亚星游戏官网-www.yaxin868.com

专利名称：感应式位移检测装置及测微计的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种感应式位移检测装置，其应用于以游标卡尺和测微计代表的小型测量工具、旋转编码器、线性编码器以及检测仪器等中，利用电磁结合(磁通结合)进行位移检测。
背景技术：
以往，感应式位移检测装置应用于直线位移和角度位移等精密的测量。该检测装置有直线型和旋转型。直线型的感应式位移检测装置由标尺和检测头构成，上述标尺以规定间距排列磁通结合线圈，上述检测头设置有发送线圈和接收线圈，该发送线圈和接收线圈可相对该标尺移动地相对配置的同时与磁通结合线圈磁通结合。该结构在例如特开平10-318781号公报的图1中公开。另一方面，旋转型的感应式位移检测装置在定子上设置有发送线圈及接收线圈，在转子上设置有发挥与磁通结合线圈同样功能的导电片。该结构在例如特开平8-313295号公报的图16公开。

发明内容
感应式位移检测装置虽然应用于精密测量，但若由接收线圈接收的信号强度变小或在不希望磁通结合处发生了磁通结合(交调失真)时，则位移检测的精度下降。
本发明的目的在于提供一种可增大由接收线圈接收的信号强度，同时容易校正交调失真的感应式位移检测装置。
本发明第一方面的感应式位移检测装置具有线圈保持部件，其一个与另一个相互相对设置；发送线圈，其从一端延伸至折回部并由此折回地设置在一个线圈保持部件上；接收线圈，其沿发送线圈将多个接收环设置在一个线圈保持部件上；磁通结合线圈，其由具有可在发送线圈上磁通结合的接收导体和可在接收线圈上磁通结合的发送导体的闭合的线形导体构成，同时可相对发送线圈及接收线圈移动。其中，在另一个线圈保持部件上交替地设置使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈和使线形导体不交叉而构成的磁通结合线圈，相邻的发送导体共用在与相对移动方向交叉的方向延伸的侧部。
根据本发明第一方面的感应式位移检测装置，通过使相邻的发送导体共用在与相对移动方向交叉的方向延伸的侧部，从而在相邻的发送导体之间不设有空间。因此，(I)因为可扩大发送导体的面积，所以可增大接收线圈的接收强度。(II)因为可时常接受由发送线圈的折回部及端子产生的交调失真，所以容易校正交调失真。
在本发明第一方面的感应式位移检测装置中，使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈可使接收导体整体及发送导体整体位于同一平面，并可在接收导体和发送导体的连接位置使线形导体立体交叉。
由此，因为接收导体(发送导体)的整体位于同一平面，所以可取得接收导体(发送导体)的平衡。因此，可提高测量精度。
在本发明第一方面的感应式位移检测装置中，一个线圈保持部件是定子，另一个线圈保持部件是转子，发送线圈从一端沿环形延伸至折回部并由此折回，再环状地延伸至另一端。其以本发明为例适用于测微计那样的旋转型仪器。在该方式中，(a)可将发送线圈的两个环共同设置在接收线圈的内侧；(b)可使接收线圈具有大致正弦曲线形状；(c)可使接收线圈具有圆弧形；(d)可使接收线圈具有圆周形。
在本发明第一方面的感应式位移检测装置中，一个线圈保持部件是检测头，另一个线圈保持部件是可相对检测头在直线方向上移动的标尺。发送线圈可从一端直线形延伸至折回部，由此折回并再次直线延伸至另一端，并且磁通结合线圈的相互配置为直线形配置。其使本发明适用于直线型。
