专利名称：导电图案检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及检测形成在基板上且在第一方向上尺寸较长的导电图案的对象范围内的断线位置的导电图案检查装置。
背景技术：
目前，在平板显示器等领域中，在基板上配设有多个导电图案的电路基板被广泛使用。在该电路基板中，若导电图案中发生断线或短路，则不能发挥原本的功能。因此，在制造电路基板时，对各导电图案进行断线或短路的检查。为了容易且高精度地进行该检查，一直以来，提出了多种检查技术。例如，在专利文献1、2中公开了一种检测断线位置的技术，该技术是在判断导电图案发生断线时，检测该导电图案中何处发生断线的断线位置的技术。 具体而言，在专利文献I中公开了一种确定断线位置的技术，该技术是按顺序配设第一供电电极、检查电极、第二供电电极，并且，使这三个电极沿着发生断线的导电图案(在下文中称为“断线图案”)移动，并在此时根据由检查电极诱发的交流电压值的变化确定断线位置的技术。此外，在专利文献2中公开了一种确定断线处的技术，该技术是从断线图案的一端提供检查信号，并且，使检测电极沿断线图案移动并读取检查信号，并将检测不到读取信号的位置确定为断线位置的技术。现有技术文献(专利文献)专利文献I日本特开2008-102031号公报专利文献2日本特开2006-284597号公报
发明内容
然而，这样的现有技术文献1、2所记载的技术存在以下问题即虽然在所有的导电图案间隔特定的间距平行地配设的情况下是有效的，但在导电图案的配设角度适当不同的情况下难以应用。例如，在平板显示器所使用的基板中设置有实际显示可视图像的像素区域。在该像素区域中，多个导电图案间隔特定的间距平行配设。并且，在像素区域的外侧多个导电图案与驱动IC连接。其中，通常，驱动IC的端子间距比像素区域中的导电图案的配设间距要小很多。因此，为了将多个导电图案连接至驱动1C，在像素区域的外侧需要急剧缩窄导电图案的配设间距。其结果，在像素区域的外侧，多个导电图案以配设间距逐渐减小的方式倾斜地配设。从另一观点来看，在像素区域的外侧，各个导电图案以不同配设角度配设。为了使用现有技术文献1、2所记载的技术来进行在配设间距逐渐变化的区域中的断线位置的确定，需要沿该倾斜的连接部移动电极(追踪)。但是，如上所述，连接的配设角度因各导电图案而不同，存在不易追踪的问题。当然，也有存储各导电图案的配设角度，并在其存储的配设角度方向上移动电极的方法。但是，在该情况下，存在控制变得非常复杂的问题。因此，本发明的目的在于提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。本发明的导电图案检查装置是在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，发生断线的导电图案中检测断线位置的导电图案检查装置，其中，包括施加机构，从所述发生断线的导电图案的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与所述基板对置，并在横穿上述所述多个导电图案的方向上移动；两个以上的线状电极，设于所述传感器上，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘，并分别与对置的导电图案静电耦合；控制部，根据所述两个以上的线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定出所述断线位置。在优选方式中，所述两个以上的线状电极至少包括第一线状电极，在与第一方向正交的第二方向上延伸；第二线状电极，在相对于第一线状电极倾斜的方向上延伸；所述控制部根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线在第一方向 的位置，并根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻及由所述第二线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线在第二方向的位置。