ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø-www.yaxin868.com

    ɽ¶«ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø»ú´²ÓÐÏÞ¹«Ë¾Ï³´²¹Ù·½ÍøÕ¾½ñÌìÊÇ£º2025-05-04Çл»³ÇÊÐ[È«¹ú]-ÍøÕ¾µØÍ¼
    ÍÆ¼ö²úÆ· :
    ÍÆ¼öÐÂÎÅ
    ¼¼ÊõÎÄÕµ±Ç°Î»ÖÃ:¼¼ÊõÎÄÕÂ>

    ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨

    ʱ¼ä:2025-05-04    ×÷Õß: ¹ÜÀíÔ±

    רÀûÃû³Æ£º×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨
    ¼¼ÊõÁìÓò£º
    ±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖÂÖÌ¥ÐÔÄܵIJâÆÀ·½·¨£¬¾ßÌåµØËµÊÇ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨¡£
    ±³¾°¼¼Êõ£º
    Ëæ×ÅÂÖÌ¥¹¤ÒµµÄ·¢Õ¹£¬×ÓÎçÏßÂÖÌ¥µÄ±ÈÀýÔ½À´Ô½¸ß¡£ÓÉÓÚ¸ÖË¿Á±ÏßËù¾ßÓеÄÓÅÒìÐÔÄܺÍÐԼ۱ȷ½ÃæµÄÓÅÊÆ£¬ÒѳÉΪ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥µÄÖØÒª¹Ç¼Ü²ÄÁÏ¡£ËùÓÐ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥µÄ´øÊø²ã¶¼ÒªÓøÖË¿Á±Ïß×ö¹Ç¼Ü²ÄÁÏ£¬ÌرðÊÇÔÚÈ«¸ÖÔØÖØ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖУ¬¹Ç¼Ü²ÄÁÏÈ«²¿Îª¸ÖË¿Á±Ïß¡£ ¸ÖË¿Á±Ïß±íÃæ¶¼¶ÆÓлÆÍ­£¬Ò»·½ÃæÓÐÀûÓÚ¸ÖË¿Á±ÏßÓëÏ𽺵ÄÕ³ºÏ£»ÁíÒ»·½ÃæÒ²ÓÐÀûÓÚ¸ÖË¿µÄÀ­°Î£¬ÒÔ»ñµÃ½ÏСµÄµ¥Ë¿Ö±¾¶¡£³¤ÆÚÒÔÀ´£¬ÎÒ¹úÈ«¸Ö×ÓÎçÏßÂÖ̥ʹÓõĸÖË¿Á±ÏßÒÔ¸ßÍ­¶Æ²ã(Í­ÖÊÁ¿·ÖÊýΪ 0. 670)ΪÖ÷¡£ÕâÒ»·½ÃæÊÇÓÉÓÚÎÒ¹úÔÚ·¢Õ¹È«¸Ö×ÓÎçÏßÂÖÌ¥³õÆÚÒý½øµÄ±¶ÄÍÁ¦¼¼ÊõÒªÇóʹÓøßÍ­¶Æ²ã¸ÖË¿Á±Ïߣ»ÁíÒ»·½ÃæÊÇÓÉÓÚ¸ßÍ­¶Æ²ã¸ÖË¿Á±ÏßÓëÏ𽺾ßÓкܺõijõʼճºÏÐÔÄÜ¡£ ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÓøÖË¿Á±ÏßÓëÏ𽺵ÄÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüÊÇÒ»¸ö¸´ÔӵĿÎÌâ¡£Õ³ºÏÐÔÄܵÄÓÅÁÓ¶Ô×ÓÎçÏßÂÖÌ¥µÄÖÊÁ¿ÓÐ×ÅÖÁ¹ØÖØÒªµÄÓ°Ï죬±ÈÈçÒò¸÷²¿¼þÕ³ºÏ²»ÀÎÒýÆðµÄ¹Ú¿Õ¡¢¼ç¿Õ¡¢¼çÅÝ¡¢²à¿Õ¡¢²àÅÝ¡¢ÍѽÓÍ·¡¢ÍѲ㣬ÒÔÖÂÓ°ÏìÂÖÌ¥µÄʹÓÃÊÙÃü¡£ÏÖÓеIJâÊÔ·ÖÎö¶¼ÊÇͨ¹ýÎïÀí·ÖÎöµÄÊֶζÔÓÚÂÖÌ¥ÏÖ×´µÄ²âÆÀ£¬¶ø¶ÔÂÖÌ¥µÄÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüÈ´²»Äܸø³ö²ÎÕÕÒÀ¾Ý¡£