本发明另一方面的感应式位移检测装置具有定子和转子，其相互相对地设置；发送线圈，其从一端沿一个环延伸至另一端而设置在定子上；接收线圈，其沿发送线圈将多个接收环设置在定子上；磁通结合线圈，其由具有可在发送线圈上磁通结合的接收导体和可在接收线圈上磁通结合的发送导体的闭合的线形导体构成。在转子上相互环状设置有使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈和使线形导体不交叉而构成的磁通结合线圈，相邻的发送导体共用沿转子的半径方向的侧部。
根据本发明的另一方面，以与上述第一方面同样的原因可增大接收线圈的接收强度，同时容易校正交调失真。但是，此处的交调失真的原因不是折回部而是发送线圈(发送线)的两端。
本发明的另一方面，与上述第一方面同样可成为以下方式。(a)交叉线形导体而构成的磁通结合线圈使接收导体整体及发送导体整体位于同一平面并在接收导体和发送导体的连接位置立体交叉线形导体。(b)发送线圈的两个环共同设置在接收线圈的内侧。(c)接收线圈具有大致正弦曲线形状。(d)接收线圈具有圆弧形。(e)接收线圈具有圆周形。(f)搭载有本发明的感应式位移检测装置的其他例的测微计。
本发明的再一方面的感应式位移检测装置具有感应头；标尺，其相对检测头设置，同时可相对检测头在直线方向上移动；发送线，其从一端以一条直线状地延伸至另一端设置在检测头上；接收线圈，其沿发送线将多个接收环设置在检测头上；磁通结合线圈，其由具有可在发送线上磁通结合的接收导体及可在接收线圈上磁通结合的发送导体的闭合的线形导体构成。其中，在标尺上相互直线形地设置有使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈和使线形导体不交叉而构成的磁通结合线圈，相邻的发送导体共用在与相对移动方向交叉的方向上延伸的侧部。
根据本发明的再一方面，由与上述第一方面同样的原因可增大接收线圈的接收强度，同时容易校正交调失真。但是，此处的交调失真的原因不是折回部而是发送线圈(发送线)的两端。
本发明的再一方面，与上述第一方面同样可为以下方式。(a)交叉线形导体而构成的磁通结合线圈使接收导体整体及发送导体整体位于同一平面，并在接收导体和发送导体的连接位置立体交叉线形导体。(b)接收线圈具有大致正弦曲线形状。


图1是第一实施例的感应式位移检测装置的定子的平面图；图2是第一实施例的感应式位移检测装置的转子的平面图；图3是设置在图1的定子上的接收线圈的平面图；图4是构成接收线圈的接收环的平面图；图5是设置在图2的转子上的使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈的平面图；
图6是设置在图2的转子上的使线形导体不交叉而构成的磁通结合线圈的平面图；图7是相邻的磁通结合线圈的平面图；图8是安装有第一实施例的感应式位移检测装置的测微计的正面图；图9是比较例的转子的平面图；图10是不设有一个接收环大小的空间的情况下的相邻的磁通结合线圈和接收环的平面图；图11是设置在第一实施例的转子上的相邻的磁通结合线圈的平面图；图12是表示图9所示的比较例的转子和发送线圈及接收线圈的位置关系的平面图；图13是表示图2所示的第一实施例的转子和发送线圈及接收线圈的位置关系的平面图；图14是第一实施例的第一变形例的定子的平面图；图15是第一实施例的第二变形例的定子的平面图；图16是第一实施例的第三变形例的定子的平面图；图17是将图1所示的接收线圈弯成圆周形的定子的平面图；图18是将图14所示的接收线圈弯成圆周形的定子的平面图；图19是将图15所示的接收线圈弯成圆周形的定子的平面图；图20是将图16所示的接收线圈弯成圆周形的定子的平面图；图21是第二实施例的感应式位移检测装置的检测头的平面图；图22是第二实施例的感应式位移检测装置的标尺的平面图；图23是第二实施例的变形例的检测头的平面图。
具体实施例方式
以下根据

本发明的实施例。