在这种情况下，优选的，所述两个以上的线状电极进一步包括第三线状电极，所述第三线状电极相对于第一线状电极倾斜，并在与第二线状电极极性相反地倾斜的方向上延伸，所述控制部根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻，以及由所述第二线状电极或第三线状电极检测出的电压信的突变时刻确定出所述断线在第二方向的位置。在这种情况下，进一步优选的，所述第二线状电极相对于第一线状电极以45度，第三线状电极相对于第一线状电极以负(-)45度分别倾斜。在其它优选方式中，在所述基板上形成有像素区域，在第一方向上间隔第一间距地配设有多个导电图案；外部区域，设置在所述像素区域的外侧，具有以导电图案间的间距逐渐变化的方式配设有所述多个导电图案的区域；各线状电极至少具有纵贯所述外部区域的长度，所述控制装置根据由线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定出在所述外部区域中的断线位置。发明的效果根据本发明，在横穿多个导电图案的方向上移动传感器时，根据两个以上的线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定出断线位置，因此即使导电图案的配设方式不明确，也能够简易地确定出断线位置。
图I为在本发明的实施方式中作为检查对象的基板的示意图；图2为本发明的实施方式的导电图案检查装置的结构示意图；图3为说明在本实施方式中的断线位置确定的原理的图；图4为说明在本实施方式中的断线位置确定的原理的图；图5为说明在本实施方式中的断线位置确定的原理的图；图6为说明在另一实施方式中的断线位置确定的原理的图；图7为说明在另一实施方式中的断线位置确定的原理的图。
附图标记说明10导电图案检查装置12施加机构14 触头16交流电源18第一传感器20第二传感器22传感器驱动机构·24控制部26检测电极28放大器30第一线状电极32第二线状电极34第三线状电极110导电图案112导电垫片
具体实施例方式以下，针对本发明的实施方式参照附图进行说明。本实施方式所涉及的导电图案检查装置10是用于检查形成在平板显示器等使用的玻璃基板上的导电图案110的优劣的检查装置，特别是成为对确定断线位置有用的结构。在对该导电图案检查装置10进行详细说明之前，对在本实施方式中作为检查对象的基板的结构进行简单说明。图I为平板显示器使用的基板的结构示意图。该基板通过在Z方向上层积第一层、第二层以及绝缘层而构成，该第一层在Y方向上配设有多个导电图案110a，该第二层在X方向上配设有导电图案IlOb,该绝缘层介于第一层与第二层之间。形成在第一层上的导电图案IlOa及形成在第二层上的导电图案IlOb(以下，在不区别两者的情况下省略附加字母，将其称为“导电图案110”)在像素区域El中，以相互交叉的方式配设。由这两层的导电图案IlOaUlOb的交点形成I个像素，由这些像素的集合构成显示可视图像的像素区域E1。在该像素区域El内，导电图案110间隔特定的第一间距平行排列。各导电图案110在像素区域El的外侧与驱动IC(未图示)连接。该驱动IC的接线端子以远比导电图案110的配设间距更小的间距排列。因此，多个导电图案11由于与驱动IC连接，在像素区域El的外侧，大幅度缩小其配设间距。其结果，在像素区域El的外侧形成有连接区域E2和中间区域E3，所述连接区域E2中多个导电图案110间隔比第一间距小的第二间距平行地排列，所述中间区域E3中导电图案之间的间距在第一间距至第二间距之间逐渐变化。在该中间区域E3中，几乎所有的导电图案110相对于X轴或Y轴倾斜地配设，相互邻近的导电图案110的配设角度不同。在各导电图案110的另一端(未与驱动IC连接的一侧的前端)设置有导电垫片112。该导电垫片112形成为比导电图案110更宽，其用于提供或检测各种检查用信号。
