专利名称：检查用接触器和检查用夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将预先设定在被检查物的检查对象部上的检查点与实施这种检查的检查装置电连接的检查用夹具以及在检查用夹具中使用的检查用接触器。
背景技术：
安装有检查用接触器的检查用夹具经由所述检查用接触器，针对被检查物所具有的检查对象部，从检查装置向规定的检查位置提供电流或电信号，并从检查对象部检测电信号，据此进行检查对象部的电特性的检测、动作测试的实施等。
作为被检查物，例如有印刷线路基板、柔性基板、陶瓷多层线路基板、液晶显示器或等离子显示器等用的电极板、以及半导体封装用的封装基板或膜式载体等各种基板、或半导体晶片、半导体芯片或CSP(芯片尺寸封装，Chip size package)等的半导体装置。在本说明书中，将上述的这些被检查物统称为“被检查物”，将形成在被检查物上的检查对象部称为“检查部”。另外，可以在检查部上设定用于实际地检查所述检查部的电特性的检查点，并通过将接触器压接在所述检查点上而与检查部成为导通状态。这种检查用夹具的接触器的一端压接在布线(检查部)上的检查点上，另一端压接在与基板检查装置电连接的电极部上。另外，经由所述检查用夹具，从基板检查装置提供用于测量布线的电特性的电流或电压，并且将从布线中检测的电信号向基板检查装置发送。这种检查用夹具例如可以例示出在专利文献I中公开的夹具。在专利文献I的检查用夹具中，在导电性可移动体(接触器)上安装有螺旋弹簧。在这种检查用夹具中，接触器在被安装在支架上时，利用螺旋弹簧的收缩而被按压在导电部上，提供了导电部与接触器的良好的接触状态。另外，接触器被调整为，为了破坏在检查点的表面上形成的氧化膜等的绝缘层并与检查点导通接触，使接触器与检查点接触以使螺旋弹簧收缩规定的量(规定长度)而可以获得规定的按压力。特别地，近年来，因为基板设定了大量的检查点，所以也将应与这些检查点对应的接触器大量地安装在支架上。因此，如上所述，如果接触器的数量增加，则收缩的螺旋弹簧也增加，在支架上负�：艽蟮牧Α８旱Ａ撕艽蟮牧Φ闹Ъ艽嬖谝蛩龅穆菪傻牧Φ淖饔枚逋淝奈侍�。另一方面，要降低施加在支架上的力，就要研究降低螺旋弹簧的弹力，但在收缩规定长度的情况下螺旋弹簧不能提供所希望的按压力，存在接触器与检查点不能通过足够的按压力而导通接触的问题。(现有技术文件)专利文献I :日本特开2003-215160号公报发明内容
(发明所要解决的问题)本发明提供一种可以应对基板的微细化以及复杂化、并可以在检查时提供强的按压力且可以在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器以及使用这种接触器的检查用夹具。(解决问题的手段)本发明的第一方面提供一种将成为被检查对象并具有多个检查点的被检查物与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接的检查用夹具，其特征在于具备具备与所述检查装置电连接的多个电极部的电极体；将所述电极部与所述检查点电连接的检查用接触器；以及保持所述检查用接触器的保持体，其中，所述检查用接触器具备两端具有开口部、且前端开口部与所述电极部的表面抵接的导电性的筒状部件；从所述筒状部件的后端开口部突出并配置在所述筒状部件的内部、且后端与所述检查点接触的导电性的棒状部·件；以及将所述筒状部件与所述棒状部件电连接的固定部，所述保持体具备具有将所述前端开口部向所述电极体引导的第一引导孔的第一板状部件；以及具有将所述棒状部件的后端向所述检查点引导的第二引导孔的第二板状部件，所述筒状部件具有具有与所述电极部的表面接触的前端开口部并将所述棒状部件的前端部容纳在内部的上筒部；形成为与所述上筒部相同的直径并与所述上筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向伸缩的螺旋状的缺口的第一缺口部；形成为与所述第一缺口部相同的直径并与所述第一缺口部连通连接的中筒部；形成为与所述中筒部相同的直径并与所述中筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第二缺口部；以及形成为与所述第二缺口部相同的直径并与所述第二缺口部连通连接、且具备所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一个在所述棒状部件与所述检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。