专利名称：溅镀靶材检测机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种溅镀靶材检测机构，特别地涉及一种可通用于圆筒形靶材、平面靶材或异型靶材进行靶材内部缺陷、焊合缺陷等检测工作的溅镀靶材检测机构设计。
背景技术：
在半导体产品的制程中，为了在基材上形成预定材料的膜层，经常通过溅镀装置利用离子化的气体(电浆)冲击溅镀靶材而释放出预定的粒子，使粒子附着于基材表面而形成所期望的该膜层。 为了避免因溅镀靶材中的缺陷影响溅镀制造制程，所述溅镀靶材通常通过溅镀靶材检测机构进行靶材内部缺陷检测、焊合缺陷检测等，进而从中筛选出不良的溅镀靶材。在现有溅镀靶材检测机构中，超音波检测方式是溅镀靶材进行非破坏性的已知技术中的一种。由于溅镀靶材包括有平面型靶材、圆筒型靶材或异型靶材等多种型式，基于各型式靶材的形状差异，溅镀靶材检测机构各设计专用的机构以适用各类型的靶材。如中国台湾专利在2010年9月16日公开第201033607号实用新型专利申请案公开一种专用于“圆筒状溅镀靶材”的“超音波探伤装置”，其主要是在可装填液体的液体槽中将圆筒形溅镀靶材组设其中，且浸置于液体内，在该溅镀靶材的轴两端各设有齿轮，并以齿轮啮合于液体槽底部的齿条上，通过动力传送机构带动溅镀靶材旋转，另外，在液体槽上方装设探测器移动机构，用以带动探测器X方向与Y方向移动，如此，在探测移动机构带动下，利用探测器对圆筒形溅镀靶材顶缘进行超音波检测后，接着由动力传送机构带动溅镀材旋转一定角度，再由探测器对溅镀靶材另一角度区段进行超音波检测，如此进行，直至该圆筒形溅镀靶材全面性完成检测作业。但是，超音波探伤装置虽可提供一种溅镀靶材检测机构，然而，该超音波探伤装置的设计又仅是适用于圆筒型溅镀靶材，不适用于平面形溅镀靶材，因此，现有溅镀靶材检测机构皆存在有无法通用于各类型(平面型、圆筒形、异型等)溅镀靶材的问题，以致业者为能进行各式溅镀靶材的检测作业，就必须购置多部不同类型溅镀靶材检测机构，而导致设备成本高的问题。由此可见，上述现有的超音波探伤装置在使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决超音波探伤装置存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。有鉴于上述现有的超音波探伤装置存在的缺陷，本实用新型人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的溅镀靶材检测机构，能够改进一般现有的超音波探伤装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于，克服现有的超音波探伤装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的溅镀靶材检测机构，所要解决的技术问题是使其不仅适用于圆筒状溅镀靶材检测作业，而且通用于各类型溅镀靶材的检测，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种溅镀靶材检测机构，其包括液体储槽； 移动式超音波检测机组，其包括移动装置以及超音波检测组件，所述移动装置于液体储槽上，且组接所述超音波检测组件，用以驱动超音波检测组件作三维空间位移； 靶材移动装置，系包括多个滚轴以及一滚轴驱动组件，该多个滚轴并列枢设于液体储槽中，滚轴驱动组件连接该多个滚轴，用以驱动该多个滚轴同向旋转；以及控制器，其电连接移动装置与滚轴驱动组件，用以控制移动装置与滚轴驱动组件的工作。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述移动装置包括X轴向移动组件、Y轴向移动组件、Z轴向移动组件以及移动构件；所述X轴向移动组件设于所述液体储槽的槽壁上，所述X轴向移动组件包括第一移动构件，以及用以驱动所述第一移动构件沿X轴向移动的X轴向驱动器；所述Y轴向移动组件设于所述X轴向移动组件的第一移动构件上，且可为X轴向移动组件带动沿X轴向移动，所述Y轴向移动组件具有第二移动构件，以及用以驱动所述第二移动构件沿Y轴向移动的Y轴向驱动器；所述Z轴向移动组件设于所述第二移动构件上，所述Z轴向移动组件包括Z轴向驱动器，所述Z轴向驱动器与所述移动构件相连接；所述X轴向驱动器、Y轴向驱动器与Z轴向驱动器电连接控制器；所述超音波检测组件包括至少一个超音波检测单元，所述超音波检测单元设于所述移动构件上。