接下来，针对检查形成在该基板上的导电图案110的导电图案检查装置10的结构参照图2进行说明。图2是表示本实施方式导电图案检查装置10的结构示意图。需要说明的是，在图2中，省略了第二层的导电图案IlOb的图示。以下，根据该图2仅对第一层的导电图案IlOa的断线位置确定的原理进行了说明，但该确定原理对于第二层的导电图案IlOb也是相同适用的。如上所述，该导电图案检查装置10成为对发生断线的导电图案110中，确定出在何处发生断线的断线位置的确定特别有用的结构。需要说明的是，以下，仅对断线位置的确定进行了详细说明，但在导电图案检查装置10中，除了断线位置的确定功能之外，还可搭载断线或短路有无的判断功能、短路位置的确定功能等。导电图案检查装置10包括施加机构12，对断线的导电图案110施加交流电压；两种传感器18、20，检测该施加的交流电压。施加机构12是从断线的导电图案110的一端(在本实施方式中为导电垫片112)施加检查用的交流电压的机构。该施加机构12例如由与导电垫片112接触的触头14、经由触头14向导电图案110提供交流电压的交流电源16等构成。需要说明的是，在本实施方式中，虽然以使用触头14的接触式施加电压，但也可以 使用与导电图案110静电耦合的电极以非接触式施加电压。第一传感器18及第二传感器20均检测施加的交流电压，控制部24根据该检测结果确定出断线位置。在这两个传感器18、20中，第一传感器18用于确定像素区域El中的断线位置。第二传感器20用于确定中间区域E3及连接区域E2中的断线位置。以下，将作为第二传感器20的检查范围的中间区域E3及连接区域E2称为“外部区域”。通常，在检查之前的阶段中，由于一个导电图案110中在像素区域E1、外部区域的何处发生断线不明确，因此在确定断线位置时，基本是一起驱动第一传感器18及第二传感器20。但是，理所当然，若根据任意一方传感器的检测结果都能够确定在另一方传感器的检查范围内没有发生断线，则也可以省略该另一方传感器的驱动，例如，在通过第一传感器18可以检测出在像素区域El内发生断线的情况下，也可省略第二传感器20中的检查。接下来，对各传感器的结构进行详细说明。在第一传感器18中设置有与对置的导电图案110静电耦合的检测电极26。传感器驱动机构22中，该检测电极26通常是与检查对象的导电图案110对置，并且沿该导电图案110从像素区域El的一端向另一端移动第一传感器18。在进行该移动时，检测电极26诱发的电压在通过放大器28放大后，输入至控制部24。另外，与该电压信号对应在一起,第一传感器18的位置信息也输入至控制部24内。控制部24将由该检测电极26诱发的电压信号突变时的第一传感器18的位置确定为断线的发生位置。例如，考虑到从导电垫片112侧(图2中的右侧)的端部向连接区域E2侧(图2中的左侧)的端部移动第一传感器18的情况。在这种情况下，在检测电极26与断线位置相比更靠近导电垫片112(靠近电压的施加位置)的期间内，由于向对置的导电图案110施加有交流电压，因此在与该导电图案110静电耦合的检测电极26中也诱发较高的电压。另一方面，当检测电极26随着移动而从断线位置移动至距导电垫片112较远的位置时，此时，检测电极26将与没有施加电压的导电图案110对置。其结果，在检测电极26中，几乎没有诱发电压，从而致使检测的电压信号的电平下降。控制部24确定该信号电平下降时的第一传感器18的位置为断线的发生位置。
在此，如以上说明所明确的那样，为了通过该第一传感器18检测断线，需要总是使检测电极26位于检查对象的导电图案110的正上方。在全部的导电图案110与X轴或Y轴平行的方向上延伸的像素区域El中，沿断线图案移动检测电极26较为容易。但是，在如中间区域E3那样导电图案110的配设角度各自不同，或者如中间区域E3与连接区域E2的边界那样导电图案110中途弯曲的情况下，难以沿导电图案110移动检测电极26。当然，也有预先存储各导电图案110的配设角度，并在其存储的配设角度方向上移动检测电极26的方法。但在该情况下存在控制变得非常复杂的问题。在本实施方式中，为了解决该问题，设置有用于在外部区域(中间区域E3及连接区域E2)中检测断线的第二传感器20。该第二传感器20具有与对置的导电图案110静电耦合的三个线状电极30、32、34。三个线状电极30、32、34在相互不同的方向上延伸。具体而言，第一线状电极30是在与多个导电图案110的配设方向正交的方向(图2中X轴方向)上延伸的线状电极。第二线状 电极32及第三线状电极34是夹持第一线状电极30线对称地配置的线状电极，并分别在相对于第一线状电极30以+45度及-45度倾斜的方向上延伸。