ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø-www.yaxin868.com

ɽ¶«ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø»ú´²ÓÐÏÞ¹«Ë¾Ï³´²¹Ù·½ÍøÕ¾½ñÌìÊÇ£º2025-06-06Çл»³ÇÊÐ[È«¹ú]-ÍøÕ¾µØÍ¼
ÍÆ¼ö²úÆ· :
ÍÆ¼öÐÂÎÅ
¼¼ÊõÎÄÕµ±Ç°Î»ÖÃ:¼¼ÊõÎÄÕÂ>

ѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¼°ÆäÖÆ×÷·½·¨

ʱ¼ä:2025-06-04    ×÷Õß: ¹ÜÀíÔ±

רÀûÃû³Æ£ºÑ¹Á¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¼°ÆäÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þµÄÄÚ²¿½á¹¹£¬ÓÈÆäÊÇÒ»ÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¡£±¾·¢Ã÷»¹Éæ¼°Ò»ÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨¡£
±³¾°¼¼Êõ£º
ѹÁ¦´«¸ÐÆ÷Êǽ«Ñ¹Á¦×ª»»ÎªµçÐźŵÄÒ»ÖÖÆ÷¼þ¡£Í¨³££¬Ñ¹Á¦´«¸ÐÆ÷±¾ÉíÊÇǶÓеç×èµÄµÄ΢»úе±¡Ä¤£¬Ñ¹×èÓÃÀ´¼ì²âѹÁ¦¡£Ìå΢»úе¼Ó¹¤ºÍ±íÃæÎ¢»úе¼Ó¹¤ÊÇÖÆÔ챡ĤµÄÁ½ÖÖÖ÷Òª·½·¨¡£ÔÚÌå΢»úе¼Ó¹¤ÖУ¬Ñ¡ÔñÐÔµÄÈ¥³ý¹èƬÉϵÄÌå¹è²ÄÁÏ£¬Ö±ÖÁÁôÏÂÒ»²ãµ¥¾§¹è±¡Ä¤¡£Ê¹Óø¯Ê´×ÔÍ£Ö¹¼¼ÊõÀ´¿ØÖƱ¡Ä¤ºñ¶È¡£±íÃæÎ¢»úеÊÇÏȽ«±¡Ä¤µí»ýÔÚÎþÉü²ãÉÏ£¬È»ºóÔÙÑ¡ÔñÐÔʪ·¨¿ÌÊ´ÎþÉü²ã£¬×îºóÐγɱ¡Ä¤¡£Ìå΢»úе¼Ó¹¤Í¨¹ýÓ¦Óõ绯ѧ¸¯Ê´×ÔÍ£Ö¹¼¼Êõ£¬´Ó¹èƬ±³ÃæÐγÉѹÁ¦¿Ú£¬Ê¹ÓÃÍâÑÓ²ãÐγÉ΢»úе½á¹¹¡£Ìå΢»úе¼Ó¹¤Ê¹Óõ绯ѧ¸¯Ê´·½·¨£¬¶Ô±¡Ä¤ºñ¶È¿ØÖƽϲ¶øÆäÓë CMOS¹¤ÒÕ¼æÈÝÐԱȽϲ±íÃæÎ¢»úе¼Ó¹¤¼¼Êõ£¬Í¨¹ýÎþÉü²ãµÄµí»ý¿ÉÒÔ¾«È·¿ØÖƱ¡Ä¤ºñ¶È£¬Ê¹ÓÃÕýÃæ¼Ó¹¤¿ÉÒÔÂú×ãÖÆÔì¿ÕÇ»ºÍÊÍ·Å΢»úе½á¹¹£¬Ó봫ͳ¹è±íÃæ¼Ó¹¤CMOS¹¤ÒÕ¼æÈÝÐԺܺá£

·¢Ã÷ÄÚÈÝ
±¾·¢Ã÷ËùÒª½â¾öµÄ¼¼ÊõÎÊÌâÊÇÌṩһÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¼°ÆäÖÆ×÷·½·¨£¬²ÉÓñíÃæÎ¢»úе¼Ó¹¤¼¼ÊõµÄ¿ÕÇ»½á¹¹£¬¿ÉÒԵõ½Õæ¿Õ¿ÕÇ»¼°ºñ¶È¾ù„òµÄ±¡Ä¤£¬ÇÒÄÜÓëÏÖÓйè±íÃæCMOS¹¤ÒսϺõļæÈÝ£¬²¢ÇÒÄܹ»Ê¹µÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¾ßÓиüºÃµÄÐÔÄÜ¡£Îª½â¾öÉÏÊö¼¼ÊõÎÊÌ⣬±¾·¢Ã÷ѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄ¼¼Êõ·½°¸ÊÇ£¬ÔÚ¹è³Äµ×ÉÏÉèÖÃÓпÕÇ»£¬ËùÊö¿ÕÇ»µÄÖÜΧÉèÖÃÓжà¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲۣ¬ËùÊö¿ÕÇ»ÉÏ·½ÉèÖÃÓб¡Ä¤²ã£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÓɶà¸öÊͷŲÛÖ®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬Í¬Ê±Â¶³öÊͷŲ۵ÄÒ»²¿·Ö£¬ ËùÊö±¡Ä¤²ãÉϸ²¸ÇÓÐÌî³ä²ã£¬ËùÊöÌî³ä²ãͨ¹ýÊͷŲÛÑÓÉìµ½¿ÕÇ»ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»ÃÜ·â¡£±¾·¢Ã÷»¹¹«¿ªÁËÒ»ÖÖÉÏÊöѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬Æä¼¼Êõ·½°¸ÊÇ£¬°üÀ¨Èçϲ½ÖèµÚÒ»²½£¬Í¨¹ýÒ»²ãÓ²ÑÚÄ£¿ÌÊ´³ö¿ÕÇ»£¬ËùÊö¿ÕÇ»µÄÖÜΧ¿ÌÊ´³ö¶à¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲۣ»µÚ¶þ²½£¬¿ÕÇ»ÄÚÌî³äÎþÉü²ã£»µÚÈý²½£¬Í¨¹ýƽ̹»¯¹¤ÒÕ£¬±£Áô¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏ£¬È¥µô¿ÕÇ»ÒÔÍâµÄÎþÉü²ã²ÄÁÏ£»µÚËIJ½£¬µí»ý±¡Ä¤²ã²ÄÁÏ£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÓɶà¸öÊͷŲÛÖ®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬Í¬Ê±Â¶³öÊͷŲ۵ÄÒ»²¿·Ö£»µÚÎå²½£¬²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´¹¤ÒÕ£¬Í¨¹ýÊͷŲ۽«¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏÈ¥³ý£»µÚÁù²½£¬ÔÚËùÊö±¡Ä¤²ãÉϵí»ýÌî³ä²ã£¬ËùÊöÌî³ä²ãͨ¹ýÊͷŲÛÑÓÉìµ½¿ÕÇ»ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»ÃÜ·â¡£
±¾·¢Ã÷ͨ¹ýÔÚ¿ÕÇ»¿ÌʴʱÔÚ¿ÕÇ»ÖÜΧÐγÉһЩÓë¿ÕÇ»Á¬Í¨µÄÊͷŲۣ¬¿ÉÒԵõ½Õæ¿Õ¿ÕÇ»¼°ºñ¶È¾ù„òµÄ±¡Ä¤£¬ÇÒÄÜÓëÏÖÓйè±íÃæCMOS¹¤ÒսϺõļæÈÝ£¬²¢ÇÒÄܹ»Ê¹µÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¾ßÓиüºÃµÄÐÔÄÜ¡£


ÏÂÃæ½áºÏ¸½Í¼ºÍʵʩÀý¶Ô±¾·¢Ã÷×÷½øÒ»²½ÏêϸµÄ˵Ã÷ͼ1Ϊ±¾·¢Ã÷ѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄ¸©ÊÓͼ£»Í¼2Ϊͼ1ÖÐλÖÃÒ»µÄÆÊÃæÍ¼£»Í¼3Ϊͼ1ÖÐλÖöþµÄÆÊÃæÍ¼£»Í¼4 ͼ9ΪÏÖÓеÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹ÖÆ×÷·½·¨¸÷²½ÖèµÄʾÒâͼ£»Í¼10ΪÏÖÓеÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄ¸©ÊÓͼ£»Í¼11 ͼ16Ϊ±¾·¢Ã÷ѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹ÖÆ×÷·½·¨¸÷²½ÖèµÄʾÒâͼ¡£Í¼Öи½Í¼±ê¼ÇΪ£¬1.