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述滚轴驱动组件包括驱动马达以及轮系传动组，所述驱动马达电连接控制器，驱动马达的旋转作动端结合轮系传动组连接该多个滚轴。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述滚轴驱动组件包括驱动马达以及轮系传动组，所述驱动马达电连接控制器，所述驱动马达的旋转作动端结合轮系传动组连接该多个滚轴。前述的溅镀靶材检测机构，其中，该靶材移动装置包括主动滚轴和从动滚轴，所述轮系传动组为皮带轮组，其包括主动轮、从动轮以及环状皮带，所述驱动马达以旋转作动端连接主动滚轴的端部，所述主动轮设于所述主动滚轴上，所述从动轮设于从动滚轴上，所述环状皮带环绕于所述主动轮与所述从动轮上。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述靶材移动装置包括一调整组件，所述调整组件与从动滚轴相连接，所述调整组件用以调整所述主动滚轴与所述从动滚轴间的相对位置。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述滚轴为复合式滚轴，其包括有轴杆以及多个外套环，该多个外套环套设于该轴杆上。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述滚轴为复合式滚轴，其包括有轴杆以及多个外套环，该多个外套环套设于该轴杆上。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述溅镀靶材检测机构进一步包括两个承载架，该两个承载架装设于该液体储槽内部，且分位于该多个滚轴的外围。前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述溅镀靶材检测机构进一步包括两个承载架，该两个承载架是装设于该液体储槽内部，且分位于该多个滚轴的外围。借由上述技术方案，本实用新型溅镀靶材检测机构至少具有下列优点通过溅镀靶材检测机构设计，其主要是利用液体储槽上装设可三维空间移动的移动装置，以带动超音波检测组件位移，另液体储槽中枢设多个并列的滚轴，该多个滚轴可承载待检溅镀靶材，使超音波检测组件在其待检溅镀靶材上进行检测，另外该多个滚轴由滚轴驱动组件所驱动而同向旋转，使圆筒型或异型溅镀靶材可为滚轴带动旋转，为超音波检测组件进行溅镀靶材另一角度位置的检测，如此，使该溅镀靶材检测机构可以一机适用于平面型、圆筒形或异型等多种不同类型的溅镀靶材检测作业。综上所述，本实用新型特殊结构的溅镀靶材检测机构，不仅适用于圆筒状溅镀靶材检测作业，而且通用于各类型溅镀靶材的检测。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的超音波探伤装置具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式
由以下实施例及其附图详细给出。
图I为本实用新型溅镀靶材检测机构的一个较佳实施例的立体示意图。图2为图I所示溅镀靶材检测机构较佳实施例之另一观视角度立体示意图。图3为图I所示溅镀靶材检测机构较佳实施例中之移动装置的Y轴向移动组件的局部立体示意图。图4为图I所示溅镀靶材检测机构较佳实施例中之移动装置的Z轴向移动组件与移动构件的局部立体示意图。图5为图I所示溅镀靶材检测机构较佳实施例的俯视平面示意图。图6为图I所示溅镀靶材检测机构较佳实施例的侧视平面示意图。图7为本实用新型溅镀靶材检测机构较佳实施例中的靶材移动装置具有二个滚轴的较佳实施例与溅镀靶材的立体示意图。图8为本实用新型溅镀靶材检测机构较佳实施例中之靶材移动装置具有二滚轴较佳实施例与溅镀靶材的另一观视立体示意图。图9为本实用新型溅镀靶材检测机构较佳实施例中之靶材移动装置具有三滚轴较佳实施例与溅镀靶材的立体示意图。[0042]图10为本实用新型溅镀靶材检测机构中之滚轴另一较佳实施例溅镀靶材的立体示意图。