该三个线状电极30、32、34均具有能够纵贯外部区域的长度。因此，各线状电极30、32、34的X方向宽度与外部区域的X方向宽度大致相同。需要说明的是，在附图中，图示为三个线状电极30、32、34的前端相互接触，但在实际中，三个线状电极30、32、34没有接触，是相互电绝缘。通过传感器驱动机构22在Y方向即横穿多个导电图案110的方向上移动设置有该三个线状电极30、32、34的第二传感器20。此时的移动位置与各线状电极30、32、34检测出的电压信号关联且被发送至控制部24内。控制部24根据该三个线状电极30、32、34分别检测的电压信号的突变时刻确定出断线位置。针对该确定原理参照图3 图5进行说明。图3 图5是表示断线位置确定的情况的图。具体而言，图3示出了导电图案110在向负侧倾斜的范围内发生断线的情况下的断线位置确定的情况，图4示出了导电图案110在向正侧倾斜的范围内发生断线的情况下的断线位置确定的情况，图5示出了导电图案110在X方向上延伸的范围内发生断线的情况下的断线位置确定的情况。在图3 图5中，在附图左侧图示了由线状电极检测的电压信号。另外，在图3 图5中，在字母a d的上侧图示了时刻a d的线状电极30、32、34与发生断线的导电图案110之间的相对位置关系。在表示该相对位置关系的各图中，附图右侧为导电垫片112侧。并且，在各图中，用粗线图示各导电图案110中诱发电压的部分，用细线图示由于断线致使电压供给中断的部分。首先参照图3对在导电图案110向负侧倾斜的范围内发生断线的情况下的断线位置确定的原理进行说明。在这种情况下，断线位置确定主要根据第一线状电极30检测出的电压信号(以下称为“第一检测信号”)和与导电图案110极性相反地(正侧)倾斜的第二线状电极32检测出的电压信号(以下称为“第二检测信号”)来进行。因此，在图3中仅图示第一、第二线状电极30、32，省略第三线状电极34的图示。在时刻a中，第二传感器20位于初始位置。在该阶段中，第一线状电极30及第二线状电极32都不与施加电压的导电图案110对置。因此，在该阶段中，在第一、第二线状电极30、32的任意一个中都没有诱发电压,第一,第二检测信号都约为O。当第二传感器20在Y方向移动时，在时刻b中，第一线状电极30及第二线状电极32前端到达与施加电压的导电图案110对置的位置。此时，通过与该导电图案110的静电耦合，致使第一线状电极30及第二线状电极32诱发一定电平的电压。由此，在时刻b的阶
段中，第一、第二检测信号一起上升。当第二传感器20进一步移动，在时刻c中，第一线状电极30到达断线位置的正上方时，由第一线状电极30诱发的电压电平降低，第一检测信号下降。另一方面，由于第二线状电极32保持与施加电压的导电图案110对置的状态不变，因此第二检测信号保持一定的电平不变。然后，当第二传感器20进一步移动，在时刻d中，第二线状电极32也到达断线位置的正上方时，第二检测信号也下降。也就是说，当随着第二传感器20的移动，第一线状电极30到达断线位置的正上方时发生第一检测信号的下降。并且，当第二线状电极32到达断线位置的正上方时发生第二 检测信号的下降。控制部24根据这两个信号的下降时间确定断线位置。S卩，将从初始位置到第一线状电极30到达断线位置的正上方为止第二传感器20移动的距离(时刻a c之间的移动距离)直接成为从初始位置到断线位置之间的Y方向(导电图案110的横穿方向)的距离hi。由于已经知道初始位置，只要知道该第二传感器20的移动距离hl，就能够确定断线位置的Y方向的位置。然后，由于该移动距离hi根据第一检测信号的下降时间可算出，因此控制部24根据该第一检测信号的下降时间计算断线位置的Y方向位置。此外，由于第二线状电极32相对于第一线状电极30以+45度倾斜，因此从第二线状电极32的前端到断线位置的X方向的距离h2与时刻d中的从第二线状电极32的前端到断线位置的Y方向距离h3相同。并且，该Y方向距离h3与从第一线状电极30到达断线位置的正上方至第二线状电极32到达断线位置的正上方为止的第二传感器2移动的距离相等。该距离h3根据第一检测信号的下降时间及第二检测信号的下降时间可算出。