    ·¢Ã÷ÄÚÈÝ
    ±¾·¢Ã÷Ö¼ÔÚÌṩһÖÖ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨£¬´Ó¶øÄܰïÖúÅжÏÕ³ºÏÁ¦µÄÊÙÃü³¤¶Ì£¬ÎªÂÖÌ¥µÄʹÓÃÊÙÃü¸ø³öÆÀÅÐÒÀ¾Ý¡£Ó°Ï콺ÁϺ͸ÖË¿Á±ÏßÖ®¼äµÄÕ³ºÏÁ¦Ö÷ÒªÒòËØÔÚÓÚÁò»¯ÑÇÍ­ºÍÁò»¯Ð¿µÄ»¯Ñ§¼ü£¬Áò»¯ÑÇÍ­ÔÚÆäÖÐÆðÖ÷µ¼×÷Óá£ÔÚ¸ÖË¿Á±Ïß±íÃæµÄͭп¶Æ²ãÖУ¬µ±½ºÁÏÖеÄÁòÏȽӴ¥µ½Í­Ê±£¬ »á²úÉúÉÙÁ¿µÄÁò»¯ÑÇÍ­(ÕâÊDzúÉúÕ³ºÏÁ¦´óСµÄ¹Ø¼ü)£¬µ«ÔÚºóÃæÓÉÓÚпµÄ½ðÊô»îÐÔÒª±ÈÍ­µÄÇ¿£¬Òò´Ëп»áÇÀÏȺÍÁò·´Ó¦Éú³ÉÁò»¯Ð¿(ÕâÒ²ÊÇÎþÉüпÀ´±£»¤Í­£¬Ê¹Áò»¯ÑÇÍ­Éú³¤²»´óµÄÔ­Òò)£¬Ö»Óе±Ð¿·´Ó¦ÍêÈ«»òÊ£ÓàÁ¿·Ç³£ÉÙ(ÖÊÁ¿°Ù·Öº¬Á¿µÍÓÚ0. 105%)µÄʱºò£¬Í­²Å»áºÍÁò½Ó×Å·´Ó¦¡£µ±Í­ºÍÁò·´Ó¦Ê±£¬¾Í»áʹÁò»¯ÑÇÍ­Öð½¥³¤´ó(ÁòµÄÖÊÁ¿°Ù·Öº¬Á¿³¬¹ý 22.5%),ÓÉÓÚÁò»¯ÑÇÍ­ÓдàÐÔ£¬ÈÝÒ×¶ÏÁÑ£¬Òò´Ëµ±Áò»¯ÑÇÍ­³¤´óʱ£¬Ëæ×ÅÁò»¯ÑÇÍ­µÄ¶ÏÁÑ£¬ ½ºÁϺ͸ÖË¿Á±ÏßÖ®¼äµÄÕ³ºÏÁ¦¾Í»áÏÔÖøÏ½µ£¬Ó°Ïì¸ÖË¿Á±ÏßÓëÏð½ºÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃü£¬´Ó¶øÊ¹¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦Ñ¸ËÙ¼õС£¬ÉõÖÁ·¢ÉúÍѽºµÄÏÖÏó¡£±¾·¢Ã÷¸ù¾ÝÉÏÊöÔ­Àí£¬¶Ô×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖеĸÖË¿Á±Ïß½øÐв»Í¬Ê±¼äµÄÈÈÀÏ»¯´¦Àí£¬ Ä£ÄâÂÖÌ¥ÐÐÊ»µÄ²»Í¬¹«ÀïÊý¶ÔÂÖÌ¥Ôì³ÉµÄÓ°Ï죬ÔÙ¶ÔÈÈÀÏ»¯ºóµÄÂÖÌ¥½øÐвâÊÔ¡£·¢Ã÷È˲ÉÓû¯Ñ§ÔªËØ·ÖÎö·½·¨£¬°üÀ¨É¨Ãèµç×ÓÏÔ΢¾µ(SEM)¡¢XÉäÏßµç×ÓÄÜÆ× (EDS)ºÍICP-AES (¶íЪµç×Ó·¨)µÈ·ÖÎö·½·¨¡£ICP-AES·¨Ö÷ÒªÊÇÓÃÓÚÎÞ»úÔªËØµÄ¶¨Á¿·ÖÎö£¬ ÆäÏà¶ÔÎó²îÔÚ3%×óÓÒ£¬²âÁ¿µÄ½á¹û¾«È·£¬Òò´ËÔڲⶨ²»Í¬ÀÏ»¯Ìõ¼þÏÂÀÏ»¯ºóµÄÑùƷпµÄº¬Á¿ÉÏÎÒÃDzÉÓÃÁË ICP-AES·¨¡£