附图标记说明I、液体储槽；2、移动式超音波检测机组；3、移动装置；4、超音波检测组件；5、靶材移动装置；6、控制器；7、承载架；8、溅镀靶材；30、X轴向移动组件；31、Y轴向移动组件；32、Z轴向移动组件；33、移动构件；40、超音波检测单元；50、滚轴；51、滚轴；53、驱动马达；54、轮系传动组；301、第一移动构件；302、X轴向驱动器；311、第二移动构件；312、Y轴向驱动器；321、Z轴向驱动器；511、轴杆；512、外套环；541、主动轮；542、从动轮；543、环状皮带。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的溅镀靶材检测机构其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。如图I及图2所示，其示出了本实用新型溅镀靶材检测机构的一个较佳实施例，该溅镀靶材检测机构系包括液体储槽I、移动式超音波检测机组2、靶材移动装置5以及一控制器6，其中所述液体储槽I用以提供液体注入其中，以及将待检溅镀靶材置放其中而浸置于液体内，所述液体根据待检溅镀靶材的材料而选用合适的液体。如图I及图2所示,所述移动式超音波检测机组2系包括一移动装置3以及一超音波检测组件4，其中，所述移动装置3是一组可三维空间移动的机构，且装设于液体储槽I上；所述超音波检测组件4系一组具备受控输出超音波及接收反射的超音波等功能之组件，所述超音波检测组件4设于移动装置3中，而可被驱动作三维空间之移动，用以对液体储槽I中的待检溅镀靶材进行检测。如图I至图6所示，在本较佳实施例中，所述移动装置3系包括一 X轴向移动组件30、一 Y轴向移动组件31、一 Z轴向移动组件32以及一移动构件33，所述X轴向移动组件30设于液体储槽I的槽壁上，X轴向移动组件30具有一第一移动构件301以及一用以驱动第一移动构件301沿X轴向移动的X轴向驱动器302，所述Y轴向移动组件31设于X轴向移动组件30的第一移动构件301上，且可为X轴向移动组件带动沿X轴向移动，所述Y轴向移动组件31具有一第二移动构件311以及一用以驱动第二移动构件311沿Y轴向移动的Y轴向驱动器312，Z轴向移动组件32设于所述第二移动构件311上，所述Z轴向移动组件32具有一 Z轴向驱动器321，并连接所述的移动构件33，由此，结合X轴向移动组件30、Y轴向移动组件31与Z轴向移动组件32，用以带动移动构件33作X轴向、Y轴向及Z轴向三维空间移动，所述X轴向驱动器、Y轴向驱动器与Z轴向驱动器电连接控制器，而由控制器6决定其作动与停止的时机。所述超音波检测组件4系设于所述移动装置3的移动构件33上，并可为移动装置3带动作X轴向、Y轴向及Z轴向三维空间移动，所述超音波检测组件4包括有至少一个超音波检测单元40，且电连接控制器6，当超音波检测组件4包括多个个超音波检测单元40时，该多个个超音波检测单元40间隔排列于移动构件33上，用以对较大面积的待检溅镀靶材区分数个区段同时进行超音波检测，所述超音波检测单元40是包括可产生超音波的探测头、提供探测头能量的产生器、可撷取回波讯号的讯号撷取器以及一组用以传动能量的传输线，传输线电连接讯号撷取器、产生器与控制器6。如图7、图8及图9所示，所述靶材移动装置5系包括多个滚轴50、51以及滚轴驱动组件52，该多个滚轴50、51系平行于X轴向而并列枢设于液体储槽I中，所述滚轴50、51外周面可套设橡胶包覆体，提供待检溅镀靶材的磨擦接触面，另该多个滚轴50、51外周面的顶缘可位于同一水平高度，用以水平支撑平面型待检溅镀靶材，所述多个滚轴50、51的一端部密封防漏的穿出液体储槽I外，所述滚轴驱动组件52系连接该多个滚轴50、51，用以带动该多个滚轴50、51同向旋转，所述滚轴驱动组件52包括驱动马达53以及轮系传动组54，所述驱动马达53电连接控制器，所述轮系传动组54可为齿轮组或皮带轮组等，且驱动马达53的旋转作动端结合轮系传动组54连接该多个滚轴50、51伸出液体储槽I外的端部，使驱动马达53得以结合轮系传动组54带动该多个滚轴50、51同向旋转。 在本实用新型示出的一个较佳实施例中，如图7及图8所示，该靶材移动装置5具有两个滚轴50、51，其中一滚轴50定义为主动滚轴，另一滚轴51定义为从动滚轴，所述主动滚轴50可定点枢设于液体储槽I中，从动滚轴51则可通过调整组件组设于液体储槽I中，用以调整主动滚轴50与从动滚轴51间的相对位置，所述轮系传动组54为皮带轮组，其中包括有主动轮541、从动轮542以及环状皮带543，该驱动马达53以旋转作动端(即心轴)连接主动滚轴50之端部，主动轮541设于主动滚轴50上，从动轮542设于从动滚轴51上，环状皮带543环绕于主动轮541与从动轮542上，使驱动马达53结合皮带轮组带动主动滚轴50与从动滚轴51同向旋转。