本发明的第二方面提供一种如上述第一方面所述的检查用夹具，其特征在于，所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的节距不同。本发明的第三方面提供一种如上述第一或第二方面所述的检查用夹具，其特征在于，所述第一缺口部的缺口宽度与所述第二缺口部的缺口宽度不同。本发明的第四方面提供一种将成为被检查对象的被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的多个电极部电连接的检查用接触器，所述电极部与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接，所述检查用接触器具备成为前端开口部与所述电极部抵接的电极端的外侧筒体；以及从所述外侧筒体的后端开口部突出并与所述外侧筒体的内部电连接且同轴地配置的、且成为后端部压接在所述检查点上的检查端的导电性的内侧筒体，所述外侧筒体具有具有成为所述电极端的前端开口部的外侧上筒部；与所述外侧上筒部相同直径的、且前端开口部与所述外侧上筒部的后端开口部连通连接并在周面上具备在长轴方向上形成的螺旋状的缺口的筒状的第一缺口部；与所述第一缺口部相同直径的、并与所述第一缺口部连通连接的外侧中筒部；与所述外侧中筒部相同直径的、且与所述外侧中筒部连通连接并在周面上具备在长轴方向上形成的螺旋状的缺口的筒状的第二缺口部；以及与所述第二缺口部相同直径的、且与所述第二缺口部连通连接并具备固定部的外侧下筒部，所述内侧筒体具有具有成为所述检查端的后端部的内侧下筒部；以及配置在所述外侧筒体内部的固定部，其中，所述固定部将所述外侧筒体与所述内侧筒体电连接并固定，所述第一缺口部与所述第二缺口部的螺旋的节距不同。(发明的效果)根据本发明的上述第一和第四方面，由于将导电性的棒状部件同轴地配置在具备两处螺旋状的缺口部的筒状部件的内部且电连接并固定，所以这些筒状部件和棒状部件作为一个检查用接触器而发挥作用。设置在筒状部件上的缺口部一体地形成在筒状部件上，并发挥在长轴方向上收缩的弹性部的作用。即，所述检查用接触器只包括筒状部件、棒状部件和固定部而形成。因此，与使用螺旋弹簧的检查用接触器相比，可以减少零件数量，并简单地形成检查用接触器。另外，所述检查用接触器提供一种可以在检查时提供强的按压力而在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器以及使用所述接触器的检查用夹具。根据本发明的上述第二方面，由于第一缺口部与第二缺口部的螺旋节距不同，所 以可以简便地产生检查时和非检查时的按压力之差。根据本发明的上述第三方面，由于第一缺口部与第二缺口部的缺口宽度不同，所以可以简便地产生检查时和非检查时的按压力之差。
图I是表示本发明的检查用夹具的概略结构图。图2是本发明的检查用接触器的概略剖面图。图3是本发明的检查用接触器的筒状部件的概略剖面图。图4是本发明的检查用接触器的棒状部件的概略剖面图。图5是表示本发明的检查用接触器的安装状态的概略剖面图。图6是表示本发明的检查用夹具的检查时的动作状态的概略剖面图。(附图标记说明)I :检查用夹具；2 :检查用接触器；21 :筒状部件；22 :棒状部件23 :固定部；3 :保持体；31 :第一板状部件；31h :第一引导孔32 :第二板状部件；3 1 :第二引导孔；4 :电极体；41 :电极部5 :导线；8 :被检查物；81 :检查点