因此，控制部24根据该第一、第二检测信号的下降时间计算断线位置的X方向位置。接下来，参照图4对在导电图案110向正侧倾斜的范围内发生断线的情况下的断线位置确定的原理进行说明。在这种情况下，断线位置确定主要根据第一线状电极30检测出的电压信号(第一检测信号)、与导电图案11极性相反地(负侧)倾斜的第三线状电极34检测出的电压信号(以下称为“第三检测信号”)来进行。因此，在图4中仅图示第一、第三线状电极30、34，省略第二线状电极32的图示。如图4所示，在时刻a中，为了确定出断线位置，在Y方向上移动位于初始位置的第二传感器20。其中，在初始位置的阶段，第一线状电极30及第三线状电极34都不与施加电压的导电图案110对置。因此，在该阶段中，第一、第三线状电极30、34都未诱发电压，第一、第三检测信号的电平约为O。当第二传感器20在Y方向上移动，在时刻b中，第三线状电极34越过断线位置时，第三线状电极34诱发一定电平的电压，第三检测信号上升。另一方面，此时，由于第一线状电极30此时还未与施加电压的导电图案110对置，因此第一检测信号保持约为O。当第二传感器20进一步向Y方向移动,在时刻c中,第一线状电极30越过断线位置时，第一线状电极30也诱发一定电平的电压，第一检测信号上升。然后，当第二传感器20进一步移动，在时刻d中，第一线状电极30及第三线状电极34两者同时到达不与施加电压的导电图案110对置的位置。其结果，第一、第三检测信号大约同时下降。也就是说，当伴随着第二传感器20的移动，第三线状电极34越过断线位置时，第三检测信号上升。并且，当第一线状电极30越过断线位置时，第一检测信号上升。控制部24根据这两个检测信号的上升时间确定出断线位置。S卩，从初始位置到第一线状电极30越过断线位置(从时刻a开始直至时刻c为止)的期间内第二传感器20移动的距离hi直接成为从初始位置到断线位置的Y方向的距离。由于已经知道初始位置，只要知道该第二传感器20的移动距离hl，就能够确定断线位置的Y方向位置。由于该移动距离hi根据第一检测信号的上升时间可算出，因此控制部24根据第一检测信号的上升时间计算断线位置的Y方向位置。此外，由于第三线状电极34以-45度倾斜，因此第三线状电极34越过断线位置的·时间中(时刻b)的从第三线状电极34的前端到断线位置的X方向距离h2，与该时刻b中的从第三线状电极34的前端到断线位置的Y方向距离h3相同。并且，从第三线状电极34的前端到断线位置的Y方向距离h3，与从第三线状电极34越过断线位置到第一线状电极30越过断线位置为止的第二传感器20所移动的距离相等。由于该移动距离h3根据第三检测信号的上升时间及第一检测信号的上升时间可算出，因此控制部24根据两检测信号的上升时间计算断线位置的X方向位置。接下来，参照图5对在导电图案110与X方向平行的范围内发生断线的情况下的断线位置确定的原理进行说明。在这种情况下，既可以根据第一检测信号及第二检测信号确定断线位置，也可以根据第一检测信号及第三检测信号确定断线位置。S卩，如图5所示，在这种情况下，第一检测信号在第一线状电极30到达断线位置的正上方时，只瞬间上升。换言之，第一检测信号的上升时间也是第一检测信号的下降时间。因此，在根据第一检测信号及第二检测信号确定出断线位置的情况下，与图3的情况相同，可以根据第一检测信号的下降时间(上升时间)计算断线位置的Y方向位置，可以根据第一、第二检测信号的下降时间计算断线位置的X方向位置。此外，在根据第一检测信号及第三检测信号确定出断线位置的情况，与图4的情况相同，可以根据第一检测信号的上升时间(下降时间)计算断线位置的Y方向位置，可以根据第一、第三检测信号的上升时间计算断线位置的X方向位置。然后，如上文的说明所明确的那样，采用本实施方式，无论导电图案110的配设角度是向正侧倾斜、向负侧倾斜还是在X方向上都能够确切地确定断线位置。此外，如上文的说明所明确的那样，根据在断线位置的导电图案110的配设角度的极性不同，确定断线位置所利用的信号的种类也有所不同。因此，断线位置确定也需要判断导电图案110的配设角度的极性。该极性判断例如可根据第一、第二检测信号的上升时间来进行。即，在导电图案110的配设角度为负侧(与第二线状电极32的倾斜角度极性相反的一侧)的情况下，第一、第二检测信号大约同时上升。另一方面，在导电图案110的配设角度为正侧(与第二线状电极32的倾斜角度极性相同的一侧)的情况下，第二检测信号的上升时间将比第一检测信号的上升时间要晚。因此，控制部24能够根据该第一、第二检测信号的上升时间判断导电图案110的配设角度的极性。并且，也可以通过相同的原理，根据第一、第三检测信号的下降时间进行配设角度的极性判断。
