专利名称:分选机测试夹紧机构的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及半导体加工工艺中的分选机,特别是一种分选机测试夹紧机构。
背景技术:
分选机是半导体加工工艺中,最后对集成电路产品进行品质测试,按不同的品质,分类收集成品的机械设备。测试夹紧机构是分选机的核心功能机构。
现有分选机测试夹紧机构,其结构即工作原理请参阅图1。如图所示以两侧气缸为动力源,由该气缸驱动的压块A、B推动左、右测试簧片往中间靠拢,使测试簧片的上部顶端与定位于中间位置的集成电路的引脚接触;测试仪便通过测试簧片向集成电路通电检测集成电路的品质。该机构的缺陷是左、右两侧的两个气缸分别驱动左、右压块A、B,由于左、右气缸的驱动动作很难达到一致,因此,驱动压块A、B时速度、力量均有所不同,相对于集成电路的行程也会不一致,从而引起左、右测试簧片与集成电路引脚接触不同时,接触力不一致,簧片的弯曲变形量不一致,进而引起测试不准确,误测率高、速度慢、测试簧片寿命短,集成电路引脚被弄弯等,直接影像了产品的质量。
实用新型内容本实用新型要提供一种分选机测试夹紧机构,解决现有机构左、右二侧气缸驱动方式所存在的上述技术缺陷。
为解决上述技术问题,本实用新型是这样实现的一种分选机测试夹紧机构,由簧片机构和压靠机构组成,该簧片机构包括一测试簧片保持架和位于测试簧片保持架上的左、右测试簧片,其特征在于该压靠机构包括一气缸及由该气缸驱动的压块,该驱动压块分别位于左、右测试簧片两侧。
所说的气缸位于簧片机构的竖直上方。
藉上述结构,本实用新型的优点是①本实用新型的压靠机构包括一气缸及由该气缸驱动的压块,该驱动压块分别位于左、右测试簧片两侧。该单气缸驱动压块工作的结构比左、右侧双气缸驱动机构更利于压块保持相同速度、力量,相对于集成电路保持一致的行程,且节省了材料。
②本实用新型的气缸可竖直设置于簧片机构上方,有利于减小整个机构的占用面积。
图1是习用分选机测试夹紧机构的结构示意图。
图2是本实用新型的结构示意图。
图中1-簧片机构;11-测试簧片保持架;12、13-测试簧片;2-压靠机构;21-气缸; 22、23-压块;3-集成电路。
具体实施方式
请参阅图2,它是本实用新型分选机测试夹紧机构的结构示意图。如图所示它由簧片机构1和压靠机构2组成,该簧片机构1包括一测试簧片保持架11和位于测试簧片保持架11上的左、右测试簧片12、13,该压靠机构2包括一气缸21及由该气缸驱动的压块22、23,该驱动压块22、23分别位于左、右测试簧片12、13两侧。
气缸21位于簧片机构1的竖直上方。
使用时,以气缸21为动力源,由该气缸21驱动的压块22、23推动左、右测试簧片12、13往中间靠拢,使测试簧片12、13的上部顶端与定位于中间位置的集成电路3的引脚接触;测试仪便通过测试簧片12、13向集成电路通电检测集成电路的品质。
权利要求1.一种分选机测试夹紧机构,由簧片机构和压靠机构组成,该簧片机构包括一测试簧片保持架和位于测试簧片保持架上的左、右测试簧片,其特征在于该压靠机构包括一气缸及由该气缸驱动的压块,该驱动压块分别位于左、右测试簧片两侧。
2.根据权利要求1所述的分选机测试夹紧机构,其特征在于气缸位于簧片机构的竖直上方。
专利摘要本实用新型涉及半导体加工工艺中的分选机,特别是一种分选机测试夹紧机构。它由簧片机构和压靠机构组成,该簧片机构包括一测试簧片保持架和位于测试簧片保持架上的左、右测试簧片,该压靠机构包括一气缸及由该气缸驱动的压块,该驱动压块分别位于左、右测试簧片两侧。该单气缸驱动压块工作的结构比左、右侧双气缸驱动机构更利于压块保持相同速度、力量,相对于集成电路保持一致的行程,且节省了材料。
文档编号G01R31/26GK2664799SQ200320107978
公开日2004年12月22日 申请日期2003年11月12日 优先权日2003年11月12日
发明者梁大明 申请人:梁大明