专利名称：一种集成电路故障的单光子检测方法及检测系统的制作方法
技术领域：
本发明属于集成电路测试领域，涉及一种通过单光子探测来对集成电路芯片中的故障进行检测的系统及其实现方法。
背景技术：
在集成电路的生产和维护过程中，测试一直是一个很重要的工作内容，近年来随着集成电路规模的增大，电路测试的问题也日益尖锐，测试的开销在产品总成本中所占的比重越来越大，因此测试已成为电路的设计与生产过程中的一个重要组成部分。进行电路测试的主要目的是检验电路是否符合设计要求或功能是否正常，需要进行的一项重要工作是设计测试产生方法，也称为测试矢量生成算法(简称为测试生成)。对此可以把电路的测试问题描述为对一个给定的被测电路和该电路中故障的一个集合(简称为故障集)，寻找电路输入矢量序列的一个集合(简称为测试集)，使该测试集中的矢量能够检测故障集中的全部故障。由于测试的目的是确定集成电路有无故障，因此在测试之前需要建立电路中故障的物理模型。故障通常是指一个电路元件或一个电路芯片的物理缺陷，它可以使这个元件或芯片的功能失效，也可能不失效。对电路测试而言，主要关注的是故障在电路中所表现出来的特点，目的是为了发现故障并确定它的位置，以便排除它的影响。下面对本发明有关的固定型故障、时滞故障、信号完整性故障等的特点进行说明。(1)固定型故障(s-a-Ι和s-a-Ο)。这是假定电路中的一条或多条信号线的逻辑值是固定不变的，无论电路输入取什么值，该信号线的取值不变。如果该信号线固定在逻辑高电平上，则称之为固定1故障，记为s-a-Ι ；如果该信号线固定在逻辑低电平上，则称之为固定0故障，记为s-a-Ο。固定型故障模型在实际应用中用得非常普遍，因为电路中元件的损坏，连线的开路等一部分故障都可以用固定型故障模型比较准确地描述出来。(2)时滞故障。时滞故障是由于电路中信号的时延发生变化或脉冲信号的边沿参数发生变化而引起的故障。时滞故障可引起电路中的时序发生错误。( 3 )近年来随着集成电路设计技术的发展，导致电路芯片的布局布线密度变大，而同时信号的频率还在不断提高，从而使得信号的完整性问题成为电路设计过程中的一个关键因素。特别在集成电路设计采用了深亚微米工艺之后，特征尺寸进一步缩�。酒诘幕チ叱ざ热醇本缭黾樱馐沟眯藕磐暾晕侍飧怀�。信号完整性主要是指信号在信号线上传输的质量，当电路中的信号能以要求的时序、持续时间和电压幅度到达接收端时，该电路就有较好的信号完整性。当信号不能正常响应或者信号质量不能使电路长期稳定工作时，就出现了信号完整性问题。信号完整性问题主要表现在反射、串扰、延迟、振荡、同步开关噪声和电磁兼容等方面。由信号完整性所引起的逻辑和时序问题，可导致电路芯片工作不稳定；出现功能错误，甚至不能正常工作。对由信号的完整性问题所引起的故障，例如，串扰故障、时滞故障、反射故障等，它们与传统故障的区别在于一些传统的故障类型例如固定型故障、桥接故障等，它们所处理的是电路信号线或元件的永久性故障，例如，固定型故障s-a-Ι针对的是一条信号线的值永远固定在逻辑高电平1上。而一些信号完整性故障是由多条信号线间的相互干扰所引起的，并且严重依赖于电路的工作频率；检测这种故障的测试矢量一般是由两个电路输入矢量所组成的一个矢量对。本发明在后面的阐述中使用了一些约定与术语，为清晰起见，下面对它们先进行说明(1)对电路中的信号线，也称为节点；(2)电路的原始输入(信号线)，是指在电路中不接受电路内部任何信号的这种信号线；电路的原始输出(信号线)，是指电路中可以将信号送到电路外部进行测量的这种信号线。(3)电路的一个输入矢量是在电路的每个原始输入端所施加的输入值所组成的一个矢量；测试矢量是指能够检测电路中某个故障的电路输入矢量；测试集是若干个测试矢量所构成的集合。在本发明中，测试矢量的一个主要作用是它能使在故障处有信号的变迁，这与常规的电路测试矢量的含义有差别。