此外，在所述的说明中，第二线状电极32及第三线状电极34的配设角度分别相对于第一线状电极30以+45度、-45度倾斜，当然，也可以为其他配设角度。在使用其他配设角度9的情况下，对将图3 图5中的距离h3乘以tan| 0 |的值作为从线状电极的前端到断线位置的X方向距离h2来使用即可(h2 = h3 ^tanl 0 |)。此外，虽然在所述的说明中设置了三个线状电极，但只要具有两个以上在相互不同方向上倾斜的线状电极，也可以是其它的个数。但是，为了易于进行断线位置计算的运算，优选的，至少具有在X方向(与导电图案110的配设方向正交的方向)上延伸的线状电极。需要说明的是，即使在仅设有两个线状电极的情况下，也能够通过与设置有三个线状电极的情况大致相同的步骤确定断线位置。例如，考虑到包括在X方向延伸的第一线状电极30和在相对于该线状电极以+45度倾斜的方向上延伸的第二线状电极32的情况。在这种情况下，在导电图案110向负侧(与第二线状电极32极性相反的一侧)倾斜的范围内，或，在导电图案110在X方向上延伸的范围内发生断线的情况下，通过使用图4、图6所说明的情况相同的原理，能够确定断线位置。 另一方面，在确定出导电图案110向正侧(与第二线状电极32极性相同的一侧)倾斜的范围内的断线位置的情况下，需要进一步细分条件。对此，参照图6、图7进行说明。首先，如图6所示，考虑导电图案110的倾斜角度a为小于+45度(a <45° )的情况。在这种情况下，断线位置的Y方向位置与图4所说明的情况相同，能够根据从初始位置到第一线状电极30的检测信号的上升时间为止的第二传感器20所移动的距离hi来取得。另一方面，这种情况下的断线位置的X方向位置与第二线状电极32位于断线位置的正上方时(图6的时刻d)的从第二线状电极32的前端到断线位置的X方向距离h2相等。并且，该X方向距离h2与从第一线状电极30位于断线位置的正上方的时间(图6的时刻b)到第二线状电极32位于断线位置的正上方的时间(图6的时刻d)为止的期间内第二传感器20所移动的距离h3相等。其中，第一线状电极30位于断线位置的正上方的时刻b即为第一检测信号上升的时间。另外，第二线状电极32位于断线位置的正上方的时刻d即为第二检测信号下降的时间。因此，在导电图案110的倾斜角度为小于+45度的情况下，能够根据第一检测信号的上升时间及第二检测信号的下降时间得到断线位置的X方向位置。接下来，参照图7，考虑导电图案110的倾斜角度a大于+45度(a >45° )的情况。即使在这种情况下，断线位置的Y方向位置与图4所说明的情况相同，能够根据从初始位置到第一线状电极30的检测信号上升的时间为止第二传感器20所移动的距离hi来取得。另一方面，在这种情况下的断线位置的X方向位置与第二线状电极32位于断线位置的正上方的时间(图7的时刻c)的从第二线状电极32的前端到断线位置的X方向距离h2相等。并且，该X方向距离h2与从第一线状电极30位于断线位置的正上方的时间(图7的时刻b)到第二线状电极32位于断线位置的正上方的时间(图7的时刻c)为止的期间内第二传感器20所移动的距离h3相等。其中，第一线状电极30位于断线位置的正上方的时间即为第一检测信号上升的时间。另外，第二线状电极32位于断线位置的正上方的时间即为第二检测信号上升的时间。因此，在导电图案110的倾斜角度大于+45度的情况下，可以根据第一检测信号的上升时间及第二检测信号的上升时间得到断线位置的X方向位置。在导电图案110的倾斜角度a与第二线状电极32的倾斜角度相等(a =45° )情况下，在第二线状电极32越过断线位置时，第二检测信号只瞬间上升。换言之，第二检测信号的上升时间与第二检测信号的下降时间大约相同。因此，在使用图6、图7所说明的两种原理中，使用任意 一种原理都能够得到断线位置的X方向位置。也就是说，如以上的说明所明确的那样，即使线状电极为两个，但通过适当地变更利用的时间，也能够确定出断线位置。需要说明的是，在断线位置的确定中利用上升时间、下降时间中的哪一项可根据第一检测信号及第二检测信号的下降时间/上升时间的一致性来判断。
