专利名称：灯的不点亮检测装置、光照射装置以及灯的不点亮检测方法
技术领域：
本发明涉及灯的不点亮检测装置以及方法。更为具体来说，涉及能检测并联连接的多盏灯之中的I盏不点亮的不点亮检测装置以及方法。
背景技术：
半导体和平板显示器的制造工序中，为了进行加工部件的表面清洁化和表面改性等，广泛实施使用紫外线灯的UV臭氧(UV Ozone)清洗。在这种处理的过程中因为某些原因灯不点亮时，希望能够迅速检测出不点亮，从而进行灯更换等适当的处置。专利文献I中，记载了设置有紫外受激准分子光的检测单元和显示灯的点亮状态的单元的电介质放电灯装置。另外，专利文献2中记载了:用光电变换元件检测来自受激准分子灯的放射光，根据该光电变换元件的输出和规定的基准值的比较来判断灯的点亮或熄灭的氙受激准分子灯的点亮检测装置。在先技术文献专利文献专利文献IJP特开平7-220688号公报专利文献2JP特开2005-227275号公报但是，专利文献I和2记载的这种现有的装置中存在的问题是:对于一盏灯来说需要一个昂贵的检测器，若光照射装置比较大型而灯的盏数较多，则成本很高。另一方面，若仅仅是减少检测器的个数，则难以可靠地检测出不点亮。要是用I个检测器检测多盏灯的光量，即使灯熄灭，检测出的光量也不为0，仅仅是减少。而且，在检测出的光量减少的情况下，还需要准确地判断其原因不是随着时间劣化等或灯输出设定降低，而是灯的不点売。
发明内容
本发明正是考虑到这一点而作出的，其目的在于提供一种用更少个数的检测器来检测出灯的不点亮的不点亮检测装置以及不点亮检测方法。并且，其目的还在于提供一种具备这种不点亮检测装置的光照射装置。本发明的灯的不点亮检测装置，具有:对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。另外，本发明的灯的不点亮检测装置，具有:对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器；朝向上述多盏灯各自的照射面，以比上述多盏灯的盏数少的个数配置的UV-可见光变换过滤器及光纤；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。在此，所谓灯群，是指由I个光量传感器统一感知光量的多盏灯。在存在并联连接的2盏以上的灯的情况下，可将这2盏以上的灯全体作为I个灯群来设置I个光量传感器，在存在并联连接的4盏以上的灯的情况下，可将该4盏以上的灯全体分为分别由多盏灯组成的多个灯群，对各灯群各设置I个光量传感器。无论哪种情况都包含在本发明中。另外，所谓传感器累计值，是指根据需要将光量传感器的输出进行数字变换等得到的值，相加多次而得到。这样，由于对多盏灯使用I个光量传感器，因此能够降低装置整体的成本。而且，通过将传感器累计值与基准值以及过去的传感器累计值进行比较，能够以实质上没有问题的精度，对多盏灯之中的I盏灯的不点亮进行检测。优�。萆鲜龅频氖褂贸跗谇蟪龅纳鲜龃衅骼奂浦道瓷瓒ㄉ鲜龌贾�。另外，优�。萆鲜龅频氖涑隼瓷瓒ㄉ鲜龌贾�。由此，在对传感器累计值与基准值进行比较时，能以更好的精度进行不点亮的判断。另外，上述不点亮检测装置，可在并联连接的4盏以上的灯形成分别由多盏灯组成的多个灯群的情况下，对各灯群各设置I个光量传感器。根据该结构，在上述各发明之中、并联连接的多盏(4盏以上)的灯全体被分为多个灯群的情况下，也能获得与上述各发明相同的效果。另外，优�。谛纬啥喔龅迫旱那榭鱿拢鲜雠卸喜浚垢萆鲜龃衅骼奂浦涤肫渌迫旱拇衅骼奂浦档谋冉希卸系频牟坏懔�。由此，能够以更好的精度进行不点亮的判断。优�。鲜鯱V-可见光变换过滤器及光纤，相对于将构成上述灯群的相邻的一对灯各自的中心点彼此连结的平行线，在与上述灯的照射方向垂直且以该中心点为起点的垂直线间配置I个。另外，本发明的灯的不点亮检测装置，具有:对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，通过对上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去求出的传感器累计值进行比较，来判断灯的不点亮，上述过去求出的传感器累计值，是与上述传感器累计值相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且是与上述传感器累计值相比前50小时之内求出的值。