、图15的移动电话、图16的数码照相机中之外，根据电子设备的类型，还能够应用于如下装置中，例如，车身姿态检测装置、指示器、头戴式显示器、喷墨式喷出装置(例如喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏设备、游戏用控制器、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS (point of sale 销售点)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。以上，虽然根据图示的实施方式而对本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备进行了说明，但本发明并不限定于此。此外，在本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备中，各个部分的结构可以置换为发挥相同的功能的任意的结构，此外，也可以添加任意的结构。 此外，本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备还可以对前文所述的各个实施方式的任意结构彼此进行组合。此外，虽然在前文所述的实施方式中，以调节用振动臂在X轴方向上进行弯曲振动的情况为例而进行了说明，但本发明也可以应用于调节用振动臂在z轴方向上进行弯曲振动的情况。在这种情况下，只需根据调节用振动臂的压电特性而对一对第一调节用电极和一对第二调节用电极的配置、以及与一对检测用电极之间的电连接进行适当设定即可。此外，虽然在前文所述的实施方式中，以将本发明应用于H型音叉的传感器元件中的情况为例而进行了说明，但本发明能够应用于双T型、双脚音叉、三脚音叉、梳齿型、正交型、棱柱型等各种传感器元件(陀螺元件)中。此外，驱动用振动臂、检测用振动臂以及调节用振动臂的数量也可以为一个或三个以上。此外，驱动用振动臂也可以兼作为检测用振动臂。此外，只要驱动用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够通过通电而使驱动用振动臂进行振动的值，则并不限定于前文所述的实施方式。此外，只要驱动用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够电气性地对由于施加物理量而产生的驱动用振动臂的振动进行检测的值，则并不限定于前文所述的实施方式。此外，只要第一调节用电极和第二调节用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够对随着第一调节用振动臂以及第二调节用振动臂的振动而产生的电荷进行输出的值，则并不限定于前文所述的实施方式。符号说明I…传感器装置；2…传感器兀件；3…IC芯片(电子部件)；4…封装件；21…基部；25…支承部；31…连接端子；41…基座部件；42…盖部件；51…驱动用电极组；52…驱动用电极组；53…检测用电极组；54…检测用电极组；55…调节用电极组；55A…调节用电极组；55B…调节用电极组；55C…调节用电极组；5 …调节用电极组；55E…调节用电极组；55F…调节用电极组；56…调节用电极组；57a…端子；57b…端子；57c…端子；57d…端子；57e…端子；57f…端子；60…共用部；61…分支部；62…宽度狭窄部；63…宽度宽大部；71…内部端子；72…内部端子；73…外部端子；81…接合部件；82…接合部件；100…显示部；221…驱动用振动臂；222…驱动用振动臂；231…检测用振动臂；232…检测用振动臂；241…调节用振动臂；241A…调节用振动臂；242…调节用振动臂;261、262、263、264…连结部；411…板体；412…框体；511…驱动用电极；512…驱动用电极；513…驱动用电极；·514…驱动用电极；531…检测用电极；532…检测用电极；533…检测用电极；534…检测用电极；551…调节用电极(第一调节用电极)；551A…调节用电极(第一调节用电极)；552…调节用电极(第一调节用电极);552A…调节用电极(第一调节用电极);553…调节用电极(第一调节用电极)；554…调节用电极(第二调节用电极)；554A…调节用电极(第二调节用电极)；555…调节用电极(第二调节用电极)；555A…调节用电极(第二调节用电极)；556…调节用电极(第二调节用电极);1100…个人计算机;1102…键盘;1104…主体部;1106…显示单元；1200…移动电话;1202…操作按钮;1204…听筒;1206…话筒;1300…数码照相机;1302…壳体；1304…受光单兀；1306…快门;1308…存储器;1312…影像信号输出端子；1314…输入输出端子；1430…影像监视器；1440…个人计算机；2411…顶端部(质量部)；2412…质量调节用膜；2412A…质量调节用膜；2413、2414…槽部；S…泄漏输出；T…调节用输出角速度；A1、A2、B1、B2、Cl、C2、Dl、D2…箭头标记；S1、S2、S3、S4、S5…步骤；T1、T2…调节用输出。
权利要求
1.一种传感器元件，其特征在于，具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号； 第一电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生电荷； 第二电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生与由所述第一电极产生的电荷极性相反的电荷。
2.如权利要求1所述的传感器元件，其中， 将来自所述第一电极的电荷与来自所述第二电极的电荷相加而得到的电荷，与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷为相反极性。
3.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述振动臂具有第一面、该第一面的相反侧的第二面、以及对所述第一面和所述第二面进行连结的一对侧面， 所述第一电极包括第一主面电极和第一侧面电极，所述第一主面电极沿着所述振动臂的延伸方向而被设置在所述第一面以及所述第二面上，所述第一侧面电极被设置于一个所述侧面上， 所述第二电极包括第二主面电极和第二侧面电极，所述第二主面电极沿着所述振动臂的延伸方向，而以与所述第一电极并排的方式被配置在所述第一面以及所述第二面上，所述第二侧面电极被设置于另一个所述侧面上。
4.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 在所述振动臂的顶端部上设置有质量调节部。
5.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方具备共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。
6.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在所述共用部侧大。
7.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 所述分支部相对于所述共用部的所述延伸方向而倾斜。
8.如权利要求5所述的传感器元件，其中， 所述振动臂具有沿着所述延伸方向而设置的槽部， 所述分支部的至少一部分被设置于所述槽部的壁面上。
9.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 具有检测用振动臂，所述检测用振动臂从所述基部延伸，并根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动， 所述检测用电极被设置于所述检测用振动臂上。
10.一种传感器元件的制造方法，其特征在于，所述传感器元件具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号； 第一电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生电荷； 第二电极，其被设置于所述振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述振动臂的振动而产生与由所述第一电极产生的电荷极性相反的电荷， 所述传感器元件的制造方法包括电荷调节工序,在所述电荷调节工序中，通过对所述第一电极或所述第二电极的一部分或全部进行去除，从而对产生于所述第一电极或所述第二电极上的电荷量进行调节。
11.如权利要求10所述的传感器元件的制造方法，其中， 在所述电荷调节工序之前，包括对在通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷进行测量的工序；根据该测量结果而对所述振动臂的共振频率进行调节的工序。
12.—种传感器装置，其特征在于，具有 权利要求1或2所述的传感器元件； 使所述传感器元件进行驱动的电路； 对来自所述检测部的输出进行检测的电路。
13.—种电子设备,其特征在于， 具有权利要求1或2所述的传感器元件。
全文摘要
本发明涉及传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备驱动用振动臂(221、222)，其通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241、242)，其随着驱动用振动臂(221、222)的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据被施加于驱动用振动臂(221、222)的物理量而输出电荷；第一电极，其被设置于调节用振动臂(241、242)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出电荷；一对第二电极，其被设置于调节用振动臂(241、242)上，且与一对检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出与第一电极成为相反极性的电荷。
文档编号G01C19/5628GK103017747SQ201210359359
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月24日 优先权日2011年9月26日
发明者市川史生 申请人:精工爱普生株式会社
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