发明内容
本发明旨在克服现有技术存在的不足，提供一种集成电路故障的单光子检测方法及检测系统。本发明可以对电路中的多种故障类型例如固定型故障、桥接故障、信号完整性故障等进行检测与定位，具体技术方案如下。一种集成电路故障的单光子检测方法，包括如下步骤
(1)通过对被测电路施加设定的测试矢量，使得在故障处有信号的变迁，从而导致产生微弱的发光；
(2)采用单光子探测器对故障的所述微弱发光进行探测；
(3)利用微型计算机对探测数据与测试数据库中的数据进行比较和分析，实现对故障位置的检测与定位；
(4)利用微型计算机的显示器输出电路测试的结果，包括电路中的哪些信号线或电路�？榉⑸四闹掷嘈偷墓收稀Ｉ鲜龅募傻缏饭收系牡ス庾蛹觳夥椒ㄖ校街�(1)所述测试矢量的生成方法包括首先使用一个以上已知确定值的电路输入矢量去检测电路中的一些故障；随后使用随机的方式产生一个以上的电路输入矢量，去检测电路中的另一些故障；最后通过定义多值逻辑并使用被测电路的结构特性，来产生用于检测电路中的其余未被检测故障的测试矢量。上述的集成电路故障的单光子检测方法中，步骤(3)包括利用微型计算机比较被测集成电路与无故障集成电路在设定位置或信号线的光子计数的数据，确定被测集成电路中故障的类型及故障的物理位置或发生故障的信号线；所述故障类型包括固定型故障、 桥接故障和信号完整性故障。上述的集成电路故障的单光子检测方法，步骤(3)中，对无故障的正常电路中的信号线和有故障的故障电路中的信号线分别进行光子计数处理，并获得各自的光子计数；通过对这两种光子计数的数值进行比较，若不相同，则判定相应的信号线发生了故障。上述的集成电路故障的单光子检测方法中，步骤(1)之前还包括对电路中故障类型的特点、每种故障对应的测试矢量的生成方法等进行确定。上述的集成电路故障的单光子检测方法中，步骤(3)所述测试数据库中包括电路结构的逻辑级描述(如门级描述)、电路的高层次行为描述(如VHDL文件)、电路的特性曲线图、电路中信号线的故障集、测试矢量集、针对故障类型(例如固定型故障、桥接故障和信号完整性故障)的相关信号线的光子计数的数值和测试分析的结果。本发明还提供了一种集成电路故障的单光子检测系统，包括被测集成电路、光子计数电路�？�、信号发生器和微型计算机；
所述光子计数电路�？橛胛⑿图扑慊樱糜诩觳獾缏分械墓收纤⒊龅墓庾邮� 所述信号发生器与微型计算机连接，用于接收微型计算机产生的测试矢量并生成对应的数据，然后施加到被测集成电路的原始输入端；
所述微型计算机用于控制整个系统的工作，包括提供控制信号给光子计数电路�？椋� 以实现对电路中故障发光的检测；使用电路的结构信息产生被测集成电路的测试矢量；将光子计数电路�？榉⑺偷奶讲馐萦胛⑿图扑慊赜械牟馐允菘庵械氖萁斜冉虾头治觯迪侄怨收衔恢玫募觳庥攵ㄎ弧Ｉ鲜龅募傻缏饭收系牡ス庾蛹觳庀低持校龉庾蛹剖缏纺？榘ㄋ炒瘟拥牡ス庾犹讲馄�、放大电路、整形电路、比较器、分频器、计数器，计数器与所述微型计算机连接。电路中的故障所发出的光子，首先经过雪崩光电二极管检测；然后送到放大电路对信号进行放大处理；之后由整形电路进行整形处理，抑制本底噪声和各种辐射带来的干扰； 经过比较器与分频器选出满足条件的光子数据；最后由计数器实现对光子的计数处理。