ÊͷŲۣ»2.¹è³Äµ×£»3.¿ÕÇ»£»4.±¡Ä¤²ã£»5.Ìî³ä²ã£»6.Ó²ÑÚĤ£»7.ÎþÉü²ã£»8.Êͷſס£
¾ßÌåʵʩÀý·½Ê½±¾·¢Ã÷¹«¿ªÁËÒ»ÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹£¬Èçͼ1 ͼ3Ëùʾ£¬ÔÚ¹è³Äµ×2ÉÏÉèÖÃÓпÕÇ»3£¬ËùÊö¿ÕÇ»3µÄÖÜΧÉèÖÃÓжà¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲÛ1£¬ËùÊö¿ÕÇ»3ÉÏ·½ÉèÖÃÓб¡Ä¤²ã4£¬ËùÊö±¡Ä¤²ã4Óɶà¸öÊͷŲÛ1Ö®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬Í¬Ê±Â¶³öÊͷŲÛ1 µÄÒ»²¿·Ö£¬ËùÊö±¡Ä¤²ã4Éϸ²¸ÇÓÐÌî³ä²ã5£¬ËùÊöÌî³ä²ã5ͨ¹ýÊͷŲÛ1ÑÓÉìµ½¿ÕÇ»3ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»3ÃÜ·â¡£ËùÊö±¡Ä¤²ã4Ϊ¶à¾§¹è²ã¡£ËùÊöÌî³ä²ã5Ϊµª»¯¹è²ã¡£ÏÖÓеÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹ÖÆ×÷·½·¨Èçͼ4 ͼ9Ëùʾ£¬°üÀ¨µÚÒ»²½£¬Èçͼ4Ëùʾ£¬Í¨¹ýÏÖÓÐCMOS¹µ²Û¿ÌÊ´¹¤ÒÕ£¬Ê¹Óõª»¯¹è×÷ΪӲÑÚÄ£6£¬¿ÌÊ´Ò»¸ö¿ÕÇ»3 £»¿ÉÒÔ±£Áôµª»¯¹èÓ²ÑÚÄ££¬Ò²¿ÉÒÔͨ¹ýʪ·¨È¥³ý£»±¾ÀýÖвÉÓõª»¯¹èÓ²ÑÚÄ£²¢±£Áô£»µÚ¶þ²½£¬Èçͼ5Ëùʾ£¬¿ÕÇ»ÄÚ3Ìî³äÎþÉü²ã7£¬ÎþÉü²ã7 ¡ª°ã²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´ËÙÂʽϿìÇÒÓë¹è»ùÌå¼°±¡Ä¤²ãÑ¡Ôñ±ÈºÜ¸ßµÄ²ÄÁÏ£¬±¾ÀýÖÐʹÓöþÑõ»¯¹è×÷ΪÎþÉü²ãÌî³ä²ÄÁÏ£»µÚÈý²½£¬Í¨¹ýƽ̹»¯¹¤ÒÕ£¬±£Áô¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏ£¬È¥µô¿ÕÇ»ÒÔÍâµÄÎþÉü²ã²ÄÁÏ£» ±¾ÀýÖвÉÓû¯Ñ§»úеÅ׹ⷽ·¨È¥³ý¿ÕÇ»ÍâµÄ¶þÑõ»¯¹è£¬Í£ÁôÔÚµª»¯¹è±íÃæ£»µÚËIJ½£¬Èçͼ6Ëùʾ£¬µí»ý±¡Ä¤²ã4²ÄÁÏ£¬±¾ÀýÖвÉÓöྦྷ¹è×÷Ϊ¸Ã±¡Ä¤£»µÚÎå²½£¬Èçͼ7Ëùʾ£¬±íÃæÎ¢»úе¼Ó¹¤¹¤ÒÕÔÚ±¡Ä¤²ã¿ÌʴʱÔÚ¿ÕÇ»ÉÏ·½Î»ÖÿÌʴһЩÊÍ·Å¿×8£¬ÊÍ·Å¿×8´©Í¨±¡Ä¤²ã4²¢Ê¹¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã7²ÄÁ϶³ö£»µÚÁù²½£¬Èçͼ8Ëùʾ£¬²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´¹¤ÒÕ£¬Í¨¹ýÊͷſ׽«¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏÈ¥³ý£¬ Èçͼ8ËùʾΪÎþÉü²ãÈ¥³ýºóʾÒâͼ£»µÚÆß²½£¬Èçͼ9Ëùʾ£¬²ÉÓõÈÀë×ÓÔöÇ¿»¯Ñ§ÆøÏàµí»ý(PECVD)»òµÍÑ¹ÆøÏàµí»ý (LPCVD)¹¤ÒÕ¶ÔÊͷſ׻òÊͷŲ۽øÐÐÌî³ä£¬´Ó¶ø¿ÉÒԵõ½Õæ¿ÕÃܱյĿÕÇ»¡£¾­¹ýÉÏÊö¸÷²½Ö裬µÃµ½ÁËÈçͼ10ËùʾµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¡£
±¾·¢Ã÷»¹ÌṩÁËÒ»ÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬°üÀ¨Èçϲ½ÖèµÚÒ»²½£¬Í¨¹ýCMOS¹µ²Û¿ÌÊ´¹¤ÒÕ£¬Ê¹Óõª»¯¹è×÷ΪӲÑÚĤ£¬Í¨¹ýÓ²ÑÚÄ£¿ÌÊ´³ö¿ÕÇ»£¬ËùÊö¿ÕÇ»µÄÖÜΧ¿ÌÊ´³ö¶à¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲۣ¬¿ÉÒÔ±£Áôµª»¯¹èÓ²ÑÚÄ££¬Ò²¿ÉÒÔͨ¹ýʪ·¨È¥³ý£»µÚ¶þ²½£¬¿ÕÇ»ÄÚÌî³äÎþÉü²ã£¬ÎþÉü²ã²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´ËÙÂʽϿìÇÒÓë¹è»ùÌå¼°±¡Ä¤²ãÑ¡Ôñ±ÈºÜ¸ßµÄ²ÄÁÏ£¬±¾ÊµÊ©ÀýÖвÉÓöþÑõ»¯¹è£»µÚÈý²½£¬Í¨¹ýƽ̹»¯¹¤ÒÕ£¬±£Áô¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏ£¬È¥µô¿ÕÇ»ÒÔÍâµÄÎþÉü²ã²ÄÁÏ£» ¿É²ÉÓû¯Ñ§»úеÅ׹ⷽ·¨È¥³ý¿ÕÇ»ÍâµÄ¶þÑõ»¯¹è£¬Í£ÁôÔÚµª»¯¹è±íÃæ£»ÒÔÉϸ÷²½ÖèÓëÏÖÓм¼ÊõÖеIJ½ÖèÏà½ü£¬ÆäÇø±ðÔÚÓÚ±¾·¢Ã÷ÖÐËù¿ÌÊ´µÄ¿ÕÇ»ÊÇ´øÓÐÊͷŲ۵ĿÕÇ»¡£µÚËIJ½£¬Èçͼ11ºÍͼ12Ëùʾ£¬Í¼11Ϊͼ1ÖÐλÖÃÒ»µÄÆÊÃæÍ¼£¬Í¼12Ϊͼ1ÖÐλÖöþµÄÆÊÃæÍ¼£¬µí»ý±¡Ä¤²ã4²ÄÁÏ£¬ËùÊö±¡Ä¤²ã4Óɶà¸öÊͷŲÛ1Ö®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬ ͬʱ¶³öÊͷŲ۵ÄÒ»²¿·Ö£»µÚÎå²½£¬Èçͼ13ºÍͼ14Ëùʾ£¬Í¼13Ϊͼ1ÖÐλÖÃÒ»µÄÆÊÃæÍ¼£¬Í¼14Ϊͼ1ÖÐλÖöþµÄÆÊÃæÍ¼£¬²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´¹¤ÒÕ£¬Í¨¹ýÊͷŲÛ1½«¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã7²ÄÁÏÈ¥³ý£¬¿ÉÒÔ²ÉÓÃÇâ·úËὫ¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã½«¶þÑõ»¯¹èÎþÉü²ãÈ¥³ý£¬ÕâÑù¶Ôµª»¯¹èÓ²ÑÚĤ6¡¢¶à¾§¹è±¡Ä¤4ºÍ¹è³Äµ×2»ù±¾ÎÞËðʧ£»µÚÁù²½£¬Èçͼ15ºÍͼ16Ëùʾ£¬Í¼15Ϊͼ1ÖÐλÖÃÒ»µÄÆÊÃæÍ¼£¬Í¼16Ϊͼ1ÖÐλÖöþµÄÆÊÃæÍ¼£¬ÔÚËùÊö±¡Ä¤²ãÉϵí»ýÌî³ä²ã£¬ËùÊöÌî³ä²ãͨ¹ýÊͷŲÛÑÓÉìµ½¿ÕÇ»ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»Ãܷ⣬¿ÉÒÔ²ÉÓõÈÀë×ÓÔöÇ¿»¯Ñ§ÆøÏàµí»ý(PECVD)»òµÍÑ¹ÆøÏàµí»ý(LPCVD)¹¤ÒÕ¶ÔÊͷŲ۽øÐÐÌî³ä¡£¾­¹ýÉÏÊö¸÷²½Ö裬¾Í¿ÉÒԵõ½Èçͼ1 