    ±¾·¢Ã÷½â¾ö¼¼ÊõÎÊÌâ²ÉÓÃÈçϼ¼Êõ·½°¸±¾·¢Ã÷×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨µÄÌØµãÔÚÓÚ°´ÒÔϲ½Öè²Ù×÷a¡¢±ê×¼ÇúÏߵĻæÖƽ«Î´Ê¹ÓõÄ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÔÚ155¡ãCÈÈÁò»¯10-15·ÖÖÓ£¬Áò»¯½áÊøºó³ý¾»ÂÖÌ¥µÄ½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±Ïߣ¬½«ËùµÃ¸ÖË¿Á±Ïß½øÐÐÈÈÀÏ»¯´¦Àí£¬ÈÈÀÏ»¯µÄζÈΪ100¡ãc£¬ÈÈÀÏ»¯Ê±¼ä·Ö±ðΪ1¡¢2¡¢4¡¢6¡¢8¡¢10ºÍ12Ì죬ÈÈÀÏ»¯½áÊøºó¶ÔÊÔÑù½øÐÐICP-AES²âÊÔ¡¢EDS²âÊԺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦µÄ²âÊÔ£¬²¢¸ù¾Ý²âÊÔÊý¾Ý»æÖƶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦-ÐÞÕýÁòº¬Á¿±ê×¼ÇúÏߺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦-пµ¥Öʺ¬Á¿±ê×¼ÇúÏߣ»b¡¢½«Óë»æÖÆ±ê×¼ÇúÏßʱʹÓõÄ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥Åä·½ÏàͬµÄ´ý²â×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÊÔÑù³ý¾»½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±Ïߣ¬È»ºó¶ÔËùµÃ¸ÖË¿Á±Ïß½øÐÐICP-AES²âÊÔ¡¢EDS²âÊԺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦µÄ²âÊÔ£¬µÃµ½¸Ã´ý²âÊÔÑùµÄ¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦¡¢ÐÞÕýÁòº¬Á¿ºÍпµ¥Öʺ¬Á¿µÄÊý¾Ý£¬Í¨¹ýËùÊö¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦¡¢ÐÞÕýÁòº¬Á¿ºÍпµ¥Öʺ¬Á¿µÄÊý¾ÝÔÚ±ê×¼ÇúÏßÖÐÈ·¶¨´ý²âÊÔÑùµÄλÖá£ÓëÒÑÓм¼ÊõÏà±È±¾·¢Ã÷µÄÓÐÒæÐ§¹ûÌåÏÖÔÚ1¡¢±¾·¢Ã÷²ÉÓõÄʵÑé·½·¨¼òµ¥ÒײÙ×÷¡¢Ê¡Ê±¡¢¾­¼ÃºÄ·ÑµÍ¡¢¿ÉÐÐÐÔÇ¿¡£2¡¢±¾·¢Ã÷µÄʵÑé½á¹û׼ȷ£¬¿ÉÒÔ×÷Ϊ¹¤ÒµÉú²úµÄ²Î¿¼¡£3¡¢±¾·¢Ã÷¿Ë·þÁË´«Í³·½·¨ÎÞ·¨ÆÀ¹ÀÂÖ̥ʹÓÃÊÙÃüµÄÎÊÌ⣬ͬʱҲ¶ÔºÎʱÂÖÌ¥¼ç¿Õ½ºÉÕ(Õ³ºÏÁ¦µÄͻȻϽµ¾ÍÊǼç¿Õ½ºÉյıíÏÖ)¡¢ÀíÅâÂÖÌ¥ÊǸÖË¿Á±ÏßµÄÎÊÌ⻹ÊǽºÁϵÄÎÊÌâ»òÊÇÕ³ºÏÁ¦µÄÎÊÌâµÈ¸ø³öÆÀÅÐÒÀ¾Ý¡£
    ËÄ