具体实施例方式下面说明用于实施本发明的优选实施方式。图I是表示本发明的检查用夹具的第一实施方式的概略结构图。本发明的检查用夹具I具备多个接触器2 ;将这些接触器2保持为多针状的保持体3 :支持所述保持体3且具有与各个接触器2接触并成为导通状态的电极部41的电极体4 ；以及从电极部41电连接并延伸设置的导线部5。另外，在图I中，作为多个接触器2表示了三根接触器并表示了分别对应的三根导线部5，但它们并不限于三根，而可以与设定在检查对象上的检查点相对应地确定。本发明的特征在于利用形成在导电性的筒状部件上的缺口部发挥作为弹性部的功能这一点，通过改变设置在至少两处的缺口部的弹性特性，可以提供在检查中所需的接触压力和用于始终与电极部41接触的压接力。
通过如本发明所示那样构成检查用接触器，可以应对基板的微细化以及复杂化，并可以降低零件数量并简单化，还可以在检查时向检查点提供大的接触压力并在非检查时向保持体提供小的接触压力。下面说明在本发明的检查用夹具中使用的检查用接触器2。图2是本发明的检查用接触器2的概略剖面图。检查用接触器2的一端与检查点导通接触，而另一端与后述的电极部41导通接触，据此将检查点与电极部电连接。所述检查用接触器2具有筒状部件21和棒状部件22 (参照图2)。筒状部件21在两端具有开口部21a、21b，一方的前端开口部21a与电极部41的表面抵接。所述筒状部件21可以用导电性的材料形成，例如可以利用铜、镍或它们的合金来形成。
图3是本发明的筒状部件的概略剖面图。所述筒状部件21如图3所示，具有上筒部21c、第一缺口部21d、中筒部21e、第二缺口部21f和下筒部21g。上筒部21c具有与电极部41的表面接触的前端开口部21a，并在内部容纳后述的棒状部件22的前端部22a。所述上筒部21c是筒状部件21的一部分，具有在外径和内径方面都与筒状部件21相等的形状。第一缺口部21d被形成为与上筒部21c相同的直径并与上筒部21c连通连接，是在筒状部件21的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口而成的。所述第一缺口部21d由于形成在筒状部件21的壁面上，所以成为在外径和内径方面都与筒状部件21相等的形状。中筒部21e被形成为与第一缺口部21d相同的直径并与第一缺口部21d连通连接。所述中筒部件21e是筒状部件21的一部分，具有在外径和内径方面都与筒状部件21相等的形状。第二缺口部21f被形成为与中筒部21e相同的直径并与中筒部21e连通连接，是在筒状部件21的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口而成的。所述第二缺口部21f由于形成在筒状部件21的壁面上，所以成为在外径和内径方面都与筒状部件21相等的形状。下筒部21g被形成为与第二缺口部21f相同的直径并与第二缺口部21f连通连接。下筒部21g具备用于将后述的棒状部件22与筒状部件21固定并电连接的固定部23。所述下筒部21g是筒状部件21的一部分，并具有在外径和内径方面都与筒状部件21相等的形状。另外，所述下筒部21g具有后端开口部21b。筒状部件21如上所述，具有上筒部21c、第一缺口部21d、中筒部21e、第二缺口部21f和下筒部21g，各个部分构成了筒状部件21。第一缺口部21d在棒状部件22与检查点抵接并实施检查时(检查时)达到收缩的极限。这使得由形成在第一缺口部21d上的缺口所造成的空间因第一缺口部21d的收缩而成为该缺口(的空间)消失的状态，使第一缺口部21d达到收缩的极限。达到收缩的极限的第一缺口部21d因为不再发生进一步的收缩，所以上筒部21c、中筒部21e或下筒部21g变为发挥同样的功能。