(第一实施例)第一实施例的感应式位移检测装置是旋转型编码器。构成在该编码器的转子上设置的磁通结合线圈的发送导体中，共用相邻的发送导体的侧部是第一实施例的主要特征。以下详细说明第一实施例。
图1是作为第一实施例的感应式位移检测装置的结构要素的定子1的平面图，图2是转子3的平面图。定子1(一个线圈保持部件的一例)与转子3(另一个线圈保持部件的一例)相互相对地设置。转子3在圆周方向A上被自由旋转地支承。定子1和转子3由印刷电路基板构成。
首先，由图1的定子1进行说明。定子1具有由在中央形成有贯通孔5的树脂等构成的绝缘基板7。在绝缘基板7上以包围贯通孔5的方式设置发送线圈9。具体地，发送线圈9从成为端子T1的一端沿环(圆)形延伸至折回部11，由此折回并再次沿环(圆)形延伸至形成端子T2的另一端。
在发送线圈9和贯通孔5之间的绝缘基板7上沿发送线圈9的内周设置有圆弧形的三个接收线圈13、15、17。这些接收线圈13、15、17由多个接收环构成，这些接收环错开空间相位而设置。三个接收线圈13、15、17分别具有相同的结构，以线圈13为例说明接收线圈的结构。图3是接收线圈13的平面图。接收线圈13具有多个由上层配线19和与其立体交叉的下层配线21构成的集合U，并圆弧形地设置这些集合U。在上层配线19和下层配线21之间设置有未图示的绝缘层。介由设置在该绝缘层上的敷金属夹层孔23连接上层配线19的端部和下层配线21的端部。因此，接收线圈13具有沿发送线圈9(图1)设置大致菱形的多个接收环25的结构。图4是一个接收环25的平面图。
另外，说明在绝缘基板7(图1)的一个面上形成上层配线19和下层配线21的情况。但是，也可以在绝缘基板7的一个面上配置上层配线19，在另一个面上配置下层配线21，并介由安装在绝缘基板7上的通孔连接上层配线19的端部和下层配线21的端部。
返回图1说明。将接收线圈13、15、17仅错开λ/6的相位。如图3所示，λ是两个接收环25的沿圆周方向A(图2)的尺寸。
接收线圈13、15、17从发送线圈9的折回部11仅分开规定距离(例如大致接收环25的1.5倍长度)。说明其理由。发送线圈9中折回部11以外位置的形状是环形，折回部11的形状是在环的半径方向上延伸的直线形。这样，发送线圈9在折回部11处延伸的方向急剧变化并形成不规则的形状。因此，由发送线圈9形成的磁场在折回部11和端子T1、T2附近的分布和强度改变，并产生变形。因此，若接收线圈13、15、17与折回部11进行磁通接合(即交调失真)，则因为接收线圈13、15、17受到上述歪斜的磁场的影响，位移检测精度下降。因此，线圈13、15、17仅从折回部11分开规定距离。
接收线圈13的端子T3和T4、接收线圈15的端子T5和T6、接收线圈17的端子T7和T8以及发送线圈9的端子T1和T2通过未图示的配线与用于进行测量位移的运算和控制等的IC电路27连接。IC电路27可设置在定子1上，也可安装在其他部件上。
另外，第一实施例是相互错开相位而设置的三个接收线圈13、15、17，即三相的接收线圈的情况。但是，本发明也可为接收线圈为一个的情况(一相接收线圈)、相互错开相位而设置的两个接收线圈的情况(两相接收线圈)、相互错开相位而设置的四个以上的接收线圈的情况(四相以上的接收线圈)。
接下来由图2说明转子3的结构。转子3具有在中央形成有贯通孔29的树脂等构成的圆盘形的绝缘基板31。在绝缘基板31上包围贯通孔29而环状地设置有多个磁通结合线圈33。未图示的旋转轴贯穿图1的定子1的贯通孔5，该旋转轴固定在转子3的贯通孔29处。由此，转子3在圆周方向A上被自由旋转地支承。在该状态下，磁通结合线圈33与图1的发送线圈9和接收线圈13、15、17相对。