通过将传感器累计值、与满足这种条件的过去的传感器累计值进行比较，能够得到以更好的精度判断不点売这一效果。优�。鲜龉デ蟪龅拇衅骼奂浦担怯肷鲜龃衅骼奂浦迪啾�2周期前求出的传感器累计值。由此，能够减少要保持的过去的传感器累计值的数量，能够将整体处理简化，能够实现故障更少的不点亮检测装置。优选，上述判断部在对上述传感器累计值与基准值进行比较之后，对上述传感器累计值与上述过去求出的传感器累计值进行比较。由此，能够提高不点亮判断的精度。本发明的光照射装置，具有:并联连接的多盏灯；对上述多盏灯的输出统一进行控制的控制装置；以及上述任一不点亮检测装置。通过该结构，能够以更低的成本，对多盏灯之中的I盏灯的不点亮进行检测。本发明的不点亮检测方法，根据针对并联连接的多盏灯组成的灯群而被设置I个的光量传感器的输出，求出规定时间的传感器累计值，在上述传感器累计值比基准值�。冶裙デ蟪龅拇衅骼奂浦敌〉那榭鱿屡卸衔撇坏懔�。在此，传感器累计值比过去求出的传感器累计值�。话皆诖衅骼奂浦档牟饬课蟛畹姆段谙嗤那榭�。通过该方法，能够以更低的成本，检测出多盏灯之中的I盏灯的不点亮。另外，上述不点亮检测方法，在并联连接的4盏以上的灯形成分别由多盏灯组成的多个灯群的情况下，根据对各灯群各设置I个的光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值，在上述传感器累计值比基准值�。冶裙デ蟪龅拇衅骼奂浦敌〉那榭鱿拢卸衔撇坏懔�。根据该结构，由于对由并联连接的多盏灯组成的各灯群设置各I个光量传感器，因此在不点亮检测方法的上述发明的一个方式下，能够得到与上述发明相同的效果。另外，本发明的不点亮检测方法，根据对并联连接的多盏灯组成的灯群设置I个的光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值，通过将上述传感器累计值与过去求出的传感器累计值进行比较来判断灯的不点亮，上述过去求出的传感器累计值，是与上述传感器累计值相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且是与上述传感器累计值相比在前50小时内求出的值。为了对多盏灯用I个光量传感器，以实质上没有问题的精度对I盏灯的不点亮进行检测，将传感器累计值与过去的传感器累计值进行比较是有效的。此时，通过将过去的传感器累计值限定在上述的范围，能够将包含因不点亮发生而导致照射光量不稳定的时间的传感器累计值排除在外。也就是说，能够对经过求出传感器累计值的规定时间灯完好的过去的传感器累计值、与经过规定时间灯不点亮的最近的传感器累计值进行比较。从而，能够得到以更好的精度判断不点亮的效果。优�。鲜龉デ蟪龅拇衅骼奂浦担怯肷鲜龃衅骼奂浦迪啾�2周期前求出的传感器累计值。由此，能够减少要保持的过去的传感器累计值的数量，简化整体的处理。优�。蟪錾鲜龃衅骼奂浦抵螅诙陨鲜龃衅骼奂浦涤牖贾到斜冉现螅陨鲜龃衅骼奂浦涤肷鲜龉デ蟪龅拇衅骼奂浦到斜冉�。由此，能够提高不点亮判断的精度。根据本发明的不点亮检测装置、光照射装置以及不点亮检测方法，由于对多盏灯使用I个光量传感器，因此能够降低装置整体的成本。另外，通过将根据光量传感器的输出求出的传感器累计值与基准值以及过去的传感器累计值进行比较，能够以实质上没有问题的精度，对多盏灯之中的I盏灯的不点亮进行检测。
图1是表示本发明的一实施方式的光照射装置的结构的图。图2是表示在本发明的一实施方式中求出传感器累计值的方法的图。图3是表示在本发明的第I实施方式中判断不点亮的方法的图。图4是用于对灯不点亮时的漏光进行说明的图。图5是用于对灯的不点亮判断例进行说明的图。
图6是用于对灯的不点亮判断例进行说明的图。图7是表示本发明的第2实施方式中判断不点亮的方法的图。图8是表示本发明的一实施方式的光照射装置的结构的图。图9是表示图8的不点亮检测装置内的灯、光纤、PD及UV-可见光变换过滤器的位置关系的一实施方式的图。图10是用于对灯不点亮时的漏光进行说明的图。图11是用于对灯的不点亮判断例进行说明的图。图中:11-光照射装置；12-照射器具(光照射器具)；13_点亮装置；14-不点亮检测装置；21-变换器;22、221、222、223_ 灯;23、231、232、233_ 光纤；24、241、243_ 光电二极管(PD，光量传感器)；25_信号变换器；26、261、262、263-UV-可见光变换过滤器；27_变压器；31-断路器；32_开关；33_直流电源；34_可编程控制器(PLC) ;35_输出控制装置；36_累计部；37_存储部；38_判断部；40_漏光；Ixn-根据灯群X所对应的光量传感器的输出求出的第η周期的传感器累计值；τ Α-累计时间；τ ρ-采样间隔；Α_累计次数。