上述的集成电路故障的单光子检测系统中，所述单光子探测器采用雪崩光电二极管，它具有暗计数低和重复率较高等特点。上述的集成电路故障的单光子检测系统中，所述光子计数器部分与微型计算机之间通过PCI接口进行通信。本发明中，对整个检测系统的控制是一种微型计算机，它装载有对整个系统进行操作与控制的程序、以及装载有用于集成电路故障检测的程序与测试数据文件；并进行故障的分析与测试结果的显示与输出处理。被测集成电路芯片被放置在测试台上，它的电路结构数据文件和工艺数据文件等信息被保存在微型计算机中，以用于对电路中故障的检测。与现有技术相比，本发明具有如下优点和技术效果
本发明针对集成电路的故障检测，本发明提供一种单光子检测系统及检测方法。通过对被测电路施加设定的测试矢量，使得在故障处有信号的变迁，从而导致产生微弱的发光， 采用单光子探测器对故障的这种微弱发光进行探测，可以实现对电路中的多种故障类型例如固定型故障、桥接故障、信号完整性故障等进行检测与定位。
图1是实施方式中的集成电路故障的单光子检测系统的检测流程示意图。图2是实施方式中具有两个输入的AND门的一种多值逻辑真值表。图3是实施方式中一种测试矢量生成方法的具体实现流程图。图4是实施方式中的光子计数电路�？榈慕峁故疽馔肌�
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施作进一步说明，但对于本领域技术人员来说， 上述内容已经对本发明做了充分的公开，因此以下内容不用于限制本发明的实施和保护范围。如图1所示，一种集成电路故障的单光子检测系统，它的检测流程包括测试矢量的生成与施加，被测集成电路接收测试矢量数据，单光子探测器检测发光信号，再由系统进行光子计数、测试分析、测试数据输出显示等。以下分成四大部分进行说明。(1)一种集成电路故障的单光子检测系统，它的实现过程是对被测集成电路在原始输入端施加设定的测试矢量，使得在故障处发生信号的变迁(跳变)，从而导致产生微弱的发光，通过使用单光子探测器来对这种发光进行探测，实现对故障的检测与定位。为了激发电路中的故障，并导致它发出一定程度的可被单光子探测器检测的光，需要对电路的原始输入端施加一些电路输入矢量。测试矢量生成的任务就是通过使用电路的结构信息(保存在计算机中)来产生这种电路输入矢量。在产生了这种测试矢量之后，在对电路的故障进行检测时，是通过微型计算机把这种矢量传送到信号发生器中，由信号发生器生成这种测试矢量对应的数据，并施加到电路的原始输入端。“光子计数”部分对所捕获的光子进行处理，去除噪声，并对经鉴别之后的光子进行计数。例如，对被测电路中信号线的处理，实现过程如下对正常电路中的信号线和故障电路中的信号线分别进行发光的探测，并获得各自的光子计数。“测试分析”是首先对电路中故障类型的特点、每种故障对应的测试矢量的产生方法等进行确定；其次，通过对光子计数的数值的分析，来确定故障的位置。例如，对无故障的正常电路中的信号线和有故障的故障电路中的信号线分别进行光子计数处理，并获得各自的光子计数；通过对这两种光子计数的数值进行比较，若不相同，则判定相应的信号线发生了故障。此外，对整个检测系统的控制是一种微型计算机，它装载有对整个系统进行操作与控制的程序，实现对整个系统的控制与管理。