在线圈33上具有使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈33a和使线形导体不交叉而构成的磁通结合线圈33b。磁通结合线圈33a和磁通结合线圈33b交替设置。因为转子3可沿圆周方向A旋转，所以磁通结合线圈33可相对发送线圈9及接收线圈13、15、17移动。
图5是磁通结合线圈33a的平面图，图6是磁通结合线圈33b的平面图。磁通结合线圈33由闭合的线形导体构成，该闭合的线形导体具有可在发送线圈9上磁通结合的接收导体35和可在接收环25(即接收线圈13、15、17)上磁通结合的发送导体37。磁通结合线圈33a使线形导体交叉而构成，若具体说明，则磁通结合线圈33a在接收导体35和发送导体37的连接位置39上立体地交叉线形导体41。
上述立体交叉的结构可如下地实现。在绝缘基板31(图2)上形成下层的线形导体41a。形成覆盖线形导体41a的绝缘层。在该绝缘层上形成露出线形导体41a的两端的敷金属夹层孔。在该绝缘层上形成上层的线形导体41b，并介由敷金属夹层孔而将线形导体41a连接在线形导体41b上。上层的线形导体41b构成接收导体35及发送导体37。另外，也可在绝缘基板31的一面上设置线形导体41b，在另一面上设置线形导体41a，并通过埋入绝缘基板31上设有的通孔的插头而连接线形导体41b和线形导体41a。
由以上说明可知，图5所示的磁通结合线圈33a使接收导体35整体和发送导体37整体位于同一平面上，在接收导体35和发送导体37的连接位置39上线形导体41立体交叉。作为立体交叉的结构，也可在下层设置接收导体35的右半部分和发送导体37的左半部分，在上层设置接收导体35的左半部分和发送导体37的右半部分。但是，与该结构相比，图5所示的结构使接收导体35(发送导体37)整体位于同一平面，所以可取得接收导体35(发送导体37)的平衡，并可提高测量精度。
图7是相邻的磁通结合线圈33a、33b的平面图。线圈33a的发送导体37和线圈33b的发送导体37共用沿转子3(图2)的半径方向的边即侧部43。即，相邻的发送导体37共用在与圆周方向A(相对移动方向的一例)交叉的方向延伸的侧部43。另外，磁通结合线圈33、发送线圈9以及接收线圈13、15、17由铝、铜、金等的电阻低的材料构成。
图8是搭载第一实施例的感应式位移检测装置的测微计51的正面图。将定子1固定在框53上，将转子3固定在测微套筒55上。
例如，在制造现场使用中，工作机械的冷却液和油从主轴61周围进入内部时，使用现有的静电电容式旋转编码器的数字式的测微计产生误操作，但若是使用本发明的感应式位移检测装置的数字式的测微计，则因为检测原理为电磁感应，所以可在没有误操作的情况下检测出位移。因此，可提供耐环境性更加优良的数字式的测微计。
第一实施例的主要效果有如下两个。首先，将第一个效果与比较例比较并说明。图9是比较例的转子71的平面图。与图2所示的第一实施例的转子3的不同点在于磁通结合线圈33中未设置使线形导体交叉而构成的磁通结合线圈33a。由此，在磁通线圈33b相互之间设有一个磁通结合线圈33大小的空间(也可称为一个接收环25大小的空间)。利用图10说明设置该空间的理由。图10是未设置上述空间时相邻的磁通结合线圈33b和接收环25的平面图。由箭头i1表示某一时刻的在发送导体37中流动的电流方向。此时，在与发送导体37-1磁通结合的接收环25-1中以及在与发送导体37-2磁通结合的接收环25-2中流动的电流方向如箭头i2所示。因此，在接收环25-1中流动的电流和在接收环25-2中流动的电流抵消，所以接收信号不能在接收线圈中流动。
因此，在比较例中，在相邻的磁通结合线圈33b之间设置上述空间。即，仅设置图10的相邻的磁通结合线圈33b中的一个。由此，相邻的接收环25中仅一个可与发送导体37磁通结合。但是，因为如图9所示可设置在绝缘基板31上的磁通结合线圈33的数量变少，所以不能增加由接收线圈接收信号的强度。
