专利名称：高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种分析仪器设备， 一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪。
背景技术：
氦质谱检漏仪是一种真空检漏的分析设备，但目前已有的氦质谱检漏仪的缺点是检测灵敏度低， 质谱室内的鎢灯丝极易烧毁损坏。
发明内容
为了解决现有氦质谱检漏仪灵敏度低，质谱室内的鎢灯丝极易烧毁损坏的问题，本实用新型提供 一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，相对解决了灯丝易烧毁损坏的问题，并提高了检漏仪的 灵敏度。
本实用新型技术方案高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、集成阀堆、 质谱室等系统，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特 止 在T所述质谱室内离子发生器的灯丝材料为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个
带角度的引流装置引导离子，使离子经过175度非均匀强磁场运动后，最终由离子接收器的接收靶去
收集离子流。 本实ffl新型有益效果
1. 选用氧化钇铱金做灯丝，可降低灯丝发射电子的工作电压，这样即便灯丝暂时暴露在大气中， 也不会烧毁损坏。
2. 由于使用鼠笼式栅网，这样提高了电子的采集率。
3. 加工一个带角度的离子引流装置，减少了离子的流失，从而明显提高了仪器的灵敏度。
卜面结合附图和实施对本实用新型作进一步说明。 图1是本实用新型的原理构造图。
图1中，1、机械泵，2、集成阀堆，3、分子泵，4、分子泵抽气口， 5、检漏口， 6、电压输入插头(+ ), 7、电压输入插头(-)，8、氧化钇铱金灯丝，9、鼠笼式栅网，10、带角度的引流装置，11、 175度非 均匀强磁�。�12、质谱室壳体，13、支架，14、离子接收靶，15、法兰，16、离子收集器，17、质谱室， 18、离子发生器。
具体实施方式
在图1中，机械泵1通过管路与集成阀堆2和分子泵3连接，由分子泵抽气口 4与质谱室17连接。，质谱室壳体12，法兰15,离子收集器16,带角度的引流装置IO, 175度非 均匀强磁场11和离子发生器18组装合成。这里离子发生器18封装的插头6和插头7分别是电压(+) (-)的输入端，氧化钇铱金灯丝8的两端就焊接在插头6和插头7上，图中的氧化紀铱金灯丝8应加
工成开路环状。鼠笼式栅网9要装配在环状的氧化钇铱金灯丝8的中心。带角度的引流装置10应对准
鼠笼式栅网9的中心去装配。另外，在离子接收器16的内部要装配离子接收靶14。
本实用新型的工作原理首先按要求接通电源，正确启动机械泵l,分子泵3，控制系统将按程序分
别打开和关闭集成阀堆2的内部阀门，当显示屏提示可以进行检测后，被检测的真空系统或零件应与检
漏口5衔接，喷氦时，如遇见有漏，氦气将从被检测的系统或零件的内部由检漏口5扩散进入集成阀堆2，
分子泵3和质谱室17内，此时氦气将与氧化钇铱金灯丝8发生反应形成电子，鼠笼式栅网9将及时采集
加压，由带角度的引流装置10引导，经过175度非均匀强磁场运动，最终由离子收集器16的离子收集靶
14接收离子流，通过量化运算完成漏率分析。
权利要求1. 一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括机械泵、分子泵、集成阀堆、质谱室等，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特征在于质谱室内离子发生器的灯丝为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个带角度的引流装置引导离子。
2. 根据权利要求1所述的高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，其特征在于所述的氧化钇铱金灯丝要 加工成开路环状。
3. 根据权利要求1所述的高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，其特征在于带角度的引流装置应对准 鼠笼式栅网的中心去装配。
专利摘要本实用新型公开了一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、集成阀堆、和质谱室等系统，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特征在于所述质谱室内离子发生器的灯丝为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个带角度的引流装置，使离子经过175度非均匀强磁场运动后，最终由离子接收器的接收靶收集离子流。本实用新型使用的氧化钇铱金灯丝为低电压，这样即便灯丝暂时暴露在大气中，也不会烧毁损坏。鼠笼式栅网的采集加压和带角度的引流装置，大大提高了仪器的灵敏度。
文档编号G01M3/02GK201225948SQ20082011472
公开日2009年4月22日 申请日期2008年5月13日 优先权日2008年5月13日
发明者秦小正 申请人:秦小正;秦小文
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