如上所述，在检查时，虽然第一缺口部21d达到了收缩的极限，但第二缺口部21f没有达到收缩的极限。这是因为，在棒状部件22与检查点抵接的情况下，通过使第二缺口部21f具有收缩的余量，可以利用第二缺口部21f的收缩来吸收检查点(凸起)的高度偏差。在棒状部件22未与检查点抵接的情况下(非检查时)，检查用接触器2处于被后述的保持体3所保持的状态，因此成为第一缺口部21d和第二缺口部21f收缩的状态。此时，第一缺口部21d处于收缩到收缩的极限附近的状态，而第二缺口部21f成为少量收缩的状态。S卩，在非检查时，第一缺口部21d大幅收缩，而第二缺口部21f少量收缩。在检查时，第一缺口部21d不再进一步收缩(因为达到了收缩极限)，而只有第二缺口部21f收缩。第一缺口部21d和第二缺口部21f如上所述，在检查时和非检查时功能不同，而为了具有这种功能差异，形成为螺旋的节距不同的方式。在表示筒状部件的一种实施方式的 概略剖面图的图3中，第一缺口部21d的螺旋节距dl与第二缺口部21f的螺旋节距d2被不同地形成。在所述图3中，以成为第一缺口部21d的螺旋节距dl短，而第二缺口部21f的螺旋节距长的方式相对地形成。另外，在图3中，形成第一缺口部21d的壁面的宽度和形成第二缺口部21f的壁面的宽度是以相同的长度形成的。另外，这些螺旋的宽度并没有特别的限定，只要可以起到第一缺口部21d和第二缺口部21f的功能则可以任意调整。第一缺口部21d和第二缺口部21f如上所述，在检查时和非检查时可以收缩的收缩量(收缩长度)不同，据此形成为功能不同的方式。即，非检查时的收缩量受第一缺口部21d和第二缺口部21f的影响，而检查时的收缩量因第一缺口部21d处于收缩极限而只受第二缺口部21f的影响。因此，第二缺口部21f的缺口宽度形成得比第一缺口部21d的缺口宽度宽。通过这样地形成，在非检查时第一缺口部21d和第二缺口部21f收缩，而在检查时只有第二缺口部21f可以进一步收缩。在上述的说明中，说明了在棒状部件22抵接于检查点并实施检查时，达到第一缺口部21d的收缩的极限的情况，但也可以代替第一缺口部21d地，使第二缺口部21f达到收缩的极限。在本发明中，只要第一缺口部21d或第二缺口部21f中的任意一个达到收缩的极限即可。本发明的筒状部件21如上所述，具有上筒部21c、第一缺口部21d、中筒部21e、第二缺口部21f和下筒部21g，而为了制造这种筒状部件21，可以采用以下的制造方法。(I)首先，准备形成筒状部件的中空部的芯线(未图示)。另外，对于所述芯线，使用规定筒状部件的内径的所希望的粗细的、具有导电性的芯线(例如，直径30 μ m，不锈钢(SUS))。(2)接着，在芯线(不锈钢线)上涂敷光致抗蚀剂涂层并覆盖所述芯线的周面。对所述光致抗蚀剂的所希望的部分进行曝光/显影/加热处理而形成螺旋状的掩模。此时，例如，可以使芯线沿着中心轴旋转，并利用激光进行曝光来形成螺旋状的掩模。为了形成本发明的筒状部件，将用于形成第一缺口部和第二缺口部的两处的掩模形成在规定位置上。(3)接着，对所述芯线实施镀镍。此时，因为芯线是导电性的，所以未形成光致抗蚀剂掩模的部位被镀镍。
(4)接着，去除光致抗蚀剂掩模，拉出芯线，形成所希望的长度的筒状部件。当然也可以在将芯线完全拉出后将筒体切断。图4是表示本发明的棒状部件的概略剖面图。棒状部件22是后端部22b与检查点相接触的导电性的部件。棒状部件22具有细长的形状，并且例如可以形成为圆柱形状或圆筒形状。所述棒状部件22可以从筒状部件21的后端开口部21b突出并配置在筒状部件21内部。棒状部件22的前端部22a可以配置在筒状部件21的内部，但优选的是配置在筒状部件21的上筒部21c内。棒状部件22的前端部22a由于配置在上筒部21c内部，所以贯通第一缺口部21d和第二缺口部21f的部分，具有作为这些缺口部伸缩的引导装置的功能。棒状部件22的前端部22a可以被调整成不与后述的电极体4抵接的方式。
棒状部件22的后端部22b直接与检查点抵接。所述后端部22b的形状并没有特别限定，可以选择王冠形状、尖锐形状、或三棱锥形状等形状。棒状部件22的后端部22b可以从筒状部件21的后端开口部21b突出，而所述后端部22b的突出长度可以被设定为至少比后述的保持体3的第二板状部件32的厚度更长。棒状部件22可以用导电性的材料形成，例如可以采用铜(Cu)、镍(Ni)或它们的合