具体实施例方式(第I实施方式)图1是表示本发明的第I实施方式的光照射装置、光照射器具以及不点亮检测装置的结构的框图。图1中，光照射装置11由照射器具12和点亮装置13组成，具备不点亮检测装置14。照射器具12具备I个变换器21与变压器27、以及10盏灯22。10盏灯22全部并联连接，它们的输出由变换器21总括控制。10盏灯22分别形成由2盏灯组成的5个灯群。对于各灯群而言，各具备I个光电二极管(光量传感器，以下简记为“H)”。)24。朝向各盏灯的照射面配置UV-可见光变换过滤器26和光纤23的一端，光纤23的另一端朝向TO24配置。来自TO24的输出信号线上连接着信号变换器25。作为灯22，可以使用受激准分子灯等各种灯。在灯22为紫外线灯、特别是远紫外线灯的情况下，与其对应的光量传感器大多较为昂贵，本发明的效果尤其显著。PD24，可根据作为对象的灯22的照射光谱适当地选择。另外，PD24根据需要，也可具备用于截止多余波长的光的光学过滤器。点亮装置13具备断路器31、开关32，来自外部的电源通过这些部件之后被提供给照明器具12。另外，点亮装置13，从外部电源起具备直流电源33和可编程控制器(PLC) 34。PLC34，通过改变内置的程序，能够构成内部具有各种功能的装置。在本实施方式中，在PLC34的内部，构成为具备有:用于控制变换器21的输出的输出控制装置35、求出规定时间的传感器累计值的累计部36、存储过去的传感器累计值的存储部37、以及用于判断灯的不点亮的判断部38。累计部36、存储部37、判断部38的功能在后文说明。不点亮检测装置14，在上述各部分/装置之中，由光纤23、PD24、信号变换器25、累计部36、存储部37、判断部38构成。接下来，对本实施方式的不点亮检测装置的动作进行说明。
在灯22点亮的过程中，紫外照射光由UV-可见光变换过滤器变换，通过光纤23，2根归总为I根，被TO24实施光电变换。来自TO24的输出信号(例如，O IOyA的电流)，由信号变换器25变换为更适于传递的信号(例如4 20mA的电流)，由累计部36求出传感器累计值。图2表示累计部36的动作。将来自灯群X所对应的TO24的信号，以τ ρ秒间隔采样后变换为数字值(Λ Ix)，通过将此累计A次，从而能够求出规定时间(累计时间)τΑ(τΑ=τρΧΑ)的传感器累计值Ιχ。在灯点亮期间内反复该处理。以下，设第η周期求出的传感器累计值Ix为Ιχη。累计时间τ Α、采样间隔τ Ρ、累计次数A的优选范围如下。在检测紫外线灯的不点亮的情况下，希望在对被照射物的照射处理完成之前判定不点亮。该照射处理时间因处理内容而异，但最短的只有5秒左右。因此，无论照射处理的内容如何，为了在照射处理完成之前判定不点亮，优选累计时间TaS 1.5秒以下。另一方面，为了获得足够的精度，优选累计次数A为5次以上。另外，若将采样间隔τΡ设定得过�。蚋軵LC34的能力和PLC内置的程序容量等，会发生实际的采样间隔并不固定的问题。因此，τΡ优选为0.01秒以上，更优选为0.02秒以上。例如能设τ Α为I秒、τ ρ为0.1秒间隔，A为10次。图3表示判断部38的动作。如上所述求出的传感器累计值Ixn，被存储到存储部37，并且在判断部38中用于不点亮判断。判断部38取得传感器累计值Ixn，将其与基准值比较，在为基准值以上的情况下判断为正常(没有不点亮灯)。在传感器累计值Ixn小于基准值的情况下，判断部38将传感器累计值Ixn进一步与存储部37中存储的过去的传感器累计值IxmOn < η)比较，若为Ixn彡Ixm则判断为正常。上述基准值，是在传感器累计值Ixn更大的情况下判断为所有的灯都点亮的值。在灯群由L盏灯组成的情 况下，若其中的I盏熄灭，则灯群的照射光量减少1/L。但是，本实施方式中，由TO24检测出的光强度的减少量比1/L更小。