如图7及图9所示，靶材移动装置5尚可进一步包括至少一个滚轴辅助支撑架55，所述滚轴辅助支撑架55设于液体储槽I中且支撑滚轴50、51，在本较佳实施例中，所述滚轴辅助支撑架55具有架体以及枢设于架体上的滚轮，并以滚轮可滚动地接触滚轴50、51，用以防止滚轴50、51弯曲。所述滚轴50、51可为单一构件所构成的滚轴，或可为复合式滚轴等型式，当滚轴50、51为复合式滚轴时，如图10所示，其包括有一轴杆501、511以及多个个外套环502、512，该多个个外套环502、512套设于该轴杆501、511上，使其可因应溅镀靶材(如异型靶材)的不等厚度而藉由该多个外套环502、512于轴杆501、511上作相应的排列变化而组成相应的滚轴，所述外套环502、512可为橡胶材质所制成环圈，作为橡胶包覆体，提供待检溅镀靶材的磨擦接触面。本实用新型溅镀靶材检测机构尚可进一步包括两个承载架7，该两个承载架7是装设于该液体储槽I内部，且分位于该多个滚轴50、51的外围，用以搭配滚轴50、51辅助支撑待检溅镀靶材，承载架7的顶缘可与滚轴50、51外周面顶缘同高，所述承载架7可为多个架杆交错组接而成。本实用新型溅镀靶材检溅机构在使用时，当溅镀靶材为平面型时，该平面型溅镀靶材8置于液体储槽I且浸置于液体中，且该平面型溅镀靶材8平置于该靶材移动装置5的多个滚轴50、51上，或进一步通过该多个滚轴50、51两侧的承载架7辅助支撑，其次，由控制器6令移动装置3带动超音波检测组件4三维空间位移，由超音波检测组件4的超音波检测单元40对平面型溅镀靶材上发出超音波及接收反射的超音波，并将讯号传送至控制器6，所述控制器6可包括显示器，在显示器的画面中呈现检测的结果，前述中平面型溅镀靶材为大面积时，可通过多个超音波检测单元40区分数个区域同时进行超音波检测，以缩短作业时间。当溅镀靶材为圆筒型时，该圆筒型溅镀靶材8置于液体储槽I且浸置于液体中，且该圆筒型溅镀靶材8平置于该靶材移动装置5之多个滚轴50、51上，其次，由控制器6令移动装置带动超音波检测组件4相对于圆筒型溅镀靶材8轴向位移，由超音波检测组件4的超音波检测单元40对圆筒型溅镀靶材8上发出超音波及接收反射的超音波，将讯号传送至控制器6，并透过控制器6的显示器画面呈现检测的结果，接续由靶材移动装置5之滚轴驱动组件52带动多个滚轴50、51同向旋转，而使滚轴50、51上的圆筒型溅镀靶材8旋转一预定角度后停止，再由移动装置3带动的超音波检测组件4接续进行圆筒型溅镀靶材另一角度位置进行超音波检测，直至该圆筒型溅镀材全面完成超音波检测。当溅镀靶材为异型时，先依该异型溅镀靶材调整改变该多个滚轴50、51形状，使该多个滚轴50、51外形与该异型溅镀靶材相符，再令该异型溅镀靶材置于液体储槽I且浸置于液体中，且该异型溅镀靶材平置于该靶材移动装置5之多个滚轴50、51上。其次，由控制器6令移动装置3带动超音波检测组件4相对于异型溅镀靶材8轴向位移，由超音波检测组件4的超音波检测单元40对异型溅镀靶材8上发出超音波及接收反射的超音波，并将讯号传送至控制器6，透过控制器6的显示器画面呈现检测的结果，接续由靶材移动装置5之滚轴驱动组件52带动多个滚轴50、51同向旋转，而使滚轴50、51上的异型溅镀靶材8旋转一预定角度后停止，再由移动装置3带动的超音波检测组件4接续进行异型溅镀靶材另一角度位置进行超音波检测，直至该异型溅镀材全面完成超音波检测为止。上述如此结构构成的本实用新型溅镀靶材检测机构的技术创新，对于现今同行业的技术人员来说均具有许多可取之处，而确实具有技术进步性。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。权利要求1.一种溅镀靶材检测机构，其特征在于，其包括 液体储槽； 移动式超音波检测机组，其包括移动装置以及超音波检测组件，所述移动装置于液体储槽上，且组接所述超音波检测组件，用以驱动超音波检测组件作三维空间位移； 靶材移动装置，系包括多个滚轴以及一滚轴驱动组件，该多个滚轴并列枢设于液体储槽中，滚轴驱动组件连接该多个滚轴，用以驱动该多个滚轴同向旋转； 控制器，所述控制器电连接移动装置与滚轴驱动组件，用以控制所述移动装置与滚轴 驱动组件的工作。