    ͼ1 (a)Ϊ±¾·¢Ã÷ʵʩÀý1¶ÔδÀÏ»¯µÄ¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ·µÄɨÃèµç¾µÕÕÆ¬(SEM)-µç×ÓÄÜÁ¿ÐÍòͼ£»Í¼1 (b)¡¢(c)ÊǶÔʵʩÀý1δÀÏ»¯µÄ¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ··Ö±ð·Å´ó100±¶ºÍ500±¶µÄɨÃèµç¾µÕÕÆ¬(SEM)£»Í¼1(d)¡¢(e)·Ö±ðΪÓöíЪµç×Ó·¨(AES)²âÊÔ³öµÄÁ±Ïß±íÃæÔªËØÌØÕ÷Æ×ͼºÍÄÚ²¿ÔªËØÌØÕ÷ͼ¡£Í¼1(d)¡¢(e)ÖÐÇúÏßÁùΪ¹·ÔªËØ£¬ÇúÏßBΪCuÔªËØ£¬ÇúÏßCΪSi ÔªËØ£¬ÇúÏßDΪCÔªËØ£¬ÇúÏßEΪ0ÔªËØ£¬ÇúÏßFΪSÔªËØ¡£Í¼2(a)¡¢(b)¡¢(c)¡¢(d)·Ö±ðΪ±¾·¢Ã÷ʵʩÀý2ÔÚ155¡ãCÁò»¯Ìõ¼þϵõ½µÄ¸ÖË¿Á±Ïß·Ö±ð·Å´ó500±¶¡¢4000±¶¡¢5000±¶ºÍ10000±¶µÄɨÃèµç¾µÐÎòͼ£¬Í¼2 (e)ÊÇ·Å´ó10000 ±¶µÄɨÃèµç¾µÐÎòͼ£¬ÆäÖÐÀ¶É«ÇøÓòÊDZí1µÄÊý¾ÝÀ´Ô´¡£Í¼3(a)¡¢(b)·Ö±ðΪ±¾·¢Ã÷ʵʩÀý3ÔÚ100¡ãCºÍ120¡ãCÏÂÈÈÀÏ»¯14ÌìµÄɨÃèµç×Ó
    ÏÔ΢¾µÍ¼¡£Í¼4(a)¡¢(b)·Ö±ð±íʾµÄÊDZ¾·¢Ã÷ʵʩÀý4ÖÐ100¡ãCÈÈÀÏ»¯1¡¢2¡¢4¡¢6¡¢8¡¢10ºÍ12ÌìºóÐÞÕýÁò¡¢µ¥ÖÊпº¬Á¿ºÍ¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦Ö®¼äµÄ¹ØÏµÍ¼¡£Í¼4(a)¡¢(b)Ϊɢµãͼ£¬¸ù¾ÝÀûÓÃͳ¼ÆÑ§·½·¨¸ñ³²¼Ë¹·¨¶ÔÓÚ·Ö²¼¸ø³ö¡£Í¼ÖÐaΪ¹Õµã¡£
    Îå¾ßÌåʵʩÀý·½Ê½Îª¸üºÃÀí½â±¾·¢Ã÷£¬ÏÂÃæ½áºÏ¾ßÌåµÄÂÖÌ¥ÊÔÑù¶Ô±¾·¢Ã÷×ö½øÒ»²½ËµÃ÷£¬·ÇÏÞ¶¨ÊµÊ©ÀýÈçÏ¡£ÊµÊ©Àý1
    4
    ±¾ÊµÊ©ÀýδÀÏ»¯µÄ»ÆÍ­¸ÖË¿Á±ÏßÖÐÔªËØµÄ¾¶Ïò·Ö²¼²â¶¨°´ÒÔϲ½Öè²Ù×÷ÔÚ¸ÖË¿µÄ¾¶Ïò·Ö²¼ÉÏ£¬ÎÒÃDzÉÈ¡ÁË AES (¶íЪµç×Ó·¨)·¨½øÐÐÁËÔªËØ¼°Æä×é³ÉµÄ²â¶¨¡£¶íЪµç×Ó´ÓͼʾλÖý¦Éäµç×ÓµçÁ÷£¬ÒÔÿ¼ä¸ô5nmΪһ¸öµ¥Î»(¼´Ã¿5nmΪһ¸ö²ãÃæ) ½øÐдӱíÃæµ½ÖáÐĵÄÖð²½·ÖÎö¼ì²â£¬Ã¿¸ô5nmλһ²ãµÄÔªËØ¼°Æä×é³ÉÊý¾Ý¡£Í¼1(a)Ϊ¸ÖË¿µÄɨÃèµç¾µ(SEM)-µç×ÓÄÜÁ¿ÐÍòͼ£¬Í¼ÖÐÏÔʾÁ˲âÁ¿²ÎÊý(µçÁ÷´óСΪ50eV£¬½¦ÉäÃæ»ý2mm*2mm£¬Í¼Îª400. 0±¶µÄ·Å´óЧ¹ûͼ)¡£Í¼1 (b)ΪÕûÌåÐÍò£¬(c)Ϊ¾Ö²¿ÐÍò£¬´ÓÖпÉÒÔ¿´³ö»¹Óм«ÉÙÁ¿µÄ½ºÁϸ½×ÅÔÚ±íÃæ£¬¶øÇÒÆä±íÃæµÄͭпÁò»¯ÎﲢôÓг¤´ó£¬ÉõÖÁºÜÉÙ³öÏÖ¡£Í¼1(d) (e)¶Ô±ÈÖпÉÒÔ¿´³öÔªËØµÄº¬Á¿»ù±¾Ïàͬ£¬ÕâҲ˵Ã÷Á˶ÆÍ­Ð¿±È½Ï¾ù„ò£¬Í¼ÖеÄ×Ý×ø±êÎªÔªËØµÄº¬Á¿±ÈÀý¡£ºá×ø±êΪ²âÊÔÉî¶È£¬×ø±êÖеÄÇúÏßÑÕÉ«¶ÔÓ¦ÓÚ×óÉϽǵĸ÷ÔªËØÑÕÉ«¡£ÔÚͼ1(d) (e)ÖпÉÒÔ¿´³ö£¬´ÓÍâ±íÃæ¿ªÊ¼ÏòÄÚ£¬Ò»¿ªÊ¼Í­Ð¿¹²´æµÄ£¬ Ëæ×Ž¦ÉäÉî¶ÈµÄÔö¼Ó£¬Í­Ð¿µÄº¬Á¿Ñ¸ËÙϽµ£¬²¢ÇÒÍ­µÄϽµ·ù¶È±ÈпµÄÒª¿ìµÄ¶à¡£ÔÚ210nm