这是因为:如图4所示，即使I盏灯222熄灭，在不点亮灯所对应的UV-可见光变换过滤器262和光纤232中，来自相邻的灯221、223的漏光会入射。漏光的量，虽然除了灯和光纤的配置之外也与装置的形状等相关，但若适当地设计装置，则通常也能抑制到百分之几以下。因此，优选将从L盏灯全部点亮时的传感器累计值中减去1/LX修正系数而得到的值作为基准值，将修正系数设为50 90%。本实施方式中，将I盏灯熄灭时的光量的减少量设为1/2X80%，将构成灯群的灯2盏都点亮的情况下的传感器累计值的60%设为基准值。构成灯群的所有灯点亮时的传感器累计值的值，也可根据灯的规格、装置的形状等预先决定，存储在存储部37中。或者，也可在灯的使用初期根据实际测量的传感器累计值决定，存储在存储部37中。光照射装置11并不是进行简单的接通-断开控制，在连续改变灯输出的情况下，灯的照射光量根据输出设定而改变。本实施方式中，由于能由输出控制装置35控制变换器21，连续改变灯输出，因此希望即使在有意降低灯输出的情况下也不会误检测为不点亮。对此，优选判断部38中，接收与灯输出有关的来自输出控制装置35的信息，根据该信息修正基准值。由于灯的输出与照射光量的关系，能够根据灯的规格预先得知，因此能将输出与照射光量的关系式、换算表等存储在存储部37中，从判断部38将其读出来进行利用。接下来，对传感器累计值Ixn与过去的传感器累计值IxmOn < η)的比较进行说明。在传感器累计值Ixn小于基准值的情况下，有时也可能是因为不点亮或有意的输出变更以外的原因，例如灯或测量系统的累计污损。因此，将传感器累计值Ixn与过去的传感器累计值Ixm比较，如果是在此之上则判断为不是不点亮。另外，所谓Ixn是I 以上，也包含两者在传感器累计值的测量误差的范围内相同的情况。另外，在光照射装置运转刚刚开始等、没有要比较的Ixm时，不进行Ixn与Ixm的比较。与传感器累计值Ixn进行比较的过去的传感器累计值Ixm，优选是与^相比至少2周期以前求出的传感器累计值。这是因为:在发生不点亮的情况下，包含不点亮发生时的累计区间的传感器累计值，根据来自不点亮发生前的ro的输出和不点亮发生后的来自ro的输出计算得出，若使用该传感器累计值进行比较，误差较大。通过将、。与2周期以前求出的传感器累计值IxmOn ( n-2)进行比较，能够排除误差要因进行准确的判断。另外，在受激准分子灯等不点亮的情况下，由于在与采样间隔τ ρ(例如0.01秒)相比短得多的时间内其光量变为0，因此若将Ixn与2周期前求出的传感器累计值IxmOn =n-2)进行比较，则能够排除误差要因进行准确的判断。通过将与Ixn进行比较的过去的传感器累计值Ixm设为2周期前求出的值，能够缩小后述的灯光量的随时间变化的影响，因此较为优选。另外，由于能够减少存储部37中保持的过去的传感器累计值的个数，因此存储部37、判断部38等的动作也能简化，在这一点上也较为优选。另一方面，若将求出Ixl^ Ixm的时间之间隔得过远，由不点亮以外的原因导致的传感器累计值的变化成为误差主要原因。灯的光量，因随时间的劣化，可能在50个小时会降低0.5 %左右。另外，灯的光量，因灯自身的温度变化，可能在20秒内有0.5 %左右的变动。据此，求出Ixn和Ixm的时间的间隔，优选短于50小时，更优选短于20秒。综上所述，与传感器累计值Ixn进行比较的过去的传感器累计值Ixm，优选与^相比是2周期以上之前求出的传感器累计值，且与^相比是前50小时内求出的值，并优选与Ixn相比是前20秒内求出的值。再有，尤其优选的是，Ixffl是与Ixn相比2周期前求出的传感器累计值。 综上所述，与传感器累计值Ixn进行比较的过去的传感器累计值I ，是与Ixn相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且优选不是与Ixn相比50小时以上之前求出的值，更优选不是与Ixn相比20秒以上之前求出的值。再有，尤其优选的是，Ixm是与Ixn相比2周期前求出的传感器累计值。用图5以及图6，对以上所述的不点亮的判断例进行说明。图5示意地表示在累计区间η-1内灯不点亮的情况下的传感器累计值的变化。图5中，由于传感器累计值Ixn比基准值�。冶裙サ腎—�。虼伺卸衔坏懔�。此时，在区间η-1内，AIx的变化急剧，虽然传感器累计值Ixlri包含较大的误差，但通过将Ixn与Ixn_2进行比较，能够进行更为准确的判断。图6示意地表示在区间η-1内灯的输出被人为调低的情况下的传感器累计值以及基准值的变化。图6中，在区间η-1内由于与灯输出相应基准值下降，因此IxnS基准值以上，判断为正常。接下来，对本发明的第2实施方式进行说明。本实施方式的光照射装置、光照射器具以及不点亮检测装置的结构，与第I实施方式相同，由图1表示。本实施方式的不点亮检测方法中，在判断部38中，进一步还将灯群X的传感器累计值Ixn与其他灯群Y的传感器累计值Iyn进行比较。