全坐
W. -rf* ο固定部23将筒状部件21与棒状部件22电连接。固定部23可以形成在筒状部件21的下筒部21g上，向着棒状部件22的后端部22b设置。所述固定部23例如可以示例出压紧、激光焊接、电弧焊接或粘合剂等方法，只要可以将筒状部件21与棒状部件22电连接、并且不会使筒状部件21和棒状部件22的形状有大的变形的固定方法就可以采用。检查用夹具I具备保持检查用接触器2的保持体3。保持体3可以由绝缘材料形成。保持体3具有第一板状部件31，所述第一板状部件31具有将筒状部件21的前端开口部21a向后述的电极体4的电极部41引导的第一引导孔31h。保持体3具有第二板状部件32，所述第二板状部件32具有将棒状部件22的后端部22b向检查点引导的第二引导孔32h。第一板状部件31的第一引导孔31h被形成为在第一板状部件31的厚度方向上具有相同的直径的贯通孔，所述贯通孔的外径可以被形成为具有比筒状部件21的上筒部21c的外径稍大的直径。利用所述第一引导孔31h，可以将筒状部件21的前端开口部21a向设置在电极体4上的规定的电极部41引导。第一板状部件31的厚度优选为形成得比上筒部21c的长度短。这是为了避免伸缩的第一缺口部21d与第一板状部件31相接触而发生磨损。第二板状部件32可以被配置为与第一板状部件31具有规定的间隔并具有用于将检查用接触器2的棒状部件22的后端部22b向检查点引导的第二引导孔32h。第二板状部件32的厚度可以调整为在检查时棒状部件22的后端部22b可以与检查点抵接的充分的长度。第二引导孔32h可以被形成为具有在第二板状部件32的厚度方向上贯通的相同的直径，并形成为具有比棒状部件22的外径大且比筒状部件21的外径小的外径。通过这样地形成第二引导孔32h，在将检查用接触器2插入保持体3时，检查用接触器2的筒状部件21的后端开口部21b被第二板状部件32的表面和电极体4所夹持，成为使检查用接触器2的棒状部件22的后端部22b从第二板状部件32突出的状态。第二板状部件32可以被配置为距离电极部41具有规定的间隔L，而所述规定的间隔L可以设定为比无负荷状态下筒状部件21的长轴方向的长度短的方式。所述规定的间隔L与筒状部件21的自然 长度的长度之差成为第一缺口部21d和第二缺口部21f的收缩量。另外，利用所述规定的间隔L，第一缺口部21d可以被设定为成为收缩到收缩的极限附近程度的状态，而第二缺口部21f可以被设定成少量收缩的状态。另外，在检查用接触器2的棒状部件22与检查点抵接的情况下，筒状部件21成为比规定的间隔L更加短的长度。此时，第一缺口部21d达到收缩极限，而第二缺口部21f收缩。通过这样地形成，在将检查用接触器2安装到保持体3上时，筒状部件21的第一缺口部21d和第二缺口部21f收缩而成为蓄能状态，筒状部件21以分别按压电极部41和第二板状部件32的状态安装。在图5中，第二引导孔32h被表示为具有相同的直径的贯通孔，但也可以采用由具有配置在同一轴上的两个不同外径的两个孔(上孔和下孔，未图示)形成的贯通孔。在此情况下，上孔具有比筒状部件21的外径稍大的直径并配置在第二板状部件32的电极部一侦牝而下孔具有比筒状部件21的外径小而比棒状部件22的外径稍大的直径并配置在第二板状部件32的检查点一侧。通过这样地形成上孔和下孔，在将检查用接触器2从第一引导孔31h插入并安装在保持体3上时，利用筒状部件21的后端开口部21b的外径与下孔的直径的不同，可以配置成将筒状部件21卡止而只有棒状部件22从第二引导孔32h突出的方式。在图5所示的实施方式中，第一板状部件31和第二板状部件32被配置成具有规定的间隔，但也可以在第一板状部件31和第二板状部件32之间设置第三板状部件(未图示)。所述第三板状部件可以层叠一个或二个以上的板状部件，并可以配置在由所述间隔产生的空间中。在此情况下，例如，第三板状部件也可以通过层叠与第一板状部件31相同的多个板状部件来形成。