“测试数据库”完成对测试数据的组织、存储和管理，该数据库包含了与被测集成电路有关的所有数据，例如，电路结构的逻辑级描述如门级描述、电路结构的高层次行为描述如VHDL文件、电路的特性曲线图、电路中信号线的故障集、测试矢量集即测试集、针对一些故障类型的相关信号线的光子计数的数值、测试分析的结果等。“数据输出显示”是在微型计算机的显示器上输出电路测试的结果，并说明电路中的哪些信号线或电路�？榉⑸四闹掷嘈偷墓收�。(2)对集成电路故障的单光子检测系统的设计，其中的一个主要任务是电路输入矢量的生成即测试矢量生成。通过在电路的输入端施加这种测试矢量，以激活故障并使其发光；用单光子探测器检测这种发光，实现对故障的检测与定位。本发明提供了对这种测试矢量的一种生成方法。下面以对串扰故障的测试矢量生成为例，详细描述该方法的实现过程。(2. 1)在讨论串扰时，首先要确定干扰源和被干扰对象。把干扰源称为侵略线，它是由于自身的逻辑电平发生变化，通过耦合而对其他信号线产生影响的这种信号线；把被干扰对象称为受害线，它是受到其他信号线的影响而导致自身逻辑电平发生异常。串扰所带来的负面影响主要是由串扰引起的尖峰脉冲、由串扰引起的时滞故障。 对这两种情形进行检测时都需要一种电路输入矢量对。例如，对检测串扰引起的尖峰脉冲，需要寻找具有如下特点的电路输入矢量该矢量是由两个电路输入矢量所组成的一个矢量对(这里设为S1和&)，当把这种矢量施加于电路的原始输入端时，将使侵略线上的信号发生跳变，并将故障效应传播到电路的原始输出端。例如，对侵略线上的信号的正跳变所引起的受害线上的串扰，即在受害线上产生一个正脉冲，此时若不考虑时序且在最简化的情况下，测试矢量即S1和&应满足如下的条件=S1使得受害线的值为0，侵略线的值为0，并且能够把受害线的值敏化到电路的原始输出端A2使得受害线的值为0，侵略线的值为1，并且能够把受害线的值敏化到电路的原始输出端。对检测串扰引起的时滞故障，需要寻找具有如下特点的电路输入矢量该矢量是由两个电路输入矢量所组成的一个矢量对(这里设为&和、)，其中&为初始化矢量，是用于初始化电路中各个信号线的状态，S4是用于在一些信号线上产生所需要的信号跳变，以激发相应的状态转变，并激励出对应的时滞故障。如果在电路中存在该测试矢量对应的串扰故障，则在对电路的原始输入端施加了该测试矢量后，则在给定的时间限制内，可以在电路的原始输出端检测到不正确的电路输出响应。(2. 2)针对串扰故障的特点，定义一种多值逻辑系统，以对在串扰情况下电路中信号线的取值以及时间参数和时延等进行表示，例如对每个信号线定义五种取值0，1，X，U 和D。U和D的含义是当信号线的值为U时，则表示该信号线发生正跳变(0至1);当信号线的值为D时，则表示信号线发生负跳变(1至0);X的含义是信号线的值为随意或不关心。 例如，对具有两个输入的AND门，在不考虑时序且在最简单的情况下，定义它的一种多值逻辑真值表如图2所示。这里X1和&表示AND门的两个输入，y表示AND门的输出。通过这样的定义，可以分别用一个矢量来表示在(2. 1)中定义的矢量对S1和&、S3 和、，该矢量的各个分量取值为如下五个值0，1，X，U和D中的一个。(2. 3)对串扰故障的测试矢量生成，本实施方式所提供的测试矢量生成方法，其流程如图3所示。设被测电路的原始输入信号线的个数为η ；设被测电路中的所有故障组成的集合为G，即G为故障集；设被测电路的测试集为Τ，并且把T的初值置为空集。本实施方式用如下的方法产生一些测试矢量。步骤如下