ͼ3ÖеÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¡£Í¼1 ͼ3ÖÐËùʾµÄ±¾·¢Ã÷ËùÌṩµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹Óëͼ9ºÍͼ10ÖÐËùʾµÄÏÖÓеÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹Ïà±È£¬ÏÖÓеÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹ÊÇÔÚ±¡Ä¤4ÉÏÉèÖÃÊÍ·Å¿×8£¬ È»ºó½«¿ÕÇ»ÖеÄÎþÉü²ã7È¥³ý¡£Ò»°ãÕâЩÊÍ·Å¿×8µÄλÖö¼»á¿¿½ü¿ÕÇ»3µÄ±ßÔµ£¬¶ø¶ÔÓÚѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¶øÑÔ£¬¿¿½ü¿ÕÇ»3±ßÔµµÄ±¡Ä¤²¿·ÖÓÉÓÚ¿ÕÇ»±ßÔµºÍ¿ÕÇ»µÄÂä²î£¬ÔÚÊܵ½Ñ¹Á¦×÷ÓúóÐαäÁ¿½ÏÆäËü²¿·Ö¸ü´ó£¬Òò´ËÕⲿ·ÖµÄ±¡Ä¤ÊǶÔѹÁ¦×÷Ó÷´Ó¦×îÃô¸ÐµÄ²¿Î»£¬¶øÔÚÕâ¸öÇøÓòÄÚÖÆ×÷ÊÍ·Å¿×8£¬Ö±½ÓÓ°ÏìÁËѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄÐÔÄÜ¡£±¾·¢Ã÷ÖУ¬ÓÉÓÚÖ±½ÓÔÚ¿ÕÇ»ÖÜΧÉèÖÃÊͷŲÛ1ÓÃÀ´È¥³ýÎþÉü²ã7£¬¶Ô±¡Ä¤²»½øÐÐÈÎºÎµÄÆÆ»µ£¬´Ó¶øÌá¸ßÁËѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄÐÔÄÜ¡£×ÛÉÏËùÊö£¬±¾·¢Ã÷ͨ¹ýÔÚ¿ÕÇ»¿ÌʴʱÔÚ¿ÕÇ»ÖÜΧÐγÉһЩÓë¿ÕÇ»Á¬Í¨µÄÊͷŲۣ¬ ¿ÉÒԵõ½Õæ¿Õ¿ÕÇ»¼°ºñ¶È¾ù„òµÄ±¡Ä¤£¬ÇÒÄÜÓëÏÖÓйè±íÃæCMOS¹¤ÒսϺõļæÈÝ£¬²¢ÇÒÄܹ»Ê¹µÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¾ßÓиüºÃµÄÐÔÄÜ¡£
ȨÀûÒªÇó
1.Ò»ÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ÔÚ¹è³Äµ×ÉÏÉèÖÃÓпÕÇ»£¬ËùÊö¿ÕÇ»µÄÖÜΧÉèÖÃÓжà¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲۣ¬ËùÊö¿ÕÇ»ÉÏ·½ÉèÖÃÓб¡Ä¤²ã£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÓɶà¸öÊͷŲÛÖ®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬Í¬Ê±Â¶³öÊͷŲ۵ÄÒ»²¿·Ö£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÉϸ²¸ÇÓÐÌî³ä²ã£¬ ËùÊöÌî³ä²ãͨ¹ýÊͷŲÛÑÓÉìµ½¿ÕÇ»ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»ÃÜ·â¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãΪ¶à¾§¹è²ã¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöÌî³ä²ãΪµª»¯¹è²ã¡£
4.Ò»ÖÖÈçȨÀûÒªÇó1 3ÖÐÈÎÒâÒ»ÏîËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬°üÀ¨Èçϲ½ÖèµÚÒ»²½£¬Í¨¹ýÒ»²ãÓ²ÑÚÄ£¿ÌÊ´³ö¿ÕÇ»£¬ËùÊö¿ÕÇ»µÄÖÜΧ¿ÌÊ´³ö¶à¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲۣ»µÚ¶þ²½£¬¿ÕÇ»ÄÚÌî³äÎþÉü²ã£»µÚÈý²½£¬Í¨¹ýƽ̹»¯¹¤ÒÕ£¬±£Áô¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏ£¬È¥µô¿ÕÇ»ÒÔÍâµÄÎþÉü²ã²ÄÁÏ£»µÚËIJ½£¬µí»ý±¡Ä¤²ã²ÄÁÏ£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÓɶà¸öÊͷŲÛÖ®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬Í¬Ê±Â¶³öÊͷŲ۵ÄÒ»²¿·Ö£»µÚÎå²½£¬²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´¹¤ÒÕ£¬Í¨¹ýÊͷŲ۽«¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã²ÄÁÏÈ¥³ý£»µÚÁù²½£¬ÔÚËùÊö±¡Ä¤²ãÉϵí»ýÌî³ä²ã£¬ËùÊöÌî³ä²ãͨ¹ýÊͷŲÛÑÓÉìµ½¿ÕÇ»ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»ÃÜ·â¡£
5.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó4ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ÔÚËùÊöµÚÒ»²½ÖÐͨ¹ýCMOS¹µ²Û¿ÌÊ´¹¤ÒÕ£¬Ê¹Óõª»¯¹è×÷ΪӲÑÚĤ¡£
6.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó5ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ÔÚËùÊöµÚÒ»²½Ö®ºó£¬Í¨¹ýʪ·¨È¥³ýËùÊöµª»¯¹èÓ²ÑÚÄ£¡£
7.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó4ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöµÚ¶þ²½ÖУ¬ÎþÉü²ã²ÉÓÃʪ·¨¸¯Ê´ËÙÂʽϿìÇÒÓë¹è»ùÌå¼°±¡Ä¤²ãÑ¡Ôñ±ÈºÜ¸ßµÄ²ÄÁÏ¡£