Éî¶ÈÒÔϺóÖ÷ÒªÔªËØÊÇÌú£¬Í­Ð¿¼°ÆäËûÔªËØµÄº¬Á¿·Ç³£ÉÙ¡£±íÃ÷¶Æ²ãµÄºñ¶ÈÔÚ210nm×óÓÒ¡£ ÔÚ²âÊÔÑùÆ·Öк¬Óм«ÉÙÁ¿µÄC£¬0£¬SÊÇÁ±Ïß±íÃæÔÚ¿ÕÆøÉÙÁ¿Îü¸½ËùÖÁ¡£´Ë´Î²â¶¨¾­Ïò·Ö²¼Ö÷ÒªÊÇΪÁËÁ˽â¸ÖË¿µÄ³õʼµÄͭп·Ö²¼Çé¿ö£¬ÎªºóÃæµÄ¹¤×÷×ö»ù´¡¡£ÊµÊ©Àý2 ²ÉÓÃÆ½°åÁò»¯Òǽ«×ÓÎçÏßÂÖÌ¥´ý²âÊÔÑùÓÚ155¡ãCÁò»¯10·ÖÖÓ£¬È»ºóÖÃÓÚÒºµªÖÐÀäÈ´5·ÖÖÓ£¬È¡³öºóÁ¢¼´Óô¸×ÓÇû÷È¥³ý½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ·£¬½«¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ·ÓöþÒì±û±½ÔÚ60¡ãCÌõ¼þϽþÅÝMh£¬Õæ¿Õ¸ÉÔïºóÁô´ý²âÊÔ·ÖÎö¡£¶þÒì±û±½ÊÇÏð½ºÌÞ³ý¼Á£¬ÔÚ½ºÁϱ»Çû÷Ëéºó»¹»áÊ£ÓÐÉÙÁ¿µÄÏð½ºÔÚ¸ÖË¿ÉÏÃæ£¬ÓöþÒì±û±½ÈܽâÊ£ÓàµÄÏ𽺾ͿÉÒԵõ½³ýÈ¥½ºÁϺóµÄ¸ÖË¿Á±Ïߣ¬²»»áÓ°Ïì¸ÖË¿Á±Ïß±íÃæµÄÔª
    ËØº¬Á¿¡£Í¼2 (a)¡¢(b)¡¢(c)¡¢(d)·Ö±ð±íʾÔÚ155¡ãCÁò»¯Ìõ¼þϵõ½µÄ¸ÖË¿Á±Ïß·Å´ó500±¶¡¢ 4000±¶¡¢5000±¶ºÍ10000±¶µÄɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µÕÕÆ¬¡£ÔÚ5000±¶ºÍ10000±¶ÖÐÓÐÉÙÐí°×É«µã×´ºÍƬ״ÎïÖÊΪÁò»¯Í­ºÍÁò»¯Ð¿£¬´ÓÕûÌåÀ´¿´Æä±íÃæÒ²ÊÇ±È½ÏÆ½Õû¹â»¬µÄ¡£±í1Ϊ155¡ãCµÄÁò»¯Ìõ¼þÏ£¬³ýÈ¥½ºÁϺó¸ÖË¿Á±Ïß±íÃæµÄµç×ÓÄÜÆ×Êý¾Ý£¬ÆäÊý¾ÝµÄÀ´Ô´ÎªÍ¼2(e)£¬´Ó±í1ÖпÉÒÔ¿´³öÁòµÄº¬Á¿Îª2. 52%£¬Í­Ð¿±ÈΪ1.44¡£Õâ±íÃ÷¸ÖË¿±íÃæÒѾ­ÓÐÁò»¯Í­ºÍÁò»¯Ð¿Éú³É£¬ÕâÒ²ÊDZ£Ö¤¸ÖË¿ºÍ½ºÁÏÖ®¼äÕ³ºÏÁ¦µÄÒòËØ¡£±í 1
    ÔªËØÖØÁ¿Ô­×ӰٷֱȰٷֱÈCK1.275.54OK3.039.90SK2.524.10FeK37.8535.44CuK32.7026.92ZnK22.6318.10×ÜÁ¿100.00 ʵʩÀý3
    ½«ÊµÊ©Àý2ÖÆ±¸µÄ¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ··Åµ½¾ÛËÄ·úÒÒÏ©Äڳĵĸßѹ¸ªÖУ¬ÔÚµçÈȺãθÉÔïÏäÖзֱðÓÚ100¡ãcºÎ120¡ãC¼ÓÈÈ14Ì죬ȻºóÓÃɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µ(SEM)ºÍXÉäÏßÄÜÆ×ÒÇ (EDS)·ÖÎöÁò»¯²ã½çÃæµÄÀÏ»¯Çé¿ö¡£Ô½¸ßµÄÀÏ»¯Î¶ÈÏ£¬Õ³ºÏÁ¦µÄϽµËÙ¶ÈÒ²»áÔ½¿ì£¬ÆäÔ­ÒòÖ÷ÒªÔÚÓÚζÈÔ½¸ß£¬Í­Ð¿ºÍÁòµÄ·´Ó¦ËÙ¶ÈÔ½¿ìÔì³ÉµÄ¡£Í¼3(a)¡¢(b)·Ö±ðΪʵʩÀý3Áò»¯ºóµÄ¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ·ÓÚ100¡ãC