对此，在第一实施例中，如图2所示，磁通结合线圈33无间隙地设置，不产生上述的抵消。由图11说明其理由。图11是第一实施例的转子的相邻磁通结合线圈33a、33b的平面图。由箭头i1表示某一时刻在磁通结合线圈33a、33b中流动的电流方向。
在第一实施例中，交替设置交叉线形导体而构成的磁通结合线圈33a和不交叉线形导体而构成的磁通结合线圈33b。因此，在相邻的发送导体37-1、37-2中流动的电流成为相反方向。因此，在接收环25-1中流动的电流和在接收环25-2中流动的电流不抵消(即，在相邻的磁通结合线圈中，通过使一方的磁通结合线圈的线形导体交叉，而使在一个磁通结合线圈的发送导体中流动的电流反转。)。
而且，在第一实施例中，相邻的发送导体37通过共用侧部43，而在相邻的发送导体37之间不设置空间。换言之，通过相邻的发送导体37共用线形导体的一部分，从而在相邻的发送导体37之间不设置空间。因此，因为可扩大发送导体43的面积，所以可增大由接收线圈13、15、17接收的信号强度。根据本发明人的试验结果，相对图9所示的比较例的转子71，根据图2所示的第一实施例的转子3，接收信号的强度大约增大至2.5倍。
说明第一实施例的第二效果。图12是表示图9所示的比较例的转子71和发送线圈9以及接收线圈13的位置关系的平面图。如箭头标记B所示，产生将在发送线圈9的折回部11和端子T1、T2附近产生的歪斜的磁场的影响介由磁通结合线圈33传递给接收线圈13的交调失真。在图12所示的使磁通结合线圈33位于接收线圈13和折回部11之间关系为磁通结合线圈33每移动λ而产生。若将该移动需要的时间设为一个信号周期，则交调失真在一个信号周期发生。
图13是对应图12的第一实施例的图。即，图13是表示图2所示的第一实施例的转子3和发送线圈9以及接收线圈13的位置关系的平面图。在第一实施例中，在相邻的发送导体37之间不设置空间。因此经常产生上述的交调失真。与周期地产生的交调失真相比经常产生的交调失真更容易校正。因此，根据第一实施例可容易校正交调失真。
第一实施例中具有下面的第一至第三变形例。根据这些变形例，由与第一实施例同样的原因，可在增大接收线圈13、15、17的接收强度的同时容易校正交调失真。
图14是第一变形例的定子1的平面图。第一变形例与图1的定子1的不同点在于发送线圈9由一个环构成。即，发送线圈9从端子T1(一端)沿一个环而延伸到端子T2(另一端)地设置在定子1上。另外，第一变形例的交调失真的原因是发送线圈9的端子T1、T2(两端)。
图15是第二变形例的定子1的平面图。该变形例与图1的定子1不同之处在于，在接收线圈13、15、17内侧共同设置发送线圈9的两个环。因为根据第二变形例，可进一步缩短发送线圈9，所以可降低发送线圈9的阻抗。由此，因为可在发送线圈9中流动较大的电流，所以可提高发送磁场的磁通密度，并可提高由接收线圈13、15、17接收的信号强度。
图16是第三变形例的定子1的平面图。第三变形例与图1的定子1的不同点在于接收线圈13、15、17具有大致正弦曲线形状。根据该例，可进一步减轻接收信号的高次谐波的失真。
另外，如上所述，接收线圈13、15、17仅从发送线圈9的折回部11和端子T1、T2分开规定距离，因此，这些线圈形成圆弧形。但是，如图17～20所示，接收线圈13、15、17也可为圆周形。
图17是将图1所示的接收线圈13、15、17弯成圆周形的定子的平面图；图18是将图14所示的接收线圈13、15、17弯成圆周形的定子的平面图；图19是将图15所示的接收线圈13、15、17弯成圆周形的定子的平面图；图20是将图16所示的接收线圈13、15、17弯成圆周形的定子的平面图。