(2.3. 1)产生如下的2η+2个电路输入矢量，并对每一个矢量进行故障仿真。产生各个分量的值都为0的一个电路输入矢量，把该矢量命名为、=(0，0，XXX，0)。使用并发性故障仿真计算矢量、所能检测的故障，并将这些故障从故障集G中去除；若矢量、所能检测的故障数目大于或等于1，则将矢量、添加到集合T中。类似地，生成各个分量的值都为1的一个电路输入矢量，把该矢量命名为t2= (1，1，XXX，1)；生成一个分量的值为 U，其余分量的值都为0的如下η个矢量(U，0，XXX，0)，(0，U, XXX，0)，X X X， (0，0，XXX，U)，把它们依次命名为t3，t4，XXX，tn+2 ；生成一个分量的值为D，其余分量的值都为 1 的如下 η 个矢量(D，1，XXX，1)，(1，D, XXX，1)，X X X，(1，1， XXX，D)，把它们依次命名为 tn+3，tn+4，xxx，t2n+2。对这 ai+i 个矢量 t2，t3，XXX， t2n+2，依次进行并发性故障仿真，并计算每个矢量所能检测的故障，并将这些故障从故障集 G中去除；若矢量、(j=2，3，XXX，2n+2)所能检测的故障数目大于或等于1，则将矢量、添加到集合T中。(2. 3. 2)若故障集G中还有故障未被检测，则产生两个电路输入矢量，并把它们命名为L1和L2。这里，电路输入矢量(L1或L2)的生成方法如下每个原始输入信号线的值可以取0，1，X，U和D中的一个值；把每个原始输入信号线的值取0，1，X，U和D等的概率置成相同，都为0.2 ；通过随机的方式，来确定电路的每个原始输入信号线的取值(即取0，1，X，U 和D中的一个值);之后，由电路的每个原始输入信号线的取值，就构成了电路的一个输入矢量。计算矢量L1与集合T中的各个矢量的汉明距离，并把所有的这些汉明距离的值相加，把得到的汉明距离的和命名为H(L1)；类似地，计算矢量L2与集合T中的各个矢量的汉明距离，并把所有的这些汉明距离的值相加，把得到的汉明距离的和命名为H(L2)。这里两个矢量的汉明距离是它们之间不相同的分量的个数。若H(L1)3H(L2),则选取矢量L1，否则选取矢量L2 ；把用这种方式从L1和L2中所选出的那个矢量命名为L3。使用并发性故障仿真计算矢量L3所能检测的故障，并将这些故障从故障集G中去除。若矢量L3所能检测的故障数目大于或等于1，则将矢量L3添加到集合T中。(2. 3. 3)若故障集G中还有未被检测的故障，则对步骤(2. 3. 2)重复进行M次，这里M为一个预先给定的正整数。(2. 3. 4)在如上的步骤完成之后，若故障集G中还有未被检测的故障，则使用如下的步骤继续产生电路的输入矢量串扰故障的激活与故障效应的传播、相容性检查、静态时序分析。(2. 3. 4. 1)串扰故障的激活。对G中的一个未被检测的故障gl，给故障&所涉及的侵略线和受害线赋设定值；
(2. 3. 4. 2)故障效应的传播。对受害线进行通路敏化，具体实现过程如下从故障位置到电路的一切原始输出端的全部通路同时进行敏化，使得对通路上的相关门电路(或电路�？�)的其它输入节点取一些固定值，并将故障效应传播到电路的至少一个原始输出端。例如，对AND门，其它的输入端的值都取固定值1时，可以将故障效应进行传播；对OR门，其它的输入端的值都取固定值0时，可以将故障效应进行传播。(2. 3. 4. 3)相容性检查与时序分析。从敏化通路的输出端沿各门电路(或电路模块)返回到电路的输入端，在此过程中对各个门电路(或电路�？�)进行前后向蕴涵操作和时序分析；之后检查输入端相关门电路(或电路模块)的各输入节点的逻辑值是否一致，即前后是否有矛盾。