图7表示本实施方式的判断部38的动作。判断部38中，与第I实施方式同样，在进行传感器累计值Ixn与基准值的比较、Ixn与过去的传感器累计值IxmOn < η)的比较的结果没有判断为正常的情况下，进一步进行与其他灯群Y的传感器累计值Iyn的比较，在Ixn为Iyn以上的情况下，判断为正常，在Ixn小于Iyn的情况下判断为不点亮。如前所述，传感器累计值Ixn，有时因灯的随时间劣化和温度变化、或者有意的电力调节而减少。这种情况下，即使因没有根据灯输出修正基准值或基准值的设定不佳，导致Ixn与基准值的比较的结果判断为异常，根据该方法，也能够通过Ixn与Iyn的比较来防止不点亮的误检测。(第3实施方式)图8是表示本发明的第3实施方式中的光照射装置以及不点亮检测装置的结构的方框图。图9是表示图8的不点亮检测装置内的灯、光纤、PD及UV-可见光变换过滤器的位置关系的一实施方式的图。图8中，光照射装置11由照射器具12与点亮装置13组成，具备不点亮检测装置14。照射器具12具有I个变换器21和变压器27、以及10盏灯22。10盏灯22全部并联连接，它们的输出由变换器21总括控制。10盏灯22形成分别由2盏灯组成的5个灯群。对于各灯群而言，各具备I个TO24。另外，在图9中，朝着灯22的照射面以少于10盏灯22的个数(5个)配置UV-可见光变换过滤器26和光纤23的一端,光纤23的另一端朝着Η)24配置。具体来说，相对于彼此连结构成上述灯群的相邻的一对灯(2盏)各自的中心点Oi的平行线Η1，在与上述灯22的照射方向垂直的以该中心点Oi为起点的垂直线SI之间，配置I个UV-可见光变换过滤器26和光纤23。以下，将UV-可见光变换过滤器26、光纤23及TO24合起来称作光检测部。来自TO24的输出信号线，与信号变换器25连接在一起。此外的结构(灯22、点亮装置13及不点亮检测装置14)，由于与第I及第2实施方式相同，因此省略说明。接下来，对本实施方式的不点亮检测装置的动作进行说明。在灯22点亮的期间内，紫外照射光由UV-可见光变换过滤器26变换，通过光纤23，由TO24实施光电变换。来自TO24的输出信号(例如，O 10 μ A的电流)，由信号变换器25变换为更为适于传递的信号(例如4 20mA的电流)，并由累计部36求出传感器累计值。累计部36的动作、累计时间τΑ、采样间隔τ ρ、累计次数A的优选范围及判断部38的动作，由于与第I及第2实施方式相同因此省略说明。上述基准值是在传感器累计值Ixn更大的情况下判断为所有的灯都点亮的值。在灯群由L盏灯组成的情况下，若其中的I盏熄灭，则灯群的照射光量减少1/L。具体来说，在图10(a)为正常状态的情况下，若2盏灯22 (I个灯群)之中的I盏熄灭(图10 (b)或(c))，则这个灯群的照射光量减少1/2。但是，就算是如图10(a)所示的这种正常状态下，用于检测2盏灯22 (I个灯群)的光量的UV-可见光变换过滤器26中，也会射入来自相邻的其他灯群的灯22的漏光40b。另外，该漏光40b的量，虽然在灯和光纤的配置之外还与装置的形状等相关，只要适当地设计装置，则通常能控制在百分之几以下。因此，优选将从L盏灯全部点亮时的传感器累计值中减去1/LX修正系数得到的值作为基准值，修正系数为50 90%。本实施方式中，将I盏灯熄灭时的光量的减少量设为1/2X80%，将构成灯群的灯的2盏都点亮的情况下的传感器累计值的60%设为基准值。其他的结构与第I及第2实施方式相同，因此省略说明。另外，本发明如前所述，以比多盏灯的盏数少的个数配置UV-可见光变换过滤器及光纤来进行检测。因此，例如像图10(b)所示那样I个灯群之中左侧熄灭的情况下、和如图10(c)所示那样右侧熄灭的情况下，对其进行检测的TO24的照射光量，有时判断为相同水平。