接收线圈具有圆周形时，也可得到第一实施例的上述两个效果，而且，可比圆弧形的接收线圈更加增大接收信号的动态范围。通过围绕全周设置接收线圈，可大幅度降低将转子的一转作为一周期的周期性误差。
(第二实施例)第二实施例的感应式位移检测装置是线性编码器。作为搭载第二实施例的感应式位移检测装置的部件，例如有游标卡尺。以与第一实施例的不同为中心说明第二实施例。另外，在说明第二实施例的图中，与第一实施例说明的符号表示的部件相同的部件，通过赋予其相同符号而省略说明。图21是第二实施例的感应式位移检测装置的检测头81的平面图；图22是标尺83的平面图。
第二实施例的感应式位移检测装置由标尺(另一个线圈保持部件的一例)和与此相对而设置的检测头81(一个线圈保持部件的一例)构成。表示标尺83的纵向的一部分。检测头81设置为相对标尺83以规定间隔沿测量轴X可移动。另外，也可构成检测头固定而标尺移动的结构。即，也可将检测头和标尺设置成相互相对在直线方向移动。
图21所示的检测头具有的发送线圈9、接收线圈13、15、17使图1所示的发送线圈9、接收线圈13、15、17形成直线形。具体地说，检测头81具有玻璃、硅等的绝缘基板85。在与绝缘基板85的标尺83相对的面侧设置有矩形的发送线圈9。即，发送线圈9从一端线形(直线形)地延伸至折回部11，由此折回并再次线形(直线形)地延伸至另一端。在绝缘基板81的标尺83相对的面侧，在发送线圈9附近设置有接收线圈13、15、17。
标尺83具有玻璃、硅等的绝缘基板87，在与该基板87的检测头81相对的面侧，沿标尺3的纵向交替地直线形设置磁通结合线圈33a和磁通结合线圈33b。以上说明的第二实施例也具有与第一实施例相同的效果。
说明第二实施例的变形例。图23是该变形例的检测头81的平面图。在该变形例中将发送线89设置在检测头81上。具体地，从端子T1一条直线状延伸至端子T2。发送线89发挥与发送线圈同样的功能。该变形例也产生与第二实施例相同的效果。但是，在该变形例中的交调失真的原因是发送线89的端子T1、T2(两端)。
权利要求
1.一种感应式位移检测装置，其具有线圈保持部件，其一个与另一个相互相对设置；发送线圈，其从一端延伸至折回部并由此折回至另一端地设置在所述一个线圈保持部件上；接收线圈，其沿所述发送线圈将多个接收环设置在所述一个线圈保持部件上；磁通结合线圈，其由具有可在所述发送线圈上磁通结合的接收导体和可在所述接收线圈上磁通结合的发送导体的闭合的线形导体构成，同时可相对所述发送线圈及所述接收线圈移动，其特征在于，在所述另一个线圈保持部件上交替地设置有使所述线形导体交叉而构成的所述磁通结合线圈和使所述线形导体不交叉而构成的所述磁通结合线圈，相邻的所述发送导体共用在与所述相对移动方向交叉的方向上延伸的侧部。
2.如权利要求1所述的感应式位移检测装置，其特征在于，交叉所述线形导体而构成的所述磁通结合线圈使所述接收导体整体和所述发送导体整体位于同一平面，在所述接收导体和所述发送导体连接处立体交叉所述线形导体。
3.如权利要求1或2所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述一个线圈保持部件是定子，所述另一个线圈保持部件是转子，所述发送线圈从所述一端沿环形延伸至所述折回部并由此折回而再次沿环形延伸至所述另一端，所述磁通结合线圈的交替设置为环形配置。
4.如权利要求3所述的感应式位移检测装置，其特征在于，在所述接收线圈的内侧共同设置有所述发送线圈的两个所述环。
5.如权利要求3所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有大致正弦曲线形状。
6.如权利要求3所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有圆弧形。