2.根据权利要求I所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于， 所述移动装置包括X轴向移动组件、Y轴向移动组件、Z轴向移动组件以及移动构件；所述X轴向移动组件设于所述液体储槽的槽壁上，所述X轴向移动组件包括第一移动构件，以及用以驱动所述第一移动构件沿X轴向移动的X轴向驱动器； 所述Y轴向移动组件设于所述X轴向移动组件的第一移动构件上，且可为X轴向移动组件带动沿X轴向移动，所述Y轴向移动组件具有第二移动构件，以及用以驱动所述第二移动构件沿Y轴向移动的Y轴向驱动器； 所述Z轴向移动组件设于所述第二移动构件上，所述Z轴向移动组件包括Z轴向驱动器，所述Z轴向驱动器与所述移动构件相连接； 所述X轴向驱动器、Y轴向驱动器与Z轴向驱动器电连接控制器； 所述超音波检测组件包括至少一个超音波检测单元，所述超音波检测单元设于所述移动构件上。
3.根据权利要求I所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴驱动组件包括驱动马达以及轮系传动组，所述驱动马达电连接控制器，驱动马达的旋转作动端结合轮系传动组连接该多个滚轴。
4.根据权利要求2所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴驱动组件包括驱动马达以及轮系传动组，所述驱动马达电连接控制器，所述驱动马达的旋转作动端结合轮系传动组连接该多个滚轴。
5.根据权利要求I至4中任一项所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，该靶材移动装置包括主动滚轴和从动滚轴，所述轮系传动组为皮带轮组，其包括主动轮、从动轮以及环状皮带，所述驱动马达以旋转作动端连接主动滚轴的端部，所述主动轮设于所述主动滚轴上，所述从动轮设于从动滚轴上，所述环状皮带环绕于所述主动轮与所述从动轮上。
6.根据权利要求5所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述靶材移动装置包括一调整组件，所述调整组件与从动滚轴相连接，所述调整组件用以调整所述主动滚轴与所述从动滚轴间的相对位置。
7.根据权利要求I至4中任一项所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴为复合式滚轴，其包括有轴杆以及多个外套环，该多个外套环套设于该轴杆上。
8.根据权利要求6所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴为复合式滚轴，其包括有轴杆以及多个外套环，该多个外套环套设于该轴杆上。
9.根据权利要求I至4中任一项所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述溅镀靶材检测机构进一步包括两个承载架，该两个承载架装设于该液体储槽内部，且分位于该多个滚轴的外围。
10.根据权利要求8所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述溅镀靶材检测机构进一步包括两个承载架，该两个承载架是装设于该液体储槽内部，且分位于该多个滚轴的外围。
专利摘要本实用新型涉及一种溅镀靶材检测机构，其主要在液体储槽上装设可三维空间移动的移动装置带动一超音波检测组件位移，另外，液体储槽中枢设多个并列的滚轴，该多个滚轴由滚轴驱动组件所驱动而同向旋转，通过利用该多个滚轴于液体储槽中承载待检溅镀靶材，为超音波检测组件进行检测，并可利用滚轴带动溅镀靶材旋转，使该溅镀靶材检测机构可以一机适于平面型、圆筒形或异型等多种不同型式的溅镀靶材检测作业。
文档编号G01N29/04GK202383109SQ20112055159
公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者林胜国 申请人:昆山全亚冠环�？萍加邢薰�
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