另外，形成在第三板状部件上的贯通孔只要具有检查用接触器2的筒状部件21贯通的大小即可，其断面形状不作特别限定。电极体4具备与检查装置电连接的多个电极部41。所述电极体4所具备的电极部41被配置成与各个检查用接触器2相对应的方式。所述电极部41与筒状部件21的前立而开口部21a压接并成为导通状态。电极部41是用细的导线形成的，在图5中被配置为所述导线的断面与电极体4的表面成为同一平面的方式。所述导线的断面成为电极部41，并与筒状部件21的前端开口部21a压接。以上是本发明的第一种实施方式的检查用夹具I的结构的说明。下面说明为了组装检查用夹具1，将检查用接触器2安装在保持体3上的情况。在将保持体3安装在检查用夹具I上时，首先，将检查用接触器2插入保持体3。在将检查用接触器2插入保持体3的情况下，检查用接触器2的棒状部件22的后端部22b穿过第一引导孔31h。接着，使所述后端部22b穿过第二引导孔32h而插入并从第二引导口32h贯通。插入保持体3的检查用接触器2利用筒状部件21的后端开口部21b而卡止在保持体3上。筒状部件21的前端开口部21a和棒状部件22的后端部22b被配置成从第一引导孔31h和第二引导孔32h分别向外侧突出的方式。如果将检查用接触器2插入保持体3，则第一板状部件31向电极体4抵接，使得筒状部件21的前端开口部21a向规定的电极部41按压并相接。此时，由于筒状部件21压接在电极部41上，所以各个第一缺口部21d和第二缺口部21f收缩并成为蓄能状态。此时，第一缺口部21d处于收缩到收缩的极限附近阶段的状态，而第二缺口部21f成为只少量收缩的状态。这样，完成了具有检查用接触器2的检查用夹具I。下面，说明在检查中使用检查用夹具I的情况(检查时)。图6是表示使用了检查用接触器的检查用夹具的在检查时的状态的概略剖面图。在进行检查时，将检查用夹具I安装在检查装置(未图示)上，导线5与检查装置 的控制单元电连接。检查装置例如具备使承载被检查物8的承载台分别在xyz轴方向上移动的移动单元，以使规定的检查用接触器2的棒状部件22的后端部22b压接在被检查物8的多个检查点81上的方式，使载物台在xyz轴方向上移动并进行检查。当检查装置以可以使所希望的检查用接触器2的后端部22b抵接于规定的检查点81上的方式进行载物台的定位时，就以使各个检查用接触器2的后端部22b与各个检查点81导通接触的方式进行移动。此时，如果所希望的后端部22b抵接于规定的检查点81，则首先，由于后端部22b成为被压接的状态，所以筒状部件21的第一缺口部21d和第二缺口部21f收缩。在此情况下，收缩量极限之前的第一缺口部21d达到收缩极限，而第二缺口部21f收缩。因此，在非检查时，第一缺口部21d和第二缺口部21f起作用，而在检查时，第二缺口部21f起作用。即，在非检查时，施加在保持体3的第二板状部件32上的负荷由第一缺口部21d和第二缺口部21f产生，因此可以设置成比检查时的负荷小的负荷。可以在检查时提供强的按压力而在非检查时提供弱的按压力。
权利要求
1.一种将成为被检查对象并具有多个检查点的被检查物与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接的检查用夹具，其特征在于具备 具备与所述检查装置电连接的多个电极部的电极体； 将所述电极部与所述检查点电连接的检查用接触器；以及 保持所述检查用接触器的保持体， 其中，所述检查用接触器具备 两端具有开口、且前端开口部与所述电极部的表面抵接的导电性的筒状部件； 从所述筒状部件的后端开口部突出并配置在所述筒状部件的内部、且后端与所述检查点接触的导电性的棒状部件；以及 将所述筒状部件与所述棒状部件电连接的固定部， 所述保持体具备 具有将所述前端开口部向所述电极体引导的第一引导孔的第一板状部件；以及具有将所述棒状部件的后端向所述检查点引导的第二引导孔的第二板状部件，所述筒状部件具有 具有与所述电极部的表面接触的前端开口部并将所述棒状部件的前端部容纳在内部的上筒部； 