7.如权利要求3所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有圆周形。
8.一种测微计，其搭载有权利要求3所述的感应式位移检测装置。
9.如权利要求1或2所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述一个线圈保持部件是检测头，所述另一个线圈保持部件是可相对所述检测头在直线方向上移动的标尺，所述发送线圈从所述一端直线形地延伸至所述折回部并由此折回而再次直线形地延伸至所述另一端，所述磁通结合线圈的交替设置为直线形。
10.一种感应式位移检测装置，其具有定子和转子，其相互相对地设置；发送线圈，其从一端沿一个环延伸至另一端地设置在所述定子上；接收线圈，其沿所述发送线圈将多个接收环设置在所述定子上；磁通结合线圈，其由具有可在所述发送线圈上磁通结合的接收导体和可在所述接收线圈上磁通结合的发送导体的闭合的线形导体构成，其特征在于，使所述线形导体交叉而构成的所述磁通结合线圈和使所述线形导体不交叉而构成的所述磁通结合线圈交替地环形设置在所述转子上，相邻的所述发送导体共用沿所述转子的半径方向的侧部。
11.如权利要求10所述的感应式位移检测装置，其特征在于，交叉所述线形导体而构成的所述磁通结合线圈使所述接收导体整体和所述发送导体整体位于同一平面，在所述接收导体和所述发送导体连接处立体交叉所述线形导体。
12.如权利要求10或11所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述发送线圈的所述环设置在所述接收线圈的内侧。
13.如权利要求10或11所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有大致正弦曲线形状。
14.如权利要求10或11所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有圆弧形。
15.如权利要求10或11所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有圆周形。
16.一种测微计，其搭载有权利要求10或11所述的感应式位移检测装置。
17.一种感应式位移检测装置，其具有检测头；标尺，其与所述检测头相对配置，同时可相对所述检测头在直线方向上移动；发送线，其从一端以一条直线形延伸至另一端而设置在所述检测头上；接收线圈，其沿所述发送线将多个接收环设置在所述检测头上；磁通结合线圈，其由具有可在所述发送线上磁通结合的接收导体和可在所述接收线圈上磁通结合的发送导体的闭合的线形导体构成，其特征在于，交叉所述线形导体而构成的所述磁通结合线圈和使所述线形导体不交叉而构成的所述磁通结合线圈交替地直线状设置在所述标尺上，相邻的所述发送导体共用在与所述相对移动方向交叉的方向上延伸的侧部。
18.如权利要求17所述的感应式位移检测装置，其特征在于，使所述线形导体交叉而构成的所述磁通结合线圈使所述接收导体整体及所述发送导体整体位于同一平面，所述接收导体和所述发送导体的连接处立体交叉所述线形导体。
19.如权利要求17或18所述的感应式位移检测装置，其特征在于，所述接收线圈具有大致正弦曲线形状。
全文摘要
本发明公开了一种旋转型的感应式位移检测装置，在其转子上交替设置有第一磁通结合线圈和第二磁通结合线圈。第一磁通结合线圈是使线形导体交叉的结构，第二磁通结合线圈是使线形导体不交叉的结构。在相邻的第一及第二磁通结合线圈中这些发送导体共用侧部。
文档编号G01D5/12GK1616916SQ20041008963
公开日2005年5月18日 申请日期2004年10月29日 优先权日2003年10月30日
发明者青木敏彦, 辻胜三郎, 中山贤一 申请人:三丰株式会社