8.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó7ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöÎþÉü²ã²ÄÁϲÉÓöþÑõ»¯¹è¡£
9.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó8ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöµÚÎå²½ÖУ¬²ÉÓÃÇâ·úËὫ¿ÕÇ»ÄÚÎþÉü²ã½«¶þÑõ»¯¹èÎþÉü²ãÈ¥³ý¡£
10.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó4ËùÊöµÄѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬²ÉÓõÈÀë×ÓÔöÇ¿»¯Ñ§ÆøÏàµí»ý(PECVD)»òµÍÑ¹ÆøÏàµí»ý(LPCVD)¹¤ÒÕ¶ÔÊͷŲ۽øÐÐÌî³ä¡£
È«ÎÄÕªÒª
±¾·¢Ã÷¹«¿ªÁËÒ»ÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹£¬ÔÚ¹è³Äµ×ÉÏÉèÖÃÓпÕÇ»£¬ËùÊö¿ÕÇ»µÄÖÜΧÉèÖÃÓжà¸öÓë¿ÕÇ»±ßÔµ·½Ïò´¹Ö±µÄÊͷŲۣ¬ËùÊö¿ÕÇ»ÉÏ·½ÉèÖÃÓб¡Ä¤²ã£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÓɶà¸öÊͷŲÛÖ®¼äµÄ¹è³Äµ×²¿·ÖÀ´Ö§³Å£¬Í¬Ê±Â¶³öÊͷŲ۵ÄÒ»²¿·Ö£¬ËùÊö±¡Ä¤²ãÉϸ²¸ÇÓÐÌî³ä²ã£¬ËùÊöÌî³ä²ãͨ¹ýÊͷŲÛÑÓÉìµ½¿ÕÇ»ÖУ¬½«ËùÊö¿ÕÇ»ÃÜ·â¡£±¾·¢Ã÷»¹¹«¿ªÁËÒ»ÖÖÉÏÊöѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹µÄÖÆ×÷·½·¨£¬Í¨¹ýÊͷŲÛÀ´È¥³ý¿ÕÇ»ÄÚµÄÎþÉü²ã£¬µÃµ½Ñ¹Á¦´«¸ÐÆ÷¿ÕÇ»½á¹¹¡£±¾·¢Ã÷¿ÉÒԵõ½Õæ¿Õ¿ÕÇ»¼°ºñ¶È¾ùÔȵı¡Ä¤£¬ÇÒÄÜÓëÏÖÓйè±íÃæCMOS¹¤ÒսϺõļæÈÝ£¬²¢ÇÒÄܹ»Ê¹µÃѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¾ßÓиüºÃµÄÐÔÄÜ¡£
Îĵµ±àºÅG01L1/20GK102297737SQ20101020875
¹«¿ªÈÕ2011Äê12ÔÂ28ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2010Äê6ÔÂ24ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2010Äê6ÔÂ24ÈÕ
·¢Ã÷ÕßÅí»¢, ·½¾«Ñµ ÉêÇëÈË:ÉϺ£»ªºçNecµç×ÓÓÐÏÞ¹«Ë¾

  • רÀûÃû³Æ£º¿ÉÌá¸ß²âÁ¿¿ÉÐŶȵÄÉúÎïоƬ¼°Æä·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖÉúÎï´«¸ÐÆ÷£»ÌرðÊÇÒ»ÖÖ¾ßÓпÉÌá¸ß²âÁ¿¿ÉÐŶÈÉúÎïоƬµÄÉúÎï´«¸ÐÆ÷¼°Æä·½·¨¡£±³¾°¼¼Êõ£º ½ü¼¸ÄêÀ´£¬ÀûÓÃÌØ¶¨½ÍËØ´ß»¯·´Ó¦µÄ¸÷ÖÖÉúÎï´«¸ÐÆ÷ÒѾ­±»·¢Õ¹³öÀ´Ê¹ÓÃÓÚÒ½ÁÆÓÃ;ÉÏ¡£´ËÖÖÉúÎï´«