该情况下，针对与对被判断为某一方熄灭的灯群进行检测的TO24相邻的Η)24(图10(b)、(c)所示的箭头α侧)的照射光量的变化状况进行检测，在其变化状况为漏光40b的光量的下降(百分之几的下降)的情况下，判断为其相邻一侧的灯22熄灭。另外，在熄灭的是最外周的灯(例如，图10(b)的熄灭的灯22为最外周的情况下)，其相邻的Η)24(图10(b)所示的箭头α侧)的照射光量几乎没有下降。因此，只要针对与对被判断为某一方熄灭的灯群进行检测的Η)24相邻的TO24的照射光量的变化状况进行检测，在该相邻的TO24没有变化状况的情况下，判断为离该相邻的TO24远的灯22熄灭即可。另外，如图11所示，在I个灯群之中双方熄灭的情况下，由于进行检测的TO24的照射光量大幅下降，因此在确认发生比判断为某一方熄灭的情况更大的照射光量下降的情况下，可判断为I个灯群之中双方熄灭。另外，本发明并不限于上述的实施方式，在其技术思想的范围内可有各种实施方式。例如，在上述实施方式中，虽然将并联连接的10盏灯2盏2盏地分为5个灯群，但也可将所有的灯作为I个灯群，构成灯群的灯的盏数不限于2，构成各个灯群的灯的盏数也可不同。另外，作为灯来说，若累计使用时间长，有时因劣化照射光量也随之下降。在该照射光量的下降成为问题的情况下，能够根据实际测量值来适当向下修正基准值。
权利要求
1.一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有: 针对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器； 根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部； 存储上述传感器累计值的存储部；以及 判断灯的不点亮的判断部， 上述判断部根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。
2.一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有: 针对由多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器； 朝向上述多盏灯各自的照射面，以比上述多盏灯的盏数少的个数配置的UV-可见光变换过滤器及光纤； 根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部； 存储上述传感器累计值的存储部；以及 判断灯的不点亮的判断部， 上述判断部根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。
3.根据权利要求1或2所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 根据上述灯的使用初期求 出的上述传感器累计值来设定上述基准值。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 根据上述灯的输出来设定上述基准值。
5.根据权利要求1 4中任一项所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 在并联连接的4盏以上的灯形成多个灯群的情况下，对各灯群各设置I个光量传感器，其中多个灯群分别由多盏灯组成。
6.根据权利要求5所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 上述判断部还根据上述传感器累计值与其他灯群的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。
7.根据权利要求2所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 上述UV-可见光变换过滤器及光纤，相对于将构成上述灯群的相邻的一对灯各自的中心点彼此连结的平行线，在与上述灯的照射方向垂直且以该中心点为起点的垂直线间配置I个。