如果无矛盾，则所得到的电路输入矢量就为这种串扰故障的测试矢量，记该矢量为L4,并把L4添加到集合T中，然后使用并发性故障仿真计算矢量L4所能检测的其他故障，并将这些故障和故障&从故障集G中去除；如果有矛盾，则说明对故障&不能产生检测它的测试矢量，将故障&从故障集G中去除。(2. 3. 4. 4)若故障集G中还有未被检测的故障，则对G中的另一个未被检测的故障，重复进行如上的步骤(2. 3. 4. 1)，(2. 3. 4. 2)和(2. 3. 4. 3)，直至故障集G为空集，即对G 中的每一个故障都完成了相关操作。(2. 4)所获得的集合T中的矢量组成了被测电路的测试集，即集合T中的矢量就是检测电路中故障的测试矢量。至此整个测试矢量生成方法结束。
以上以串扰故障的测试矢量生成为例，说明了在集成电路故障的单光子检测系统中测试矢量生成方法的实现过程，该方法也适合于对其他的故障类型进行测试矢量的生成，例如固定型故障、桥接故障等。
(3)本发明所述的集成电路故障的单光子检测系统的“光子计数电路�？椤钡木咛迨迪秩缤�4所示。“光子计数电路模块％雪崩光电二极管、放大电路、整形电路、比较器、分频器、计数器等所组成。对被测电路的输入端施加测试矢量，使得电路中的故障发出一些光子信号，经过雪崩光电二极管检测这些光子信号；并送到放大电路对这些信号进行放大处理；然后由整形电路进行整形处理，抑制本底噪声和各种辐射带来的干扰；经过比较器与分频器选出满足条件的光子信号；最后由计数器完成对光子的计数处理。计数器的设计由雪崩光电二极管、CPLD芯片及其外围电路组成。使用的雪崩光电二极管的波长响应范围为300nm-1100nm ；通过PCI接口把所探测到的有关光子的数据传送到一种微型计算机中。CPLD芯片选用Altera公司的EPM7128S作为核心器件，利用VHDL语言对该CPLD进行编程，完成光子的计数处理；CPLD芯片的数据通过PCI接口传送到微型计算机中，之后由整个检测系统的“测试分析”部分进行处理。这里整个系统的“测试分析”部分、“测试数据库”部分、“数据输出显示”部分等这三个部分的设计是通过软件来实现的，在微型计算机中运行。(4)本发明所述的集成电路故障的单光子检测系统的操作主要包括如下步骤。步骤1 启动用于整个系统控制的微型计算机，它装载有对整个系统进行操作与控制的程序。步骤2 启动单光子探测器；
步骤3 给被测集成电路的原始输入端施加测试矢量信号；
步骤4:将单光子探测器作用于被测集成电路，即对准电路中的一个位置(例如信号线等)，并探测该位置的发光，进行光子计数。步骤5 对集成电路中的其他位置(信号线等)依次重复进行步骤3和步骤4的操作，直至对电路中的所有需要检测的位置都进行了对应的光子计数。步骤6 比较被测集成电路与正常集成电路在一些位置(或信号线)的光子计数的数据，从而确定被测集成电路中故障的物理位置或发生故障的信号线。
权利要求
1.一种集成电路故障的单光子检测方法，其特征在于包括如下步骤(1)通过对被测电路施加测试矢量，使得在故障处有信号的变迁，从而导致产生微弱的发光；(2)采用单光子探测器对故障的所述微弱发光进行探测；(3)利用微型计算机对探测数据与测试数据库中的数据进行比较和分析，实现对故障位置的检测与定位； 4)微型计算机的显示器输出电路检测的结果，包括电路中的哪些信号线或电路�？榉⑸四闹掷嘈偷墓收稀�
2.根据权利要求1所述的集成电路故障的单光子检测方法，其特征在于步骤(1)所述测试矢量的生成方法包括首先使用一个以上已知确定值的电路输入矢量去检测电路中的一些故障；随后使用随机的方式产生一个以上的电路输入矢量，去检测电路中的另一些故障；最后通过定义多值逻辑并使用被测电路的结构特性，来产生用于检测电路中的其余未被检测故障的测试矢量。
3.根据权利要求1所述的集成电路故障的单光子检测方法，其特征在于步骤(3)包括 利用微型计算机比较被测集成电路与无故障集成电路在设定位置或信号线的光子计数的数据，最后确定被测集成电路中故障的类型及故障的物理位置或发生故障的信号线，所述故障类型包括固定型故障、桥接故障和信号完整性故障。
4.根据权利要求3所述的集成电路故障的单光子检测方法，其特征在于步骤(3)中，对无故障的正常电路中的信号线和有故障的故障电路中的信号线分别进行光子计数处理，并获得各自的光子计数；通过对这两种光子计数的数值进行比较，若不相同，则判定相应的信号线发生了故障。
5.根据权利要求1所述的集成电路故障的单光子检测方法，其特征在于步骤(1)之前还包括对电路中故障类型的特点、每种故障对应的测试矢量的生成方法进行确定。
6.根据权利要求5所述的集成电路故障的单光子检测方法，其特征在于步骤(3)所述测试数据库中包括电路结构的描述、电路的特性曲线图、电路中信号线的故障集、测试矢量集、针对故障类型的相关信号线的光子计数的数值和测试分析的结果。
7.一种集成电路故障的单光子检测系统，其特征在于包括被测集成电路、光子计数电路�？椤⑿藕欧⑸骱臀⑿图扑慊凰龉庾蛹剖缏纺？橛胛⑿图扑慊樱糜诩觳獾缏分械墓收纤⒊龅墓庾邮凰鲂藕欧⑸饔胛⑿图扑慊樱糜诮邮瘴⑿图扑慊牟馐允噶坎⑸啥杂Φ氖荩缓笫┘拥奖徊饧傻缏返脑际淙攵耍凰鑫⑿图扑慊糜诳刂普鱿低车墓ぷ鳎ㄌ峁┛刂菩藕鸥庾蛹剖缏纺？椋� 以实现对电路中故障发光的检测；使用电路的结构信息产生被测集成电路的测试矢量；将光子计数电路�？榉⑺偷奶讲馐萦胛⑿图扑慊赜械牟馐允菘庵械氖萁斜冉虾头治觯迪侄怨收衔恢玫募觳庥攵ㄎ弧�
8.根据权利要求7所述的集成电路故障的单光子检测系统，其特征在于所述光子计数电路模块包括顺次连接的单光子探测器、放大电路、整形电路、比较器、分频器、计数器，计数器与所述微型计算机连接。
9.根据权利要求8所述的集成电路故障的单光子检测系统，其特征在于所述单光子探测器采用雪崩光电二极管。
10.根据权利要求8所述的集成电路故障的单光子检测系统，其特征在于所述光子计数器部分与微型计算机之间通过PCI接口进行通信。
全文摘要
本发明提供一种集成电路故障的单光子检测方法及检测系统。检测方法是通过对被测电路施加设定的测试矢量，使得在故障处有信号的变迁，从而导致产生微弱的发光，采用单光子探测器对故障的这种微弱发光进行探测。检测系统包括被测集成电路、光子计数电路模块、信号发生器和微型计算机，微型计算机控制整个系统的工作，通过微型计算机接收光子计数电路�？榉⑺偷奶讲馐荩缓蠖蕴讲馐萦氩馐允菘庵械氖萁斜冉虾头治觯迪侄缘缏分泄收系募觳庥攵ㄎ�。本发明可以直接对集成电路中的多种类型故障例如固定型故障、桥接故障、信号完整性故障等，进行检测与定位，从而提高电路芯片产品的质量与可靠性。
文档编号G01R31/317GK102435936SQ20111037601
公开日2012年5月2日 申请日期2011年11月23日 优先权日2011年11月23日
发明者吴培亨, 李炜, 潘中良, 陈翎 申请人:华南师范大学
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