ºÍ120¡ãCÏÂÈÈÀÏ»¯14ÌìµÄɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µÍ¼£¬´ÓͼÖпÉÒÔ¿´³ö120¡ãCµÄÈÈÀÏ»¯Ã÷ÏÔÒª±È 100¡ãCµÄÈÈÀÏ»¯µÄËÙ¶ÈÒª¿ì£¬²¢ÇÒÆä±íÃæÒѾ­ÓдóÁ¿µÄÍ­¡¢Ð¿Áò»¯Îï³öÏÖ¡£±í2(a)¡¢(b)·Ö±ð±íʾµÄÊÇʵʩÀý3Áò»¯ºóµÄ¸ÖË¿Á±ÏßÑùÆ·ÓÚ100¡ãCºÍ120¡ãCÈÈÀÏ»¯14ÌìµÄµç×ÓÄÜÆ×Êý¾Ý£¬ ±í2(b)ÖеÄÁòº¬Á¿Òª´óÓÚ±í2(a)Öеĺ¬Á¿£¬ËµÃ÷120¡ãCÈÈÀÏ»¯14ÌìÖеÄͭпÁò»¯Îï¸ü¼Ó¶à£¬Ò²¾ÍÊÇÁò»¯µÄÒª¸ü¼ÓÑÏÖØ¡£Í¼2 (c)±íʾµÄÊÇʵʩÀý2δÀÏ»¯´¦ÀíµÄ¸ÖË¿Á±ÏߺÍʵʩÀý 3ÖÐ100¡ãCÈÈÀÏ»¯´¦Àí14ÌìµÄ¸ÖË¿Á±ÏߵĶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦(°´ÕÕ¹ú¼Ò±ê×¼ISO 7622-2-1984²â¶¨)±ä»¯±í¡£±í2(a)100¡ãCÁò»¯
    ȨÀûÒªÇó
    1.×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ°´ÒÔϲ½Öè²Ù×÷a¡¢±ê×¼ÇúÏߵĻæÖƽ«Î´Ê¹ÓõÄ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÔÚ155¡ãCÈÈÁò»¯10-15·ÖÖÓ£¬Áò»¯½áÊøºó³ý¾»ÂÖÌ¥µÄ½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±Ïߣ¬½«ËùµÃ¸ÖË¿Á±Ïß½øÐÐÈÈÀÏ»¯´¦Àí£¬ÈÈÀÏ»¯µÄζÈΪ100¡ãC£¬ÈÈÀÏ»¯Ê±¼ä·Ö±ðΪ1¡¢ 2¡¢4¡¢6¡¢8¡¢10ºÍ12Ì죬ÈÈÀÏ»¯½áÊøºó¶ÔÊÔÑù½øÐÐICP-AES²âÊÔ¡¢EDS²âÊԺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦µÄ²âÊÔ£¬²¢¸ù¾Ý²âÊÔÊý¾Ý»æÖƶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦-ÐÞÕýÁòº¬Á¿±ê×¼ÇúÏߺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦-пµ¥Öʺ¬Á¿±ê×¼ÇúÏߣ»b¡¢½«Óë»æÖÆ±ê×¼ÇúÏßʱʹÓõÄ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥Åä·½ÏàͬµÄ´ý²â×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÊÔÑù³ý¾»½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±Ïߣ¬È»ºó¶ÔËùµÃ¸ÖË¿Á±Ïß½øÐÐICP-AES²âÊÔ¡¢EDS²âÊԺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦µÄ²âÊÔ£¬µÃµ½¸Ã´ý²âÊÔÑùµÄ¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦¡¢ÐÞÕýÁòº¬Á¿ºÍпµ¥Öʺ¬Á¿µÄÊý¾Ý£¬Í¨¹ýËùÊö¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦¡¢ÐÞÕýÁòº¬Á¿ºÍпµ¥Öʺ¬Á¿µÄÊý¾ÝÔÚ±ê×¼ÇúÏßÖÐÈ·¶¨´ý²âÊÔÑùµÄλÖá£