8.一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有: 针对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器； 根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部； 存储上述传感器累计值的存储部；以及 判断灯的不点亮的判断部， 上述判断部通过对上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去求出的传感器累计值进行比较，来判断灯的不点亮， 上述过去求出的传感器累计值是与上述传感器累计值相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且是与上述传感器累计值相比前50小时之内求出的值。
9.根据权利要求8所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 上述过去求出的传感器累计值是与上述传感器累计值相比2周期前求出的传感器累计值。
10.根据权利要求8或9所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 上述判断部在对上述传感器累计值与基准值进行比较之后，对上述传感器累计值与上述过去求出的传感器累计值进行比较。
11.一种光照射装置，其特征在于具有: 并联连接的多盏灯； 对上述多盏灯的输出统一进行控制的控制装置；以及 权利要求1 10中任一项所述的不点亮检测装置。
12.—种灯的不点亮检测方法，其特征在于， 根据针对并联连接的多盏灯组成的灯群而设置I个的光量传感器的输出，求出规定时间的传感器累计值， 在上述传感器累计值比基准值小且比过去求出的传感器累计值小的情况下判断为灯不点亮。
13.根据权利要求12所述的灯的不点亮检测方法，其特征在于， 在并联连接的4盏以上的灯形成多个`灯群的情况下，根据针对各灯群各设置I个的光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值，该多个灯群分别由多盏灯组成， 在上述传感器累计值比基准值小且比过去求出的传感器累计值小的情况下，判断为灯不点亮。
14.一种不点亮检测方法，根据针对并联连接的多盏灯组成的灯群设置I个的光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值，通过将上述传感器累计值与过去求出的传感器累计值进行比较来判断灯的不点亮，其特征在于， 上述过去求出的传感器累计值是与上述传感器累计值相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且是与上述传感器累计值相比在前50小时内求出的值。
15.根据权利要求14所述的灯的不点亮检测方法，其特征在于， 上述过去求出的传感器累计值，是与上述传感器累计值相比2周期前求出的传感器累计值。
16.根据权利要求14或15所述的灯的不点亮检测方法，其特征在于， 求出上述传感器累计值之后，在对上述传感器累计值与基准值进行比较后对上述传感器累计值与上述过去求出的传感器累计值进行比较。
全文摘要
本发明提供一种能够用更少个数的检测器检测灯的不点亮的不点亮检测装置以及不点亮检测方法。本发明的不点亮检测装置，具有针对由并联连接的多盏灯(22)组成的灯群而设置的1个光量传感器(24)；根据上述光量传感器(24)的输出求出规定时间τA的传感器累计值I的累计部(36)；存储上述传感器累计值I的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部(38)，上述判断部(38)根据上述传感器累计值I与基准值的比较、以及上述传感器累计值I与上述存储部(37)中存储的过去的传感器累计值I的比较，判断灯的不点亮。
文档编号G01J1/18GK103162820SQ20121052838
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月10日 优先权日2011年12月12日
发明者野村元哉, 长谷川丰, 细谷浩二, 广井和则, 水谷实 申请人:株式会社杰士汤浅国际
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