形成为与所述上筒部相同的直径并与所述上筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一缺口部； 形成为与所述第一缺口部相同的直径并与所述第一缺口部连通连接的中筒部； 形成为与所述中筒部相同的直径并与所述中筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第二缺口部；以及 形成为与所述第二缺口部相同的直径并与所述第二缺口部连通连接、且具备所述固定部的下筒部， 所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一个在所述棒状部件与所述检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。
2.如权利要求I所述的检查用夹具，其特征在于所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的节距不同。
3.如权利要求I或2所述的检查用夹具，其特征在于所述第一缺口部的缺口宽度与所述第二缺口部的缺口宽度不同。
4.一种将成为被检查对象的被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的多个电极部电连接的检查用接触器，所述电极部与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接，所述检查用接触器具备 成为前端开口部与所述电极部抵接的电极端的外侧筒体；以及从所述外侧筒体的后端开口部突出并与所述外侧筒体的内部电连接且同轴地配置的、且成为后端部与所述检查点压接的检查端的导电性的内侧筒体， 所述外侧筒体具有 具有成为所述电极端的前端开口部的外侧上筒部； 与所述外侧上筒部相同直径的、且前端开口部与所述外侧上筒部的后端开口部连通连接并在周面上具备在长轴方向上形成的螺旋状的缺口的筒状的第一缺口部；与所述第一缺口部相同直径的、且与所述第一缺口部连通连接的外侧中筒部； 与所述外侧中筒部相同直径的、且与所述外侧中筒部连通连接并在周面上具备在长轴方向上形成的螺旋状的缺口的筒状的第二缺口部；以及 与所述第二缺口部相同直径的、且与所述第二缺口部连通连接并具备固定部的外侧下筒部， 所述内侧筒体具有 具有成为所述检查端的后端部的内侧下筒部；以及 配置在所述外侧筒体内部的内侧上筒部， 其中，所述固定部将所述外侧筒体与所述内侧筒体电连接并固定；以及 所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的节距不同。
全文摘要
本发明提供一种可以应对基板的微细化和复杂化、并在检查时提供强的按压力且在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器和检查用夹具。一种将被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的并与检查检查点间的电特性的检查装置电连接的多个电极部电连接的检查用接触器具备两端具有开口部且前端开口部与电极部的表面抵接的导电性的筒状部件、从筒状部件的后端开口部突出并配置在筒状部件内部、且后端与检查点接触的导电性的棒状部件和将筒状部件与板状部件电连接的固定部，筒状部件具有在筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一和第二缺口部，第一或第二缺口部在棒状部件与检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。
文档编号G01R1/04GK102890166SQ20121025240
公开日2013年1月23日 申请日期2012年7月20日 优先权日2011年7月21日
发明者沼田清 申请人:日本电产理德株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