    È«ÎÄÕªÒª
    ±¾·¢Ã÷¹«¿ªÁËÒ»ÖÖ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÖиÖË¿Á±ÏßÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ²âÆÀ·½·¨£¬Êǽ«Î´Ê¹ÓõÄ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥Áò»¯ºó³ý¾»½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±Ïߣ¬½«ËùµÃ¸ÖË¿Á±Ïß½øÐÐÈÈÀÏ»¯´¦Àí£¬È»ºó¶ÔÊÔÑù½øÐÐICP-AES²âÊÔ¡¢EDS²âÊԺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦µÄ²âÊÔ£¬²¢¸ù¾Ý²âÊÔÊý¾Ý»æÖƱê×¼ÇúÏߣ»½«Óë»æÖÆ±ê×¼ÇúÏßʱʹÓõÄ×ÓÎçÏßÂÖÌ¥Åä·½ÏàͬµÄ´ý²â×ÓÎçÏßÂÖÌ¥ÊÔÑù³ý¾»½ºÁϵõ½¸ÖË¿Á±Ïߣ¬È»ºó¶ÔËùµÃ¸ÖË¿Á±Ïß½øÐÐICP-AES²âÊÔ¡¢EDS²âÊԺͶÏÁÑÀ­ÉìÁ¦µÄ²âÊÔ£¬Í¨¹ýËùÊö¶ÏÁÑÀ­ÉìÁ¦¡¢ÐÞÕýÁòº¬Á¿ºÍпµ¥Öʺ¬Á¿µÄÊý¾ÝÔÚ±ê×¼ÇúÏßÖÐÈ·¶¨´ý²âÊÔÑùµÄλÖᣱ¾·¢Ã÷²âÆÀ·½·¨ÊÇͨ¹ý»¯Ñ§·ÖÎöµÄ·½·¨ÕÒµ½µ¥ÖʽðÊôº¬Á¿ÓëÕ³ºÏÁ¦ÊÙÃüµÄ¹ØÏµ£¬´Ó¶ø¿ÉÒÔÅжÏÕ³ºÏÁ¦µÄÊÙÃü³¤¶Ì£¬ÎªÂÖÌ¥¹ÊÕϵÄÅжϷÖÎö¸ø³öÆÀÅÐÒÀ¾Ý¡£
    Îĵµ±àºÅG01N23/00GK102445460SQ20111028725
    ¹«¿ªÈÕ2012Äê5ÔÂ9ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2011Äê9ÔÂ23ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2011Äê9ÔÂ23ÈÕ
    ·¢Ã÷Õß·üÎÄ, ÖÜÙ», ³Â´ºÄê ÉêÇëÈË:ºÏ·Ê¹¤Òµ´óѧ

    • רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖ¼ÒÓÃË®±íµÄ±£»¤×°ÖõÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£ºÒ»ÖÖ¼ÒÓÃË®±íµÄ±£»¤×°Öü¼ÊõÁìÓò[0001]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖ¼Ò¾ÓÓÃÆ·£¬¸üÈ·ÇеØËµ£¬ÊÇÒ»ÖÖ¼ÒÓÃË®±íµÄ±£»¤×°Öᣱ³¾°¼¼Êõ£º[0002]Ë®±íÊÇÒ»ÖÖ³£ÓõļÒÍ¥ÓÃË®µÄ¼ÆÁ¿¹¤¾ß£¬Ò»°ãÉèÖÃÔÚµØÏ¹«¹²¹©Ë®