  • רÀûÃû³Æ£ºÏÖ³¡×ÜÏß×Ô¶¯ÆøÏóÕ¾µÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷ÊôÓÚÆøÏó¼à²â×°Öã¬Éæ¼°Ò»ÖÖÏÖ³¡×ÜÏß×Ô¶¯ÆøÏóÕ¾£¬ÕâÖÖ×Ô¶¯ÆøÏóÕ¾ÀûÓÃÏÖ³¡×ÜÏß¼¼Êõ¿ÉÒÔÔÚÏÖ³¡×ÜÏß·¶Î§ÄÚ(10km)£¬·½±ãµØ²É¼¯¸÷ÖÖÆøÏóÒªËØ¡£È»ºó£¬ÀûÓÃGPRS¼°ÒòÌØÍø¼¼Êõ£¬½«·Ö²¼ÔÚ¹ãÀ«ÇøÓò(G
  • רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖÖ÷±äÌúÐÄ¡¢¼Ð¼þ½ÓµØµçÁ÷¼à²â×°ÖõÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°±äµçÕ¾¼à²âÁìÓò£¬¾ßÌåÊÇ©`ÖÖÖ÷±äÌúÐÄ¡¢¼Ð¼þ½ÓµØµçÁ÷¼à²â×°Öᣱ³¾°¼¼Êõ£ºÄ¿Ç°Êг¡Éϳ£¹æµÄ±äѹÆ÷£¬âŸÐĺͼмþÖ±½Ó½ÓµØ£¬ÎÞ·¨¹Û²âÆä½ÓµØµçÁ÷¾ßÌåΪ¶àÉÙ¡£ÊµÓÃÐÂÐÍÄÚÈݱ¾ÊµÓÃÐÂ
  • רÀûÃû³Æ£º¶à¸ö¹Ì¶¨µçÆ÷»·¾³ÖжÔÈËÔ±¶¨Î»µÄ·½·¨¡¢ÏµÍ³¼°¼Ç¼ýÌåµÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖ·½·¨¼°Æä×°Öã¬ÒÔ±ãÔÚ×°±¸Óй̶¨µçÆ÷µÄ·ÕΧ»òÊÇ»·¾³ÖжÔÈË Ô±½øÐж¨Î»£¬±¾·¢Ã÷»¹Éæ¼°Ò»ÖÖÓÃÓÚÖ´ÐÐÉÏÊö·½·¨µÄÐÅÏ¢¼Ç¼ýÌå¡£ÆäÖУ¬¸öÈ˻µÄ»·¾³ÊÇÖ¸ÈËÃǽø
  • רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖ¼ì²âÏð½ºÖÐÌ¿ºÚµÄ·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾·¢Ã÷ÊôÓÚÏð½ºÖÊÁ¿¼ì²â¼¼ÊõÁìÓò£¬Éæ¼°Ò»ÖÖÔËÓÃͼÏñÏÔ΢·¨¼ì²âÏð½ºÖÐÌ¿ºÚµÄ·½·¨£¬ÌرðÊÇÒ»ÖÖ´¦ÀíÏ𽺼ì²âͼÏñÖÐ˿״ÔÓÖʵķ½·¨¡£±³¾°¼¼Êõ£ºÌ¿ºÚ¡¢°×Ì¿ºÚµÈÌîÁÏ×÷ΪÏ𽺵ÄÖØÒª²¹Ç¿¼Á£¬Æä´óСºÍ·Ö²¼Çé¿ö¶Ô½ºÁϵÄÎï
  • רÀûÃû³Æ£ºµç··¢ÈÈ״̬ÏÔʾװÖõÄÖÆ×÷·½·¨¼¼ÊõÁìÓò£º±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖ¼ì²âÏÔʾװÖã¬ÌرðÊÇÒ»Öֵ緷¢ÈÈ״̬ÏÔʾװÖᣠ±³¾°¼¼Êõ£ºÏÖÓеç×ÓÉ豸ÖУ¬¶ÔÓÚ´ó¹¦Âʵç·¡¢Ôª¼þÒ»°ã¶¼Ö»²ÉÓüÓ×°É¢ÈÈÆ¬¡¢·çÉÈÉ¢ÈÈ£¬Ã»Óеç··¢ÈÈ״̬ÏÔʾװÖã¬ÈÝÒ×µ¼ÖÂÒò¹ýÈȶøËð
ɽ¶«ÑÇÐÇÓÎÏ·¹ÙÍø»ú´²ÓÐÏÞ¹«Ë¾
È«¹ú·þÎñÈÈÏߣº13062023238
µç»°£º13062023238
µØÖ·£ºëøÖÝÊÐÁúȪ¹¤ÒµÔ°68ºÅ
¹Ø¼ü´Ê£ºÏ³´²£¬Êý¿ØÏ³´²£¬ÁúÃÅϳ´²
¹«Ë¾¶þάÂë
Copyright 2010-2024 °æÈ¨ËùÓÐ All rights reserved ³ICP±¸19044495ºÅ-12
  • ¡¾ÍøÕ¾µØÍ¼¡¿¡¾sitemap¡¿