权利要求
1.一种导电图案检查装置，其特征在于，其在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，检测发生断线的导电图案中的断线位置，该装置包括 施加机构，从所述发生断线的导电图案的一端施加交流电压； 传感器，经由间隙与所述基板对置，并在横穿所述多个导电图案的方向上移动； 两个以上的线状电极，设于所述传感器上，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘，并分别与对置的导电图案静电耦合； 控制部，根据所述两个以上的线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线位置。
2.根据权利要求I所述的导电图案检查装置，其特征在于 所述两个以上的线状电极至少包括第一线状电极，在与第一方向正交的第二方向上延伸；第二线状电极，在相对于第一线状电极倾斜的方向上延伸； 所述控制部根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线在第一方向的位置，并根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻及由所述第二线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线在第二方向的位置。
3.根据权利要求2所述的导电图案检查装置，其特征在于 所述两个以上的线状电极进一步包括第三线状电极，所述第三线状电极相对于第一线状电极倾斜，并在与第二线状电极极性相反地倾斜的方向上延伸； 所述控制部根据所述由第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻，以及由所述第二线状电极或第三线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定出所述断线在第二方向的位置。
4.根据权利要求3所述的导电图案检查装置，其特征在于 所述第二线状电极相对于第一线状电极以45度倾斜，第三线状电极相对于第一线状电极以负(_)45度倾斜。
5.根据权利要求I所述的导电图案检查装置，其特征在于 在所述基板上形成有 像素区域，在第一方向上间隔第一间距地配设有多个导电图案； 外部区域，设置在所述像素区域的外侧，具有以导电图案间的间距逐渐变化的方式配设有所述多个导电图案的区域； 各线状电极至少具有纵贯所述外部区域的长度； 所述控制装置根据由线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定出在所述外部区域中的断线位置。
全文摘要
本发明提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。导电图案检查装置包括施加机构，从发生断线的导电图案(110)的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与基板对置，并在横穿所述多个导电图案(110)的方向上移动；两个以上的线状电极(30)、(32)，设置在所述传感器中，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘；控制部，根据所述两个以上的线状电极(30)、(32)分别检测出的电压信号的突变时刻确定出所述断线位置。
文档编号G01R31/02GK102759679SQ20121002618
公开日2012年10月31日 申请日期2012年2月7日 优先权日2011年4月27日
发明者板垣卓男, 须山智史 申请人:株式会社联箭技术
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