    • רÀûÃû³Æ£ººÁÃײ¨´¬Óõ÷Ƶ¶àͨµÀ·ÀײÀ×´ïµÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°ÎÞÏߵ粨·¢ÉäÓë½ÓÊÕ̽²âÄ¿±ê·½Î»¡¢¾àÀëºÍËٶȵļ¼ÊõÁìÓò£¬¾ßÌåÊÇÒ» ÖÖºÁÃײ¨´¬Óõ÷Ƶ¶àͨµÀ·ÀײÀ×´ï¡£ ±³¾°¼¼Êõ£ºµ±Ç°£¬º£Ñóº½Ô˺ÍÄÚ½½­ºÓºþ²´º½ÔË¡¢ÓæÒµÑ¸ËÙ·¢Õ¹£¬´¬Ö»´óÁ¿Ôö¶à
    • ÓÃÓÚ¼ì²â¶Æ²ãÓë»ùÌå½áºÏÁ¦µÄ¹¤×°µÄÖÆ×÷·½·¨¡¾×¨ÀûÕªÒª¡¿±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖÓÃÓÚ¼ì²â¶Æ²ãÓë»ùÌå½áºÏÁ¦µÄ¹¤×°£¬°üÀ¨Ïà¶ÔÉèÖõļгֲ¿Ò»ºÍ¼Ð³Ö²¿¶þ£¬ËùÊöµÄ¼Ð³Ö²¿Ò»¼Ð³ÖÓиÖÁ±Ï߹̶¨¿é£¬ËùÊöµÄ¸ÖÁ±Ï߹̶¨¿éÉÏ¿ªÉèÓÐÓÃÓÚ´ý²â¸ÖÁ±Ïß´©¹ýµÄͨ¿×£¬ËùÊöµÄ¼Ð³Ö²¿¶þÁ¬½Ó
    • רÀûÃû³Æ£ºSF<sub>6<sub>΢ˮ²âÊÔÒǵÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°©`ÖÖSF6΢ˮ²âÊÔÒÇ¡£±³¾°¼¼Êõ£ºSF6΢ˮ²âÊÔÒÇÊÇÓ¦ÓÃÓڵͶµãÇÒÐèÒª¿ØÖƸɵãµÄ¥¨Òµ»·¾³Öеġ£ÎªÁ˱£Ö¤Ã¿´Î
    • רÀûÃû³Æ£ºÑ¹Á¦´«¸ÐÆ÷µÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ê¹ÓÃÁ˸ÐѹԪ¼þºÍĤƬµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬ÌرðÉæ¼°Èçϼ¼Êõ¼õÉÙÓÉÓÚ×éºÏ²»Í¬ÖÖÀàµÄ²ÄÁ϶øµ¼ÖµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄѹÁ¦²â¶¨ÖµµÄζȱ仯µÄÎó²î¡¢ÒÔ¼°ÓÉÓÚĤƬµÄÖØÁ¦µ¼ÖµÄÄÓÇú¶ø²úÉúµÄѹÁ¦²â¶¨ÖµµÄÎó²î¡£±³¾°¼¼Êõ£ºÒÔ
    • רÀûÃû³Æ£º²âÁ¿SiC<sub>f<sub>Ti»ù¸´ºÏ²ÄÁϽçÃæÎ¢¹Û²ÐÓàÓ¦Á¦µÄ·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°²ÐÓàÓ¦Á¦²âÁ¿¼¼Êõ£¬¾ßÌåµÄ˵ÊÇÒ»ÖÖ²âÁ¿SiCfTi»ù¸´ºÏ²ÄÁϽçÃæÎ¢¹Û²ÐÓàÓ¦Á¦µÄ·½·¨¡£±³¾°
    ɽ¶«ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø»ú´²ÓÐÏÞ¹«Ë¾
    È«¹ú·þÎñÈÈÏߣº13062023238
    µç»°£º13062023238
    µØÖ·£ºëøÖÝÊÐÁúȪ¹¤ÒµÔ°68ºÅ
    ¹Ø¼ü´Ê£ºÏ³´²£¬Êý¿ØÏ³´²£¬ÁúÃÅϳ´²
    ¹«Ë¾¶þάÂë
    Copyright 2010-2024 °æÈ¨ËùÓÐ All rights reserved ³ICP±¸19044495ºÅ-12
    ¡¾ÍøÕ¾µØÍ¼¡¿¡¾sitemap¡¿